JP2001166309A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 広視野角液晶表示素子が得られる配向分割処
理工程数及びタクト時間の削減ができ、且つ高プレチル
ト角及び高コントラストの液晶表示素子の製造方法を提
供する。 【解決手段】 透明基板２上に成膜された液晶分子が配
向可能な膜１に、任意方向から１回目のラビング処理を
行った後、マスク３を介して部分的に光照射を行うこと
で第１の配向処理部分４と第２の配向処理部分５を形成
し、１回目のラビング方向とは異なる方向から２回目の
ラビングを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は配向分割処理を用い
た液晶表示素子の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、画素内で分割された領域に異なる
方向のプレチルト角を発現させる配向分割方法として
は、特開平５−１９６９４２号公報、特開平９−３３９
２８号公報などに記載のフォトリソグラフィー工程を利
用する方法がある。

【０００３】このフォトリソグラフィー工程を用いた配
向分割方法は、液晶分子が配向可能な膜に１回目のラビ
ング処理を行った後、フォトレジストを配向膜上に形成
し、マスクを介して部分的に露光しエッチングを行い、
その後１回目とは逆方向からラビングを行い、フォトレ
ジストを剥離することで、部分的にプレチルト角が異な
る領域の配向膜が形成され、配向分割を行うことができ
るといった方法である。しかし、このようなフォトリソ
グラフィー工程を用いた配向分割方法は、工程数及びタ
クト時間が増大するといった問題がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
配向分割方法では、フォトリソグラフィー工程を用いる
ため工程数及びタクト時間が増大するといった課題があ
った。

【０００５】本発明は、かかる課題を解決するためにな
されたもので、配向処理工程数の削減、タクト時間の短
縮ができ且つ配向分割を容易に行うことができる液晶表
示素子の製造方法を得ることを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係る液晶表示
素子の製造方法は、透明基板上に液晶分子が配向可能な
配向膜を形成する工程と、上記配向膜に任意の方向から
１回目のラビングを行う工程と、上記１回目のラビング
が施された配向膜に、マスクを介して部分的に光照射を
行う工程と、上記光照射を施された配向膜に、上記１回
目のラビング方向とは異なる方向から２回目のラビング
を行う工程とを含むものである。

【０００７】又、１回目のラビングを行う工程の前工程
として、配向膜に光照射を行うものである。

【０００８】又、２回目のラビングを行う工程の後工程
として、配向膜に光照射を行うものである。

【０００９】又、光照射が無偏光で行われるものであ
る。

【００１０】又、光照射が偏光光で行われるものであ
る。

【００１１】又、光照射の照射角度が１０°以上１７０
°以下の範囲であるものである。

【００１２】又、マスクを介して部分的に光照射を施さ
れた配向膜は、該光照射の施された部分に２回目のラビ
ング方向のプレチルト角が発現し、光の照射されない部
分に１回目のラビング方向のプレチルト角が発現するも
のである。

【００１３】又、マスクを介して部分的に光照射を施さ
れた配向膜は、該光照射の施された部分に１回目のラビ
ング方向のプレチルト角が発現し、光が照射されない部
分に２回目のラビング方向のプレチルト角が発現するも
のである。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明で対象とする液晶
表示素子の製造方法を説明するための図であり、１は液
晶分子が配向可能な膜が成膜された配向膜、２は透明基
板、３はマスク、４はマスク３を用いた光照射工程にお
いて光が照射されない第１の配向処理部分、５は上記工
程において光が照射される第２の配向処理部分、６は光
源である。図１を参照しながら、この実施の形態に係わ
る液晶表示素子の製造方法について説明する。

【００１５】まず、透明基板２に、液晶分子が配向可能
な膜１を塗布する。この液晶分子が配向可能な膜（以
下、配向膜と呼ぶ。）１は、透明基板２上にスピンコー
トなどにより配向剤を塗布し、加熱による焼成により形
成する。このとき室温〜１００℃の温度で予備乾燥して
もよい。

【００１６】尚、ここで用いる配向膜１は、特に限定さ
れるものではなく、ラビング処理によって液晶分子が配
向し、光照射により膜の分子構造内に光分解、光異性化
または光重合する成分があればよい。

【００１７】次に、図１（ａ）に示すように、透明基板
２上に成膜された配向膜１に、１回目のラビング処理を
行い、１回目のラビング方向にプレチルト角を発現させ
る。以下、この１回目のラビング処理工程を製造工程１
と呼ぶ。

【００１８】次に、図１（ｂ）に示すように、マスク３
を介してＤｅｅｐ−ＵＶ、ＵＶまたはＨｅ−Ｎｅレーザ
ーなどの光源６から光照射を行い、配向膜１に、光の照
射されない部分である第１の配向処理部分４と、光の照
射された部分である第２の配向処理部分５を形成する。
以下、このマスク３を用いた光照射工程を製造工程２と
呼ぶ。

【００１９】ここで、第１の配向処理部分４は、光が照
射されていないため、１回目のラビングで発現したプレ
チルト角を保持しているが、第２の配向処理部分５は、
光が照射されるため、配向膜１の分子鎖が分解、重合ま
たは異性化を起こしプレチルト角が変化する。ここで用
いる光源６は、特に限定されるものではなく、配向膜１
の感度波長に対応したものであればよい。

【００２０】又、ここで用いるマスク３は、特に限定さ
れるものではなく、少なくとも一部が遮光する部分を備
えていればよい。

【００２１】次に、図１（ｃ）に示すように、製造工程
１のラビング方向と異なる方向から２回目のラビング処
理を行う。以下、この２回目のラビング処理工程を製造
工程３と呼ぶ。

【００２２】ここで、異なるプレチルト角を持った第１
の配向処理部分４及び第２の配向処理部分５に、１回目
と異なるラビング条件で２回目のラビング処理を行うこ
とで、第１の配向処理部分４と第２の配向処理部分５の
プレチルト角発現方向が異なり、プレチルト角の変化に
よって配向分割処理が可能となる。

【００２３】尚、本発明を用いて作製した液晶表示素子
は、少なくとも一つの透明基板が本発明の方法によって
配向分割処理されたものであればよい。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例をさらに詳細
に説明する。 実施例１．大きさ３０ｍｍ×２４ｍｍ、厚さ１．１ｍｍ
の透明電極付きガラス基板の透明電極面に、溶媒に対し
４．０％の配向剤溶液｛商品名：ＡＬ５０４６、ＪＳＲ
（株）製｝をスピナーにより塗布し（スピンコート条
件：３０００ｒｐｍ／３０ｓｅｃ）、８０℃で１分間予
備乾燥した後、本乾燥として１８０℃で６０分間焼成
し、約１００ｎｍの塗膜を形成した。

【００２５】次に、製造工程１として、配向膜１にラビ
ングマシーン｛商品名：ＲＳＹＮ−８、飯沼ゲージ製作
所（株）製｝を用いて、ローラー速度２５０ｒｐｍ、ス
テージ速度１０ｍｍ／ｓ、毛先押し込み長さ０．１ｍｍ
の条件で、１回目のラビング処理を行った。

【００２６】次に、製造工程２として、石英基板に一部
アルミテープを貼り付けたマスク３を介して、光源６の
ＵＶ照射装置｛商品名：ＵＩＳ−５０１１ＤＵＢ８、ウ
シオ電機（株）製｝を用いて、配向膜１に対して法線方
向から照射エネルギーが１０Ｊ／ｃｍ²（５００ｓｅ
ｃ）の無偏光照射を行い、第１の配向処理部分４と第２
の配向処理部分５を形成した。

【００２７】ここで、本実施例において用いる光照射方
法は、無偏光（非偏光）を基板に対し法線方向から照射
するものであり、斜め方向から照射する方法や偏光光を
照射する方法より配向膜１の光反応効率が良く、短い照
射時間で配向処理を行えるといった効果が期待できる。

【００２８】次に、製造工程３として、配向膜１にラビ
ングマシーンを用いて、ローラー速度２５０ｒｐｍ、ス
テージ速度１０ｍｍ／ｓ、毛先押し込み長さ０．０４ｍ
ｍの条件で、１回目のラビング方向とは逆の方向から２
回目のラビング処理を行った。

【００２９】上記の方法で配向処理された配向膜１が成
膜されている透明基板２を互いに配向処理面を対向させ
て配置し、４．５０μｍのギャップを保つように張り合
わせ、複屈折率（Δｎ）が０．０７９｛商品名：ＺＬＩ
−４７９２、メルク・ジャパン（株）製｝のネマチック
性液晶を等方相またはネマチック相で注入し液晶表示素
子を得た。

【００３０】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、コントラストは１００で、第１の配向処
理部分４は１回目のラビング方向にプレチルト角が１°
程度発現し、第２の配向処理部分５は２回目のラビング
方向にプレチルト角が１°程度発現した。

【００３１】実施例２〜４．実施例１においては無偏光
を用いたが、偏光した光を照射することにより、照射時
間は無偏光よりは浪費するが、配向膜１の分子鎖を選択
的に分解、重合または異性化させることができ配向秩序
が向上するといった効果により、高プレチルト角及び高
コントラストを得ることができるといった効果が期待で
きる。

【００３２】又、実施例１においては基板に対し法線方
向から照射していたが、斜め方向から照射することで照
射時間は浪費するが、配向膜の分子鎖を選択的に分解、
重合または異性化させることができ配向秩序が向上する
といった効果により、高プレチルト角及び高コントラス
トを得ることができるといった効果が期待できる。

【００３３】そこで、実施例１の製造工程２について、
照射される光を偏光光に変え、もしくは、光の照射角度
を変えて、他は実施例１と同様にして液晶表示素子を作
製した。

【００３４】製造工程２において、偏光板７としてグラ
ンレーザープリズムを用いて偏光光とした光を法線方向
から照射し作製した素子を実施例２とした。

【００３５】また、製造工程２において、無偏光の光を
斜め４５°方向から照射し作製した素子を実施例３とし
た。また、製造工程２において、上記偏光光を斜め４５
°方向から照射し作製した素子を実施例４とした。

【００３６】実施例２〜４のそれぞれにおいて、液晶表
示素子の初期配向は良好に配向分割が出来ており、第１
の配向処理部分４は１回目のラビング方向にプレチルト
角が発現し、第２の配向処理部分５は２回目のラビング
方向にプレチルト角が発現し、高プレチルト角と高コン
トラストが得られた。その結果を表１に示す。

【００３７】

【表１】

【００３８】なお、表記中の二重丸は、上記液晶の配向
の乱れがなく、良好に配向分割ができていることを示
す。

【００３９】実施例５〜８．実施例１〜４のそれぞれに
対応して、製造工程１における１回目のラビング条件
が、ローラー速度２５０ｒｐｍ、ステージ速度１０ｍｍ
／ｓ、毛先押し込み長さ０．０４ｍｍで、製造工程３に
おける２回目のラビング条件が、ローラー速度２５０ｒ
ｐｍ、ステージ速度１０ｍｍ／ｓ、毛先押し込み長さ
０．１ｍｍで、各ラビング処理を行う以外は、実施例１
〜４のそれぞれと同様にして実施例５〜８の液晶表示素
子を作製した。

【００４０】これらの実施例においては、液晶表示素子
の初期配向は良好に配向分割が出来ており、第１の配向
処理部分４は２回目のラビング方向にプレチルト角が発
現し、第２の配向処理部分５は１回目のラビング方向に
プレチルト角が発現し、高プレチルト角と高コントラス
トが得られた。その結果を表１に示す。

【００４１】実施例９．実施例１で用いた配向膜１とは
異なる配向膜１ａを用いた以外は、実施例１と同様にし
て液晶表示素子を作製した。図２は本実施例の製造方法
を示す説明図である。

【００４２】配向膜１ａは、溶媒に対し２．０％の配向
剤溶液をスピナーにより塗布し（スピンコート条件：１
３００ｒｐｍ／３０ｓｅｃ）、８０℃で１分間予備乾燥
した後、本乾燥として１５０℃で１０分間焼成し、約５
０ｎｍの膜を形成したものである。

【００４３】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、コントラストは１００で、第１の配向処
理部分４は１回目のラビング方向にプレチルト角が１°
程度発現し、第２の配向処理部分５は２回目のラビング
方向にプレチルト角が１°程度発現した。

【００４４】又、実施例２〜８のそれぞれにおいて、実
施例９の配向膜１ａを用いた以外は、実施例２〜８のそ
れぞれと同様に液晶表示素子を作製しても、実施例２〜
８のそれぞれとほぼ同様の効果が得られた。

【００４５】実施例１０．大きさ３０ｍｍ×２４ｍｍ、
厚さ１．１ｍｍの透明電極付きガラス基板の透明電極面
に、溶媒に対し２．０％の配向剤溶液をスピナーにより
塗布し（スピンコート条件：１３００ｒｐｍ／３０ｓｅ
ｃ）、８０℃で１分間予備乾燥した後、本乾燥として１
５０℃で１０分間焼成し、約５０ｎｍの塗膜を形成し
た。

【００４６】次に、図３（ａ）のように製造工程１の前
工程として、配向膜１ａに光源６のＵＶ照射装置｛商品
名：ＵＩＳ−５０１１ＤＵＢ８、ウシオ電機（株）製｝
を用いて、配向膜１ａに対して法線方向から照射エネル
ギーが５ｍＪ／ｃｍ²の無偏光照射をおこなった。

【００４７】ここで、実施例９に前工程を入れることに
よって、配向膜１ａの組成をあらかじめ変化させておく
ことができるため、配向秩序が向上し、高プレチルト角
の発現及び高コントラストが期待できる。

【００４８】ここで、前工程を入れる場合、配向膜１ａ
は光照射により重合または異性化する分子構造を持つ
と、より好ましい。

【００４９】次に、図３（ｂ）のように製造工程１とし
て、配向膜１ａに、ラビングマシーン｛商品名：ＲＳＹ
Ｎ−８、飯沼ゲージ製作所（株）製｝を用いて、ローラ
ー速度２５０ｒｐｍ、ステージ速度１０ｍｍ／ｓ、毛先
押し込み長さ０．１ｍｍの条件で、１回目のラビング処
理を行った。

【００５０】次に、図３（ｃ）のように製造工程２とし
て、配向膜１ａに、石英基板に一部アルミテープを貼り
付けたマスク３を介して、光源６のＵＶ照射装置｛商品
名：ＵＩＳ−５０１１ＤＵＢ８、ウシオ電機（株）製｝
を用いて、配向膜１ａに対して法線方向から照射エネル
ギーが１０ｍＪ／ｃｍ²の無偏光照射を行い、第１の配
向処理部分４と第２の配向処理部分５を形成した。

【００５１】次に、図３（ｄ）のように製造工程３とし
て、配向膜１ａに、ラビングマシーンを用いて、ローラ
ー速度２５０ｒｐｍ、ステージ速度１０ｍｍ／ｓ、毛先
押し込み長さ０．０４ｍｍの条件で、１回目のラビング
方向とは逆方向から２回目のラビング処理を行った。

【００５２】上記の方法で配向処理された配向膜１ａが
成膜されている透明基板２を互いに配向処理面を対向さ
せて配置し、４．５０μｍのギャップを保つように張り
合わせ、複屈折率（Δｎ）が０．０７９｛商品名：ＺＬ
Ｉ−４７９２、メルク・ジャパン（株）製｝のネマチッ
ク性液晶を等方相またはネマチック相で注入し、本発明
を用いた液晶表示素子を得た。

【００５３】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は１回目のラビン
グ方向にプレチルト角が３°程度発現し、第２の配向処
理部分５は２回目のラビング方向にプレチルト角が３°
程度発現し、コントラストは２００であり、高プレチル
ト角と高コントラストが得られた。

【００５４】実施例１１．実施例１０において、前工程
の光照射を、偏光板７としてグランレーザープリズムを
用いて偏光光として照射した以外は、実施例１０と同様
に液晶表示素子を作製した。

【００５５】ここで、前工程を偏光光にすることによっ
て配向膜１ａの分子鎖の分解、重合または異性化を選択
的に行えるため、より配向秩序が向上し、実施例１０よ
り高コントラストが期待できる。

【００５６】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は１回目のラビン
グ方向にプレチルト角が発現し、第２の配向処理部分５
は２回目のラビング方向にプレチルト角が発現し、コン
トラストは２５０に向上した。その結果を表２に示す。

【００５７】

【表２】

【００５８】なお、表記中の二重丸は上記液晶の配向の
乱れがなく、良好に配向分割ができていることを示す。

【００５９】実施例１２〜１３．実施例１０〜１１のそ
れぞれにおいて、前工程として行った工程を、後工程と
して製造工程３の後に行った以外は、実施例１０〜１１
のそれぞれと同様に液晶表示素子を作製した。図４に本
実施例の製造方法を示す。

【００６０】後工程として、無偏光の光を法線方向から
照射し作製した素子を実施例１２とした。また、後工程
として、グランレーザープリズムを用いて偏光光とした
光を法線方向から照射し作製した素子を実施例１３とし
た。

【００６１】ここで、後工程を入れることにより、前工
程の時と同様に配向処理された部分の配向膜組成を変化
させることで配向秩序が向上し、高コントラストが期待
できる。

【００６２】また、後工程を入れる場合、配向膜は光照
射により重合または異性化する分子構造を持つと、より
好ましい。

【００６３】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は１回目のラビン
グ方向にプレチルト角が発現し、第２の配向処理部分５
は２回目のラビング方向にプレチルト角が発現し、高コ
ントラストが得られた。その結果を表２に示す。

【００６４】実施例１４〜１５．実施例１０〜１１のそ
れぞれにおいて、前工程の光照射角度を斜め４５°方向
から照射した以外は、実施例１０〜１１のそれぞれと同
様に液晶表示素子を作製した。

【００６５】前工程の光照射を斜めから行うことで配向
膜１ａの分子鎖の分解、重合または異性化を選択的に行
えるため、より配向秩序が向上し、高コントラスト及び
高プレチルト角が期待できる。

【００６６】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は１回目のラビン
グ方向にプレチルト角が発現し、第２の配向処理部分５
は２回目のラビング方向にプレチルト角が発現し、高プ
レチルト角と高コントラストが得られた。その結果を表
２に示す。

【００６７】実施例１６〜１７．実施例１２〜１３のそ
れぞれにおいて、後工程の光照射角度を斜め４５°方向
から照射した以外は、実施例１２〜１３のそれぞれと同
様に液晶表示素子を作製した。

【００６８】後工程の光照射を斜めから行うことで配向
膜１ａの分子鎖の分解、重合または異性化を選択的に行
えるため、より配向秩序が向上し、高コントラスト及び
高プレチルト角が期待できる。

【００６９】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は１回目のラビン
グ方向にプレチルト角が発現し、第２の配向処理部分５
は２回目のラビング方向にプレチルト角が発現し、高プ
レチルト角と高コントラストが得られた。その結果を表
２に示す。

【００７０】実施例１８．実施例１０において、製造工
程２のマスク３を介して行われる光照射が斜め４５°方
向から行われる以外は、実施例１０と同様にして液晶表
示素子を作製した。

【００７１】ここで、製造工程２のマスク３を介して行
われる光照射が斜め４５°方向から行われることによっ
て、実施例３同様、配向膜１ａの分子鎖の分解、重合ま
たは異性化を選択的に行えるため、より配向秩序が向上
し高コントラスト、高プレチルト角が期待出来る。

【００７２】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は１回目のラビン
グ方向にプレチルト角が発現し、第２の配向処理部分５
は２回目のラビング方向にプレチルト角が発現し、高コ
ントラストと高プレチルト角が得られた。その結果を表
２に示す。

【００７３】また、実施例１１〜１７のぞれぞれにおい
て、実施例１８と同様に行ってもほぼ同様の効果が得ら
れた。

【００７４】実施例１９．実施例１０において、製造工
程２のマスク３を介して行われる光照射が偏光光である
こと以外は、実施例１０と同様にして液晶表示素子を作
製した。

【００７５】ここで、製造工程２のマスク３を介して行
われる光照射が偏光光にすることによって、実施例２同
様、配向膜１ａの分子鎖の分解、重合または異性化を選
択的に行えるため、より配向秩序が向上し高コントラス
ト、高プレチルト角が期待出来る。

【００７６】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は１回目のラビン
グ方向にプレチルト角が発現し、第２の配向処理部分５
は２回目のラビング方向にプレチルト角が発現し、高コ
ントラストと高プレチルト角が得られた。その結果を表
２に示す。

【００７７】また、実施例１１〜１７のぞれぞれにおい
て、実施例１９と同様に行ってもほぼ同様の効果が得ら
れた。

【００７８】実施例２０．実施例１０において、製造工
程２のマスク３を介して行われる光照射が偏光光で斜め
４５°方向から行われる以外は、実施例１０と同様にし
て液晶表示素子を作製した。

【００７９】ここで、製造工程２のマスク３を介して行
われる光照射が偏光光で斜め４５°方向から行われるこ
とによって、実施例４同様、配向膜１ａの分子鎖の分
解、重合または異性化を選択的に行えるため、より配向
秩序が向上し高コントラスト、高プレチルト角が期待出
来る。

【００８０】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は１回目のラビン
グ方向にプレチルト角が発現し、第２の配向処理部分５
は２回目のラビング方向にプレチルト角が発現し、高コ
ントラストと高プレチルト角が得られた。その結果を表
２に示す。

【００８１】また、実施例１１〜１７のぞれぞれにおい
て、実施例２０と同様に行ってもほぼ同様の効果が得ら
れた。

【００８２】実施例２１．実施例１０において、１回目
のラビング条件がローラー速度２５０ｒｐｍ、ステージ
速度１０ｍｍ／ｓ、毛先押し込み長さ０．０４ｍｍで、
２回目のラビング条件がローラー速度２５０ｒｐｍ、ス
テージ速度１０ｍｍ／ｓ、毛先押し込み長さ０．１ｍｍ
である以外は、実施例１０と同様にして液晶表示素子を
作製した。

【００８３】ここで、１回目と２回目のラビング条件を
入れ替えることにより、実施例１０における第１の配向
処理部分４及び第２の配向処理部分５のプレチルト角発
現方向を反転させることができる。

【００８４】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、第１の配向処理部分４は２回目のラビン
グ方向にプレチルト角が３°程度発現し、第２の配向処
理部分５は１回目のラビング方向にプレチルト角が３°
程度発現し、プレチルト角発現方向が反転させることが
できた。その結果を表２に示す。

【００８５】また、実施例１１〜２０のぞれぞれにおい
て、ラビング条件を実施例２１と同様に行ってもほぼ同
様の効果が得られた。

【００８６】尚、上記実施の形態においては、光照射の
照射角度θは４５°もしくは９０°（法線方向）に限定
されるものではなく、１０°＜θ＜１７０°の範囲であ
ればよく、望ましくは３０°〜６０°、１２０°〜１５
０°の範囲であればよい。

【００８７】比較例．比較例として、例えば特開平５−
１９６９４２号公報に示される従来法を用いて液晶表示
素子を作成した。

【００８８】まず、大きさ３０ｍｍ×２４ｍｍ、厚さ
１．１ｍｍの透明電極付きガラス基板１２の透明電極面
に、溶媒に対し４．０％の配向剤溶液｛商品名：ＡＬ５
０４６、ＪＳＲ（株）製｝をスピナーにより塗布し（ス
ピンコート条件：３０００ｒｐｍ／３０ｓｅｃ）、８０
℃で１分間予備乾燥した後、本乾燥として１８０℃で６
０分間焼成し、約１００ｎｍの配向膜１１を形成した。

【００８９】次に、図５（ａ）のように、配向膜１１
に、ラビングマシーン｛商品名：ＲＳＹＮ−８、飯沼ゲ
ージ製作所（株）製｝を用いて、ローラー速度２５０ｒ
ｐｍ、ステージ速度１０ｍｍ／ｓ、毛先押し込み長さ
０．１ｍｍの条件で、１回目のラビング処理を行った。

【００９０】次に、図５（ｂ）のように、１回目のラビ
ング処理をされた配向膜１１上に、ポジ型レジスト｛商
品名：ＪＡＬＳ−３８１−Ｒ９、ＪＳＲ（株）製｝１８
をスピナーにより塗布し（スピンコート条件：１ｓｔ−
５００ｒｐｍ／５ｓｅｃ、２ｎｄ−１５００ｒｐｍ／２
５ｓｅｃ）、９０℃で１０分間乾燥させた。

【００９１】次に、図５（ｃ）のように、マスク１３を
介して光源６のＵＶ照射装置｛商品名：ＵＩＳ−５０１
１ＤＵＢ８、ウシオ電機（株）製｝を用いて、２７５ｍ
Ｊ／ｃｍ²の照射エネルギーになるように照射し、第１
の配向処理部分１４及び第２の配向処理部分１５を形成
した。

【００９２】次に、図５（ｄ）のように、現像液｛商品
名：ＣＤ−９０２、ＪＳＲ（株）製｝を用いて、エッチ
ングのためのｄｉｐｐｉｎｇを１分間、純水リンスを５
分間、９０℃で１０分間の乾燥といった条件下で行っ
た。

【００９３】次に、図５（ｅ）のように、１回目のラビ
ング方向とは逆方向から、ローラー速度２５０ｒｐｍ、
ステージ速度１０ｍｍ／ｓ、毛先押し込み長さ０．１ｍ
ｍの条件で、２回目のラビング処理を行った。

【００９４】次に、図５（ｆ）のように、専用剥離液
｛商品名：ＣＳ−１００１、ＪＳＲ（株）製｝を用い
て、レジスト剥離のためのｄｉｐｐｉｎｇを４分間、イ
ソプロピルアルコールによるリンスを１分間行い、９０
℃で１分間の乾燥といった条件下で行った。

【００９５】上記の方法で配向処理された配向膜１１が
成膜されている透明基板１２を互いに配向処理面を対向
させて配置し、４．５０μｍのギャップを保つように張
り合わせ、複屈折率（Δｎ）が０．０７９｛商品名：Ｚ
ＬＩ−４７９２、メルク・ジャパン（株）製｝のネマチ
ック性液晶を等方相またはネマチック相で注入し、本発
明を用いた液晶表示素子を得た。

【００９６】液晶表示素子の初期配向は良好に配向分割
が出来ており、コントラストは１００で、第１の配向処
理部分４は１回目のラビング方向にプレチルト角が１°
程度発現し、第２の配向処理部分５は２回目のラビング
方向にプレチルト角が１°程度発現した。

【００９７】初期配向は良好で配向分割もできていた
が、実施例１では３つの製造工程で配向分割処理が行
え、共通のラビング処理時間以外は最大で５００ｓｅｃ
のタクト時間だったのに対し、比較例１では、６つの製
造工程が必要で、ラビング処理時間エッチングやレジス
ト剥離といった工程では約４０分もの時間を浪費した。

【００９８】

【発明の効果】この発明に係る液晶表示素子の製造方法
は、透明基板上に液晶分子が配向可能な配向膜を形成す
る工程と、上記配向膜に任意の方向から１回目のラビン
グを行う工程と、上記１回目のラビングが施された配向
膜に、マスクを介して部分的に光照射を行う工程と、上
記光照射を施された配向膜に、上記１回目のラビング方
向とは異なる方向から２回目のラビングを行う工程とを
含むので、配向分割処理の工程数削減及びタクト時間の
短縮ができ、簡略な方法で配向分割処理ができるという
効果がある。

【００９９】又、１回目のラビングを行う工程の前工程
として、配向膜に光照射を行うので、配向膜の組成をあ
らかじめ変化させておくことで配向秩序が向上し、高プ
レチルト角の発現、高コントラストを得ることができる
という効果がある。

【０１００】又、２回目のラビングを行う工程の後工程
として、配向膜に光照射を行うので、配向処理された部
分の配向膜組成を変化させることで配向秩序が向上し、
高プレチルト角、高コントラストを得ることができると
いう効果がある。

【０１０１】又、光照射が無偏光で行われるので、配向
膜の光反応効率が良く、偏光光で行われるより照射時間
が短縮できるという効果がある。

【０１０２】又、光照射が偏光光で行われるので、配向
膜の分子鎖の分解、重合または異性化を選択的に行える
ため、配向秩序が向上し高コントラスト、高プレチルト
角を得ることができるという効果がある。

【０１０３】又、光照射の照射角度が１０°以上１７０
°以下の範囲であるので、配向膜の分子鎖の分解、重合
または異性化を選択的に行えるため、配向秩序が向上し
高コントラスト、高プレチルト角を得ることができると
いう効果がある。

【０１０４】又、マスクを介して部分的に光照射を施さ
れた配向膜は、該光照射の施された部分に２回目のラビ
ング方向のプレチルト角が発現し、光の照射されない部
分に１回目のラビング方向のプレチルト角が発現するの
で、所望の方向にプレチルト角を発現させることが可能
となり、良好な配向分割ができるという効果を有する。

【０１０５】又、マスクを介して部分的に光照射を施さ
れた配向膜は、該光照射の施された部分に１回目のラビ
ング方向のプレチルト角が発現し、光が照射されない部
分に２回目のラビング方向のプレチルト角が発現するの
で、所望の方向にプレチルト角を発現させることが可能
となり、良好な配向分割ができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る液晶表示素子の製造方法の実施
の形態を示す説明図である。

【図２】 本発明に係る液晶表示素子の製造方法の実施
の形態を示す説明図である。

【図３】 本発明に係る液晶表示素子の製造方法におい
て、前工程として光照射工程を加えた場合の実施例を示
す説明図である。

【図４】 本発明に係る液晶表示素子の製造方法におい
て、後工程として光照射工程を加えた場合の実施例を示
す説明図である。

【図５】 従来の液晶表示素子の製造方法を示す説明図
である。

【符号の説明】

１、１ａ、１１ 配向膜、 ２、１２ 透明基板、
３、１３ マスク、４、１４ 第１の配向処理部分、
５、１５ 第２の配向処理部分、６、１６ 光源、 ７
偏光板、 ８、１８ レジスト。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐竹 徹也 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 渕上 宏幸 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 脇田 佳寿子 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 蔵田 哲之 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2H090 HC05 HD14 LA09 LA16 MA10 MA15 MB02 MB03 MB14

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板上に液晶分子が配向可能な配向
   膜を形成する工程と、 上記配向膜に任意の方向から１回目のラビングを行う工
   程と、 上記１回目のラビングが施された配向膜に、マスクを介
   して部分的に光照射を行う工程と、 上記マスクを介して部分的に光照射を施された配向膜
   に、上記１回目のラビング方向とは異なる方向から２回
   目のラビングを行う工程とを含む液晶表示素子の製造方
   法。
2. 【請求項２】 １回目のラビングを行う工程の前工程と
   して、配向膜に光照射を行うことを特徴とする請求項１
   記載の液晶表示素子の製造方法。
3. 【請求項３】 ２回目のラビングを行う工程の後工程と
   して、配向膜に光照射を行うことを特徴とする請求項１
   記載の液晶表示素子の製造方法。
4. 【請求項４】 光照射が無偏光で行われることを特徴と
   する請求項１記載の液晶表示素子の製造方法。
5. 【請求項５】 光照射が偏光光で行われることを特徴と
   する請求項１記載の液晶表示素子の製造方法。
6. 【請求項６】 光照射の照射角度が１０°以上１７０°
   以下の範囲であることを特徴とする請求項１記載の液晶
   表示素子の製造方法。
7. 【請求項７】 マスクを介して部分的に光照射を施され
   た配向膜は、該光照射の施された部分に２回目のラビン
   グ方向のプレチルト角が発現し、光の照射されない部分
   に１回目のラビング方向のプレチルト角が発現すること
   を特徴とする請求項１記載の液晶表示素子の製造方法。
8. 【請求項８】 マスクを介して部分的に光照射を施され
   た配向膜は、該光照射の施された部分に１回目のラビン
   グ方向のプレチルト角が発現し、光が照射されない部分
   に２回目のラビング方向のプレチルト角が発現すること
   を特徴とする請求項１記載の液晶表示素子の製造方法。