JP2002210684A - トランスファロボット - Google Patents
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワークを広い範囲で直線的に移動させる動作を
適切に行なうことが可能なトランスファロボットを提供
する。 【解決手段】ワーク保持用のハンド部材３０を少なくと
も略水平なＸ方向に往復動自在とするハンド部材動作機
構３と、一端部が第１の連結部２４ａを介してベース部
材１に連結されており、かつ他端部が第１の連結部２４
ａの下方を通過できるように、第１の連結部２４ａのＸ
方向に延びる軸心Ｃ１周りに回転自在な第１のアーム２
１と、この第１のアーム２１の他端部に一端部が連結さ
れており、かつ他端部が第２の連結部２４ｂを介してハ
ンド部材動作機構３に連結されている第２のアーム２２
と、ハンド部材動作機構３を第２の連結部２４ｂのＸ方
向に延びる軸心Ｃ２周りに回転自在とする駆動手段と、
を具備しているトランスファロボットＲであって、第１
および第２のアーム２１，２２に第３および第４の連結
部２４ｃ，２４ｄを介して連結され、かつこれらの連結
部のＸ方向に延びる軸心Ｃ３，Ｃ４周りに回転自在な中
間アーム２３を備えている。
適切に行なうことが可能なトランスファロボットを提供
する。 【解決手段】ワーク保持用のハンド部材３０を少なくと
も略水平なＸ方向に往復動自在とするハンド部材動作機
構３と、一端部が第１の連結部２４ａを介してベース部
材１に連結されており、かつ他端部が第１の連結部２４
ａの下方を通過できるように、第１の連結部２４ａのＸ
方向に延びる軸心Ｃ１周りに回転自在な第１のアーム２
１と、この第１のアーム２１の他端部に一端部が連結さ
れており、かつ他端部が第２の連結部２４ｂを介してハ
ンド部材動作機構３に連結されている第２のアーム２２
と、ハンド部材動作機構３を第２の連結部２４ｂのＸ方
向に延びる軸心Ｃ２周りに回転自在とする駆動手段と、
を具備しているトランスファロボットＲであって、第１
および第２のアーム２１，２２に第３および第４の連結
部２４ｃ，２４ｄを介して連結され、かつこれらの連結
部のＸ方向に延びる軸心Ｃ３，Ｃ４周りに回転自在な中
間アーム２３を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、液晶パネル製造
用の基板や半導体製造用のウェハなどの所望のワークを
ワーク収納用のカセットと所望のステージとの間で受け
渡すといった用途に用いるのに好適なトランスファロボ
ットに関する。
用の基板や半導体製造用のウェハなどの所望のワークを
ワーク収納用のカセットと所望のステージとの間で受け
渡すといった用途に用いるのに好適なトランスファロボ
ットに関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、液晶パネルの製造工程におい
ては、図１１に示すように、液晶パネル製造用の複数枚
の基板７をカセット６２に収容しておき、各基板７に所
定の処理を施すときには、ハンド部材８０を有するトラ
ンスファロボット（図示略）によって各基板７を１枚ず
つ取り出してから所定位置に投入したり、あるいは処理
を終えた基板をカセット６２に戻すといった作業が行な
われる。カセット６２は、ボックス状であり、たとえば
一対の起立壁６２ａの各内面に基板７の両側縁部をスラ
イド嵌入させるための複数のスロット６２ｂが設けられ
たものである。
ては、図１１に示すように、液晶パネル製造用の複数枚
の基板７をカセット６２に収容しておき、各基板７に所
定の処理を施すときには、ハンド部材８０を有するトラ
ンスファロボット（図示略）によって各基板７を１枚ず
つ取り出してから所定位置に投入したり、あるいは処理
を終えた基板をカセット６２に戻すといった作業が行な
われる。カセット６２は、ボックス状であり、たとえば
一対の起立壁６２ａの各内面に基板７の両側縁部をスラ
イド嵌入させるための複数のスロット６２ｂが設けられ
たものである。
【０００３】従来のトランスファロボットの具体例とし
ては、特開平１１−２３８７７９号公報に記載されたも
のがある。この従来のものとしては、本願の図１２およ
び図１３に示す２種類のものがある。まず、図１２に示
すトランスファロボットＲ１は、ハンド部材８０を紙面
と直交する水平方向（Ｘ方向：同図中に符号不記入）に
移動自在とするハンド部材動作機構８と、このハンド部
材動作機構８の全体を移動させるためのリンク機構９と
を有している。リンク機構９は、ベース部材９０に一端
部が連結部９３ａを介して回転自在に連結された第１の
アーム９１と、この第１のアーム９１の他端部に連結部
９３ｂを介して連結された第２のアーム９２とを具備し
ており、かつこの第２のアーム９２の他端部には、ハン
ド部材動作機構８のベース部８１が連結部９３ｃを介し
て回転可能に連結された構造を有している。
ては、特開平１１−２３８７７９号公報に記載されたも
のがある。この従来のものとしては、本願の図１２およ
び図１３に示す２種類のものがある。まず、図１２に示
すトランスファロボットＲ１は、ハンド部材８０を紙面
と直交する水平方向（Ｘ方向：同図中に符号不記入）に
移動自在とするハンド部材動作機構８と、このハンド部
材動作機構８の全体を移動させるためのリンク機構９と
を有している。リンク機構９は、ベース部材９０に一端
部が連結部９３ａを介して回転自在に連結された第１の
アーム９１と、この第１のアーム９１の他端部に連結部
９３ｂを介して連結された第２のアーム９２とを具備し
ており、かつこの第２のアーム９２の他端部には、ハン
ド部材動作機構８のベース部８１が連結部９３ｃを介し
て回転可能に連結された構造を有している。
【０００４】このトランスファロボットＲ１によれば、
リンク機構９の第１および第２のアーム９１，９２の回
転動作により、ハンド部材動作機構８の全体をＺ方向
（鉛直方向）およびＹ方向（Ｘ方向と直交する水平方
向）に移動させることができる。第２のアーム９２の傾
きに伴わせて、この第２のアーム９２とベース部８１と
の相対角度を制御すれば、ハンド部材動作機構８を常に
所定の水平な姿勢に維持させておくこともできる。
リンク機構９の第１および第２のアーム９１，９２の回
転動作により、ハンド部材動作機構８の全体をＺ方向
（鉛直方向）およびＹ方向（Ｘ方向と直交する水平方
向）に移動させることができる。第２のアーム９２の傾
きに伴わせて、この第２のアーム９２とベース部８１と
の相対角度を制御すれば、ハンド部材動作機構８を常に
所定の水平な姿勢に維持させておくこともできる。
【０００５】図１３に示すトランスファロボットＲ２
は、その基本的な構成が上記したトランスファロボット
Ｒ１と共通している（図１２と同一部分は同一符号を付
している）。ただし、このトランスファロボットＲ２
は、第１のアーム９１の他端部９１ｂがその一端部９１
ａの連結部９３ａの下方を通過できるように回転できる
点において、図１２に示すトランスファロボットＲ１と
は相違している。このトランスファロボットＲ２におい
ては、トランスファロボットＲ１と比較して、ハンド部
材動作機構８を低い位置において水平移動させることが
でき、高さが低い箇所においてワークの取り出し作業や
投入作業を行なうのに好適となる。
は、その基本的な構成が上記したトランスファロボット
Ｒ１と共通している（図１２と同一部分は同一符号を付
している）。ただし、このトランスファロボットＲ２
は、第１のアーム９１の他端部９１ｂがその一端部９１
ａの連結部９３ａの下方を通過できるように回転できる
点において、図１２に示すトランスファロボットＲ１と
は相違している。このトランスファロボットＲ２におい
ては、トランスファロボットＲ１と比較して、ハンド部
材動作機構８を低い位置において水平移動させることが
でき、高さが低い箇所においてワークの取り出し作業や
投入作業を行なうのに好適となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のトランスファロボットＲ２においても、次に述べる
ように、未だ改善すべき課題があった。
来のトランスファロボットＲ２においても、次に述べる
ように、未だ改善すべき課題があった。
【０００７】すなわち、トランスファロボットとして
は、簡易な構成によって、できる限り広い領域において
ハンド部材移動可能とし、かつハンド部材を水平および
垂直方向に直線的に移動できるようにすることが要請さ
れる場合が多い。ところが、トランスファロボットＲ２
のリンク機構９は、第１および第２のアーム９１，９２
を有するいわゆる２アームタイプの機構として構成され
ているに過ぎない。したがって、第１および第２のアー
ム９１，９２を回転させることによってワークをＹ方向
（図１３の紙面に直交する方向）およびＺ方向に直線的
に移動させ得る範囲が比較的狭くなっていた。より具体
的には、トランスファロボットＲ２においては、第１の
アーム９１の長さを床面から連結部９３ａまでの距離よ
りも短くする必要があり、この第１のアーム９１を長く
とることが困難であるために、ハンド部材の最上昇高さ
を高くすることが困難となっていた。一方、これを解消
しようとして第２のアーム９２を長くすると、ハンド部
材の最上昇高さを高くすることは可能であるものの、こ
の場合にはハンド部材を低い位置で水平移動させること
が困難となる不具合を生じるのである。
は、簡易な構成によって、できる限り広い領域において
ハンド部材移動可能とし、かつハンド部材を水平および
垂直方向に直線的に移動できるようにすることが要請さ
れる場合が多い。ところが、トランスファロボットＲ２
のリンク機構９は、第１および第２のアーム９１，９２
を有するいわゆる２アームタイプの機構として構成され
ているに過ぎない。したがって、第１および第２のアー
ム９１，９２を回転させることによってワークをＹ方向
（図１３の紙面に直交する方向）およびＺ方向に直線的
に移動させ得る範囲が比較的狭くなっていた。より具体
的には、トランスファロボットＲ２においては、第１の
アーム９１の長さを床面から連結部９３ａまでの距離よ
りも短くする必要があり、この第１のアーム９１を長く
とることが困難であるために、ハンド部材の最上昇高さ
を高くすることが困難となっていた。一方、これを解消
しようとして第２のアーム９２を長くすると、ハンド部
材の最上昇高さを高くすることは可能であるものの、こ
の場合にはハンド部材を低い位置で水平移動させること
が困難となる不具合を生じるのである。
【０００８】本願発明は、このような事情のもとで考え
出されたものであって、ワークを広い範囲で直線的に移
動させる動作を適切に行なうことが可能なトランスファ
ロボットを提供することをその課題としている。
出されたものであって、ワークを広い範囲で直線的に移
動させる動作を適切に行なうことが可能なトランスファ
ロボットを提供することをその課題としている。
【０００９】
【発明の開示】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
は、次の技術的手段を講じている。
【００１０】本願発明によって提供されるトランスファ
ロボットは、ワーク保持用のハンド部材を少なくとも略
水平なＸ方向に往復動自在とするハンド部材動作機構
と、一端部が第１の連結部を介してベース部材に連結さ
れており、かつ他端部が上記第１の連結部の下方を通過
できるように、上記第１の連結部のＸ方向に延びる軸心
周りに回転自在な第１のアームと、この第１のアームの
他端部に一端部が連結されており、かつ他端部が第２の
連結部を介して上記ハンド部材動作機構に連結されてい
る第２のアームと、上記ハンド部材動作機構を上記第２
の連結部のＸ方向に延びる軸心周りに回転自在とする駆
動手段と、を具備している、トランスファロボットであ
って、上記第１のアームの他端部および上記第２のアー
ムの一端部に、第３および第４の連結部を介して連結さ
れ、かつこれら第３および第４の連結部のＸ方向に延び
る軸心周りに回転自在な少なくとも１つの中間アームを
備えていることを特徴としている。
ロボットは、ワーク保持用のハンド部材を少なくとも略
水平なＸ方向に往復動自在とするハンド部材動作機構
と、一端部が第１の連結部を介してベース部材に連結さ
れており、かつ他端部が上記第１の連結部の下方を通過
できるように、上記第１の連結部のＸ方向に延びる軸心
周りに回転自在な第１のアームと、この第１のアームの
他端部に一端部が連結されており、かつ他端部が第２の
連結部を介して上記ハンド部材動作機構に連結されてい
る第２のアームと、上記ハンド部材動作機構を上記第２
の連結部のＸ方向に延びる軸心周りに回転自在とする駆
動手段と、を具備している、トランスファロボットであ
って、上記第１のアームの他端部および上記第２のアー
ムの一端部に、第３および第４の連結部を介して連結さ
れ、かつこれら第３および第４の連結部のＸ方向に延び
る軸心周りに回転自在な少なくとも１つの中間アームを
備えていることを特徴としている。
【００１１】本願発明に係るトランスファロボットのハ
ンド部材動作機構を移動させるためのリンク機構は、第
１および第２のアームに加えて中間アームをも有するい
わゆる３アームタイプ、あるいはそれ以上の数のアーム
を備えたタイプとされている。このため、第１および第
２のアームの回転制御に加えて、中間アームの回転をも
適当に制御することにより、いわゆる２アームタイプの
リンク機構を用いていた従来のものよりも、ハンド部材
動作機構の移動範囲、とくに水平および鉛直方向への直
線移動が可能な範囲を大きくすることが簡単に行なえる
こととなる。本願発明においては、第１のアームを第１
の連結部の中心軸周りに回転させるときには、この第１
のアームの他端部が第１の連結部の下方を通過するよう
に回転させることができ、しかもその際には中間アーム
を略水平状態に寝かせた状態にしておくことが可能であ
るために、中間アームの存在に起因して第２のアームの
他端部の高さが高くならないようにし、ハンド部材動作
機構を低い高さで水平移動させることが可能となる。一
方、ハンド部材動作機構を上昇させるときには、第１お
よび第２のアームに加えて、中間アームについても上下
方向に大きく延ばした姿勢とすることにより、ハンド部
材動作機構の高さを高くすることができる。また、ハン
ド部材動作機構を平水方向に移動させる場合のストロー
クも大きくすることが可能となる。したがって、本願発
明に係るトランスファロボットは、ハンド部材動作機構
を低い箇所から高い箇所にかけての広い領域で昇降させ
たり、あるいは水平移動させることが要求される用途に
好適となる。さらに、本願発明においては、ハンド部材
動作機構の動作範囲を広くすることができることによ
り、トランスファロボット全体の小型化を図ることも可
能となる。
ンド部材動作機構を移動させるためのリンク機構は、第
１および第２のアームに加えて中間アームをも有するい
わゆる３アームタイプ、あるいはそれ以上の数のアーム
を備えたタイプとされている。このため、第１および第
２のアームの回転制御に加えて、中間アームの回転をも
適当に制御することにより、いわゆる２アームタイプの
リンク機構を用いていた従来のものよりも、ハンド部材
動作機構の移動範囲、とくに水平および鉛直方向への直
線移動が可能な範囲を大きくすることが簡単に行なえる
こととなる。本願発明においては、第１のアームを第１
の連結部の中心軸周りに回転させるときには、この第１
のアームの他端部が第１の連結部の下方を通過するよう
に回転させることができ、しかもその際には中間アーム
を略水平状態に寝かせた状態にしておくことが可能であ
るために、中間アームの存在に起因して第２のアームの
他端部の高さが高くならないようにし、ハンド部材動作
機構を低い高さで水平移動させることが可能となる。一
方、ハンド部材動作機構を上昇させるときには、第１お
よび第２のアームに加えて、中間アームについても上下
方向に大きく延ばした姿勢とすることにより、ハンド部
材動作機構の高さを高くすることができる。また、ハン
ド部材動作機構を平水方向に移動させる場合のストロー
クも大きくすることが可能となる。したがって、本願発
明に係るトランスファロボットは、ハンド部材動作機構
を低い箇所から高い箇所にかけての広い領域で昇降させ
たり、あるいは水平移動させることが要求される用途に
好適となる。さらに、本願発明においては、ハンド部材
動作機構の動作範囲を広くすることができることによ
り、トランスファロボット全体の小型化を図ることも可
能となる。
【００１２】本願発明の好ましい実施の形態において
は、上記中間アームおよび上記第２のアームのそれぞれ
は、上記第１のアームと略同一長さまたはそれよりも短
くされているとともに、上記中間アームと上記第２のア
ームとのトータル長さは、上記第１のアームの長さより
も長くされている。このような構成によれば、上記第１
のアームをその他端部が下降した姿勢とし、かつこの他
端部から上記中間アームや上記第２のアームを上方へ向
けて延ばした姿勢とした場合に、上記第２のアームの他
端部を上記第１の連結部よりも上方の比較的低い位置に
配置することができる。したがって、上記ハンド部材を
低い高さでＹ方向（Ｘ方向と直交する略水平方向）に移
動させるのにより好適となる。
は、上記中間アームおよび上記第２のアームのそれぞれ
は、上記第１のアームと略同一長さまたはそれよりも短
くされているとともに、上記中間アームと上記第２のア
ームとのトータル長さは、上記第１のアームの長さより
も長くされている。このような構成によれば、上記第１
のアームをその他端部が下降した姿勢とし、かつこの他
端部から上記中間アームや上記第２のアームを上方へ向
けて延ばした姿勢とした場合に、上記第２のアームの他
端部を上記第１の連結部よりも上方の比較的低い位置に
配置することができる。したがって、上記ハンド部材を
低い高さでＹ方向（Ｘ方向と直交する略水平方向）に移
動させるのにより好適となる。
【００１３】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記中間アームおよび上記第２のアームの少なく
とも一方は、上記第１のアームよりも長くされている。
このような構成によれば、上記ハンド部材のＹ方向への
移動範囲をさらに広くとることが可能になるとともに、
Ｚ方向（鉛直方向）への最上昇高さを高くするのにも好
適となる。
ては、上記中間アームおよび上記第２のアームの少なく
とも一方は、上記第１のアームよりも長くされている。
このような構成によれば、上記ハンド部材のＹ方向への
移動範囲をさらに広くとることが可能になるとともに、
Ｚ方向（鉛直方向）への最上昇高さを高くするのにも好
適となる。
【００１４】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記ハンド部材は、所望のワークを上面部に載置
させることが可能なもの、ワークをクランプ可能なも
の、真空吸着可能なもの、または磁力吸着可能なもので
ある。ただし、本願発明においては、ハンド部材を上記
構成以外のものとすることもできる。
ては、上記ハンド部材は、所望のワークを上面部に載置
させることが可能なもの、ワークをクランプ可能なも
の、真空吸着可能なもの、または磁力吸着可能なもので
ある。ただし、本願発明においては、ハンド部材を上記
構成以外のものとすることもできる。
【００１５】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記ハンド部材動作機構は、複数のハンド部材を
有しており、かつこれら複数のハンド部材のそれぞれ
は、互いに独立して少なくともＸ方向に移動自在とされ
ている。このような構成によれば、複数のハンド部材の
それぞれを利用してワークを取り扱うことが可能とな
り、ワーク搬送作業の能率を高めるのに好適となる。
ては、上記ハンド部材動作機構は、複数のハンド部材を
有しており、かつこれら複数のハンド部材のそれぞれ
は、互いに独立して少なくともＸ方向に移動自在とされ
ている。このような構成によれば、複数のハンド部材の
それぞれを利用してワークを取り扱うことが可能とな
り、ワーク搬送作業の能率を高めるのに好適となる。
【００１６】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記ハンド部材動作機構が水平旋回自在とされて
いることにより、上記ハンド部材は、Ｘ方向以外の略水
平な方向にも往復動自在とされている。このような構成
によれば、ワークの搬送作業形態を多様なものにするこ
とができる。
ては、上記ハンド部材動作機構が水平旋回自在とされて
いることにより、上記ハンド部材は、Ｘ方向以外の略水
平な方向にも往復動自在とされている。このような構成
によれば、ワークの搬送作業形態を多様なものにするこ
とができる。
【００１７】本願発明のその他の特徴および利点につい
ては、以下に行う発明の実施の形態の説明から、より明
らかになるであろう。
ては、以下に行う発明の実施の形態の説明から、より明
らかになるであろう。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００１９】図１〜図６は、本願発明に係るトランスフ
ァロボットの一実施形態を示している。なお、本実施形
態においては、略水平方向のうちの所定方向をＸ方向と
し、略水平方向のうちのＸ方向と直交する方向をＹ方向
とする。また、鉛直方向をＺ方向とする。
ァロボットの一実施形態を示している。なお、本実施形
態においては、略水平方向のうちの所定方向をＸ方向と
し、略水平方向のうちのＸ方向と直交する方向をＹ方向
とする。また、鉛直方向をＺ方向とする。
【００２０】図１および図２によく表われているよう
に、本実施形態のトランスファロボットＲは、ベース部
材１と、リンク機構２と、２つのハンド部材３０（３０
Ａ，３０Ｂ）を有するハンド部材動作機構３とを具備し
て構成されている。
に、本実施形態のトランスファロボットＲは、ベース部
材１と、リンク機構２と、２つのハンド部材３０（３０
Ａ，３０Ｂ）を有するハンド部材動作機構３とを具備し
て構成されている。
【００２１】ベース部材１は、一定の高さを有するボッ
クス状に形成されており、たとえばフロアに固定して設
けられている。ただし、後述するように、このベース部
材１をＹ方向に移動自在に設けることもできる。
クス状に形成されており、たとえばフロアに固定して設
けられている。ただし、後述するように、このベース部
材１をＹ方向に移動自在に設けることもできる。
【００２２】リンク機構２は、第１および第２のアーム
２１，２２と、中間アーム２３と、第１ないし第４の連
結部２４ａ〜２４ｄとを具備して構成されている。第１
ないし第４の連結部２４ａ〜２４ｄのそれぞれの軸心Ｃ
１〜Ｃ４は、いずれもＸ方向に延びている。
２１，２２と、中間アーム２３と、第１ないし第４の連
結部２４ａ〜２４ｄとを具備して構成されている。第１
ないし第４の連結部２４ａ〜２４ｄのそれぞれの軸心Ｃ
１〜Ｃ４は、いずれもＸ方向に延びている。
【００２３】第１のアーム２１の一端部は、第１の連結
部２４ａを介してベース部材１の一側面の上部に連結さ
れており、軸心Ｃ１周りに回転自在である。軸心Ｃ１か
ら第１のアーム２１の他端部先端までの長さＬａは、フ
ロアから軸心Ｃ１までの高さＨａよりも短い寸法とされ
ている。このことにより、第１のアーム２１は軸心Ｃ１
の全周囲にわたって回転自在となっている。
部２４ａを介してベース部材１の一側面の上部に連結さ
れており、軸心Ｃ１周りに回転自在である。軸心Ｃ１か
ら第１のアーム２１の他端部先端までの長さＬａは、フ
ロアから軸心Ｃ１までの高さＨａよりも短い寸法とされ
ている。このことにより、第１のアーム２１は軸心Ｃ１
の全周囲にわたって回転自在となっている。
【００２４】中間アーム２３は、たとえば第１のアーム
２１と略同一長さである。この中間アーム２３は、その
一端部が第３の連結部２４ｃを介して第１のアーム２１
の他端部に連結されていることにより、第１のアーム２
１に対して軸心Ｃ３周りに相対回転自在である。第２の
アーム２２は、たとえば第１のアーム２１や中間アーム
２３よりも短くされており、その一端部が第４の連結部
２４ｄを介して中間アーム２３の他端部に連結されてい
ることにより、中間アーム２３に対して軸心Ｃ４周りに
相対回転自在である。第２のアーム２２の他端部は、ハ
ンド部材動作機構３のベース部３１に第２の連結部２４
ｂを介して連結されている。このため、ハンド部材動作
機構３は、第２のアーム２２に対して軸心Ｃ２周りに相
対回転自在となっている。
２１と略同一長さである。この中間アーム２３は、その
一端部が第３の連結部２４ｃを介して第１のアーム２１
の他端部に連結されていることにより、第１のアーム２
１に対して軸心Ｃ３周りに相対回転自在である。第２の
アーム２２は、たとえば第１のアーム２１や中間アーム
２３よりも短くされており、その一端部が第４の連結部
２４ｄを介して中間アーム２３の他端部に連結されてい
ることにより、中間アーム２３に対して軸心Ｃ４周りに
相対回転自在である。第２のアーム２２の他端部は、ハ
ンド部材動作機構３のベース部３１に第２の連結部２４
ｂを介して連結されている。このため、ハンド部材動作
機構３は、第２のアーム２２に対して軸心Ｃ２周りに相
対回転自在となっている。
【００２５】図３によく表われているように、リンク機
構２のアーム２１〜２３は、ベース部材１と同様に、中
空状に形成されており、これらの各アームやベース部材
１内には、リンク機構２を動作させるための駆動機構が
組み込まれている。より具体的には、第１の連結部２４
ａは、軸心Ｃ１を中心軸とするスリーブ２５ａを介して
ベース部材１と第１のアーム２１とを連結した構造を有
しており、ベース部材１内に設けられたモータＭ１の駆
動軸２９ａの回転が歯車２８ａ，２８ｂを介してスリー
ブ２５ａに伝達されることにより、第１のアーム２１は
軸心Ｃ１周りに回転するように構成されている。モータ
Ｍ１としては、たとえばブレーキ付きのサーボモータが
用いられている。これは、後述する他のモータＭ２〜Ｍ
６についても同様である。
構２のアーム２１〜２３は、ベース部材１と同様に、中
空状に形成されており、これらの各アームやベース部材
１内には、リンク機構２を動作させるための駆動機構が
組み込まれている。より具体的には、第１の連結部２４
ａは、軸心Ｃ１を中心軸とするスリーブ２５ａを介して
ベース部材１と第１のアーム２１とを連結した構造を有
しており、ベース部材１内に設けられたモータＭ１の駆
動軸２９ａの回転が歯車２８ａ，２８ｂを介してスリー
ブ２５ａに伝達されることにより、第１のアーム２１は
軸心Ｃ１周りに回転するように構成されている。モータ
Ｍ１としては、たとえばブレーキ付きのサーボモータが
用いられている。これは、後述する他のモータＭ２〜Ｍ
６についても同様である。
【００２６】第２ないし第４の連結部２４ｂ〜２４ｄの
基本的な構造は、第１の連結部２４ａと同様であり、軸
心Ｃ２〜Ｃ４を中心軸とするスリーブ２５ｂ〜２５ｄを
介して所定の部材どうしを相対回転可能に連結してい
る。アーム２１〜２３の内部には、モータＭ２〜Ｍ４が
設けられており、それらの駆動軸の回転が、歯車機構あ
るいはタイミングベルトとタイミングプーリとの組み合
わせ機構を介してスリーブ２５ｂ〜２５ｄに伝達される
ことにより、ベース部３１、中間アーム２３、および第
２のアーム２２が軸心Ｃ２〜Ｃ４周りに回転するように
なっている。軸心Ｃ２周りにベース部３１を回転させる
ためのモータＭ２を含んで構成される機構は、本願発明
でいう駆動手段の一例に相当する。
基本的な構造は、第１の連結部２４ａと同様であり、軸
心Ｃ２〜Ｃ４を中心軸とするスリーブ２５ｂ〜２５ｄを
介して所定の部材どうしを相対回転可能に連結してい
る。アーム２１〜２３の内部には、モータＭ２〜Ｍ４が
設けられており、それらの駆動軸の回転が、歯車機構あ
るいはタイミングベルトとタイミングプーリとの組み合
わせ機構を介してスリーブ２５ｂ〜２５ｄに伝達される
ことにより、ベース部３１、中間アーム２３、および第
２のアーム２２が軸心Ｃ２〜Ｃ４周りに回転するように
なっている。軸心Ｃ２周りにベース部３１を回転させる
ためのモータＭ２を含んで構成される機構は、本願発明
でいう駆動手段の一例に相当する。
【００２７】モータＭ２〜Ｍ４および後述するハンド部
材動作機構３用のモータＭ５，Ｍ６に電力供給を行うた
めの配線ケーブル（図示略）は、スリーブ２５ａ，２５
ｃ，２５ｄの各中心穴に順次通されていることにより、
ベース部材１の内部から第１のアーム２１、中間アーム
２３、および第２のアーム２２のそれぞれの内部に配索
されている。第２のアーム２２の内部に到達している配
線ケーブルは、スリーブ２５ｂの中心穴に通されている
ことにより、ベース部３１内にも導かれている。このよ
うな構造によれば、配線ケーブルがリンク機構２の各ア
ームの外部に不体裁に露出しないようにすることができ
る。また、各アームの回転動作などによって配線ケーブ
ルに不当な捩じれなども生じないようにすることもでき
る。
材動作機構３用のモータＭ５，Ｍ６に電力供給を行うた
めの配線ケーブル（図示略）は、スリーブ２５ａ，２５
ｃ，２５ｄの各中心穴に順次通されていることにより、
ベース部材１の内部から第１のアーム２１、中間アーム
２３、および第２のアーム２２のそれぞれの内部に配索
されている。第２のアーム２２の内部に到達している配
線ケーブルは、スリーブ２５ｂの中心穴に通されている
ことにより、ベース部３１内にも導かれている。このよ
うな構造によれば、配線ケーブルがリンク機構２の各ア
ームの外部に不体裁に露出しないようにすることができ
る。また、各アームの回転動作などによって配線ケーブ
ルに不当な捩じれなども生じないようにすることもでき
る。
【００２８】ハンド部材動作機構３は、リンク機構２に
連結されたベース部３１と、このベース部３１の上部に
連結された可動部材３２と、２つのハンド部材３０（３
０Ａ，３０Ｂ）のそれぞれを動作させるための一対ずつ
のアーム３３，３４とを具備して構成されている。
連結されたベース部３１と、このベース部３１の上部に
連結された可動部材３２と、２つのハンド部材３０（３
０Ａ，３０Ｂ）のそれぞれを動作させるための一対ずつ
のアーム３３，３４とを具備して構成されている。
【００２９】各ハンド部材３０は、たとえば略平板状の
基端部３０ａから２つの長細な板状部材３０ｂが適当な
間隔を隔てて一定方向に延びた形態を有しており、たと
えば図１２を参照して説明したハンド部材と同様な態様
で所望の平板状のワークを支持可能なものである。ハン
ド部材３０の上面部には、図示されていない真空ポンプ
またはブロアによって吸引負圧を生じさせることが可能
な小孔３０ｃが適当数設けられており、その吸引負圧を
利用して所望のワークをハンド部材３０に吸着できるよ
うに構成されている。各ハンド部材３０の基端部３０ａ
は、各アーム３３の一端部に支持されている。ただし、
図１に示すように、２つのアーム３３に対する２つのハ
ンド部材３０の取り付け高さは相違しており、これら２
つのハンド部材３０どうしが互いに接触しないように構
成されている。
基端部３０ａから２つの長細な板状部材３０ｂが適当な
間隔を隔てて一定方向に延びた形態を有しており、たと
えば図１２を参照して説明したハンド部材と同様な態様
で所望の平板状のワークを支持可能なものである。ハン
ド部材３０の上面部には、図示されていない真空ポンプ
またはブロアによって吸引負圧を生じさせることが可能
な小孔３０ｃが適当数設けられており、その吸引負圧を
利用して所望のワークをハンド部材３０に吸着できるよ
うに構成されている。各ハンド部材３０の基端部３０ａ
は、各アーム３３の一端部に支持されている。ただし、
図１に示すように、２つのアーム３３に対する２つのハ
ンド部材３０の取り付け高さは相違しており、これら２
つのハンド部材３０どうしが互いに接触しないように構
成されている。
【００３０】２つのハンド部材３０（３０Ａ，３０Ｂ）
のそれぞれは、アーム３３，３４を備えたリンク機構に
より、互いに独立してＸ方向に直線的に往復動自在とさ
れている。各ハンド部材３０をリンク機構を利用して直
線的に往復動させるための原理は、従来より既知であ
り、本実施形態においても従来既知の原理が利用されて
いる。具体的には、図４に示すように、アーム３４は、
その一端部が軸３９ａを介して可動部材３２に連結され
ており、軸３９ａに伴って回転可能である。軸３９ａ
は、可動部材３２内に設けられているモータＭ６の駆動
軸に対してプーリ３８ａ，３８ｂおよびベルト３８ｃを
介して駆動連結されており、モータＭ６の駆動により回
転自在である。アーム３３は、その他端部が軸３９ｂを
介してアーム３４の他端部に連結されており、軸３９ｂ
に伴って回転可能である。軸３９ａ，３９ｂには、ベル
ト３６ａが掛け廻された一対のプーリ３７ａ，３７ｂが
装着されており、プーリ３７ａの回転動作によって軸３
９ｂが回転するように構成されている。ハンド部材３０
は、軸３９ｃを介してアーム３３の一端部に連結されて
おり、軸３９ｃの回転に伴ってアーム３３に対して相対
回転可能である。軸３９ｂ，３９ｃには、ベルト３６ｂ
が掛け廻された一対のプーリ３７ｃ，３７ｄが装着され
ており、プーリ３７ｃの回転動作によって軸３９ｃが回
転するように構成されている。プーリ３７ｂ，３７ｃの
直径は、プーリ３７ａ，３７ｄの直径の１／２とされて
いる。
のそれぞれは、アーム３３，３４を備えたリンク機構に
より、互いに独立してＸ方向に直線的に往復動自在とさ
れている。各ハンド部材３０をリンク機構を利用して直
線的に往復動させるための原理は、従来より既知であ
り、本実施形態においても従来既知の原理が利用されて
いる。具体的には、図４に示すように、アーム３４は、
その一端部が軸３９ａを介して可動部材３２に連結され
ており、軸３９ａに伴って回転可能である。軸３９ａ
は、可動部材３２内に設けられているモータＭ６の駆動
軸に対してプーリ３８ａ，３８ｂおよびベルト３８ｃを
介して駆動連結されており、モータＭ６の駆動により回
転自在である。アーム３３は、その他端部が軸３９ｂを
介してアーム３４の他端部に連結されており、軸３９ｂ
に伴って回転可能である。軸３９ａ，３９ｂには、ベル
ト３６ａが掛け廻された一対のプーリ３７ａ，３７ｂが
装着されており、プーリ３７ａの回転動作によって軸３
９ｂが回転するように構成されている。ハンド部材３０
は、軸３９ｃを介してアーム３３の一端部に連結されて
おり、軸３９ｃの回転に伴ってアーム３３に対して相対
回転可能である。軸３９ｂ，３９ｃには、ベルト３６ｂ
が掛け廻された一対のプーリ３７ｃ，３７ｄが装着され
ており、プーリ３７ｃの回転動作によって軸３９ｃが回
転するように構成されている。プーリ３７ｂ，３７ｃの
直径は、プーリ３７ａ，３７ｄの直径の１／２とされて
いる。
【００３１】ハンド部材３０は、次のような原理によ
り、直線的に往復動を行う。すなわち、アーム３３，３
４が図５の実線に示すように直線上に並んだ状態から、
アーム３４が矢印Ｎａ方向に角度θだけ回転すると、ア
ーム３３は、本来ならば、符号ｎ１で示す箇所に移動す
る。ところが、アーム３４の回転時には、ベルト３６ａ
が矢印Ｎｂ，Ｎｃ方向に移動して、プーリ３７ｂおよび
軸３９ｂを矢印Ｎｄ方向に回転させるため、アーム３３
は、実際には軸３９ｂを中心として矢印Ｎｅ方向に回転
する。プーリ３７ｂは、プーリ３７ａの１／２の直径で
あるため、その際のアーム３３の回転量はプーリ３７ａ
の回転量の２倍となる。したがって、アーム３３の矢印
Ｎｅ方向への回転角度は、２θとなり、アーム３３の一
端部の軸３９ｃは、元の軸３９ｃの中心と軸３９ａの中
心とを結ぶ直線上を移動する。このようなことにより、
ハンド部材３０の直進往復動作が実現される。また、上
記動作の際には、ベルト３６ｂが矢印Ｎｆ，Ｎｇ方向に
移動することにより、プーリ３７ｄおよび軸３９ｃがプ
ーリ３７ｂ，３７ｃの１／２の回転量だけ矢印Ｎｈ方向
に回転する。したがって、ハンド部材３０は、アーム３
３に相対して矢印Ｎｈ方向に角度θだけ回転することと
なる。したがって、ハンド部材３０の向きは当初の向き
のままとなる。
り、直線的に往復動を行う。すなわち、アーム３３，３
４が図５の実線に示すように直線上に並んだ状態から、
アーム３４が矢印Ｎａ方向に角度θだけ回転すると、ア
ーム３３は、本来ならば、符号ｎ１で示す箇所に移動す
る。ところが、アーム３４の回転時には、ベルト３６ａ
が矢印Ｎｂ，Ｎｃ方向に移動して、プーリ３７ｂおよび
軸３９ｂを矢印Ｎｄ方向に回転させるため、アーム３３
は、実際には軸３９ｂを中心として矢印Ｎｅ方向に回転
する。プーリ３７ｂは、プーリ３７ａの１／２の直径で
あるため、その際のアーム３３の回転量はプーリ３７ａ
の回転量の２倍となる。したがって、アーム３３の矢印
Ｎｅ方向への回転角度は、２θとなり、アーム３３の一
端部の軸３９ｃは、元の軸３９ｃの中心と軸３９ａの中
心とを結ぶ直線上を移動する。このようなことにより、
ハンド部材３０の直進往復動作が実現される。また、上
記動作の際には、ベルト３６ｂが矢印Ｎｆ，Ｎｇ方向に
移動することにより、プーリ３７ｄおよび軸３９ｃがプ
ーリ３７ｂ，３７ｃの１／２の回転量だけ矢印Ｎｈ方向
に回転する。したがって、ハンド部材３０は、アーム３
３に相対して矢印Ｎｈ方向に角度θだけ回転することと
なる。したがって、ハンド部材３０の向きは当初の向き
のままとなる。
【００３２】図３によく表われているように、ハンド部
材動作機構３の可動部材３２は、ベース部３１に対して
鉛直方向に延びる軸心Ｃ５周りに相対回転自在とされて
いる。より具体的には、可動部材３２は、ベース部３１
に対してスリーブ３５を介して連結されており、ベース
部３１内に設けられたモータＭ５の駆動力によってスリ
ーブ３５が回転されることにより軸心Ｃ５周りに回転す
るように構成されている。この可動部材３２が軸心Ｃ５
周りに回転すると、各アーム３３，３４や各ハンド部材
３０もこれに伴って旋回する。したがって、各ハンド部
材３０は、略水平方向のうちのＸ方向以外の種々の方向
にも往復動自在である。
材動作機構３の可動部材３２は、ベース部３１に対して
鉛直方向に延びる軸心Ｃ５周りに相対回転自在とされて
いる。より具体的には、可動部材３２は、ベース部３１
に対してスリーブ３５を介して連結されており、ベース
部３１内に設けられたモータＭ５の駆動力によってスリ
ーブ３５が回転されることにより軸心Ｃ５周りに回転す
るように構成されている。この可動部材３２が軸心Ｃ５
周りに回転すると、各アーム３３，３４や各ハンド部材
３０もこれに伴って旋回する。したがって、各ハンド部
材３０は、略水平方向のうちのＸ方向以外の種々の方向
にも往復動自在である。
【００３３】次に、上記構成のトランスファロボットＲ
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００３４】まず、このトランスファロボットＲにおい
ては、図６に示すように、リンク機構２の複数のアーム
２１〜２３を軸心Ｃ１，Ｃ３，Ｃ４周りに回転させるこ
とにより、各ハンド部材３０をＺ方向において昇降させ
得るのに加え、Ｙ方向にも移動させることができる。そ
の移動の際に、ハンド部材動作機構３のベース部３１を
軸心Ｃ２周りに回転させることにより、各ハンド部材３
０を水平姿勢に維持することもできる。なお、各ハンド
部材３０を垂直姿勢など、水平姿勢以外の姿勢にするこ
ともできる。このトランスファロボットＲでは、少なく
とも同図のハッチングが入れられた半円領域Ｓの範囲内
において、各ハンド部材３０のセンタＰを任意に移動さ
せることが可能である。
ては、図６に示すように、リンク機構２の複数のアーム
２１〜２３を軸心Ｃ１，Ｃ３，Ｃ４周りに回転させるこ
とにより、各ハンド部材３０をＺ方向において昇降させ
得るのに加え、Ｙ方向にも移動させることができる。そ
の移動の際に、ハンド部材動作機構３のベース部３１を
軸心Ｃ２周りに回転させることにより、各ハンド部材３
０を水平姿勢に維持することもできる。なお、各ハンド
部材３０を垂直姿勢など、水平姿勢以外の姿勢にするこ
ともできる。このトランスファロボットＲでは、少なく
とも同図のハッチングが入れられた半円領域Ｓの範囲内
において、各ハンド部材３０のセンタＰを任意に移動さ
せることが可能である。
【００３５】リンク機構２の各アームを、同図の実線で
示す位置から符号ｎ２で示す位置に移動させる場合、矢
印Ｎｉに示すように、第１のアーム２１をその他端部が
軸心Ｃ１の下方を通過するように回転させることができ
る。このようにすると、中間アーム２３や第２のアーム
２２の高さも低く抑えることができ、ハンド部材３０の
高さを低く維持させたまま、Ｙ方向へ移動させるのに好
適となる。上記動作をより具体的に説明すると、たとえ
ば図６の実線で示す状態から、図７（ａ）〜（ｅ）に示
すようにリンク機構２の各アームを種々の角度に回転さ
せることにより、各ハンド部材３０の中心Ｐを、図６の
符号Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３で示す位置へ直線的に移動させる
ことができる。本実施形態においては、中間アーム２３
と第２のアーム２２とのそれぞれが、第１のアーム２１
の長さと同等もしくはそれよりも短い長さとされている
ために、第１のアーム２１の他端部を下降させるととも
に、この他端部から中間アーム２３と第２のアーム２２
とを立ち上がらせた格好にした場合に、軸心Ｃ２の高さ
を比較的低くすることができる。このことは、ハンド部
材３０をＹ方向に平行移動可能とする最低高さを低くす
るのにより好ましいものとなる。
示す位置から符号ｎ２で示す位置に移動させる場合、矢
印Ｎｉに示すように、第１のアーム２１をその他端部が
軸心Ｃ１の下方を通過するように回転させることができ
る。このようにすると、中間アーム２３や第２のアーム
２２の高さも低く抑えることができ、ハンド部材３０の
高さを低く維持させたまま、Ｙ方向へ移動させるのに好
適となる。上記動作をより具体的に説明すると、たとえ
ば図６の実線で示す状態から、図７（ａ）〜（ｅ）に示
すようにリンク機構２の各アームを種々の角度に回転さ
せることにより、各ハンド部材３０の中心Ｐを、図６の
符号Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３で示す位置へ直線的に移動させる
ことができる。本実施形態においては、中間アーム２３
と第２のアーム２２とのそれぞれが、第１のアーム２１
の長さと同等もしくはそれよりも短い長さとされている
ために、第１のアーム２１の他端部を下降させるととも
に、この他端部から中間アーム２３と第２のアーム２２
とを立ち上がらせた格好にした場合に、軸心Ｃ２の高さ
を比較的低くすることができる。このことは、ハンド部
材３０をＹ方向に平行移動可能とする最低高さを低くす
るのにより好ましいものとなる。
【００３６】上記説明から理解されるように、リンク機
構２は、各ハンド部材３０の最下降高さを低くするのに
好適である。その一方、アーム２１〜２３のそれぞれが
上方へ延びる姿勢にされた場合には、各ハンド部材３０
をかなり高い位置に上昇させることもできる。したがっ
て、このトランスファロボットＲを、たとえば図１１に
示したようなカセット６２に対するワークの出し入れ用
途に用いる場合において、そのカセット６２の底部の高
さＨａが低くされている一方、その上部の高さＨｂが高
くされているような場合にも好適に対処できることとな
る。本実施形態においては、図６の符号Ｐ１，Ｐ２，Ｐ
４，Ｐ５で示す箇所を４隅の頂点とする矩形状の領域に
おいて、各ハンド部材３０をＹ方向とＺ方向とのいずれ
の方向においても直線的に移動させることが可能であ
る。
構２は、各ハンド部材３０の最下降高さを低くするのに
好適である。その一方、アーム２１〜２３のそれぞれが
上方へ延びる姿勢にされた場合には、各ハンド部材３０
をかなり高い位置に上昇させることもできる。したがっ
て、このトランスファロボットＲを、たとえば図１１に
示したようなカセット６２に対するワークの出し入れ用
途に用いる場合において、そのカセット６２の底部の高
さＨａが低くされている一方、その上部の高さＨｂが高
くされているような場合にも好適に対処できることとな
る。本実施形態においては、図６の符号Ｐ１，Ｐ２，Ｐ
４，Ｐ５で示す箇所を４隅の頂点とする矩形状の領域に
おいて、各ハンド部材３０をＹ方向とＺ方向とのいずれ
の方向においても直線的に移動させることが可能であ
る。
【００３７】このトランスファロボットＲにおいては、
リンク機構２を利用して各ハンド部材３０をＺ方向とＹ
方向とのいずれにも移動させることができるために、た
とえば図８に示すように、所望のワークを収容するため
の２つのカセット６２がＹ方向に並べられている場合に
は、ベース部材１をフロアに固定させたまま、リンク機
構２を動作させることにより各ハンド部材３０を各カセ
ット６２の正面に配置することができる。したがって、
各カセット６２に対するワークの出し入れ作業を適切に
行うことが可能となる。各ハンド部材３０のＺ方向への
移動とＹ方向への移動とは複合的に同時に行うことがで
きる。また、その際には、各ハンド部材３０の軸心Ｃ５
周りの水平旋回動作も併せて行うことができる。したが
って、作業能率を高めることができる。さらに、２つの
ハンド部材３０を独立して往復動作させることもできる
ために、作業能率を一層高めることができる。
リンク機構２を利用して各ハンド部材３０をＺ方向とＹ
方向とのいずれにも移動させることができるために、た
とえば図８に示すように、所望のワークを収容するため
の２つのカセット６２がＹ方向に並べられている場合に
は、ベース部材１をフロアに固定させたまま、リンク機
構２を動作させることにより各ハンド部材３０を各カセ
ット６２の正面に配置することができる。したがって、
各カセット６２に対するワークの出し入れ作業を適切に
行うことが可能となる。各ハンド部材３０のＺ方向への
移動とＹ方向への移動とは複合的に同時に行うことがで
きる。また、その際には、各ハンド部材３０の軸心Ｃ５
周りの水平旋回動作も併せて行うことができる。したが
って、作業能率を高めることができる。さらに、２つの
ハンド部材３０を独立して往復動作させることもできる
ために、作業能率を一層高めることができる。
【００３８】図９に示すように、比較的多くのカセット
６２がＹ方向に並べられている場合には、ベース部材１
を移動装置４上に取り付けて、トランスファロボットＲ
の全体をＹ方向に移動させる使用態様にすることもでき
る。トランスファロボットＲは、ハンド部材３０をリン
ク機構２の動作によってもＹ方向に移動させることがで
きるために、その分だけトランスファロボットＲの全体
の移動距離Ｌ１を少なくすることができる。移動装置４
によってトランスファロボットＲの全体をＹ方向に移動
させている際には、リンク機構２によってハンド部材３
０を同方向にさらに移動させることもできるから、トラ
ンスファロボットＲの動作速度を速めることも可能とな
る。
６２がＹ方向に並べられている場合には、ベース部材１
を移動装置４上に取り付けて、トランスファロボットＲ
の全体をＹ方向に移動させる使用態様にすることもでき
る。トランスファロボットＲは、ハンド部材３０をリン
ク機構２の動作によってもＹ方向に移動させることがで
きるために、その分だけトランスファロボットＲの全体
の移動距離Ｌ１を少なくすることができる。移動装置４
によってトランスファロボットＲの全体をＹ方向に移動
させている際には、リンク機構２によってハンド部材３
０を同方向にさらに移動させることもできるから、トラ
ンスファロボットＲの動作速度を速めることも可能とな
る。
【００３９】図１０は、本願発明に係るトランスファロ
ボットの他の実施形態を示している。なお、同図におい
て、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実
施形態と同一符号を付している。
ボットの他の実施形態を示している。なお、同図におい
て、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実
施形態と同一符号を付している。
【００４０】図１０に示すトランスファロボットＲａ
は、中間アーム２３が第１のアーム２１よりも長い寸法
とされたリンク機構２Ａを有している。他の基本的な構
成は、先に説明したトランスファロボットＲと同様であ
る。
は、中間アーム２３が第１のアーム２１よりも長い寸法
とされたリンク機構２Ａを有している。他の基本的な構
成は、先に説明したトランスファロボットＲと同様であ
る。
【００４１】このような構成によれば、同図の仮想線で
代表的に示されているようにリンク機構２Ａを動作させ
ることにより、少なくとも同図の符号Ｓ１で示すハッチ
ング領域内において、各ハンド部材３０のセンタＰを任
意に移動させることが可能である。中間アーム２３が長
くされているために、図６に示した場合と比べて、各ハ
ンド部材３０のＹ方向の移動範囲を大きくとることが可
能である。また、Ｚ方向への移動範囲も大きくなり、図
６に示したものよりも各ハンド部材３０の最上昇高さを
高くすることもできる。ただし、ベース部材１の直上部
分近辺においては、各ハンド部材３０を水平移動させる
ことができない範囲が生じる。このような作用は、中間
アーム２３に代えて、第２のアーム２２を第１のアーム
２１よりも長くした場合にも同様に得られることとな
り、本願発明ではそのような構成にすることもできる。
代表的に示されているようにリンク機構２Ａを動作させ
ることにより、少なくとも同図の符号Ｓ１で示すハッチ
ング領域内において、各ハンド部材３０のセンタＰを任
意に移動させることが可能である。中間アーム２３が長
くされているために、図６に示した場合と比べて、各ハ
ンド部材３０のＹ方向の移動範囲を大きくとることが可
能である。また、Ｚ方向への移動範囲も大きくなり、図
６に示したものよりも各ハンド部材３０の最上昇高さを
高くすることもできる。ただし、ベース部材１の直上部
分近辺においては、各ハンド部材３０を水平移動させる
ことができない範囲が生じる。このような作用は、中間
アーム２３に代えて、第２のアーム２２を第１のアーム
２１よりも長くした場合にも同様に得られることとな
り、本願発明ではそのような構成にすることもできる。
【００４２】本願発明に係るトランスファロボットの各
部の具体的な構成は、上述の実施形態に限定されず、種
々に設計変更自在である。
部の具体的な構成は、上述の実施形態に限定されず、種
々に設計変更自在である。
【００４３】本願発明においては、たとえば中間アーム
の数を複数として、これら複数の中間アームを介して第
１のアームと第２のアームとが連結された構造とされて
いてもかまわない。
の数を複数として、これら複数の中間アームを介して第
１のアームと第２のアームとが連結された構造とされて
いてもかまわない。
【００４４】ハンド部材３０をＸ方向に往復動させるた
めの具体的な機構は、上記した機構に限定されず、それ
以外の種々の機構を用いることができる。本願発明に係
るトランスファロボットは、たとえば液晶パネルの製造
設備において、液晶パネル製造用の基板を搬送する用途
に好適であるが、やはり本願発明はこれに限定されず、
半導体製造用のウェハや、その他の種々のワークの搬送
用途に用いることが可能であり、その具体的な使用用途
は問わない。したがって、ハンド部材の具体的な構成も
ワークの種類に応じて種々に設計変更することができ、
たとえば上面部にワークを載置させることによってのみ
ワークを保持するもの、ワークを機械的にクランプする
もの、または吸引負圧、磁力、その他の物理的な作用を
利用してワークを吸着保持するものにすることもでき
る。ハンド部材は、少なくとも１つ具備されていればよ
く、複数のハンド部材が具備されていない構成とするこ
ともできる。
めの具体的な機構は、上記した機構に限定されず、それ
以外の種々の機構を用いることができる。本願発明に係
るトランスファロボットは、たとえば液晶パネルの製造
設備において、液晶パネル製造用の基板を搬送する用途
に好適であるが、やはり本願発明はこれに限定されず、
半導体製造用のウェハや、その他の種々のワークの搬送
用途に用いることが可能であり、その具体的な使用用途
は問わない。したがって、ハンド部材の具体的な構成も
ワークの種類に応じて種々に設計変更することができ、
たとえば上面部にワークを載置させることによってのみ
ワークを保持するもの、ワークを機械的にクランプする
もの、または吸引負圧、磁力、その他の物理的な作用を
利用してワークを吸着保持するものにすることもでき
る。ハンド部材は、少なくとも１つ具備されていればよ
く、複数のハンド部材が具備されていない構成とするこ
ともできる。
【図１】本願発明に係るトランスファロボットの一実施
形態を示す斜視図である。
形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すトランスファロボットの動作状態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】図１のIII −III 断面図である。
【図４】図１に示すトランスファロボットのハンド部材
動作機構の概略断面図である。
動作機構の概略断面図である。
【図５】図１に示すトランスファロボットのハンド部材
動作機構の動作説明図である。
動作機構の動作説明図である。
【図６】図１に示すトランスファロボットの動作説明図
である。
である。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、図１に示すトランスファロ
ボットの動作説明図である。
ボットの動作説明図である。
【図８】図１に示すトランスファロボットの一使用例を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図９】図１に示すトランスファロボットの他の使用例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図１０】本願発明に係るトランスファロボットの他の
実施形態を示す説明図である。
実施形態を示す説明図である。
【図１１】カセットにワークを出し入れする作業の一例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図１２】従来技術の一例を示す説明図である。
【図１３】従来技術の他の例を示す説明図である。
Ｒ，Ｒａ トランスファロボット Ｃ１〜Ｃ５ 軸心 １ ベース部材 ２，２Ａ リンク機構 ３ ハンド部材動作機構 ２１ 第１のアーム ２２ 第２のアーム ２３ 中間アーム ２４ａ〜２４ｄ 第１ないし第４の連結部 ３０ ハンド部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ Ｆターム(参考） 3C007 AS24 BS09 BS15 BS26 BT14 CV08 CW08 DS05 ES17 FS01 FS06 HT02 HT21 NS09 NS12 NS21 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 GA03 GA04 GA08 GA10 GA43 GA45 GA47 GA50 LA09 LA13 PA30
Claims (6)
- 【請求項１】 ワーク保持用のハンド部材を少なくとも
略水平なＸ方向に往復動自在とするハンド部材動作機構
と、 一端部が第１の連結部を介してベース部材に連結されて
おり、かつ他端部が上記第１の連結部の下方を通過でき
るように、上記第１の連結部のＸ方向に延びる軸心周り
に回転自在な第１のアームと、 この第１のアームの他端部に一端部が連結されており、
かつ他端部が第２の連結部を介して上記ハンド部材動作
機構に連結されている第２のアームと、 上記ハンド部材動作機構を上記第２の連結部のＸ方向に
延びる軸心周りに回転自在とする駆動手段と、 を具備している、トランスファロボットであって、 上記第１のアームの他端部および上記第２のアームの一
端部に、第３および第４の連結部を介して連結され、か
つこれら第３および第４の連結部のＸ方向に延びる軸心
周りに回転自在な少なくとも１つの中間アームを備えて
いることを特徴とする、トランスファロボット。 - 【請求項２】 上記中間アームおよび上記第２のアーム
のそれぞれは、上記第１のアームと略同一長さまたはそ
れよりも短くされているとともに、上記中間アームと上
記第２のアームとのトータル長さは、上記第１のアーム
の長さよりも長くされている、請求項１に記載のトラン
スファロボット。 - 【請求項３】 上記中間アームおよび上記第２のアーム
の少なくとも一方は、上記第１のアームよりも長くされ
ている、請求項１に記載のトランスファロボット。 - 【請求項４】 上記ハンド部材は、所望のワークを上面
部に載置させることが可能なもの、ワークをクランプ可
能なもの、真空吸着可能なもの、または磁力吸着可能な
ものである、請求項１ないし３のいずれかに記載のトラ
ンスファロボット。 - 【請求項５】 上記ハンド部材動作機構は、複数のハン
ド部材を有しており、かつこれら複数のハンド部材のそ
れぞれは、互いに独立して少なくともＸ方向に移動自在
とされている、請求項１ないし４のいずれかに記載のト
ランスファロボット。 - 【請求項６】 上記ハンド部材動作機構が水平旋回自在
とされていることにより、上記ハンド部材は、Ｘ方向以
外の略水平な方向にも往復動自在とされている、請求項
１ないし５のいずれかに記載のトランスファロボット。
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|---|---|---|---|
| JP2000346674 | 2000-11-14 | ||
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| JP2001169995A JP4558981B2 (ja) | 2000-11-14 | 2001-06-05 | トランスファロボット |
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| JP4558981B2 JP4558981B2 (ja) | 2010-10-06 |
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