JPS63140436A - 相変化型光デイスクの記録媒体薄膜用複合酸化物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、記録・消去の繰り返しに対してすぐれた安
定性を示すほか、雰囲気に対する経時的安定性にもすぐ
れ、さらに記録媒体薄膜相互の特性が均一で、特性バラ
ツキがきわめて小さい相変化型光ディスクの記録媒体薄
膜用複合酸化物に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、樹脂やアルミナなどのセラミックの基体の表面
に、スパッタリング法や物理蒸着法、さらに塗布法など
により、　Ｔｅあるいは５ｅｆｘ主成分とするカルコゲ
ナイド系材料からなる記録媒体薄膜を被覆形成してなる
光ディスクが知ら飢でいる。

この光ディスクにおいては、薄膜を結晶状態からガラス
状態にした時に記録が行なわれ、逆にガラス状態から結
晶状態に戻した時に消去できるものであり、このように
ガラス相と結晶相を行ったり来たりすることによって記
録と消去が繰り返し行なわれるものである。すなわち、
記録を行なう場合には、まず記録する薄膜全体を加熱し
て、結晶化し、この結晶化しに薄膜に出力の冨いレーザ
ーを当てると、レーザーが当った部分は、照射を止める
と急冷されてガラス状態になり、こうしてディスク上に
情報が蓄えられ、−吉相変化で光ディスクに書き込んだ
情報は、急冷してガラス相になった部分よりやや大きめ
に光を当てると１元の結晶に戻り、この動作を繰り返す
ことによって光ディスクに書き込み、消去が行なわれる
ものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

したがって、光ディスクの記録媒体薄膜には、（１）記
録・消去の繰り返しに対する安定性、（２）雰囲気に対
する安定性、 （３）記録媒体薄膜相互の特性の均一性。

が要求されるか、上記のカルコゲナイド系材料を含め、
現在提案されている多数の記録媒体薄膜用材料は、これ
らの特性を十分満足して具備するものではないのが現状
である。

〔問題点を解決するための手段〕

そこで、本発明者等は、上述のような観点から。

よりすぐれた特性を有する光ディスクの記録媒体薄膜用
材料を開発すべく研究を行なった結果、記録媒体薄膜を
、第１図のＴｅＯ２ＴＡ！２Ｏ−ＰｂＯ三元系状態図に
２いて。

Ａ点（ＴｅＯ２：　９５％、　Ｔ／２０　：　５％）、
Ｂ点（ＴｅＯ２：　５０％、’ｒｚ２ｏ：ｓｏ％）、０
点（ＰｂＯ：　５０％、　ＴｅＯ２：　５０％）、およ
びＤ点（ＴｅＯ２：　９５％、　ＰｂＯ：　５％）。

を直線で結んだ範囲内の組成（以上モル％）を有する複
合酸化物で構成すると、従来材料で形成された記録媒体
薄膜に比して、記録・消去の繰り返しに対する安定性並
びに雰囲気に対する経時的安定性に丁ぐれ、さらに記録
媒体薄膜相互の特性の均一性が著しく向上するようにな
って特性バラツキがきわめて小さくなるという知見を得
なのである。

この発明は、上記知見にもとづいてなされたものであり
、かつ複合酸化物の組成は、多数の実験結果にもとづい
てなされたものであって、上記の組成範囲から外れた組
成になると、記録・消去の繰り返しに対する安定性、雰
囲気に対する経時的安定性、および特性の均一性のうち
の少なくともいずれかの特性が劣ったものになるのであ
る。

〔実施例〕

つぎに、この発明の複合酸化物を実施例により具体的に
説明する。

原料粉末として、０，１〜５μｍの範囲内の平均粒径を
有するＴｅＯ２粉末、ＴＩ！２０粉末、Ｓよびｐｂｏ粉
末粉末量用意これら原料粉末を所定の配合組成に配合し
、混合し、圧粉（ｉｔニブレス成形し、大気中、圧カニ
１０００気圧のもと、２００〜５００℃の範囲内の所定
温度で焼結することによって、直径＝１２５φ曜×厚さ
：１０ｍの寸法を有する本発明複合酸化物ｔ−ｉｔおよ
び比較複合酸化物１〜４をそれぞれ製造し、これら焼結
体のうちの半分なスパッタリング用ターゲツト材として
用い、また残りの半分を粉砕して粉末とし、塗布用とし
た。

なお、比較複合酸化物１〜４は、いずれも成分組成が第
１図に示される本発明範囲から外れた組成をもつもので
ある。

つぼに、これらのスパッタリング用ターゲツト材および
塗布用粉末を用い、スパッタリング法による記録媒体薄
膜形成は。

基体：Ａ７！２０３板、　　環カニ１５０Ｗ。

ターゲット電圧：１．３ＫＶ、電極間距離＝３α、Ａｒ
ガスＦＥ：５ＸＩＯｔｏｒｒ、基体温度：１５０℃。

の条件で行ない、Ａｘ２ｏ３基板の表面に厚さ：　ｔｏ
ｏ。

人の薄膜を形成し、一方塗布法においては、同じ＜Ａノ
２０３基板上に厚さ：０．８ｐｍの記録媒体薄膜を形成
した。

この結果得られた各種の光ディスクの記録媒体薄膜につ
いて、大気中、１５０〜３５０℃の範囲内の所定温度に
１時間保持後、空冷の条件で全体を結晶相とした状態で
。

（１）　　記録・消去の繰り返しに対する安定性を評価
する目的で、レーザー光により結晶相とガラス相の交互
相変化を１０７回繰り返し行ない、結晶相とガラス相の
試験前後における反射率の差を測定し、 （２）雰囲気に対する安定性を評価する目的で。

湿度＝９０％、温度：１００℃の大気中に１週間放置し
、放置前後の反射率の差を測定し。

（３）　　さらに記録媒体薄膜相互の特性の均一性を評
価する目的で、１００個の薄膜について、結晶相および
ガラス相の反射率を測定し、測定結果から最大値と最小
値の差を求め１反射率のバラツキとして示した。これら
の結果を第１表に示した。

〔発明の効果〕

第１表に示される結果から、本発明複合酸ｆヒ物１−１
１で構成された記録媒体薄膜け、いずれも記録・消去の
繰り返しに対する安定性並びに雰囲気に対する経時的安
定性にすぐ枕、かつ記録媒体薄膜相互の特性が均一で、
特性バラツキがきわめて少ないのに対して、比較複合酸
化物１〜４で構成された記録媒体薄膜に見られるように
、複合酸化物の成分組成がこの発明の範囲から外れると
、前記の特性のうちの少なくともいずれかの特性が劣っ
たものになることが明らかである。

上述のように、この発明の複合酸化物は、光ディスクの
記録媒体薄膜として用いるのに適したすぐれた特性を有
するのである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の複合酸化物の組成範囲を示すＴｅ０
２−Ｔ／２０　　ｐｂｏ三元系状態図である。 出願人　　三菱金属株式会社外１名 代理人　　富　１）和　夫　外［名 ｅＯ２ Ｔ１２０１′ＤＵ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 第１図のＴｅＯ＿２−Ｔｌ＿２Ｏ−ＰｂＯ三元系状態図
   において、Ａ点（ＴｅＯ＿２：９５％、Ｔｌ＿２Ｏ：５
   ％）、Ｂ点（ＴｅＯ＿２：５０％、Ｔｌ＿２Ｏ：５０％
   ）、Ｃ点（ＰｂＯ：５０％、ＴｅＯ＿２：５０％）、お
   よびＤ点（ＴｅＯ＿２：９５％、ＰｂＯ：５％）を直線
   で結んだ範囲内の組成（以上モル％）を有することを特
   徴とする相変化型光ディスクの記録媒体薄膜用複合酸化
   物。