JPS62166966A - 平面加工装置 - Google Patents
平面加工装置Info
- Publication number
- JPS62166966A JPS62166966A JP61007976A JP797686A JPS62166966A JP S62166966 A JPS62166966 A JP S62166966A JP 61007976 A JP61007976 A JP 61007976A JP 797686 A JP797686 A JP 797686A JP S62166966 A JPS62166966 A JP S62166966A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- gear
- eccentric
- bearing
- eccentric gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はラッピングマシーン等の平面加工装置に係る。
（従来技術）
平面加工装置は一般に上定盤と下定盤を有しており、こ
れら両定盤は研磨用砥粒の介在下に被加工物（例えばシ
リコンウェハー）（以下ワークと呼ぶ）を挾んで加工圧
力を加えながら互に逆方向・＼回転し、ワークの表面に
研磨するようになされている。
れら両定盤は研磨用砥粒の介在下に被加工物（例えばシ
リコンウェハー）（以下ワークと呼ぶ）を挾んで加工圧
力を加えながら互に逆方向・＼回転し、ワークの表面に
研磨するようになされている。
この場合、ワークを定盤の加工面に万遍なく摺接させろ
ことができろように、且つまた定盤の偏摩耗を防いで加
工精度を高めることができろように、下定盤を回転させ
ると同時に半径方向へ揺動させろことが提案されている
。
ことができろように、且つまた定盤の偏摩耗を防いで加
工精度を高めることができろように、下定盤を回転させ
ると同時に半径方向へ揺動させろことが提案されている
。
このような揺動をもたらすための装置としては矛２及び
３図に示すものが提案されている。図中、１は上定盤、
２は下定盤、３はワーク、４はインターナルギヤをそれ
ぞれ示している。上定盤１は駆動軸５によって回転駆動
可能に且つ上下動可能に支持されている。また、下定盤
２は駆動軸７に結合された支持台乃至駆動プレート９に
よって回転１更動せしめられろ。上定盤１と下定盤２と
の間に挾まれろワーク３は円盤状のキャリア１０によっ
て保持されろ。このキャリアｌＯｉ’＠、１．枢動軸６
に結合されたサンギヤ１１と、駆動軸８に結合されたイ
ンターナルギヤ４とに噛合している。従って、ワークを
保持するキャリア１０は、サンギヤ１１とインターナル
ギヤ４の回転によってサンギャ１１の回りを公転しなが
ら自転する。
３図に示すものが提案されている。図中、１は上定盤、
２は下定盤、３はワーク、４はインターナルギヤをそれ
ぞれ示している。上定盤１は駆動軸５によって回転駆動
可能に且つ上下動可能に支持されている。また、下定盤
２は駆動軸７に結合された支持台乃至駆動プレート９に
よって回転１更動せしめられろ。上定盤１と下定盤２と
の間に挾まれろワーク３は円盤状のキャリア１０によっ
て保持されろ。このキャリアｌＯｉ’＠、１．枢動軸６
に結合されたサンギヤ１１と、駆動軸８に結合されたイ
ンターナルギヤ４とに噛合している。従って、ワークを
保持するキャリア１０は、サンギヤ１１とインターナル
ギヤ４の回転によってサンギャ１１の回りを公転しなが
ら自転する。
上記の駆動軸５〜８は図示のように同軸的に配置されて
おり、それぞれ矢印にて示す方向に回転せしめられる。
おり、それぞれ矢印にて示す方向に回転せしめられる。
上記したように、下定盤２は回転せしめられると同時に
半径方向へ揺動されるようになされているものであって
、その作用をもたらすために、下定盤２には揺動用偏心
ギヤ１２が取り付けてあり、このギヤは図示のように偏
心した位置に回転軸１３があり、この回転軸は下定盤２
に軸受されている。また偏心ギヤ１２は一方においてイ
ンターナルギヤ４に噛合し、他方において遊動歯車１４
に噛合している。上述のように、下定盤２の回転は駆動
軸７から駆動プレート９を介して行なわれるが、この駆
動プレートから回転力を伝達し、しかも下定盤２の揺動
を許容するように、下定盤の下部には突軸１５が設けて
あり、この突軸は駆動プレート９に形成された凹穴１６
に半径方向移動可能に嵌め込まれている。
半径方向へ揺動されるようになされているものであって
、その作用をもたらすために、下定盤２には揺動用偏心
ギヤ１２が取り付けてあり、このギヤは図示のように偏
心した位置に回転軸１３があり、この回転軸は下定盤２
に軸受されている。また偏心ギヤ１２は一方においてイ
ンターナルギヤ４に噛合し、他方において遊動歯車１４
に噛合している。上述のように、下定盤２の回転は駆動
軸７から駆動プレート９を介して行なわれるが、この駆
動プレートから回転力を伝達し、しかも下定盤２の揺動
を許容するように、下定盤の下部には突軸１５が設けて
あり、この突軸は駆動プレート９に形成された凹穴１６
に半径方向移動可能に嵌め込まれている。
かくして１、駆動軸７によって下定盤２を回転させると
、インターナルギヤ４に噛合している揺動用偏心ギヤ１
２が回転し、それに伴って回転軸１３は半径方向へ揺動
せしめられ、この運動が下定盤２へ伝達される。従って
、下定盤２は半径方向へ揺動しながら回転することにな
る。
、インターナルギヤ４に噛合している揺動用偏心ギヤ１
２が回転し、それに伴って回転軸１３は半径方向へ揺動
せしめられ、この運動が下定盤２へ伝達される。従って
、下定盤２は半径方向へ揺動しながら回転することにな
る。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、下定盤の位置が定まらないため、その揺
動が偏心ギヤ１２を揺動させ、インターナルギヤ４との
衝突を生起させろことになり、ラッピングマシーンに振
動を生ぜしめ、精密ラッピングの障害となる。
動が偏心ギヤ１２を揺動させ、インターナルギヤ４との
衝突を生起させろことになり、ラッピングマシーンに振
動を生ぜしめ、精密ラッピングの障害となる。
本発明の目的は、上記のような振動の発生を防止し、下
定盤の円滑な揺動回転を得るようにすることである。
定盤の円滑な揺動回転を得るようにすることである。
（問題点を解決するための手段）
上記の目的は本発明によれば、下定盤の外方に設けたイ
ンターナルギヤと噛合する下定盤揺動用偏心ギヤを下定
盤に軸支している回転軸が、下定盤回転駆動用の駆動軸
に結合された下定盤受台に回転可能に軸受されており、
その軸受における回転軸の軸線が、軸受の軸線よりも、
上記偏心ギヤの偏心量と同量だけ同じ偏心方向・＼ずら
せであることによって達成される。
ンターナルギヤと噛合する下定盤揺動用偏心ギヤを下定
盤に軸支している回転軸が、下定盤回転駆動用の駆動軸
に結合された下定盤受台に回転可能に軸受されており、
その軸受における回転軸の軸線が、軸受の軸線よりも、
上記偏心ギヤの偏心量と同量だけ同じ偏心方向・＼ずら
せであることによって達成される。
（作用）
下定盤回転駆動用の駆動軸を回転させることにより、そ
れに結合された下定盤受台が回転され、再に回転軸を介
して下定盤が回転されろ。その際、偏心ギヤがインター
ナルギヤによって回転せしめられるので、偏心位置にあ
る回転軸１１言偏心ギヤの中心線に対して円運動を行い
、これが下定盤の揺動運動乃至蛇行運動をもたらす。こ
の場合、偏心ギヤが半径方向・＼の力の作用を受けても
、その力は回転軸を経て下定盤受台によって受は止めら
れ、偏心ギヤ自体の半径方向への動きは規制される。
れに結合された下定盤受台が回転され、再に回転軸を介
して下定盤が回転されろ。その際、偏心ギヤがインター
ナルギヤによって回転せしめられるので、偏心位置にあ
る回転軸１１言偏心ギヤの中心線に対して円運動を行い
、これが下定盤の揺動運動乃至蛇行運動をもたらす。こ
の場合、偏心ギヤが半径方向・＼の力の作用を受けても
、その力は回転軸を経て下定盤受台によって受は止めら
れ、偏心ギヤ自体の半径方向への動きは規制される。
（実施例）
壜′１図において、２０′は上定盤、２１は下定盤、２
２はインターナルギヤ、２３１Ｌ″！サンギヤである。
２はインターナルギヤ、２３１Ｌ″！サンギヤである。
また、２４は上定盤回転用駆動軸、２５はサンギヤ回転
用、駆動軸、２６は下定盤回転用、駆動軸、２７はイン
ターナルギヤ回転用、駆動軸である。各、駆動軸はそれ
ぞれ所定の方向に所定の回転を行うように、延い”ｃ
ｖｔ上定盤、下定盤、インターナルギヤ、サンギヤに所
定の方向の所定の回転をもたらすように、モータ等の駆
動源に連結されている。
用、駆動軸、２６は下定盤回転用、駆動軸、２７はイン
ターナルギヤ回転用、駆動軸である。各、駆動軸はそれ
ぞれ所定の方向に所定の回転を行うように、延い”ｃ
ｖｔ上定盤、下定盤、インターナルギヤ、サンギヤに所
定の方向の所定の回転をもたらすように、モータ等の駆
動源に連結されている。
２８は機枠であって、この機枠に、ベアリング２９を介
して下定盤回転用駆動軸２６が回転可能に支持されてお
り、この駆動軸２６にはベアリング３０を介してサンギ
ヤ回転用駆動軸２５が、更にこの駆動軸２５にはベアリ
ング３１を介し℃上定盤回転用駆動軸２４がそれぞれ回
転可能に支持されている。
して下定盤回転用駆動軸２６が回転可能に支持されてお
り、この駆動軸２６にはベアリング３０を介してサンギ
ヤ回転用駆動軸２５が、更にこの駆動軸２５にはベアリ
ング３１を介し℃上定盤回転用駆動軸２４がそれぞれ回
転可能に支持されている。
上定盤回転用、駆動軸２４の上部にはジヨイント３２を
介してドライバー３３が取り付けである。
介してドライバー３３が取り付けである。
このドライバーは上定盤２０が下降せしめられた際、上
定盤プラケット３４と連結され、５駆動軸２４０回転を
上定盤２０へ伝達する。
定盤プラケット３４と連結され、５駆動軸２４０回転を
上定盤２０へ伝達する。
サンギヤ回転用駆動軸２５はその上部において回転ディ
スク３５を介してサンギヤ２３と結合されている。サン
ギヤ２３は上定盤２０と下定盤２１との間に配置される
ワーク保持用キャリア（才１図中の１０に相当）の外周
に設けた歯車と噛合し、この歯車と他方から噛合するイ
ンターナルギヤ２２との協働作用により、キャリアを自
転させながら公転させろ。
スク３５を介してサンギヤ２３と結合されている。サン
ギヤ２３は上定盤２０と下定盤２１との間に配置される
ワーク保持用キャリア（才１図中の１０に相当）の外周
に設けた歯車と噛合し、この歯車と他方から噛合するイ
ンターナルギヤ２２との協働作用により、キャリアを自
転させながら公転させろ。
下定盤回転用駆動軸２６は下定盤受台３６と結合されて
おり、この受台は後述するように、回転軸３７によって
下定盤２１と連結されている。
おり、この受台は後述するように、回転軸３７によって
下定盤２１と連結されている。
インターナルギヤ回転用駆動軸２７は、軸受３８によっ
て機枠２８に回転可能に暇り付けた回転台３９に取り付
けたギヤ４０と噛合するギヤ４１を有している。回転台
３９は回転支持軸４２を有しており、この支持軸には回
転ディスク４３が軸受され、この回転ディスクはインタ
ーナルギヤ２２と結合されている。従って、駆動軸２７
の回転は部材４１−４０−３９−４２−４３の順で経由
してインターナルギヤ２２へ伝達される。
て機枠２８に回転可能に暇り付けた回転台３９に取り付
けたギヤ４０と噛合するギヤ４１を有している。回転台
３９は回転支持軸４２を有しており、この支持軸には回
転ディスク４３が軸受され、この回転ディスクはインタ
ーナルギヤ２２と結合されている。従って、駆動軸２７
の回転は部材４１−４０−３９−４２−４３の順で経由
してインターナルギヤ２２へ伝達される。
前述のように、下定盤２１は回転軸３７を介して下定盤
受台３６から回転を伝達される。回転軸３７は一方に於
て、下定盤２１の下部に固定されたプレート４４に回転
可能に軸受され℃おり、他方に於て、下定盤受台３６に
軸受４５によって回転可能に取り付けられている。回転
軸３７にはインターナルギヤ２２と噛合する下定盤揺動
用偏心ギヤ４６がキー止めされている。ところで、図示
のように軸受４５の軸線に対して回転軸３７の軸線は偏
心している。この偏心の量は偏心ギヤ４６の偏心量と同
等であり、また偏心の方向も相互に同じくなされている
。このような回転軸３７の偏心をもたらすために、回転
軸に偏心ブツシュ４７が嵌められ、この偏心ブツシュが
軸受４５に軸受されている。偏心プツシ−４７と回転軸
３７とはキー止めされており、両者は一体的に回転する
。
受台３６から回転を伝達される。回転軸３７は一方に於
て、下定盤２１の下部に固定されたプレート４４に回転
可能に軸受され℃おり、他方に於て、下定盤受台３６に
軸受４５によって回転可能に取り付けられている。回転
軸３７にはインターナルギヤ２２と噛合する下定盤揺動
用偏心ギヤ４６がキー止めされている。ところで、図示
のように軸受４５の軸線に対して回転軸３７の軸線は偏
心している。この偏心の量は偏心ギヤ４６の偏心量と同
等であり、また偏心の方向も相互に同じくなされている
。このような回転軸３７の偏心をもたらすために、回転
軸に偏心ブツシュ４７が嵌められ、この偏心ブツシュが
軸受４５に軸受されている。偏心プツシ−４７と回転軸
３７とはキー止めされており、両者は一体的に回転する
。
尚、図中４８は下定盤受台３６の上部に固定されたプレ
ートであって、下定盤に固定されたプレート４４との間
で摺接する。プレート４８はベアリングケース４９に保
持されたベアリング５０を有し、回転軸３７を軸受して
いる。
ートであって、下定盤に固定されたプレート４４との間
で摺接する。プレート４８はベアリングケース４９に保
持されたベアリング５０を有し、回転軸３７を軸受して
いる。
上記の下定盤揺動機構の作動について以下に説明する。
まず、駆動軸２６によって下定盤受台３６を回転させる
と、回転軸３７を介して下定盤２１が回転せしめられる
。下定盤の回転により、更にまたインターナルギヤ２２
を回転させることにより、それに噛合している偏心ギヤ
４６が回転せしめられ、このギヤの偏心位置に設けであ
る回転軸３７ ’ｔ′！偏心量に相応して半径方向へ揺
動せしめられ、その揺動は下定盤２１へ伝達される。回
転軸３７のこの揺動運動は下定盤受台３６に設けた軸受
４５内に於ても等量だけ等方向に行なわれ、それ以外の
半径方向への動きは規制されろ。それによって、偏心ギ
ヤ４６は常に正常な状態にてインターナルギヤ２２と噛
合する。下定盤２１の揺動運動に伴う肌性が回転軸３７
に波及しても、それによる力の作用は軸受４５によって
受は止められ、偏心ギヤ４６に）ま及ばない。従って偏
心ギヤとインターナルギヤとの衝突は防止され、振動が
生じろことはない。
と、回転軸３７を介して下定盤２１が回転せしめられる
。下定盤の回転により、更にまたインターナルギヤ２２
を回転させることにより、それに噛合している偏心ギヤ
４６が回転せしめられ、このギヤの偏心位置に設けであ
る回転軸３７ ’ｔ′！偏心量に相応して半径方向へ揺
動せしめられ、その揺動は下定盤２１へ伝達される。回
転軸３７のこの揺動運動は下定盤受台３６に設けた軸受
４５内に於ても等量だけ等方向に行なわれ、それ以外の
半径方向への動きは規制されろ。それによって、偏心ギ
ヤ４６は常に正常な状態にてインターナルギヤ２２と噛
合する。下定盤２１の揺動運動に伴う肌性が回転軸３７
に波及しても、それによる力の作用は軸受４５によって
受は止められ、偏心ギヤ４６に）ま及ばない。従って偏
心ギヤとインターナルギヤとの衝突は防止され、振動が
生じろことはない。
（発明の効果）
上記のように、本発明によれば、下定盤が揺動運動を行
って、ワークを定盤の加工面に万遍なく摺接させろこと
ができるように、且つまた定盤の偏摩耗を防いで加工精
度を高めるようにした平面加工装置において、振動のな
い滑らかな定盤の加工運動がもたらされるので、ワーク
の割れ、定盤の偏摩耗のおそれがなく、しかも高精度の
加工が達成される。
って、ワークを定盤の加工面に万遍なく摺接させろこと
ができるように、且つまた定盤の偏摩耗を防いで加工精
度を高めるようにした平面加工装置において、振動のな
い滑らかな定盤の加工運動がもたらされるので、ワーク
の割れ、定盤の偏摩耗のおそれがなく、しかも高精度の
加工が達成される。
第１図は本発明による平面加工装置の中央縦断面図、
第２図は従来の装置の中央縦断面図、
第３図は第２図中の■−計線に沿う断面を一部破断して
示す図面である。 ２１・・・・・下定盤、２２・・インターナルギヤ、２
６・・・下定盤回転１駆動用、駆動軸、３６・・ 下定
盤受台、３７・・・・回転軸、４５・・・・軸受、４１
６・−・下定盤揺動用偏心ギヤ。
示す図面である。 ２１・・・・・下定盤、２２・・インターナルギヤ、２
６・・・下定盤回転１駆動用、駆動軸、３６・・ 下定
盤受台、３７・・・・回転軸、４５・・・・軸受、４１
６・−・下定盤揺動用偏心ギヤ。
Claims (1)
- 下定盤の外方に設けたインターナルギヤと噛合する下定
盤揺動用偏心ギヤを下定盤に軸支している回転軸が、下
定盤回転駆動用の駆動軸に結合された下定盤受台に回転
可能に軸受されており、その軸受における回転軸の軸線
が、軸受の軸線よりも、上記偏心ギヤの偏心量と同量だ
け同じ偏心方向へずらせてあることを特徴とする平面加
工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61007976A JPS62166966A (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 平面加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61007976A JPS62166966A (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 平面加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62166966A true JPS62166966A (ja) | 1987-07-23 |
Family
ID=11680484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61007976A Pending JPS62166966A (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 平面加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62166966A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0803329A2 (en) * | 1996-04-25 | 1997-10-29 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kabushiki Kaisha | Polishing machine |
-
1986
- 1986-01-20 JP JP61007976A patent/JPS62166966A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0803329A2 (en) * | 1996-04-25 | 1997-10-29 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kabushiki Kaisha | Polishing machine |
| EP0803329A3 (en) * | 1996-04-25 | 1998-04-15 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kabushiki Kaisha | Polishing machine |
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