KR100304914B1 - 액정표시소자의배향장치및배향방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시소자(LCD, Liquid Crystal Display)에 관한 것으로, 정전기 및 먼지 발생으로 인한 소자의 신뢰성 및 생산성 저하를 개선하기에 적당하도록 한 레이저를 이용한 액정표시소자의 배향장치 및 배향방법에 관한 것이다.
이와 같은 본 발명의 액정표시소자 배향장치는 레이저광을 출력하는 코히어런트 광원, 상기 코히어런트 광원에서 출력된 광을 두 갈래로 분리하는 빔-스프릿터, 상기 빔-스프릿터에서 분리된 하나의 광을 기판쪽으로 반사시키는 미러와, 상기 빔-스프릿터로 부터의 출사광과, 상기 미러에서 반사되는 각각의 광을 넓은 평행광으로 만들어 두 평행광을 일정한 각도(θ)로 조사하는 렌즈부를 포함하여 구성되고, 액정표시소자의 배향방법은 일 레이저광을 두 갈래로 분리하고, 분리된 각각의 광을 넓은 평행광으로 만들어 두 평행광을 일정한 각도(θ)로 배향막이 도포된 기판에 조사하여 두 평행광의 간섭무늬에 의해 배향막에 미세 그루브를 형성한 것이다.

Description

액정표시소자의 배향장치 및 배향방법
본 발명은 액정표시소자(LCD, Liquid Crystal Display)에 관한 것으로, 특히 레이저를 이용한 액정표시소자의 배향장치 및 배향방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자(LCD) 특히 TN형 LCD와 강유전체(Ferro-electric) LCD는 액정분자가 기판의 표면에 대하여 일정한 방향으로 배열되어야만 한다.
따라서 액정분자를 일정 방향으로 배향하기 위하여 배향막을 형성하고 형성된 배향막에 일정 방향으로 그루부(groove)를 형성한다.
이와 같은 종래의 배향방법은 다음과 같다.
즉, 하층 유리기판에 박막트랜지스터의 어레이를 형성하고 그 위에 100∼200Å 정도의 두께로 유기막을 도포하여 안정화시킨 다음, 유기물표면을 면포 등으로 문질러서 (러빙법, Rubbing) 액정이 배향되도록 한다.
그리고 마찬가지로 상층 유리기판에도 배향막인 유기물을 도포하고 유기물표면을 문질러서 액정이 배향되도록 한다.
이와 같이 배향된 상,하 유리기판을 일정 공간을 갖도록 합착하여 상,하 유리기판 공간에 액정을 주입하므로 액정표시소자가 제조된다.
그러나 이와 같은 종래의 액정표시소자 배향방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 배향막 표면을 문질러서 배향하므로 부도체인 유리기판위에 정전기를 발생시키기 쉬우며 많은 먼지 입자를 발생시킨다. 따라서 발생된 정전기는 주위의 전위와 물체의 기하학적 배치등이 달라짐에 따라 박막트랜지스터의 금속 전극 라인사이에 고전압이 생성되며, 이 정전기가 금속라인 사이의 게이트 절연막의 취약부를 통하여 방전되어 절연막이 파괴되므로 소자의 신뢰성 및 생산성이 저하된다.
둘째, 발생된 먼지 등은 높은 청정도를 요구하는 후속 공정에 악 영향을 주게되므로 배향막 러빙공정은 일괄공정 라인의 격리된 공간에서 수행해야하고 세심한 세척공정을 필요로 한다. 따라서 공정이 복잡하고 생산단가가 증가하게 된다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 정전기 및 먼지발생을 방지하여 소자의 신뢰도 및 생산성을 향상 시키는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 레이저광을 출력하는 코히어런트 광원, 상기 코히어런트 광원에서 출력된 광을 두 갈래로 분리하는 빔-스프릿터, 상기 빔-스프릿터에서 분리된 하나의 광을 기판쪽으로 반사시키는 미러와, 상기 빔-스프릿터로 부터의 출사광과, 상기 미러에서 반사되는 각각의 광을 넓은 평행광으로 만들어 두 평행광을 일정한 각도(θ)로 조사하는 렌즈부를 포함하여 액정표시소자의 배향장치가 구성되고, 액정표시소자의 배향방법은 일 레이저광를 두 갈래로 분리하고, 분리된 각각의 광을 넓은 평행광으로 만들어 두 평행광을 일정한 각도(θ)로 배향막이 도포된 기판에 조사하여 두 평행광의 간섭무늬에 의해 배향막에 미세 그루브를 형성한 것이다.
상기의 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
제 1 도는 본 발명 제 1 실시예의 배향장치 구성도로써, 레이저광을 출력하는 코히어런트 광원(이산화탄소 레이저, 아르곤 레이저, YAG:Nd 레이저 등)(1)과, 상기 코히어런트 광원(1)에서 출력된 광을 두 갈래로 분리하는 빔-스프릿터(Beam-Splitter)(2)와, 오목렌즈(3)(4) 및 볼록렌즈(5)(6) 등으로 이루어져 상기 빔-스프릿터(2)에서 분리된 각각의 광을 넓은 평행광으로 만들어 두 평행광을 일정한 각도(θ)로 조사하는 렌즈부(8)와, 상기 빔-스프릿터(2)에서 분리된 하나의 광을 기판쪽으로 반사시키는 미러(Mirror)(7)를 포함하여 구성된다.
그리고, 본 발명의 액정표시소자 배향방법은 다음과 같다.
즉, 종래와 같이 유리기판에 배향막을 도포한 상태에서 코히어런트(Coherent) 광원(이산화탄소 레이저, 아르곤 레이저, YAG:Nd 레이저 등)(1)을 이용하여 코히어런트 광원(1)에서 출력된 광을 빔-스프릿터(Beam-Splitter)(2)를 통해 두 갈래로 분리하고, 분리된 각각의 광을 오목렌즈(3)(4) 및 볼록렌즈(5)(6)를 통해 넓은 평행광으로 만들어 두 평행광을 일정한 각도(θ)로 배향막이 도포된 기판에 조사한다.
여기서 빔 스프릿터(2)에서 분리된 광을 반사 시키는 미러(Mirror)(7)의 방향을 조절하므로써 각도(θ)를 조절할 수 있다. 그러면 배향막 표면에서는 위치에 따라 주기적인 간섭 무늬가 나타나게 된다.
이때 배향기판에서의 간섭무늬 간격(L) 식(a)와 같다.
L = λ /sinθ ....... (a)
(단, λ는 레이저 광의 파장, θ는 두갈래 빔의 어긋난 각도)
따라서 단지 두 갈래 레이저 광의 각도를 조절하므로써 용이하게 간섭무늬의 간격을 조절할 수 있으며 간섭무늬의 밝은 부분은 강한 레이저 광에너지에 의해 선택적으로 변형되거나 증발시킬 수 있으므로 배향막에 필요한 마이크로 그루브(micro-groove)를 만들 수 있다.
이러한 미세 표면 구조는 레이저 광의 특성에 의해 일정한 방향과 간격을 가지므로 액정주입시 액정의 배열이 조절된다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 액정표시소자 배향방법에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 물리적 접촉과 마찰이 없이 배향되므로 세척공정 등이 불필요 하므로써 공정이 단순화 되고 수율이 향상된다.
둘째, 정전기 및 먼지가 발생되지 않으므로 이로 인해 발생되는 소자의 특성저하를 방지할 수 있다.
제 1 도는 본 발명 제 1 실시예의 배향장치 구성도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1 : 코히어런트 광원 2 : 빔-스프릿터
3, 4 : 오목렌즈 5, 6 : 볼록렌즈
7 : 미러 8 : 렌즈부

Claims (2)

  1. 레이저광을 출력하는 코히어런트 광원,
    상기 코히어런트 광원에서 출력된 광을 두 갈래로 분리하는 빔-스프릿터,
    상기 빔-스프릿터에서 분리된 하나의 광을 기판쪽으로 반사시키는 미러와,
    상기 빔-스프릿터로 부터의 출사광과,
    상기 미러에서 반사되는 각각의 광을 넓은 평행광으로 만들어 두 평행광을 일정한 각도(θ)로 조사하는 렌즈부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향장치.
  2. 일 레이저광을 두 갈래로 분리하고, 분리된 각각의 광을 넓은 평행광으로 만들어 두 평행광을 일정한 각도(θ)로 배향막이 도포된 기판에 조사하여 두 평행광의 간섭무늬에 의해 배향막에 미세 그루브를 형성함을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향방법.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100538700B1 (ko) * 1998-12-19 2006-03-22 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 디스플레이 소자의 얼라인 장치
KR100891290B1 (ko) * 2007-06-22 2009-04-06 주식회사 에이디피엔지니어링 액정표시장치용 배향막 형성장치 및 이를 이용한 배향막형성방법
KR100931605B1 (ko) * 2007-09-18 2009-12-14 주식회사 에이디피엔지니어링 액정표시장치용 배향막 형성장치 및 이를 이용한 배향막형성방법
KR100932552B1 (ko) * 2002-12-13 2009-12-17 엘지디스플레이 주식회사 가변 시야각을 갖는 액정 표시장치
US8125598B2 (en) 2008-08-06 2012-02-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of forming an alignment layer, and apparatus for forming the alignment layer
CN105425476A (zh) * 2016-01-04 2016-03-23 京东方科技集团股份有限公司 配向膜的制作装置和制作方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990057123A (ko) * 1997-12-29 1999-07-15 김윤 이온빔을 이용한 액정배향막의 제조방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6327815A (ja) * 1986-07-22 1988-02-05 Victor Co Of Japan Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH03293636A (ja) * 1990-04-12 1991-12-25 Alps Electric Co Ltd 液晶表示素子の配向処理方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6327815A (ja) * 1986-07-22 1988-02-05 Victor Co Of Japan Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH03293636A (ja) * 1990-04-12 1991-12-25 Alps Electric Co Ltd 液晶表示素子の配向処理方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100538700B1 (ko) * 1998-12-19 2006-03-22 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 디스플레이 소자의 얼라인 장치
KR100932552B1 (ko) * 2002-12-13 2009-12-17 엘지디스플레이 주식회사 가변 시야각을 갖는 액정 표시장치
KR100891290B1 (ko) * 2007-06-22 2009-04-06 주식회사 에이디피엔지니어링 액정표시장치용 배향막 형성장치 및 이를 이용한 배향막형성방법
KR100931605B1 (ko) * 2007-09-18 2009-12-14 주식회사 에이디피엔지니어링 액정표시장치용 배향막 형성장치 및 이를 이용한 배향막형성방법
US8125598B2 (en) 2008-08-06 2012-02-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of forming an alignment layer, and apparatus for forming the alignment layer
CN105425476A (zh) * 2016-01-04 2016-03-23 京东方科技集团股份有限公司 配向膜的制作装置和制作方法
CN105425476B (zh) * 2016-01-04 2018-06-15 京东方科技集团股份有限公司 配向膜的制作装置和制作方法

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