JPS63119370A - 自己走査型等倍光センサ - Google Patents
自己走査型等倍光センサInfo
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- JPS63119370A JPS63119370A JP61265014A JP26501486A JPS63119370A JP S63119370 A JPS63119370 A JP S63119370A JP 61265014 A JP61265014 A JP 61265014A JP 26501486 A JP26501486 A JP 26501486A JP S63119370 A JPS63119370 A JP S63119370A
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Landscapes
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- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、ファクシミリに代表される画像読取り装置等
において用いられる自己走査型等倍光センサに関する。
において用いられる自己走査型等倍光センサに関する。
従来技術
従来、 「日経エレクトロニクス、１９８２．４．２６
Ｊの第１４９頁ないし第１６１頁等に示されるように、
ＬＳＩ実装、ＴＰＴ （薄膜トランジスタ）等による等
倍光センサの駆動方式は、広く知られた技術である。こ
こに、これらのセンサでは回路コストがセンサコストの
大半を占めている。
Ｊの第１４９頁ないし第１６１頁等に示されるように、
ＬＳＩ実装、ＴＰＴ （薄膜トランジスタ）等による等
倍光センサの駆動方式は、広く知られた技術である。こ
こに、これらのセンサでは回路コストがセンサコストの
大半を占めている。
従って、急激な低コスト化が進みつつあるＣ’ＣＤイメ
ージセンサ等の縮小光学系を要するセンサにコスト面で
対抗するためには、このような回路コストを低減させる
必要がある。
ージセンサ等の縮小光学系を要するセンサにコスト面で
対抗するためには、このような回路コストを低減させる
必要がある。
ここに、サクセシブ・ガス・ディスチャージ（ｓｕｃｃ
ｅｓｓｉｖｅ ｇａｓ ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）によ
り光センサのスキャニング方式については、米国特許第
４゜５５１．６２２号に示されるようなものがある。
ｅｓｓｉｖｅ ｇａｓ ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）によ
り光センサのスキャニング方式については、米国特許第
４゜５５１．６２２号に示されるようなものがある。
しかるに、この特許によるものはサンドイッチ型（フォ
トダイオード型）の光電変換素子の容量を利用する蓄積
型光センサに関するものであり、センサ自体の製造歩留
まりの向上が困難な点から、低コスト化には不適なもの
である。
トダイオード型）の光電変換素子の容量を利用する蓄積
型光センサに関するものであり、センサ自体の製造歩留
まりの向上が困難な点から、低コスト化には不適なもの
である。
しかして、プレナー型の光電変換素子による等倍光セン
サの駆動方式としては、第５図に示すようなものがある
。まず、Ｒ１−Ｒ２゜４．で示す２０４８個の光導電型
光電変換素子を線状に連続的に配列してなる光電変換素
子列１が設けられている。
サの駆動方式としては、第５図に示すようなものがある
。まず、Ｒ１−Ｒ２゜４．で示す２０４８個の光導電型
光電変換素子を線状に連続的に配列してなる光電変換素
子列１が設けられている。
これらの光電変換素子Ｒはｎ個ずつｍブロックに分けら
れており（ｍＸ ｎ ＝ ２０４８） 、例えばｍ＝６
４、ｎ＝６４に設定されている。そして、各光電変換素
子Ｒの一端側が共通側とされ、各ブロック単位でｍ個の
共通側スイッチ素子（アナログスイッチ） Ａ、、 Ａ
、、〜＋Ａｍに接続され、更に電源２に接続されている
。又、各光電変換素子Ｒの他端側は個別側となるもので
、マトリックス回路３を介して各ブロックから１つずつ
共通に個別側スイッチ素子（アナログスイッチ）Ｂ、、
Ｂ、。
れており（ｍＸ ｎ ＝ ２０４８） 、例えばｍ＝６
４、ｎ＝６４に設定されている。そして、各光電変換素
子Ｒの一端側が共通側とされ、各ブロック単位でｍ個の
共通側スイッチ素子（アナログスイッチ） Ａ、、 Ａ
、、〜＋Ａｍに接続され、更に電源２に接続されている
。又、各光電変換素子Ｒの他端側は個別側となるもので
、マトリックス回路３を介して各ブロックから１つずつ
共通に個別側スイッチ素子（アナログスイッチ）Ｂ、、
Ｂ、。
〜＋Ｂｎに接続されている。この個別側スイッチ素子Ｂ
、、Ｂ□、〜＋Ｂｎには各々○Ｐアンプ４．。
、、Ｂ□、〜＋Ｂｎには各々○Ｐアンプ４．。
４□、〜＋ ４ｎが接続されている。５は出力端子であ
る。このような構成により、共通側スイッチ素子Ａ、、
Ａヨ、〜＋Ａｍと個別側スイッチ素子Ｂ ｌ ｌＢよ
、〜＋ Ｂｎとを順次切換えることにより、各光電変換
素子Ｒ１〜Ｒ８゜４．を順に走査し、画像信号を電気的
信号に変換して出力端子５からシリアル信号として出力
させるものである。
る。このような構成により、共通側スイッチ素子Ａ、、
Ａヨ、〜＋Ａｍと個別側スイッチ素子Ｂ ｌ ｌＢよ
、〜＋ Ｂｎとを順次切換えることにより、各光電変換
素子Ｒ１〜Ｒ８゜４．を順に走査し、画像信号を電気的
信号に変換して出力端子５からシリアル信号として出力
させるものである。
しかし、このような方式による場合、ｍ、ｎの絹合せは
任意であるものの１図示の如くｍ＝６４、ｎ＝３２の組
合せとした場合で考えると、駆動回路には少なくとも９
６本の信号線の引出しと、９６個のアナログスイッチの
実装が必要となるものである。又、これらの信号処理を
行なうための薄膜トランジスタをも同一基板上に組込ん
で行なう方式も試みられているが、そのためには複雑な
製造プロセスが必要となるものである。結局、従来方式
による場合は、光電変換素子列を駆動させるための回路
コストの低減、更には製造コスト、実装コストの低減が
難しいものである。
任意であるものの１図示の如くｍ＝６４、ｎ＝３２の組
合せとした場合で考えると、駆動回路には少なくとも９
６本の信号線の引出しと、９６個のアナログスイッチの
実装が必要となるものである。又、これらの信号処理を
行なうための薄膜トランジスタをも同一基板上に組込ん
で行なう方式も試みられているが、そのためには複雑な
製造プロセスが必要となるものである。結局、従来方式
による場合は、光電変換素子列を駆動させるための回路
コストの低減、更には製造コスト、実装コストの低減が
難しいものである。
目的
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、外部へ
の信号線の引出し数を減少させて駆動回路コストの低コ
スト化を図ることができる自己走査型等倍光センサを得
ることを目的とする。
の信号線の引出し数を減少させて駆動回路コストの低コ
スト化を図ることができる自己走査型等倍光センサを得
ることを目的とする。
構成
本発明は、上記目的を達成するため、複数の光導電型光
電変換要素を線状に連続的に配列させた光電変換要素列
を設け、各光電変換要素に対して１対１で対応させて接
続した放電スイッチからなる放電スイッチ列を設け、こ
の放電スイッチ列の各放電スイッチを順次放電により短
絡させる短絡手段を設け、短絡した前記放電スイッチの
放電に要する電界に基づき対応する前記光電変換要素か
ら得られる光電変換信号を順次読出す信号処理手段を設
けたことを特徴とするものである。
電変換要素を線状に連続的に配列させた光電変換要素列
を設け、各光電変換要素に対して１対１で対応させて接
続した放電スイッチからなる放電スイッチ列を設け、こ
の放電スイッチ列の各放電スイッチを順次放電により短
絡させる短絡手段を設け、短絡した前記放電スイッチの
放電に要する電界に基づき対応する前記光電変換要素か
ら得られる光電変換信号を順次読出す信号処理手段を設
けたことを特徴とするものである。
以下、本発明の一実施例を第１図ないし第４図に基づい
て説明する。まず、第１図は本発明による等倍光センサ
の自己走査型駆動方式の原理を示す回路図で、第２図は
その駆動タイミングチャートである。複数個の光導電型
光電変換要素（抵抗成分） Ｒ，、Ｒ，、〜＋Ｒｎを直
線状に等間隔で連続的に配置させてなる光電変換要素列
６が設けられている。ここに、これらの光電変換要素Ｒ
Ｉ ＩＲ２Ｔ〜＋ＲＴｌの各々には１対１で対応させて
放電スイッチＳ＋＋Ｓｔ＋〜＋Ｓｎが接続されている。
て説明する。まず、第１図は本発明による等倍光センサ
の自己走査型駆動方式の原理を示す回路図で、第２図は
その駆動タイミングチャートである。複数個の光導電型
光電変換要素（抵抗成分） Ｒ，、Ｒ，、〜＋Ｒｎを直
線状に等間隔で連続的に配置させてなる光電変換要素列
６が設けられている。ここに、これらの光電変換要素Ｒ
Ｉ ＩＲ２Ｔ〜＋ＲＴｌの各々には１対１で対応させて
放電スイッチＳ＋＋Ｓｔ＋〜＋Ｓｎが接続されている。
又、スタート用放電スイッチＳ、も放電スイッチＳｌの
近傍に設けられている。これらの放電スイッチＳ０〜Ｓ
ｎにより、放電スイッチ列７が形成されている。そして
、これら放電スイッチ５６１Ｓｌ！３２１〜＋Ｓｎを順
次放電により短絡させる短絡手段８が設けられている。
近傍に設けられている。これらの放電スイッチＳ０〜Ｓ
ｎにより、放電スイッチ列７が形成されている。そして
、これら放電スイッチ５６１Ｓｌ！３２１〜＋Ｓｎを順
次放電により短絡させる短絡手段８が設けられている。
この短絡手段８はスタートパシスφＳが印加される配線
し０と、各々パルスφ１．φ３．φ、が所定タイミング
で印加される配線り、、 Ｌ、、 Ｌ、とを設け、
配線り。を放電スイッチＳ。に接続し、配線り、、 Ｌ
、、 Ｌ、に対して放電スイッチ５ＩＩＳ！ｌ〜＋Ｓ
ｎを２つ置きに１つずつ接続、例えば配線り、には放電
スイッチＳ ｌ ｌＳ ４１ ・・・、配線Ｌ２には放
電スイッチ５ＩＩＳＳ＋ ・・・。
し０と、各々パルスφ１．φ３．φ、が所定タイミング
で印加される配線り、、 Ｌ、、 Ｌ、とを設け、
配線り。を放電スイッチＳ。に接続し、配線り、、 Ｌ
、、 Ｌ、に対して放電スイッチ５ＩＩＳ！ｌ〜＋Ｓ
ｎを２つ置きに１つずつ接続、例えば配線り、には放電
スイッチＳ ｌ ｌＳ ４１ ・・・、配線Ｌ２には放
電スイッチ５ＩＩＳＳ＋ ・・・。
配線Ｌ３には放電スイッチＳｓ＋ｓｓ＋ ・・・という
ように接続してなる。一方、前記光電変換要素Ｒｌ ｌ
Ｒ２，〜＋Ｒｎの他端側は全て共通の信号線９に接続さ
れ、信号処理手段となる１個のＯＰアンプ１ｏに接続さ
れ、このｏＰアンプ１０から出力端子１１が引出されて
いる。
ように接続してなる。一方、前記光電変換要素Ｒｌ ｌ
Ｒ２，〜＋Ｒｎの他端側は全て共通の信号線９に接続さ
れ、信号処理手段となる１個のＯＰアンプ１ｏに接続さ
れ、このｏＰアンプ１０から出力端子１１が引出されて
いる。
このような構成において、第２図に示すようにまず、ス
タートパルスφＳが与えられることにより、スタート用
放電スイッチＳ、で放電を生じる。
タートパルスφＳが与えられることにより、スタート用
放電スイッチＳ、で放電を生じる。
このような状態で、次のスタートパルスφ、を与えると
、既に放電しているスタート用放電スイッチＳ、に最も
近い放電スイッチＳ１に放電が移動する。これにより、
放電スイッチＳ、が短絡することとなる。この時、放電
スイッチＳ１ に印加されたパルスは、対応する光電変
換要素Ｒ１にも印加される。これにより、この時に光電
変換要素Ｒ８が受けていた光量（画像情報）に応じた電
流が流れる。即ち、放電スイッチＳ、の放電に要する電
界に基づき対応する光電変換要素Ｒ１から信号を読出す
ものである。この電流は信号線９を介して○Ｐアンプ１
０に入力され、出力端子１１から■０として出力される
。そして、次のタイミングでパルスφ２が印加されると
、今度は放電スイッチＳ、に最も近い放電スイッチＳ２
に放電が移動し、この放電スイッチＳ３が短絡する。こ
の時、放電スイッチＳ□に印加されたパルスは、対応す
る光電変換要素Ｒ２にも印加される。これにより、この
時に光電変換要素Ｒ３が受けていた光量に応じた電流が
流れる。この電流はやはり信号線９を介してＯＰアンプ
１０に入力され、出力端子１１からＶｏとして出力され
る。以下、同様にしてパルスφ１．φ１．φ２．φ３．
・・・のように順次印加するとともに（１ライン終了す
る毎にスタートパルスφＳを印加する）、そのタイミン
グに同期させて入力端子９にパルス電圧Ｖｉを入力させ
ることにより、以下の充電変換要素Ｒ３１・・・＋Ｒｎ
からの画像情報（光量）が電気的な信号として出力端子
１１から連続的に出力されることとなる。
、既に放電しているスタート用放電スイッチＳ、に最も
近い放電スイッチＳ１に放電が移動する。これにより、
放電スイッチＳ、が短絡することとなる。この時、放電
スイッチＳ１ に印加されたパルスは、対応する光電変
換要素Ｒ１にも印加される。これにより、この時に光電
変換要素Ｒ８が受けていた光量（画像情報）に応じた電
流が流れる。即ち、放電スイッチＳ、の放電に要する電
界に基づき対応する光電変換要素Ｒ１から信号を読出す
ものである。この電流は信号線９を介して○Ｐアンプ１
０に入力され、出力端子１１から■０として出力される
。そして、次のタイミングでパルスφ２が印加されると
、今度は放電スイッチＳ、に最も近い放電スイッチＳ２
に放電が移動し、この放電スイッチＳ３が短絡する。こ
の時、放電スイッチＳ□に印加されたパルスは、対応す
る光電変換要素Ｒ２にも印加される。これにより、この
時に光電変換要素Ｒ３が受けていた光量に応じた電流が
流れる。この電流はやはり信号線９を介してＯＰアンプ
１０に入力され、出力端子１１からＶｏとして出力され
る。以下、同様にしてパルスφ１．φ１．φ２．φ３．
・・・のように順次印加するとともに（１ライン終了す
る毎にスタートパルスφＳを印加する）、そのタイミン
グに同期させて入力端子９にパルス電圧Ｖｉを入力させ
ることにより、以下の充電変換要素Ｒ３１・・・＋Ｒｎ
からの画像情報（光量）が電気的な信号として出力端子
１１から連続的に出力されることとなる。
なお、上述したような放電の移動は、スタートパルスφ
Ｓで生じさせた放電によるイオンの残留効果として説明
できる。即ち、配線し１ にスタートパルスφＳより低
電位のパルスが印加された時、放電スイッチＳ、に最も
近い放電スイッチＳ、には放電スイッチＳ。の放電によ
り生じた残留イオンが同じ配線Ｌ１に接続された他の放
電スイッチＳ ４１Ｓ７等よりも多く存在するため、こ
の放電スイッチＳ１ のみに放電が移動することとなる
からである。以下、同様の原理により放電スイッチＳ２
→放電スイツチＳ、→・・・と放電が順次移動すること
となるものである。
Ｓで生じさせた放電によるイオンの残留効果として説明
できる。即ち、配線し１ にスタートパルスφＳより低
電位のパルスが印加された時、放電スイッチＳ、に最も
近い放電スイッチＳ、には放電スイッチＳ。の放電によ
り生じた残留イオンが同じ配線Ｌ１に接続された他の放
電スイッチＳ ４１Ｓ７等よりも多く存在するため、こ
の放電スイッチＳ１ のみに放電が移動することとなる
からである。以下、同様の原理により放電スイッチＳ２
→放電スイツチＳ、→・・・と放電が順次移動すること
となるものである。
ところで、光電変換要素Ｒを含めた駆動回路は第３図及
び第４図に示すように実装構成される。
び第４図に示すように実装構成される。
まず、絶縁性基板１２上に放電電極１３を形成する。こ
こに、絶縁性基板１２としてはパイレックスガラス、ソ
ーダガラス、セラミックス等が用いられる。又、放電電
極１３としてはＮｉＣｒ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ等の材料を
スパッタリング、真空蒸着法等により１〜１０μｍ程度
の膜厚で形成し、これを通常のフォトエツチングプロセ
スによりパターン形成してなる。より具体的には、この
放電電極１３は端子接続用電極１３ａとパルス印加用電
極Ｌ３ｂとをパターン形成してなる。このような放電電
極１３上には放電用ガス１４を封止させるための封止ガ
ラス１５が封止用溶融ガラス１６を介して設けられる。
こに、絶縁性基板１２としてはパイレックスガラス、ソ
ーダガラス、セラミックス等が用いられる。又、放電電
極１３としてはＮｉＣｒ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ等の材料を
スパッタリング、真空蒸着法等により１〜１０μｍ程度
の膜厚で形成し、これを通常のフォトエツチングプロセ
スによりパターン形成してなる。より具体的には、この
放電電極１３は端子接続用電極１３ａとパルス印加用電
極Ｌ３ｂとをパターン形成してなる。このような放電電
極１３上には放電用ガス１４を封止させるための封止ガ
ラス１５が封止用溶融ガラス１６を介して設けられる。
ここに、放電用ガス１４には、Ｎｅ、Ａｒ等が用いられ
、そのガス圧は１０〜６００ＴＯｒｒ、 より望ましく
は１ｏＯ〜５０゜Ｔ ｏｒｒとされる。これらにより、
放電スイッチ列７が薄膜プロセスにより形成される。一
方、光導電型光電変換要素Ｒないしは光電変換要素列６
−ｔｌ薄膜プロセスによるものであり、光導電層１７上
に個別側電極１８と共通側電極１９とを平面的に対向す
る状態で形成してなるプレナー型ものである。ここに、
光導電層１７としては、非晶質半導体、特に代表的なア
モルファスシリコン（ａ−８ｉ）が好ましく、電極１８
．１９の材料としてはＡＱ、ＮｉＣｒ、Ｎｉ、Ｃｒ等が
用いられる。
、そのガス圧は１０〜６００ＴＯｒｒ、 より望ましく
は１ｏＯ〜５０゜Ｔ ｏｒｒとされる。これらにより、
放電スイッチ列７が薄膜プロセスにより形成される。一
方、光導電型光電変換要素Ｒないしは光電変換要素列６
−ｔｌ薄膜プロセスによるものであり、光導電層１７上
に個別側電極１８と共通側電極１９とを平面的に対向す
る状態で形成してなるプレナー型ものである。ここに、
光導電層１７としては、非晶質半導体、特に代表的なア
モルファスシリコン（ａ−８ｉ）が好ましく、電極１８
．１９の材料としてはＡＱ、ＮｉＣｒ、Ｎｉ、Ｃｒ等が
用いられる。
このように、本実施例の駆動方式によれば、光電変換要
素Ｒが１〜ｎというように複数個あっても、外部への信
号引出し線の数としては、パルスφＳ〜φ、印加用の４
本、出力端子１１用の１本により、合計５本で済むもの
であり、かつ、スタート後は自己走査型として各光電変
換要素Ｒ１１Ｒ，。
素Ｒが１〜ｎというように複数個あっても、外部への信
号引出し線の数としては、パルスφＳ〜φ、印加用の４
本、出力端子１１用の１本により、合計５本で済むもの
であり、かつ、スタート後は自己走査型として各光電変
換要素Ｒ１１Ｒ，。
〜＋ Ｒｎの走査駆動が行なわれるものであり、駆動回
路コスト、更には製造コスト、実装コストを低減し得る
ものとなる。
路コスト、更には製造コスト、実装コストを低減し得る
ものとなる。
効果
本発明は、上述したように光電変換要素列と放電スイッ
チ列とを１＝１の対応関係で設け、短絡手段で各放電ス
イッチを順に放電させて短絡させ、放電に要する電界に
よって対応する光電変換要素をスイッチングし信号処理
手段を介して各光電変、換要素から光電変換信号を読出
すようにしたので、光電変換要素の数が多数あっても駆
動用に外部に引出すべき引出線の数は５本捏度に少なく
することができ、よって、駆動回路コストを大幅に低減
させることができ、更には製造コストないしは実装コス
トも低減させることができるものである。
チ列とを１＝１の対応関係で設け、短絡手段で各放電ス
イッチを順に放電させて短絡させ、放電に要する電界に
よって対応する光電変換要素をスイッチングし信号処理
手段を介して各光電変、換要素から光電変換信号を読出
すようにしたので、光電変換要素の数が多数あっても駆
動用に外部に引出すべき引出線の数は５本捏度に少なく
することができ、よって、駆動回路コストを大幅に低減
させることができ、更には製造コストないしは実装コス
トも低減させることができるものである。
第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は原理的回路図、第２図はタイミングチャート、
第３図は構造を示す縦断側面図、第４図は平面図、第５
図は従来例を示す回路図である。 ６・・・光電変換要素列、７・・・放電スイッチ列、８
・・・短絡手段、１０・・・○Ｐアンプ（信号処理手段
）、Ｒ１−Ｒｎ・・・光電変換要素、ｓ、−５ｎ・・・
放電スイッチ ３３図 、：％ Ｕ国 Ｊ５ Ａｊｂ
第１図は原理的回路図、第２図はタイミングチャート、
第３図は構造を示す縦断側面図、第４図は平面図、第５
図は従来例を示す回路図である。 ６・・・光電変換要素列、７・・・放電スイッチ列、８
・・・短絡手段、１０・・・○Ｐアンプ（信号処理手段
）、Ｒ１−Ｒｎ・・・光電変換要素、ｓ、−５ｎ・・・
放電スイッチ ３３図 、：％ Ｕ国 Ｊ５ Ａｊｂ
Claims (1)
- 複数の光導電型光電変換要素を線状に連続的に配列させ
た光電変換要素列を設け、各光電変換要素に対して１対
１で対応させて接続した放電スイッチからなる放電スイ
ッチ列を設け、この放電スイッチ列の各放電スイッチを
順次放電により短絡させる短絡手段を設け、短絡した前
記放電スイッチの放電に要する電界に基づき対応する前
記光電変換要素から得られる光電変換信号を順次読出す
信号処理手段を設けたことを特徴とする自己走査型等倍
光センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61265014A JPS63119370A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 自己走査型等倍光センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61265014A JPS63119370A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 自己走査型等倍光センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63119370A true JPS63119370A (ja) | 1988-05-24 |
Family
ID=17411381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61265014A Pending JPS63119370A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 自己走査型等倍光センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63119370A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02208067A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-17 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光走査装置 |
| JPH02212170A (ja) * | 1988-10-19 | 1990-08-23 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 自己走査型発光素子アレイおよびその駆動方法 |
-
1986
- 1986-11-07 JP JP61265014A patent/JPS63119370A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02212170A (ja) * | 1988-10-19 | 1990-08-23 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 自己走査型発光素子アレイおよびその駆動方法 |
| JPH02208067A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-17 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光走査装置 |
| JP2784025B2 (ja) * | 1989-02-07 | 1998-08-06 | 日本板硝子株式会社 | 光走査装置 |
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