JPS63142327A - 液晶分子の配向方法 - Google Patents
液晶分子の配向方法Info
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- JPS63142327A JPS63142327A JP29009886A JP29009886A JPS63142327A JP S63142327 A JPS63142327 A JP S63142327A JP 29009886 A JP29009886 A JP 29009886A JP 29009886 A JP29009886 A JP 29009886A JP S63142327 A JPS63142327 A JP S63142327A
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Links
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
梁上の利用分野」
本発明は、液晶分子長軸を一定方向に揃えて光学的異方
性を持たせ、偏光板を併用することで光の透過率を制御
し、表示素子等を作製する方法に関する。
性を持たせ、偏光板を併用することで光の透過率を制御
し、表示素子等を作製する方法に関する。
「従来技術」
従来、液晶分子の配向方法はポリイミドに代表される有
機樹脂膜を布等で一定方向に擦り、膜上に方向性のある
傷をつけ、その傷の方向と液晶分子の長軸方向を揃える
ラビング法が行われてきた。また、近年、前記の有機樹
脂に感光性を持たせた物を使用し、レーザの2光束干渉
縞により感光させ、感光程度の強弱を利用して現像速度
を変えることで膜上に凹凸をつけることも行われている
。
機樹脂膜を布等で一定方向に擦り、膜上に方向性のある
傷をつけ、その傷の方向と液晶分子の長軸方向を揃える
ラビング法が行われてきた。また、近年、前記の有機樹
脂に感光性を持たせた物を使用し、レーザの2光束干渉
縞により感光させ、感光程度の強弱を利用して現像速度
を変えることで膜上に凹凸をつけることも行われている
。
「発明の解決しようとする問題」
しかし、前者のラビング法ではその方法の中で布を使用
している為に、布から発生する繊維状の塵が均一な表示
品質を得るのに大きな障害となっていた。さらにこの擦
る工程の後に繊維状の塵を除去するために乾燥した塵を
含まないガスで吹き飛ばしたり、水中で超音波洗浄を行
う必要があったが、それでもまだ完全に取り除くことは
非常に困難であった。かつ水による洗浄は膜表面に水分
の吸着が生じ、液晶分子の劣化につながる不純物のとり
ごみと、液晶注入工程の際、ぬれ性が悪くなる為に注入
時間が増加するという弊害が生じた。
している為に、布から発生する繊維状の塵が均一な表示
品質を得るのに大きな障害となっていた。さらにこの擦
る工程の後に繊維状の塵を除去するために乾燥した塵を
含まないガスで吹き飛ばしたり、水中で超音波洗浄を行
う必要があったが、それでもまだ完全に取り除くことは
非常に困難であった。かつ水による洗浄は膜表面に水分
の吸着が生じ、液晶分子の劣化につながる不純物のとり
ごみと、液晶注入工程の際、ぬれ性が悪くなる為に注入
時間が増加するという弊害が生じた。
後者の方法では、感光性の樹脂を使用する為に材料コス
トの上昇が問題となった。加えて現像の工程が必ず必要
であり、前者の洗浄工程と同様に水分吸着を招き、同様
の弊害が生じた。
トの上昇が問題となった。加えて現像の工程が必ず必要
であり、前者の洗浄工程と同様に水分吸着を招き、同様
の弊害が生じた。
「問題を解決するための手段」
本発明は、これらの問題を解決するため、発塵性がなく
、かつ後処理として水による洗浄工程の必要のないレー
ザ光による配向用膜面への干渉縞直接ドライエノヂング
をする方法に関するものである。
、かつ後処理として水による洗浄工程の必要のないレー
ザ光による配向用膜面への干渉縞直接ドライエノヂング
をする方法に関するものである。
いま第1図に示すように、強度の等しいコヒーレント光
をθの角度である面上で重ねるときは、この面上での強
度分布Iは光の振幅をUとするとき、β=2πsin
θ/λとして、 !=IUe” J−UIZ = 2 U”(1+ cosβX) となり、この面上には間隔A=λ/sin θ の干ン
歩縞が得られる。
をθの角度である面上で重ねるときは、この面上での強
度分布Iは光の振幅をUとするとき、β=2πsin
θ/λとして、 !=IUe” J−UIZ = 2 U”(1+ cosβX) となり、この面上には間隔A=λ/sin θ の干ン
歩縞が得られる。
又干渉による波長変化はなく、波長λのレーザ光を吸収
する樹脂を使用し、かつレーザ光の持つエネルギが樹脂
膜々の任意に定まった臨界値を越えた際に樹脂が気化し
、加工が行われる。加工面は最初に形成された面とは異
なり、有機樹脂膜の塗布と焼結の際発生した汚染された
表面ではない為、液晶分子の配向性も向上し、後洗浄の
必要もなくすことができた。
する樹脂を使用し、かつレーザ光の持つエネルギが樹脂
膜々の任意に定まった臨界値を越えた際に樹脂が気化し
、加工が行われる。加工面は最初に形成された面とは異
なり、有機樹脂膜の塗布と焼結の際発生した汚染された
表面ではない為、液晶分子の配向性も向上し、後洗浄の
必要もなくすことができた。
又、従来技術の前者のラビング方法により同一面上に2
種類の方向性を持つ配向処理をする場合第1の方向の配
向処理後、第2の方向の配向処理を行うと、そのために
第1の方向の配向が阻害される問題があったが、本発明
方法によれば、機械的に傷をつけるものでない為、最初
の配向方向を阻害することなく第2の配向処理が行えた
。
種類の方向性を持つ配向処理をする場合第1の方向の配
向処理後、第2の方向の配向処理を行うと、そのために
第1の方向の配向が阻害される問題があったが、本発明
方法によれば、機械的に傷をつけるものでない為、最初
の配向方向を阻害することなく第2の配向処理が行えた
。
以下に実施例に基づき本発明を説明する。
「実施例」
本発明に使用した加工装置の光学構成を示す。
レーザには波長が短< (193nm) 、パワーの強
いArF使用のエキシマレーザ(1)を用いた。20n
o++ X 30mmの形状を持ったレーザ光を(2)
の凹レンズで拡大し、続けて(3)の凸レンズで再び平
行光に変換して100111+11 X 150mm程
度に面積を大きくした。その後(4)のハーフミラ−に
より2方向に分割をした。その際、(5)の全ミラー2
つにより方向の変換を行い、第2の光束を第1の光束に
重ねるようにして被加工物(6)の表面に照射した。
いArF使用のエキシマレーザ(1)を用いた。20n
o++ X 30mmの形状を持ったレーザ光を(2)
の凹レンズで拡大し、続けて(3)の凸レンズで再び平
行光に変換して100111+11 X 150mm程
度に面積を大きくした。その後(4)のハーフミラ−に
より2方向に分割をした。その際、(5)の全ミラー2
つにより方向の変換を行い、第2の光束を第1の光束に
重ねるようにして被加工物(6)の表面に照射した。
本発明には有機樹脂膜として6−ナイロンを使用した。
透光性のある絶縁基板上に配線を構成する透光性導電膜
をスパッタ法により成膜し、その後バターニングを行っ
た。その後クレゾールを溶媒とした6−ナイロンの1χ
溶液を作り、スピンコード法により塗布を行った。別の
実験ではオフセット印刷法により塗布したが、同様の膜
が得られた。
をスパッタ法により成膜し、その後バターニングを行っ
た。その後クレゾールを溶媒とした6−ナイロンの1χ
溶液を作り、スピンコード法により塗布を行った。別の
実験ではオフセット印刷法により塗布したが、同様の膜
が得られた。
その後オーブン中(130℃1時間)で溶剤を気化させ
て硬化を行い、ナイロン膜をバターニングされた導電膜
を有する基板上に作成した。膜厚は500人とした。
て硬化を行い、ナイロン膜をバターニングされた導電膜
を有する基板上に作成した。膜厚は500人とした。
その基板を第2図に示した位置に設置して第1の光束と
第2の光束がなす角θを20”、40’、60’80″
と変化させ、564nm 、 300 nm、 223
nm 、196nmピンチの干渉縞が得られた。又レー
ザパワー密度を加工面上で200mJ/cm” 、50
0mJ/cm” 、800mJ/cn!と変化させて加
工を行った。その基板を用いて液晶表示装置を作成し、
表示を行ったところ、300nmピンチ以下の配向処理
によって機械的ラビング以上の分子配向状態が得られた
。
第2の光束がなす角θを20”、40’、60’80″
と変化させ、564nm 、 300 nm、 223
nm 、196nmピンチの干渉縞が得られた。又レー
ザパワー密度を加工面上で200mJ/cm” 、50
0mJ/cm” 、800mJ/cn!と変化させて加
工を行った。その基板を用いて液晶表示装置を作成し、
表示を行ったところ、300nmピンチ以下の配向処理
によって機械的ラビング以上の分子配向状態が得られた
。
又、水分を含んだ後処理を行わなくてすんだため、機械
的ラビング後水洗を行った表示装置に比較して、1/3
の時間で注入が可能になった。又、液晶材料の劣化を両
者で比較したところ、2000時間、150℃保存で液
晶材料の持つ自発分極の変化が本発明により作成した表
示装置では2χ減少ですんだのに比べ、機械的ラビング
後水洗を行った表示装置では40%減少があり、劣化が
少ない表示装置の制作が可能となった。
的ラビング後水洗を行った表示装置に比較して、1/3
の時間で注入が可能になった。又、液晶材料の劣化を両
者で比較したところ、2000時間、150℃保存で液
晶材料の持つ自発分極の変化が本発明により作成した表
示装置では2χ減少ですんだのに比べ、機械的ラビング
後水洗を行った表示装置では40%減少があり、劣化が
少ない表示装置の制作が可能となった。
「効果」
本発明により、液晶分子の配向方法で従来公知の配向方
法で生ずる発塵の問題、後処理に伴う水分吸着の問題が
解決し、2方向配向時における第1の方向のラビングが
第2の方向のラビングによって阻害されることなく作成
できた。
法で生ずる発塵の問題、後処理に伴う水分吸着の問題が
解決し、2方向配向時における第1の方向のラビングが
第2の方向のラビングによって阻害されることなく作成
できた。
第1図は干渉の原理を示す模式図である。
第2図は本発明の装置の構成を示す。
(1)・・・・ArFエキシマレーザ
(2)・・・・凹レンズ(拡大用)
(3)・・・・凸レンズ
(4)・・・・ハーフミラ−
(5)・・・・全ミラー
(6)・・・・被加工物
Claims (1)
- レーザ光線の干渉効果を利用して、任意表面に干渉縞を
レーザエネルギにより液晶分子の配向膜上に形成し、そ
の干渉縞に対応する凹凸をレーザ光のエネルギにより前
記配向膜を直接エッチングすることにより形成すること
を特徴とした液晶分子の配向方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29009886A JPS63142327A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 液晶分子の配向方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29009886A JPS63142327A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 液晶分子の配向方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63142327A true JPS63142327A (ja) | 1988-06-14 |
Family
ID=17751766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29009886A Pending JPS63142327A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 液晶分子の配向方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63142327A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02196219A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-08-02 | Agency Of Ind Science & Technol | レーザーを用いた液晶配向膜の作製方法 |
JPH095746A (ja) * | 1995-06-21 | 1997-01-10 | Nec Corp | 液晶表示素子の配向処理方法および装置 |
KR100664423B1 (ko) * | 1999-09-27 | 2007-01-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 배향막 형성방법 |
WO2016026189A1 (zh) * | 2014-08-19 | 2016-02-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 导向膜配向方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6060624A (ja) * | 1983-09-13 | 1985-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルおよびその製造方法 |
-
1986
- 1986-12-04 JP JP29009886A patent/JPS63142327A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6060624A (ja) * | 1983-09-13 | 1985-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルおよびその製造方法 |
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GB2542066A (en) * | 2014-08-19 | 2017-03-08 | Shenzhen China Star Optoelect | Guide film alignment method |
GB2542066B (en) * | 2014-08-19 | 2020-10-07 | Shenzhen China Star Optoelect | Algnment method of alignment film |
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