JP2001066602A - 配向膜形成方法及び配向膜形成装置 - Google Patents

配向膜形成方法及び配向膜形成装置

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JP2001066602A
JP2001066602A JP24169199A JP24169199A JP2001066602A JP 2001066602 A JP2001066602 A JP 2001066602A JP 24169199 A JP24169199 A JP 24169199A JP 24169199 A JP24169199 A JP 24169199A JP 2001066602 A JP2001066602 A JP 2001066602A
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Teiji Saito
禎司 斉藤
Tetsuya Satake
徹也 佐竹
Toshiyuki Toyoshima
利之 豊島
Takahiro Nishioka
孝博 西岡
Tetsuyuki Kurata
哲之 蔵田
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶分子の配向を光照射により制御する際
の、配向処理工程数の削減及びタクト時間の短縮を目的
とする。 【解決手段】 配向膜３の配向を制御する際に、光源１
からの出射光を第１の偏光板２により偏光した第１の偏
光光を前記配向膜に照射し、前記配向膜を透過した第１
の偏光光の進行方向を第１の反射板６により変更し、変
更した偏光光を４分の１波長板７と第２の反射板８によ
って前記第１の偏光光と偏光方向の異なる第２の偏光光
に変換して前記配向膜に再照射する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子製造
工程において、液晶分子の配向を光照射により制御する
配向膜の形成方法及び形成装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示素子において、液晶分子を配向
させる技術に、布で液晶分子が配向可能な膜を擦り、そ
の方向に液晶分子を配向させる接触式のラビング法と、
偏光光を照射して液晶分子を任意の方向に配向させる非
接触式の光配向法がある。光配向法はラビング法と比較
すると、配向処理時に静電気、塵が発生せず、微細加工
にも有利であり、注目されている次世代配向技術であ
る。
【０００３】しかし、光配向法は、使用する液晶分子が
配向可能な膜によって偏光方向と垂直方向に液晶分子が
配向し、液晶デバイスには重要なプレチルト角を付与す
るためには、特開平８―３０４８２８号公報、特開平９
―５７４７号公報などで開示されているように、偏光光
の２回照射が必要となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな方法では、偏光方向を９０°回転させるか、または
透明基板を９０°回転させるという配向処理工程数が増
加し、さらに２回の照射が必要となり、作業工程数及び
タクト時間を削減できないという問題点を有していた。
【０００５】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
であって、液晶光配向制御技術における配向処理工程数
及びタクト時間を削減し、液晶表示素子の配向膜を形成
可能な配向膜形成方法及び配向膜形成装置を得ることを
目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の配向膜形
成方法は、配向膜の配向を制御することにより所望の配
向膜を完成させる配向膜の形成方法であって、光源から
の出射光を偏光した第１の偏光光を前記配向膜に照射
し、配向膜を透過した第１の偏光光の進行方向を変更
し、変更した偏光光を前記第１の偏光光と偏光方向の異
なる第２の偏光光に変換して前記配向膜に再照射するも
のである。
【０００７】本発明の第２の配向膜形成方法は、配向膜
の配向を制御することにより所望の配向膜を完成させる
配向膜の形成方法であって、光源からの出射光を進行方
向の異なる２つの光に分離し、分離した光の一方を第１
の偏光光として前記配向膜に照射し、分離した光の他方
を前記第１の偏光光とは偏光方向の異なる第２の偏光光
に変換して前記配向膜に照射するものである。
【０００８】本発明の第３の配向膜形成方法は、前記第
１の偏光光がＳ偏光光であって、前記第２の偏光光がＰ
偏光光であることを特徴とするものである。
【０００９】本発明の第４の配向膜形成方法は、上記第
１の配向膜形成方法において、配向膜を透過した第１の
偏光光を反射することにより前記配向膜を再透過させ、
再透過した光を反射し、この反射光を第２の偏光光に変
換して前記配向膜に再照射するものである。
【００１０】本発明の第５の配向膜形成方法は、上記第
１の配向膜形成方法において、配向膜を透過した第１の
偏光光を反射し、該反射光を第２の偏光光に変換して前
記配向膜に再照射するものである。
【００１１】本発明の第６の配向膜形成方法は、上記第
５の配向膜形成方法において、配向膜を透過した第１の
偏光光を入射方向と反対方向に反射するものである。
【００１２】本発明の第７の配向膜形成方法は、上記第
５の配向膜形成方法において、配向膜を透過した第１の
偏光光を入射方向に対して所定の角度をもって反射する
ものである。
【００１３】本発明の第１の配向膜形成装置は、配向膜
の配向を制御することにより所望の配向膜を完成させる
配向膜の形成装置であって、単一光源と、この光源から
の出射光を第１の偏光光に変換して前記配向膜に照射す
る第１の偏光手段と、前記配向膜を透過した第１の偏光
光の進行方向を変更する変更手段と、変更した偏光光を
前記第１の偏光光と偏光方向の異なる第２の偏光光に変
換して前記配向膜に再照射する第２の偏光手段を備えた
ものである。
【００１４】本発明の第２の配向膜形成装置は、配向膜
の配向を制御することにより所望の配向膜を完成させる
配向膜の形成装置であって、単一光源と、この光源から
の出射光を進行方向の異なる２つの光に分離する分離手
段と、分離した光の一方を第１の偏光光として前記配向
膜に照射する第１の偏光手段と、分離した光の他方を前
記第１の偏光光とは偏光方向の異なる第２の偏光光に変
換して前記配向膜に照射する第２の偏光手段とを備えた
ものである。
【００１５】本発明の第３の配向膜形成装置は、前記変
更手段が、配向膜を透過した第１の偏光光を反射するこ
とにより前記配向膜を再透過させる第１の反射手段と、
再透過した光を反射して前記配向膜に再照射させる第２
の反射手段により構成されたものである。
【００１６】本発明の第４の配向膜形成装置は、前記変
更手段が、配向膜を透過した第１の偏光光を反射するこ
とにより前記配向膜に再照射させる反射手段により構成
されたものである。
【００１７】本発明の第５の配向膜形成装置は、上記第
４の配向膜形成装置において、前記反射手段は、前記配
向膜と一体となるように設けられた反射板で構成される
ものである。
【００１８】本発明の第６の配向膜形成装置は、上記第
４の配向膜形成装置において、前記反射手段は、配向膜
を透過した第１の偏光光を入射方向と反対方向に反射さ
せるものである。
【００１９】本発明の第７の配向膜形成装置は、上記第
４の配向膜形成装置において、前記反射手段は、配向膜
を透過した第１の偏光光を入射方向に対して所定の角度
をもって反射させるものである。
【００２０】本発明の第８の配向膜形成装置は、前記分
離手段が、光源からの出射光の一部を反射させ、残りを
透過させるビームスプリッタまたはハーフミラーと、こ
のビームスプリッタまたはハーフミラーで反射あるいは
透過させられた光の少なくとも一方を反射して配向膜に
向かわしめる反射手段により構成されるものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．本発明の第１の実
施の形態を図１により説明する。図１は本発明の第１の
実施の形態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置
の概念図を示すものであり、以下その構成を作用ととも
に説明する。図１において、１は光源、２は第１の偏光
板、３は液晶分子が配向可能な膜として成膜された配向
膜、４は透明基板、６は第１の反射板、７は４分の１波
長板、8は第２の反射板である。
【００２２】透明基板４に液晶分子が配向可能な膜（以
下、配向膜と称する）３を塗布する。この配向膜は、透
明基板４上にスピンコートなどにより配向剤を塗布し、
加熱による焼成により塗膜を形成する。塗膜を室温〜10
0℃の温度で予備乾燥してもよい。
【００２３】ここで用いる配向膜３は、特に限定される
ものではなく、光照射により、膜の分子構造内に光分
解、光異性化または光重合する成分があればよい。
【００２４】次に、透明基板上に成膜された配向膜３に
Deep-UV、UVまたはHe-Neレーザーなどの光源１を用い、
図1に示すような斜め方向θ（例えば0°＜θ＜９０°）
から第１の偏光板２を介してＳ偏光光として照射する。
【００２５】ここで用いる光源１は、特に限定されるも
のではなく、配向膜の感度波長に対応したものであれば
よい。さらに入射角θは、液晶分子が配向可能な範囲で
設定されればよい。
【００２６】大きさ30×24mm、厚さ1.1mmの透明電極付
きガラス基板の透明電極面に、溶媒に対し4.0％の配向
剤溶液（商品名：AL1044、JSR（株）製）をスピナーに
より塗布し（スピンコート条件：3000rpm/30sec）、80
℃で1分間予備乾燥した後、本乾燥として180℃で60分間
焼成し、約100nmの塗膜を形成した。
【００２７】次に、光源１としてUV照射装置（商品名：
UIS-5011DUB8、ウシオ電機（株）製）、第１の偏光板２
としてグランレーザープリズム、40×40mm、厚さ1.1mm
の透明基板に銀をスパッタで蒸着した厚さ約200nmの第
１の反射板６と第２の反射板８、４分の１波長板７とし
てフレネルロム波長板を用いた。
【００２８】図１に示すように、光源１により第１の偏
光板２を介して第１の偏光光（Ｓ偏光光）として配向膜
３に照射され、透明基板を通過後、光の進行方向の変更
手段である第１の反射板６にて反射し、その反射光を上
記のフレネルロム波長板７と光の進行方向の変更手段で
ある第２の反射板８により、偏光方向を９０°回転させ
て第２の偏光光（Ｐ偏光光）として、上記配向膜３に再
照射する。
【００２９】このような構成とすることで、偏光方向が
ほぼ９０°異なる偏光光をほぼ同時に配向膜に照射し、
配向処理を行うことが可能となる。この明細書で、Ｓ偏
光とは基板に対して横方向に振動する光波を示し、Ｐ偏
光とは基板に対して縦方向に振動する光波を示すものと
する。
【００３０】基板表面法線方向に対して斜め４５°方向
から照射された光を、第１の偏光板によりＳ偏光光とし
て、第１の反射板上に配設された透明基板に、照射面照
度20mW/cm2（(株)オーク製作所製UV-35受光器使用）で2
00sec（4J/cm2）照射した。照射された光は、透明基板
表面及び第１の反射板表面でＳ偏光光として反射され、
４分の１波長板を介して第２の反射板に照射面照度15mW
/cm2（UV-35受光器使用）で入射し、ほぼ９０°偏光が
回転した第２の偏光光であるＰ偏光光として、15mW/cm2
（UV-35受光器使用）以下の照射面照度で配向膜に200se
c（3J/cm2以下）再照射することで、プレチルト角が第
２の偏光光が照射された方向に発現するように配向処理
を行った。
【００３１】上記の方法でそれぞれ配向処理した配向膜
が成膜されている２つの透明基板をその配向処理面を互
いに対向させて配置し、4.25μmのギャップを保つよう
に貼り合わせ、複屈折率（Δn）が0.0824のネマチック
性液晶を等方相またはネマチック相で注入し、本発明を
用いた液晶表示素子を得た。
【００３２】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光光の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００３３】比較例１．本実施の形態において、反射板
を用いず第１の偏光光と第２の偏光光を同方向から順番
に、且つ第二照射前に第１の偏光板の偏光方向を９０°
回転させる以外は、本実施の形態と同様に液晶表示素子
を作製した。
【００３４】初期配向は本実施の形態と同様に良好で、
第２の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレチ
ルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。し
かしながら、本実施の形態では、第１の偏光板の偏光方
向を回転させる工程はなく、照射時間が200secであった
のに対し、本比較例１では、第１の偏光板の偏光方向を
回転させる工程が入り、且つ照射時間は第１照射が200s
ec（4J/cm2）、第二照射が150sec（3J/cm2）と合計350s
ecであり、配向処理工程数及び照射時間を浪費し、本発
明の有効性が確認された。
【００３５】比較例２．本実施の形態において、反射板
を用いず第１の偏光光と第２の偏光光を同方向から順番
に、且つ第二照射前に透明基板を９０°回転させる以外
は本実施の形態と同様に液晶表示素子を作製した。
【００３６】初期配向は本実施の形態と同様に良好で、
第２の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレチ
ルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。し
かしながら、本実施の形態では、透明基板を回転させる
工程はなく、照射時間が200secであったのに対し、本比
較例２では、第１の偏光板の偏光方向を回転させる工程
が入り、且つ照射時間は第１照射が200sec（4J/cm2）、
第二照射が150sec（3J/cm2）と合計350secであり、配向
処理工程数及び照射時間を浪費し、本発明の有効性が確
認された。
【００３７】実施の形態２．本発明の第２の実施の形態
を図２により説明する。図２は本発明の第２の実施の形
態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置の概念図
を示すものである。図２においては、第１の実施の形態
における第１の反射板を不要とし、第１の偏光板２と配
向膜３との間に光の分離手段である無偏光キューブビー
ムスプリッタ９を配設し、無偏光キューブビームスプリ
ッタ９により２方向に偏光光を分離し、その偏光光の一
方は第１の偏光光として配向膜３に照射され、他方は第
３の反射板１０により反射され、その反射光が４分の１
波長板７及び第２の反射板８により、第１の偏光方向と
ほぼ９０°偏光方向が回転した第２の偏光光として前記
配向膜３に再照射するものであり、その他は第１の実施
の形態と同様の方法により、液晶表示素子を作製した。
また、無偏光キューブビームスプリッタ９の代わりにハ
ーフミラーを用いても良い。
【００３８】さらに、本実施の形態においては、無偏光
キューブビームスプリッタ９で反射された偏光光を、第
３の反射板１０等により反射させて配向膜に照射する構
成について示しているが、無偏光キューブビームスプリ
ッタ９を透過した偏光光を、第３の反射板１０等により
反射させて配向膜に照射するように配置構成してもよ
く、また、ビームスプリッタで透過、反射した偏光光の
両方をそれぞれ反射して配向膜に向かわしめるように構
成してもよい。
【００３９】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光光の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００４０】実施の形態３．本発明の第３の実施の形態
を図３により説明する。図３は本発明の第３の実施の形
態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置の概念図
を示すものである。本実施の形態は、第２の実施の形態
における光の分離手段である無偏光キューブビームスプ
リッタ９を、光源１と第１の偏光板２との間に配設する
ものである。無偏光キューブビームスプリッタで２方向
に光を分離し、その光の一方は偏光して第１の偏光光と
して配向膜３に照射され、他方は第３の反射板１０によ
り反射され、その反射光が第２の偏光板５及び第２の反
射板８により、第１の偏光方向とほぼ９０°偏光方向が
回転した第２の偏光光として前記配向膜３に再照射する
ものであり、その他は第１の実施の形態と同様の方法に
より、液晶表示素子を作製した。また無偏光キューブビ
ームスプリッタ９の代わりにハーフミラーを用いても良
い。
【００４１】さらに、本実施の形態においては、無偏光
キューブビームスプリッタ９で反射された偏光光を、第
３の反射板１０等により反射させて配向膜に照射する構
成について示しているが、無偏光キューブビームスプリ
ッタ９を透過した偏光光を、第３の反射板１０等により
反射させて配向膜に照射するように配置構成してもよ
く、また、ビームスプリッタで透過、反射した偏光光の
両方をそれぞれ反射して配向膜に向かわしめるように構
成してもよい。
【００４２】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光光の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００４３】実施の形態４．本発明の第４の実施の形態
を図４により説明する。図４は本発明の第４の実施の形
態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置の概念図
を示すものである。図４においては、第１の実施の形態
において、配向膜３が塗布されている透明基板４の裏面
に第１の反射板６を貼り一体形成させた以外は、第１の
実施の形態と同様の方法により、液晶表示素子を作製し
た。このような構成にすることで、簡単な構成で配向処
理を行うことが可能となる。
【００４４】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光光の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００４５】実施の形態５．本発明の第５の実施の形態
を図５により説明する。図５は本発明の第５の実施の形
態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置の概念図
を示すものである。図５に示すように、配向膜３、透明
基板４を透過した第１の偏光光を、透明基板に対し、第
１の偏光光の照射面と反対側に配置した４分の１波長板
７及び光の進行方向の変更手段である第２の反射板８に
より、第１の偏光光とほぼ９０°回転した第２の偏光光
として第１の偏光光の入射方向と反対方向に反射して第
１の偏光光の照射面と反対面から前記配向膜３に照射さ
せる構成とした以外は、第１の実施の形態と同様の方法
により、液晶表示素子を作製した。
【００４６】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光板の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００４７】実施の形態６．本発明の第６の実施の形態
を図６により説明する。図６は本発明の第６の実施の形
態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置の概念図
を示すものである。図６に示すように、配向膜３、透明
基板４を透過した第１の偏光光を、配向膜が塗布されて
いる透明基板の裏面に配設した４分の１波長板７及び光
の進行方向の変更手段である第１の反射板６により、第
１の偏光光とほぼ９０°回転した第２の偏光光として、
第１の偏光光の照射面と反対面から前記配向膜３に照射
させる構成とした以外は、第１の実施の形態と同様の方
法により、液晶表示素子を作製した。このような構成に
することで、簡単な構成で配向処理を行うことが可能と
なる。
【００４８】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光板の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００４９】実施の形態７．本発明の第７の実施の形態
を図７により説明する。図７は本発明の第７の実施の形
態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置の概念図
を示すものである。本実施の形態は、第６の実施の形態
における配向膜３が塗布されている透明基板４の裏面
に、光の進行方向の変更手段である第１の反射板６と４
分の１波長板７を貼り、基板と一体形成したものであ
る。その他は第１の実施の形態と同様の方法により、液
晶表示素子を作製した。このような構成にすることで、
極めて簡単な構成で配向処理を行うことが可能となる。
【００５０】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光板の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００５１】実施の形態８．本発明の第８の実施の形態
を図８により説明する。図８は本発明の第８の実施の形
態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置の概念図
を示すものである。図８に示すように、配向膜３と透明
基板４の間に光の進行方向の変更手段である第１の反射
板６と４分の１波長板７を貼り一体形成し、第１の偏光
光を第１の反射板６と４分の１波長板７によって偏光方
向をほぼ９０°回転させた反射光を第２の偏光光とし
て、第１の偏光光の照射面と反対面から照射する以外
は、第１の実施の形態と同様の方法により、液晶表示素
子を作製した。このような構成にすることで、極めて簡
単な構成で配向処理を行うことが可能となる。
【００５２】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光板の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００５３】実施の形態９．本発明の第９の実施の形態
を図９により説明する。図９は本発明の第９の実施の形
態における配向膜形成方法及び配向膜形成装置の概念図
を示すものである。図９に示すように、透明基板４の裏
面に光の進行方向の変更手段である第１の反射板６を貼
り、透明基板の表面に４分の１波長板７を貼り、その４
分の１波長板上に配向膜３を塗布し一体形成し、第１の
偏光光を第１の反射板６と４分の１波長板７によって偏
光方向をほぼ９０°回転させた反射光を第２の偏光光と
して、第１の偏光光の照射面と反対面から照射する以外
は、第１の実施の形態と同様の方法により、液晶表示素
子を作製した。このような構成にすることで、極めて簡
単な構成で配向処理を行うことが可能となる。
【００５４】液晶表示素子の初期配向は良好で、第２の
偏光板の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレ
チルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現した。
【００５５】以上、本発明を上記第１〜第９の実施の形
態に基づいて説明したが、本発明は上記第１〜第９の実
施の形態に限定されるものでは無く、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であるのは言うまでもな
い。
【００５６】例えば、第１〜第９の実施の形態において
は、第１の反射板、第２の反射板、第３の反射板それぞ
れが１枚の構成について示しているが、それぞれにおい
て２枚以上の反射板の構成で所望の方向に光を反射させ
る構成にしても良い。
【００５７】さらに本発明を用いて作製した液晶表示素
子は、液晶層を挟持する２つの透明基板のうち少なくと
も一つの透明基板の配向膜が本発明の方法によって配向
処理された基板であれば良いのは勿論である。
【００５８】
【発明の効果】本発明の第１の配向膜形成方法は、配向
膜の配向を制御することにより所望の配向膜を完成させ
る配向膜の形成方法であって、光源からの出射光を偏光
した第１の偏光光を前記配向膜に照射し、配向膜を透過
した第１の偏光光の進行方向を変更し、変更した偏光光
を前記第１の偏光光と偏光方向の異なる第２の偏光光に
変換して前記配向膜に再照射することにより、第２の偏
光光の偏光方向と平行方向に液晶分子は配向し、プレチ
ルト角は第２の偏光光が照射された方向に発現可能とな
り、配向処理工程数及びタクト時間を削減することが可
能となる。
【００５９】本発明の第２の配向膜形成方法は、配向膜
の配向を制御することにより所望の配向膜を完成させる
配向膜の形成方法であって、光源からの出射光を進行方
向の異なる２つの光に分離し、分離した光の一方を第１
の偏光光として前記配向膜に照射し、分離した光の他方
を前記第１の偏光光とは偏光方向の異なる第２の偏光光
に変換して前記配向膜に照射することにより、配向膜を
透過した第１の偏光光の進行方向を変更する工程を不要
とし、配向処理工程数及びタクト時間を削減することが
可能となる。
【００６０】本発明の第３の配向膜形成方法は、前記第
１の偏光光がＳ偏光光であって、前記第２の偏光光がＰ
偏光光であるので、第２の偏光光の偏光方向と平行方向
に液晶分子は配向し、プレチルト角は第２の偏光光が照
射された方向に発現可能となり、配向処理工程数及びタ
クト時間を削減することが可能となる。
【００６１】本発明の第４の配向膜形成方法は、上記第
１の配向膜形成方法において、配向膜を透過した第１の
偏光光を反射することにより前記配向膜を再透過させ、
再透過した光を反射し、この反射光を第２の偏光光に変
換して前記配向膜に再照射することにより、配向処理工
程数及びタクト時間を削減することが可能となる。
【００６２】本発明の第５の配向膜形成方法は、上記第
１の配向膜形成方法において、配向膜を透過した第１の
偏光光を反射し、該反射光を第２の偏光光に変換して前
記配向膜に再照射することにより、簡単な構成で配向処
理工程数及びタクト時間を削減することが可能となる。
【００６３】本発明の第６の配向膜形成方法は、上記第
５の配向膜形成方法において、配向膜を透過した第１の
偏光光を入射方向と反対方向に反射することにより、簡
単な構成で配向処理工程数及びタクト時間を削減するこ
とが可能となる。
【００６４】本発明の第７の配向膜形成方法は、上記第
５の配向膜形成方法において、配向膜を透過した第１の
偏光光を入射方向に対して所定の角度をもって反射する
ことにより、極めて簡単な構成で配向処理工程数及びタ
クト時間を削減することが可能となる。
【００６５】本発明の第１の配向膜形成装置は、配向膜
の配向を制御することにより所望の配向膜を完成させる
配向膜の形成装置であって、単一光源と、この光源から
の出射光を第１の偏光光に変換して前記配向膜に照射す
る第１の偏光手段と、前記配向膜を透過した第１の偏光
光の進行方向を変更する変更手段と、変更した偏光光を
前記第１の偏光光と偏光方向の異なる第２の偏光光に変
換して前記配向膜に再照射する第２の偏光手段を備えて
いるので、単一光源構成で、第２の偏光光の偏光方向と
平行方向に液晶分子は配向し、プレチルト角は第２の偏
光光が照射された方向に発現可能となり、配向処理工程
数及びタクト時間を削減して完成された配向膜を得るこ
とができる。
【００６６】本発明の第２の配向膜形成装置は、配向膜
の配向を制御することにより所望の配向膜を完成させる
配向膜の形成装置であって、単一光源と、この光源から
の出射光を進行方向の異なる２つの光に分離する分離手
段と、分離した光の一方を第１の偏光光として前記配向
膜に照射する第１の偏光手段と、分離した光の他方を前
記第１の偏光光とは偏光方向の異なる第２の偏光光に変
換して前記配向膜に照射する第２の偏光手段とを備えて
いるので、配向膜を透過した第１の偏光光の進行方向を
変更する変更手段を不要とし、単一光源構成で、配向処
理工程数及びタクト時間を削減して完成された配向膜を
得ることができる。
【００６７】本発明の第３の配向膜形成装置は、前記変
更手段が、配向膜を透過した第１の偏光光を反射するこ
とにより前記配向膜を再透過させる第１の反射手段と、
再透過した光を反射して前記配向膜に再照射させる第２
の反射手段により構成されているので、配向処理工程数
及びタクト時間を削減して完成された配向膜を得ること
ができる。
【００６８】本発明の第４の配向膜形成装置は、前記変
更手段が、配向膜を透過した第１の偏光光を反射するこ
とにより前記配向膜に再照射させる反射手段により構成
されているので、簡単な構成で配向処理工程数及びタク
ト時間を削減して完成された配向膜を得ることができ
る。
【００６９】本発明の第５の配向膜形成装置は、上記第
４の配向膜形成装置において、前記反射手段は、前記配
向膜と一体となるように設けられた反射板であることか
ら、簡単な構成で配向処理工程数及びタクト時間を削減
して完成された配向膜を得ることができる。
【００７０】本発明の第６の配向膜形成装置は、上記第
４の配向膜形成装置において、前記反射手段は、配向膜
を透過した第１の偏光光を入射方向と反対方向に反射さ
せることにより、簡単な構成で配向処理工程数及びタク
ト時間を削減して完成された配向膜を得ることができ
る。
【００７１】本発明の第７の配向膜形成装置は、上記第
４の配向膜形成装置において、前記反射手段は、配向膜
を透過した第１の偏光光を入射方向に対して所定の角度
をもって反射させることにより、極めて簡単な構成で配
向処理工程数及びタクト時間を削減して完成された配向
膜を得ることができる。
【００７２】本発明の第８の配向膜形成装置は、前記分
離手段が、光源からの出射光の一部を反射させ、残りを
透過させるビームスプリッタまたはハーフミラーと、こ
のビームスプリッタまたはハーフミラーで反射あるいは
透過させられた光の少なくとも一方を反射して配向膜に
向かわしめる反射手段により構成されているので、配向
膜を透過した第１の偏光光の進行方向を変更する変更手
段を不要とし、配向処理工程数及びタクト時間を削減し
て完成された配向膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【図２】 本発明の第２の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【図３】 本発明の第３の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【図４】 本発明の第４の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【図５】 本発明の第５の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【図６】 本発明の第６の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【図７】 本発明の第７の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【図８】 本発明の第８の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【図９】 本発明の第９の実施の形態における配向膜形
成方法及び配向膜形成装置の概念図である。
【符号の説明】
１ 光源、２ 第１の偏光板、３ 配向膜、４ 透明基
板、５ 第２の偏光板、６ 第１の反射板、７ ４分の
１波長板、８ 第２の反射板、９ ビームスプリッタ、
１０ 第３の反射板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 豊島 利之 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 西岡 孝博 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 蔵田 哲之 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2H090 HC05 HC18 LA08 LA09 LA16 LA20 MB12 MB14

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 配向膜の配向を制御することにより所望
    の配向膜を完成させる配向膜の形成方法であって、光源
    からの出射光を偏光した第１の偏光光を前記配向膜に照
    射し、配向膜を透過した第１の偏光光の進行方向を変更
    し、変更した偏光光を前記第１の偏光光と偏光方向の異
    なる第２の偏光光に変換して前記配向膜に再照射するこ
    とを特徴とする配向膜形成方法。
  2. 【請求項２】 配向膜の配向を制御することにより所望
    の配向膜を完成させる配向膜の形成方法であって、光源
    からの出射光を進行方向の異なる２つの光に分離し、分
    離した光の一方を第１の偏光光として前記配向膜に照射
    し、分離した光の他方を前記第１の偏光光とは偏光方向
    の異なる第２の偏光光に変換して前記配向膜に照射する
    ことを特徴とする配向膜形成方法。
  3. 【請求項３】 前記第１の偏光光がＳ偏光光であって、
    前記第２の偏光光がＰ偏光光であることを特徴とする請
    求項１または２記載の配向膜形成方法。
  4. 【請求項４】 配向膜を透過した第１の偏光光を反射す
    ることにより前記配向膜を再透過させ、再透過した光を
    反射し、この反射光を第２の偏光光に変換して前記配向
    膜に再照射することを特徴とする請求項１記載の配向膜
    形成方法。
  5. 【請求項５】 配向膜を透過した第１の偏光光を反射
    し、該反射光を第２の偏光光に変換して前記配向膜に再
    照射することを特徴とする請求項１記載の配向膜形成方
    法。
  6. 【請求項６】 配向膜を透過した第１の偏光光を入射方
    向と反対方向に反射することを特徴とする特徴とする請
    求項５記載の配向膜形成方法。
  7. 【請求項７】 配向膜を透過した第１の偏光光を入射方
    向に対して所定の角度をもって反射することを特徴とす
    る請求項５記載の配向膜形成方法。
  8. 【請求項８】 配向膜の配向を制御することにより所望
    の配向膜を完成させる配向膜の形成装置であって、単一
    光源と、この光源からの出射光を第１の偏光光に変換し
    て前記配向膜に照射する第１の偏光手段と、前記配向膜
    を透過した第１の偏光光の進行方向を変更する変更手段
    と、変更した偏光光を前記第１の偏光光と偏光方向の異
    なる第２の偏光光に変換して前記配向膜に再照射する第
    ２の偏光手段を備えたことを特徴とする配向膜形成装
    置。
  9. 【請求項９】 配向膜の配向を制御することにより所望
    の配向膜を完成させる配向膜の形成装置であって、単一
    光源と、この光源からの出射光を進行方向の異なる２つ
    の光に分離する分離手段と、分離した光の一方を第１の
    偏光光として前記配向膜に照射する第１の偏光手段と、
    分離した光の他方を前記第１の偏光光とは偏光方向の異
    なる第２の偏光光に変換して前記配向膜に照射する第２
    の偏光手段とを備えたことを特徴とする配向膜形成装
    置。
  10. 【請求項１０】 前記変更手段は、配向膜を透過した第
    １の偏光光を反射することにより前記配向膜を再透過さ
    せる第１の反射手段と、再透過した光を反射して前記配
    向膜に再照射させる第２の反射手段からなる請求項８記
    載の配向膜形成装置。
  11. 【請求項１１】 前記変更手段は、配向膜を透過した第
    １の偏光光を反射することにより前記配向膜に再照射さ
    せる反射手段からなる請求項８記載の配向膜形成装置。
  12. 【請求項１２】 前記反射手段は、前記配向膜と一体と
    なるように設けられた反射板であることを特徴とする請
    求項１１記載の配向膜形成装置。
  13. 【請求項１３】 前記反射手段は、配向膜を透過した第
    １の偏光光を入射方向と反対方向に反射させることを特
    徴とする請求項１１記載の配向膜形成装置。
  14. 【請求項１４】 前記反射手段は、配向膜を透過した第
    １の偏光光を入射方向に対して所定の角度をもって反射
    させることを特徴とする請求項１１記載の配向膜形成装
    置。
  15. 【請求項１５】 前記分離手段は、光源からの出射光の
    一部を反射させ、残りを透過させるビームスプリッタま
    たはハーフミラーと、このビームスプリッタまたはハー
    フミラーで反射あるいは透過させられた光の少なくとも
    一方を反射して配向膜に向かわしめる反射手段からなる
    ことを特徴とする請求項９記載の配向膜形成装置。
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