JPS63141628A - シラン類の除去方法 - Google Patents
シラン類の除去方法Info
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- JPS63141628A JPS63141628A JP61287718A JP28771886A JPS63141628A JP S63141628 A JPS63141628 A JP S63141628A JP 61287718 A JP61287718 A JP 61287718A JP 28771886 A JP28771886 A JP 28771886A JP S63141628 A JPS63141628 A JP S63141628A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はシラン類の除去方法に関し、さらに詳細には半
導体製造工程等から排出されるガス中に含有されるシラ
ン類の除去方法に関する。
導体製造工程等から排出されるガス中に含有されるシラ
ン類の除去方法に関する。
近年、半導体工業の発展とともにシラン類の使用量が著
しく増加している。シラン類は結晶性シリコン、アモル
ファスシリコン、シリコンナイトライド、シリコンカー
バイドなどの製造に使われるだけでなく、酸化シリコン
膜の生成にも用いられる。
しく増加している。シラン類は結晶性シリコン、アモル
ファスシリコン、シリコンナイトライド、シリコンカー
バイドなどの製造に使われるだけでなく、酸化シリコン
膜の生成にも用いられる。
シラン類としてはモノシランおよびジシランが代表的化
合物である。シラン類は燃焼範囲が広くまた条件によっ
ては空気中で自然発火するので非常に危険であり、また
吸入すると人体にも悪影響をおよぼすので大気に放出す
るに先立って除去する必要がある。
合物である。シラン類は燃焼範囲が広くまた条件によっ
ては空気中で自然発火するので非常に危険であり、また
吸入すると人体にも悪影響をおよぼすので大気に放出す
るに先立って除去する必要がある。
従来、シラン類を含有する排ガスを処理するには、たと
えば特開昭５６−８４６１９号公報および特開昭５７−
９４３２３号公報に示されるように苛性ソーダなどのア
ルカリ性水溶液で洗浄して湿式除去する方法 ・が採
用されてきた。
えば特開昭５６−８４６１９号公報および特開昭５７−
９４３２３号公報に示されるように苛性ソーダなどのア
ルカリ性水溶液で洗浄して湿式除去する方法 ・が採
用されてきた。
アルカリ水溶液による洗浄方法は、簡便なためスプレー
塔式、ジェットスクラバ一式、多孔仮式、バブリング式
など種々の気液接触方法で実用されている。アルカリ水
溶液によるシラン類の吸収分解反応はモノシランを例に
とると、次のような量論式で進むことが知られている。
塔式、ジェットスクラバ一式、多孔仮式、バブリング式
など種々の気液接触方法で実用されている。アルカリ水
溶液によるシラン類の吸収分解反応はモノシランを例に
とると、次のような量論式で進むことが知られている。
５ｉＨａ ＋ ２ Ｎａ０）１ ＋ ＨｚＯ−’ｐ Ｎ
ａ、５ｉＯｉ ＋ ４ Ｉｔ、−（ｔｌしかしこの反応
は比較的遅く、このためシラン類の除去率を増すために
、除去装置を大きくするか、あるいは許容される範囲内
のサイズの装置内で除去率が不十分であっても妥協する
かのいずれかの選択をしなければならないという問題点
があった。
ａ、５ｉＯｉ ＋ ４ Ｉｔ、−（ｔｌしかしこの反応
は比較的遅く、このためシラン類の除去率を増すために
、除去装置を大きくするか、あるいは許容される範囲内
のサイズの装置内で除去率が不十分であっても妥協する
かのいずれかの選択をしなければならないという問題点
があった。
本発明者らは、これら従来技術の問題点を改善すべく排
ガス中などに含有されているシラン類をアルカリ水溶液
で洗浄、除去する方法について鋭意検討した結果、アル
カリ水溶液にアセトン及び／又はメチルエチルケトンを
添加すると、前記（１）の反応が著しく加速されること
を見出し、本発明を完成した。
ガス中などに含有されているシラン類をアルカリ水溶液
で洗浄、除去する方法について鋭意検討した結果、アル
カリ水溶液にアセトン及び／又はメチルエチルケトンを
添加すると、前記（１）の反応が著しく加速されること
を見出し、本発明を完成した。
すなわち本発明は、有毒成分としてシラン類を含有する
ガスとアルカリ水溶液とを接触させるシラン類の除去方
法において、アセトン及び／又はメチルエチルケトン（
以下、ケトン類と記す）を添加してなるアルカリ水溶液
を使用することを特徴とするシラン類の除去方法である
。
ガスとアルカリ水溶液とを接触させるシラン類の除去方
法において、アセトン及び／又はメチルエチルケトン（
以下、ケトン類と記す）を添加してなるアルカリ水溶液
を使用することを特徴とするシラン類の除去方法である
。
本発明によって除去されるシラン類は主にモノシラン、
ジシランであるが、ハロゲン化シランにも有効である。
ジシランであるが、ハロゲン化シランにも有効である。
本発明はシラン類が窒素、水素、アルゴン、ヘリウムお
よび空気などに含有されるガスに適用される。
よび空気などに含有されるガスに適用される。
本発明で使用されるアルカリ性物質としては、通常、水
溶性のものであり、例えば苛性ソーダ、苛性カリのよう
なアルカリ金属の水酸化物、アルカリ金属やアルカリ土
類金属の弱酸性塩、アンモニア、メチルアミンなどのア
ミン類、水酸化テトラアルキルアンモニウム（一般式Ｒ
，Ｒ２Ｒ３Ｒ，，−Ｎ ”ＯＨ−； ここでＲ＋、Ｒｚ
、Ｉｈ、Ｒ＜はそれぞれ水素または炭素数１〜８の置換
または非置換脂肪族または芳香族炭化水素を示す）など
があげられる。これらの中でも苛性ソーダ、苛性カリお
よび水酸化テトラアルキルアンモニウムが好ましい。水
酸化テトラアルキルアンモニウムとしては、水酸化テト
ラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウ
ム、コリンなどが代表的な化合物である。
溶性のものであり、例えば苛性ソーダ、苛性カリのよう
なアルカリ金属の水酸化物、アルカリ金属やアルカリ土
類金属の弱酸性塩、アンモニア、メチルアミンなどのア
ミン類、水酸化テトラアルキルアンモニウム（一般式Ｒ
，Ｒ２Ｒ３Ｒ，，−Ｎ ”ＯＨ−； ここでＲ＋、Ｒｚ
、Ｉｈ、Ｒ＜はそれぞれ水素または炭素数１〜８の置換
または非置換脂肪族または芳香族炭化水素を示す）など
があげられる。これらの中でも苛性ソーダ、苛性カリお
よび水酸化テトラアルキルアンモニウムが好ましい。水
酸化テトラアルキルアンモニウムとしては、水酸化テト
ラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウ
ム、コリンなどが代表的な化合物である。
これらの化合物は単独であるいは混合物とじて水溶液の
形で用いられるが、その濃度は通常は１〜６０ｉｎ ｔ
χの範囲とされる。水酸化テトラアルキルアンモニウム
を用いるときは６０−ｔχよりも高濃度であっても反応
には同等悪影響を及ぼすものではないが、コストが高く
なるため得策ではなく、苛性ソーダや苛性カリの場合は
、６０ｗ ｔ％以上の濃度ではケトン類との相互溶解度
の関係などから好ましくない。また濃度が１ｗｔ％以下
では吸収液単位容量当たりのシラン類の除去能力が小さ
くなるので不経済である。
形で用いられるが、その濃度は通常は１〜６０ｉｎ ｔ
χの範囲とされる。水酸化テトラアルキルアンモニウム
を用いるときは６０−ｔχよりも高濃度であっても反応
には同等悪影響を及ぼすものではないが、コストが高く
なるため得策ではなく、苛性ソーダや苛性カリの場合は
、６０ｗ ｔ％以上の濃度ではケトン類との相互溶解度
の関係などから好ましくない。また濃度が１ｗｔ％以下
では吸収液単位容量当たりのシラン類の除去能力が小さ
くなるので不経済である。
本発明においては前記のアルカリ水溶液にケトン類とし
てアセトン及び／又はメチルエチルケトンが添加された
混合溶液が用いられる。アルカリ水溶液１００容に対す
るケトン類の添加割合は実用上、通常は１〜３００容と
され、好ましくは５〜１００容とされる。ケトン類の添
加量が１容よりも少ない場合には添加の効果が少なく、
３００容よりも多い場合には、アルカリ量が相対的に減
少するため、吸収単位容積当たりのシラン類の除去能力
が小さくなる。
てアセトン及び／又はメチルエチルケトンが添加された
混合溶液が用いられる。アルカリ水溶液１００容に対す
るケトン類の添加割合は実用上、通常は１〜３００容と
され、好ましくは５〜１００容とされる。ケトン類の添
加量が１容よりも少ない場合には添加の効果が少なく、
３００容よりも多い場合には、アルカリ量が相対的に減
少するため、吸収単位容積当たりのシラン類の除去能力
が小さくなる。
本発明に用いられる気液接触装置としては、従来公知の
型式のもので良く、例えばスプレー塔、充填塔、多孔板
、ジェットスクラバー、ベンチュリースクラバー、バブ
リング式などであり、バッチ方式、連続方式のいずれで
も用いることができる。気液接触時間は装置の型式、接
触効率、ガス中のシラン類の濃度などによって異なり、
−概には特定できないが、それぞれの処理条件に応じて
設定される。また気液接触温度には特に制限はないが、
ケトン類の蒸発による逸散を防止するなどの見地から１
００℃以下が好ましく、通常は常温でよく、特に加熱を
必要としない。処理圧は一般的には常圧であるが、減圧
または加圧状態であってもよい。
型式のもので良く、例えばスプレー塔、充填塔、多孔板
、ジェットスクラバー、ベンチュリースクラバー、バブ
リング式などであり、バッチ方式、連続方式のいずれで
も用いることができる。気液接触時間は装置の型式、接
触効率、ガス中のシラン類の濃度などによって異なり、
−概には特定できないが、それぞれの処理条件に応じて
設定される。また気液接触温度には特に制限はないが、
ケトン類の蒸発による逸散を防止するなどの見地から１
００℃以下が好ましく、通常は常温でよく、特に加熱を
必要としない。処理圧は一般的には常圧であるが、減圧
または加圧状態であってもよい。
ケトン類を添加したアルカリ水溶液を用いる本発明の方
法は従来の方法と比較し、半導体製造工程などから排出
されるシラン類を有害成分として含有するガスからこれ
らの有害成分を極めて効率良く除去することができる。
法は従来の方法と比較し、半導体製造工程などから排出
されるシラン類を有害成分として含有するガスからこれ
らの有害成分を極めて効率良く除去することができる。
実施例１〜４、比較例１〜３
内容積２５０ｍ１の市の瀬式バブラーを使用し、アルカ
リ水溶液Ａｍｆに、ケトン類（１５０−Ａ）ｍ ｊ２を
添加したそれぞれの混合溶液を用いてシラン類の除去実
験を行った。室温でモノシラン０．６１ ／ｈｒと窒素
３０ Ｅ ／ｈｒの混合ガスをバブラーに流通させて反
応させ、バブラー人口及び出口のモノシランの濃度をガ
スクロマトグラフで分析して除去率を調べた。比較例と
してケトン類を添加せず、アリカリ水溶液１５０ｍ Ａ
のみの場合について同様に実験を行った。実施例１〜４
及び比較例１〜３の結果を第１表に示す。
リ水溶液Ａｍｆに、ケトン類（１５０−Ａ）ｍ ｊ２を
添加したそれぞれの混合溶液を用いてシラン類の除去実
験を行った。室温でモノシラン０．６１ ／ｈｒと窒素
３０ Ｅ ／ｈｒの混合ガスをバブラーに流通させて反
応させ、バブラー人口及び出口のモノシランの濃度をガ
スクロマトグラフで分析して除去率を調べた。比較例と
してケトン類を添加せず、アリカリ水溶液１５０ｍ Ａ
のみの場合について同様に実験を行った。実施例１〜４
及び比較例１〜３の結果を第１表に示す。
実施例５
実施例１〜４と同様に市の瀬式バブラーにてガスだけを
モノシランの代わりにジシランを用いてその除去率を調
べた。その結果を第１表を示す。
モノシランの代わりにジシランを用いてその除去率を調
べた。その結果を第１表を示す。
第１表
ＭＥＫ メチルエチルケトン
＊ ジシラン
特許出願人 日本バイオニクス株式会社代表者 裔 崎
文 夫
文 夫
Claims (1)
- 有毒成分としてシラン類を含有するガスとアルカリ水溶
液とを接触させるシラン類の除去方法において、アセト
ン及び／又はメチルエチルケトンを添加してなるアルカ
リ水溶液を使用することを特徴とするシラン類の除去方
法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61287718A JPS63141628A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | シラン類の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61287718A JPS63141628A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | シラン類の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63141628A true JPS63141628A (ja) | 1988-06-14 |
Family
ID=17720843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61287718A Pending JPS63141628A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | シラン類の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63141628A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0684067A1 (en) * | 1994-05-26 | 1995-11-29 | Tama Chemicals Co., Ltd. | Process for treating acidic exhaust gas |
-
1986
- 1986-12-04 JP JP61287718A patent/JPS63141628A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0684067A1 (en) * | 1994-05-26 | 1995-11-29 | Tama Chemicals Co., Ltd. | Process for treating acidic exhaust gas |
| KR950031187A (ko) * | 1994-05-26 | 1995-12-18 | 시미즈 슘뻬이 | 산성 배가스의 처리방법 |
| CN1069221C (zh) * | 1994-05-26 | 2001-08-08 | 多摩化学工业株式会社 | 酸性废气的处理方法 |
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