JPS60103648U - 両面ラツピング装置 - Google Patents

両面ラツピング装置

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JPS60103648U
JPS60103648U JP1983194112U JP19411283U JPS60103648U JP S60103648 U JPS60103648 U JP S60103648U JP 1983194112 U JP1983194112 U JP 1983194112U JP 19411283 U JP19411283 U JP 19411283U JP S60103648 U JPS60103648 U JP S60103648U
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JP
Japan
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gear
double
carrier
surface plate
carrier gear
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JP1983194112U
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Inventor
英彦 木村
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株式会社　表面加工技術研究所
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案の実施例を示し、第１図は縦断正面図、
第２図はホッパーを除いた平面図である。 ７・・・・・・内歯歯車、１４・・・・・・下定盤、１
９・・・・・・太陽歯車、２２・・・・・・上定盤、２
３・・・・・・キャリヤ歯車、３０・・・・・・加工物
保持孔。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 太陽歯車、内歯歯車及び両歯車とかみ合って自転及び公
    転するキャリヤ歯車（遊星歯車）からなる遊星歯車機構
    において、 上記キャリヤ歯車にその両面に貫通する加工物−保持孔
    を設け、該キャリヤ歯車を静止性態の下定盤の上面にの
    せると共に、該キャリヤ歯車の上面に環状円板形上定盤
    を上記太陽歯車と同心的に回転自在−にのせ、 上記上定盤を上記キャリヤ歯車の公転と同方向に回転さ
    せるようにした、 両面ラッピング装置。
JP1983194112U 1983-12-19 1983-12-19 両面ラツピング装置 Granted JPS60103648U (ja)

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JPS60103648U true JPS60103648U (ja) 1985-07-15
JPS6315007Y2 JPS6315007Y2 (ja) 1988-04-26

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000317812A (ja) * 1999-03-26 2000-11-21 Applied Materials Inc ポリシングスラリーを供給するキャリヤヘッド

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4157637A (en) * 1977-08-30 1979-06-12 Moskovskoe Vysshee Tekhnicheskoe Uchilische Imeni N.E. Baumana Planetary-type lapping machine for lapping a group of workpieces

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4157637A (en) * 1977-08-30 1979-06-12 Moskovskoe Vysshee Tekhnicheskoe Uchilische Imeni N.E. Baumana Planetary-type lapping machine for lapping a group of workpieces

Cited By (2)

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JP2000317812A (ja) * 1999-03-26 2000-11-21 Applied Materials Inc ポリシングスラリーを供給するキャリヤヘッド
JP4693203B2 (ja) * 1999-03-26 2011-06-01 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド ポリシングスラリーを供給するキャリヤヘッド

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Publication number Publication date
JPS6315007Y2 (ja) 1988-04-26

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