JPS63135814A - プロ−ブ姿勢制御装置 - Google Patents

プロ−ブ姿勢制御装置

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JPS63135814A
JPS63135814A JP28323886A JP28323886A JPS63135814A JP S63135814 A JPS63135814 A JP S63135814A JP 28323886 A JP28323886 A JP 28323886A JP 28323886 A JP28323886 A JP 28323886A JP S63135814 A JPS63135814 A JP S63135814A
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posture
axis
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Hiroshi Watanabe
洋 渡邊
Shuji Ohira
修司 大平
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Hitachi Construction Machinery Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 A、産業上の利用分野 本発明は、三次元形状測定機のプローブや超音波探傷ス
キャナ装置の超音波プローブ等の姿勢を制御する装置に
関する。
B、従来の技術 三次元形状測定機を示す第12図および第13図により
従来技術を説明する。
プローブ1はX軸、X軸および2軸方向に移動可能に保
持され、同一の姿勢のまま手動または自動にてプローブ
1の先端を被測定面2に接触させ。
そのときのX+ ytZの各位置を読み取る。一般にプ
ローブ1は第13図に示すように、軸部1aとその先端
の球部1bとを有し、被測定面2に接触させたとき球部
1bの先端Pの位置を測定値として測定機本体が読みと
る。以上の操作を複数位置で繰り返し行ない、被測定面
2の形状を測定する。なお、球部1bの中心○の位置を
読み取ることもある。
C1発明が解決しようとする問題点 しかし、被測定面2が第13図に示すように水平面HP
に対してα度傾斜している場合、プローブ1の球部1b
は接触点Qにて被測定面2と接触する。このため、接触
点Qの位置と測定位IPとの間に、δX、δ2だけずれ
が生じ誤差となる。
従来は、その傾斜面の近傍で何点かを測定しそれらの点
を補間して傾斜角度αを求め、この角度αに基づいてず
れδX、δ2を求め測定値を補正している。この場合、
補正演算が必要であり、これをコンピュータで行なって
も実時間計測とはならず、形状測定の自動化に障害とな
る。なお1以上は二次元にて説明したが三次元において
もずれδyが含まれるだけで本質的に同様な補正が必要
である。
この種のプローブ1はX軸、y軸、Z軸に移動できでも
その姿勢は一定である。このため被測定面2の傾き角度
αが90度以上になるとプローブ1の先端球部1bを被
測定面2に接触できない。
この場合、人力にて被測定物の姿勢を変える等して測定
を行なう必要があり、自動化に障害となる。
以上の如き問題点は、三次元形状測定機に限らず、超音
波プローブを有する超音波探傷自動スキャナ装置等、プ
ローブを被測定面に当接させて測定等を行なう各種の装
置にも同様にあてはまる。
本発明の目的は、プローブの姿勢を制御して上述の問題
点を解決したプローブ姿勢制御装置を提供することにあ
る。
D1問題点を解決するための手段 第1図に示すクレーム対応図に基づいて本発明を説明す
ると、この発明に係るプローブ姿勢制御装置は、多自由
度を有する例えばアーム等から成る支持手段101と、
これら支持手段101を駆動する例えばDCモータ等の
駆動手段102と、支持手段101に設けられたプロー
ブ103と。
プローブ103を被測定面に当接したときにプローブ1
03に作用する第1の力およびプローブ103を被測定
面から離したときのプローブ自重による第2の力をそれ
ぞれ検出する力検出手段104と、プローブ103の姿
勢および初期当接位置を検出する姿勢検出手段105と
、力検出手段104で検出した第1の力を第2のカで補
正しその補正値に基づいてプローブ103の被測定面に
対する傾きを演算する傾き演算手段106と。
演算された傾きと検出された姿勢とに基づいてプローブ
103が被測定面に垂直となる目標姿勢を演算する目標
姿勢演算手段107と、プローブ103を被測定面から
離間させて空間で目標姿勢に姿勢変換せしめるとともに
、検出された初期当接位置へプローブ103を導くよう
に駆動手段1゜2を駆動制御する駆動制御手段108と
を有する。
81作用 プローブ103が被測定面に当接するときにそのプロー
ブ103が受ける第1の力およびプローブ103を被測
定面から離したときにプローブ自重による第2の力をそ
れぞれ力検出手段104により検出する。第1の力を第
2の力により補正し、その補正結果から被測定面に対す
るプローブ103の傾き角度を傾き演算手段106が演
算する。また、姿勢検出手段105によりプローブ10
3の姿勢および初期当接位置が検出される。
このような傾きと姿勢とに基づいて、プローブ103が
被測定面に対して垂直となる目標姿勢が演算手段107
で演算される。駆動制御手段108は、プローブ103
をいったん被測定面から離間させて空間でプローブ10
3が目標姿勢となるように駆動手段102を駆動せしめ
、その後初期当接位置へプローブ103を導くように駆
動手段102を駆動せしめる。この結果、プローブ10
3は被測定面に対して垂直となる。
F、実施例 第2図〜第11図により本発明の一実施例を説明する。
第2図はプローブ姿勢制御装置の概略全体構成を示し、
5自由度を有するロボット5oの先端に軸力センサ3を
介して従来と同様のプローブ1を設けたものであり、ロ
ボット50の各関節はJISで定められたシンボルによ
り示している。
ロボット50は、回転機構52(モータM1を含む)に
よりベース51に対して旋回可能である。
回転機構52には回転軸53が接続され、その先端に接
続された回転機構54(モータM2を含む)により第1
のアーム55が旋回可能であり、第1のアーム55の先
端に接続された第2のアーム回転機構56(モータM3
を含む)により第2のアーム57が旋回可能であり、第
2のアーム57の先端に接続された第3のアーム回転機
構58(モータM4を含む)により第3のアーム59が
旋回可能である。第3のアーム59の先端には手首回転
機構60(モータM5を含む)を介して手首61が回転
可能に設けられている。手首61の先端には例えば第3
図に示す多軸力センサ3が設けられ、この多軸力センサ
3にプローブ1が取付けられている。多軸力センサ3は
、プローブ1を被測定面に当接させたときにプローブ1
に作用するy軸、y軸、y軸の各軸力を検出するもので
ある。
すなわち、第3図において、多軸力センサ3は、第1の
リング4と、これと対向する第2のリング5と、両リン
グ4,5を連結する3本のたわみ梁6と、たわみ梁6の
内面に設けられた引っ゛張り・圧縮力検出ゲージ7と、
たわみ梁6の外面に設けられた剪断力検出ゲージ8とか
ら構成されている。
そして、第1のリング4が手首61に連結され、第2の
リング5がプローブ1と連結され、プローブ1に作用す
る力に応じてたわみ梁6がたわむと各ゲージから歪量に
応じた信号が得られ、各軸力Fx+ Fy+ Fzが知
れる。
再び第2図において、各関節の回転機構にはその回転角
を検出する回転角センサ例えばロータリーエンコーダR
1〜R5が設けられ、検出された回転角01〜θ、が制
御装置9に入力される。また、軸力センサ3で検出され
た軸力Fx、 Fy、 Fzも駆動制御装置9に入力さ
れる。制御装置9は、後述の演算に基づいてプローブ1
が被測定面に垂直になるように各回転機構のモータM1
〜M5に駆動信号i□〜isを供給する。なお、第2図
においては、第3のアーム回転機構58に関する信号線
D工、D2と軸力センサ3の信号線り、のみを制御装置
9と接続して示し、他の接続は省略している。
制御装置9は、第4図に示すとおり、軸力センサ3から
の信号入力部として、軸力センサ3からのアナログ信号
を入力しその電圧レベルや零点を調整するインタフェー
ス9aと、入力アナログ信号を選択的に出力するマルチ
プレクサ9bと、マルチプレクサ9bからのアナログ信
号をデジタル信号に変換してCPU9dに入力するA/
D変換器9cとを有する。また、ロータリーエンコーダ
R1〜R5からの信号入力部として、ロータリーエンコ
ーダR1〜R5からのシリアルパルス信号を計数してパ
ラレル角度信号に変換するカウンタ回路9eと、このカ
ウンタ回路9eからの信号が入力されCPU9dに出力
する入力用インタフェース9fとを有する。更に、信号
制御部として。
処理手順を予め格納したROM9gと、各種の数値、デ
ータ等が一時的に記憶されるRAM9hと、処理手順に
従い各機器を制御するとともに、入力された信号に基づ
いて各種演算を行ないその時の関節角度と比較して関節
速度指令信号を出力するCPU9dとを有する。更にま
た、出力部として、CPU9dから出力されるデジタル
関節速度指令信号をアナログ信号に変換するD/A変換
器91と、関節速度指令信号とロータリーエンコーダR
1〜R5からの回転角信号から算出した関節速度とが一
致するようにモータM1〜M5を制御するサーボドライ
バ9jとを有する。
なお、以上の実施例の構成において、ベース51、アー
ム53,55,57,59および手首61が支持手段を
、モータM1〜M5が駆動手段を、軸力センサ3が力検
出手段を、ロータリーエンコーダR1〜R5,カウンタ
9e、CPU9dが姿勢検出手段を、CPU9dが傾き
演算手段および目標姿勢演算手段を、CPU9dおよび
サーボドライバ9jが駆動制御手段をそれぞれ構成する
次に第5図を参照してプローブの姿勢制御の手順につい
て説明する。
今、第6図(a)に示すようにプローブ1が被測定面2
に接触した状態とする。ステップS1において、ロータ
リーエンコーダR1〜R5からのパルス信号を計数する
カウンタ回路9eの出力により各関節の角度01〜θ、
を検出する。ステップS2では、これらの角度81〜θ
9、および第2図に示したロボット50の各部の長さQ
1〜Q、に基づいてプローブ1の球部1bの中心点0の
位置および姿勢を演算する。なお、第2図において、Q
□は、ベース51の取付点すなわちロボット座標原点0
1から第1のアーム回転機構54までの距離、Q2は、
第1および第2のアーム回転機構54と56との間の距
離、Q、は、第2および第3のアーム回転機構56と5
8との間の距離、Q4は、第3のアーム回転機構58か
ら第3のアーム59に沿ってプローブZ軸心に達するま
での距離、Q5は、プローブ球部1bの中心Oから手首
61に沿って第3のアーム59の軸心に達するまでの距
離である。
ここで、プローブ1の位置はロボット座標の原点OLか
らプローブ球部1bの中心0までの位置ベクトルPとし
て。
P= (Ox、 Oy、 Oz) =f1(01〜θs
−Qz〜Qs)により求められる。この位置ベクトルP
がプローブ1の初期当接位置を示す。また、プローブ1
の姿勢は、ロボット座標系に対する軸力センサ3の座標
系の傾きとして方向余弦ベクトル(f+gth)を演算
することにより求められる。
方向余弦ベクトルfを、 とし、プローブX軸がロボット座標系のX軸となす角度
をθxx、 y軸となす角度をθxy、 z軸となす角
度をθxzとすると、この方向余弦ベクトルfは、 と表わせる。同様に、プローブy軸、Z軸がロボット座
標系のX軸、y軸、z軸とそれぞれなす角度を、それぞ
れθ’lXe  θyy、θyzおよびθzx。
θZy、θzzとすると、方向余弦ベクトルgrhは、
それぞれ、 と表わすことができる。例えば方向余弦ベクトルhは、
第7図に示すように、ロボット座標系のX軸、y軸、2
軸に対して軸力センサ3の座標系の各軸がxl 、 y
l 、 zlに位置したとき z I軸方向の単位ベク
トルとなる方向余弦ベクトル百のX軸、y軸、2軸への
投影が、それぞれhx、 hy。
hzとなる。
このようにしてプローブ1の位置および姿勢が演算され
るとステップS3に進み、軸力センサ3から3つの軸力
F x + F y t F zを読み込み、ステップ
S4において、後述するステップSllで検出して格納
されたプローブ自重による各軸力WX、WYI WZに
より軸力FXs Fy、FZを補正して真の軸力RXt
 RY* RZを求める。すなわち。
Rx=Fx−Wx RY=FY−wy           ・・・(1)
R2=Fz−wz を演算する。
今、第8図(a)に示すように、プローブ1の軸心(2
軸)が鉛直方向に向いていれば、軸力センサ3で検出さ
れるプローブ自重Wによる各軸力Wx、WYI WZは
Wx=0.WY=0.Wz=W となる。一方、第8図(b)に示すように、プローブ1
の軸心が鉛直方向に対して傾いていると、軸力センサ3
で検出されるプローブ自重Wによる各軸力wx、wY、
Wzは、 Wx=Wx’ Wy = Wy’ W z = W z ’ となる。このようなプローブ自重はプローブ1の姿勢に
かかわらず、常時、軸力センサ3に作用するから、プロ
ーブ1を被測定面2に当接させるときにプローブ1に作
用する抗力Rによる真の軸力RX* RYt RZを上
記(1)式により求める必要がある。
そして、ステップS5において、このようにして求めら
れた補正後の軸力Rx、RYt Rzから被測定面に対
するプローブ1の傾き(姿勢角度ξ。
ψ)を演算する。
−第9図(a)、(b)は、プローブ球部1bを被測定
面2に当接させた場合の各軸力RXy RYyRzを説
明する図である。
実線Jで示すように、プローブ1の2軸が被測定面2に
対して傾いている場合、プローブ1に作用する抗力Rの
方向とプローブZ軸とは一致せず、抗力Rの分力として
各軸力RXw RYt Rzが検出される。また、プロ
ーブZ軸が一点鎖線Iで示すように被測定面2に対して
垂直の場合には、プローブ1に作用する抗力Rの方向と
プローブZ軸とが一致する。このことから、実線Jで示
すプローブ1の姿勢に対する一点鎖線工で示すプローブ
1の姿勢角度ξおよびψは、 で求められる。
次いでステップS6に進み、被測定面2の法線とプロー
ブZ軸との傾き角ξが零か否か(プローブZ軸が被測定
面に対して垂直か否か)を判定する。ξ=0ならば終了
し、ξ≠0ならばステップS7に進む。
ステップS7では、ステップS5で求めた姿勢角度ξ、
ψを用いて、プローブZ軸が被測定面2に対して垂直に
なるような目標姿勢を目標方向余弦(fse gap 
hs)として、 (fse g8+ hs) =L (ξ、φ(f、 g
t h) )で求める。
次にステップS8に進み、プローブ1が被測定面2から
離間した位置でステップS6の目標姿勢となる目標位置
ベクトルPSを次式から求める。
なお、kは、もとの位置からの移動量を示す常数である
そしてステップS9において、目標姿勢を示す目標方向
余弦(fse gsw hs)と、目標位置ベクトルp
sとにより、各関節の目標角度θ′sL〜θl ssを
、 (θ′S工〜θ′S、) ”fs (Pst (fst gst hs) t Q
1+ Qzv Qzv L)で求める。この目標角度θ
l st〜θ’ SsとなるようステップS10におい
てモータ駆動指令111〜x l、をD/A変換器91
からサーボドライブ9jに供給し、これにより各モータ
M1〜M5を駆動して、第6図(b)に示すとおり、破
線11で示す姿勢から破線工2で示す姿勢を経て実線J
1で示す姿勢とする。この姿勢のプローブZ軸は被測定
面と垂直である。
第6図(b)に実線J1で示す姿勢を保持し、ステップ
Sllにおいて、このとき軸力センサ3で検出される軸
力FXt Fy、 Fzを自重補正値W×。
wy、Wzとして格納する。この補正値Wx、 wy。
Wzは、プローブ1を次の測定点に移動させて垂直に姿
勢制御する際に、上述のステップS4で用いられる。す
なわち、この実施例では、ある測定点から次の測定点に
プローブ1を移動させるときに、直前の測定点に対して
垂直な姿勢のまま次の測定点にプローブ1を当接させる
操作を前提としているから、プローブ自重補正値を上述
のようにして求めている。したがって、次の測定点に移
動する際にプローブ1の姿勢が前の状態から変化するよ
う操作する場合には、被測定面にプローブ1を当接させ
る前にプローブ自重補正値Wx、 Wy。
Wzを検出する必要がある。
次にステップS12に進み、ステップS2で求めたプロ
ーブ球部1bの中心0の初期位置ベクトルPと、ステッ
プS7で求めた目標方向余弦(fsy gsv hs)
とに基づいて、プローブ1が初期当接位置で被測定面2
と接触し、かつ垂直となる各関節の目標角度θS工〜O
85を。
(θs1〜θ5s) =f6(P+ (fst gst hs) t Qll
 Qzt Lr Q4* L)で求める。そして、ステ
ップS13において、各関節がθs1〜θS、となるよ
うモ゛−タ駆動指令11〜i5をD/A変換器91から
サーボドライブ9jに供給し、これにより各モータM1
〜M5を駆動してプローブZ軸を被測定面2に対して垂
直に当接すべく姿勢制御する。この結果、第6図(c)
に示すように、破線工3の姿勢から実線J2の姿勢とな
り、プローブZ軸は被測定面2に対して垂直に当接する
このようなプローブの姿勢制御装置を三次元形状測定機
に用い、プローブ球部1bの2軸を被測定面2と垂直に
姿勢制御して球部1bの点Pが被測定面2と接した状態
で、球部1bのXpytZ軸の各位置を測定すれば、従
来のような補間演算をすることなく実時間にて誤差のな
い形状寸法の測定−が可能となり、連続した寸法測定が
行なえるから測定の自動化に寄与する。また、被測定面
2の傾斜角αが90度以上あってもプローブ1を被測定
面2と垂直に当接可能であり、人力により被測定物の位
置をずらす必要がなく、測定の自動化に寄与する。
また、超音波探傷スキャナ装置にこの発明を適用すれば
、超音波プローブを被検査面に対して常時垂直に保持で
き検査精度が向上するのに加えて、被検査面が複雑な形
をしていても自動運転が可能となる。
なお、以上説明したロボット50は5自由度を有してい
るが、被測定面の形状が限定されて予め既知であれば、
特に5自由度も必要ない。例えば、第10図に示すよう
に、x−z断面がy軸に沿って全て同一である立体であ
れば3自由度のロボットにて本発明を構成可能である。
また、駆動手段もモータに限定されず、更に、軸力セン
サは、他のタイプのものでもよく、更にまた、プローブ
の形状も実施例に限定されない。
G0発明の効果 本発明によれば、被測定面に対して垂直となるようにプ
ローブの姿勢を制御できるので、この種のプローブを備
えた三次元形状測定機や超音波探傷スキャナ装置の自動
化が可能となる。そして、この発明では特に次のような
効果がある。
第11図(a)に示すように、被測定面2に対してプロ
ーブZ軸が傾き角ξで当接している場合、ξ=Oとする
ためプローブ球部1bの中心0を回転中心としてプロー
ブ1を被測定面2に当接したまま第11図(b)の姿勢
となるよう姿勢変換すると、プローブ1には、その抗力
Rと摩擦係数μとによる摩擦力Rμが作用する。プロー
ブ1およびその支持手段であるアーム等は完全剛体では
ないからその摩擦力Rμによってたわみ、プローブZ軸
を被測定面2に対して垂直に姿勢変換した後も、そのた
わみと釣り合いをとるため摩擦力Rμに相当する力が力
検出手段で検出される。このため、プローブ1にはRμ
なる抗力が作用することになり、プローブ2軸が抗力R
μの作用方向と一致するよう更に姿勢変換が行なわれ、
プローブZ軸と被測定面2とが垂直にならない。
そこで本発明では、プローブを被測定面から離間した状
態で姿勢変換してプローブZ軸を被測定面に対して垂直
となし、その後でプローブを初期位置に当接させるよう
にしたので、上述した姿勢変換に伴なう摩擦力が作用せ
ず、被測定面に対してプローブを精度よく垂直に保持で
きる。更に加えて本発明はプローブ自重分を減じた補正
後の力から傾き演算を行うからより一層精度が向上する
なお、本発明を三次元形状測定機に適用すれば誤差のな
い形状測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はクレーム対応図である。 第2図〜第9図は本発明の一実施例を示すもので、第2
図が全体概略構成図、第3図が軸力センサを示す斜視図
、第4図が制御装置を示すブロック図、第5図がプロー
ブ姿勢制御の手順を示すフローチャート、第6図(a)
〜(Q)がプローブの姿勢変換を説明する図、第7図が
方向余弦を説明する図、第8図(a)、(b)がプロー
ブ自重による軸力を説明する図、第9図(a)、(b)
が軸力センサで検出する軸力の説明図、第10図はン自
由度で測定可能な形状例を示す斜視図である。 第11図(a)、(b)は発明の詳細な説明する図であ
る。 第12図および第13図は従来例を示すもので、第12
図が従来の二次元形状測定機の一例を示す斜視図、第1
3図がプローブの詳細拡大図である。 1ニブローブ     2:被測定面 3:軸力センサ    9:制御装置 R1〜R5:ロータリーエンコーダ M1〜M5:モータ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 多自由度を有する支持手段と、 この支持手段を駆動する駆動手段と、 前記支持手段に設けられたプローブと、 このプローブを被測定面に当接したときに当該プローブ
    に作用する第1の力およびプローブを被測定面から離し
    たときのプローブ自重による第2の力をそれぞれ検出す
    る力検出手段と、 前記プローブの姿勢および初期当接位置を検出する姿勢
    検出手段と、 前記力検出手段で検出した第1の力を第2の力で補正し
    その補正値に基づいて前記プローブの被測定面に対する
    傾きを演算する傾き演算手段と、演算された傾きと前記
    検出された姿勢とに基づいて前記プローブが被測定面に
    垂直となる目標姿勢を演算する目標姿勢演算手段と、 前記プローブを被測定面から離間させて空間で前記目標
    姿勢に姿勢変換せしめるとともに、前記検出された初期
    当接位置へプローブを導くように前記駆動手段を駆動制
    御する駆動制御手段とを具備することを特徴とするプロ
    ーブ姿勢制御装置。
JP28323886A 1986-11-28 1986-11-28 プロ−ブ姿勢制御装置 Granted JPS63135814A (ja)

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