JPS6310291A - シリアルコ−ドの判読方法 - Google Patents
シリアルコ−ドの判読方法Info
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- JPS6310291A JPS6310291A JP61152771A JP15277186A JPS6310291A JP S6310291 A JPS6310291 A JP S6310291A JP 61152771 A JP61152771 A JP 61152771A JP 15277186 A JP15277186 A JP 15277186A JP S6310291 A JPS6310291 A JP S6310291A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 33
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
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- H01L2223/54413—Marks applied to semiconductor devices or parts comprising digital information, e.g. bar codes, data matrix
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- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
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- H01L2223/54493—Peripheral marks on wafers, e.g. orientation flats, notches, lot number
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、バーコードリニダ等のシリアルコードの判読
方法に関し、特に半導体製造装置で用いられるウェハや
レチクルに記入されたシリアルコードの判読方法に関す
る。
方法に関し、特に半導体製造装置で用いられるウェハや
レチクルに記入されたシリアルコードの判読方法に関す
る。
［従来技術］
従来、この種のシリアルコード判読方法としては、直線
上に沿って記入されたコードをその直線方向に沿って読
み取り、判読するのが普通であった。
上に沿って記入されたコードをその直線方向に沿って読
み取り、判読するのが普通であった。
第６図は、半導体ウェハ４１の裏面にバーコード４２を
記入した例を示す。半導体製造装置においては、このよ
うに各種の情報を記録したり読出したりするためウェハ
やレチクルにバーコードを付すことが多い。
記入した例を示す。半導体製造装置においては、このよ
うに各種の情報を記録したり読出したりするためウェハ
やレチクルにバーコードを付すことが多い。
第７図は、第６図のようなバーコードを直線方様子を示
す。同図下段の信号Ｓは２値化信号を示す。２値化した
後は、１ （オン）、０（オフ）の組合わせやパルス幅
等のコード規則に従って判読する。
す。同図下段の信号Ｓは２値化信号を示す。２値化した
後は、１ （オン）、０（オフ）の組合わせやパルス幅
等のコード規則に従って判読する。
ところで、このウェハのような円盤状の物体の面上にバ
ーコードを記入しておきそれを随時読み取る場合にも、
その読み取り方向は直線方向であるため、当該物体上に
何らかの基準を設け、バーコードはその基準に対し一定
位置となるように記入する必要がある。例えば、半導体
クエへでは、通常この基準としてウニへの周囲に設けら
れたオリエンテーションフラット（オリフラ）が使用さ
れる。第６図では、バーコード４２がオリフラの切欠き
と平行な方向に沿って記入されている。そして、ウェハ
上のバーコードを読み取るには、まず、ウェハのオリフ
ラを検出し、その後オリフラ位置を基準として所定の相
対位置にあるバーコードを読み取る、という手順をとっ
ていた。
ーコードを記入しておきそれを随時読み取る場合にも、
その読み取り方向は直線方向であるため、当該物体上に
何らかの基準を設け、バーコードはその基準に対し一定
位置となるように記入する必要がある。例えば、半導体
クエへでは、通常この基準としてウニへの周囲に設けら
れたオリエンテーションフラット（オリフラ）が使用さ
れる。第６図では、バーコード４２がオリフラの切欠き
と平行な方向に沿って記入されている。そして、ウェハ
上のバーコードを読み取るには、まず、ウェハのオリフ
ラを検出し、その後オリフラ位置を基準として所定の相
対位置にあるバーコードを読み取る、という手順をとっ
ていた。
［発明が解決しようとする問題点］
通常、ウェハを扱う半導体製造装置においては、オリフ
ラ位置合せのための回転位置合せ機構を備えるのが一般
的であるが、上述したようにバーコードの読み取りのた
めには、この位置合せ機構によりオリフラを検出し、直
線方向に読み取る必要がある。従って、直線読み取り機
構と読み取りのための時間が必須である。
ラ位置合せのための回転位置合せ機構を備えるのが一般
的であるが、上述したようにバーコードの読み取りのた
めには、この位置合せ機構によりオリフラを検出し、直
線方向に読み取る必要がある。従って、直線読み取り機
構と読み取りのための時間が必須である。
これは、半導体製造装置のようなスルーブツトを重視す
る装置においては都合が悪い。
る装置においては都合が悪い。
本発明の目的は、上述の従来形における問題点に鑑み、
従来必要であった直線読み取り機構を不要とし読み取り
時間も極力抑えることが可能なシリアルコードの判読方
法を提供することを目的とする。
従来必要であった直線読み取り機構を不要とし読み取り
時間も極力抑えることが可能なシリアルコードの判読方
法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段および作用］上記の目的
を達成するため、本発明は、従来直線読み取り機構で読
み取っていたシリアルコードを円弧スキャンで読み取り
、それにより得られたデータを補正することにより、当
該シリアルコードを直線スキャンで読み取った場合と同
様のシリアルコードデータを得ることを特徴としてハる
。
を達成するため、本発明は、従来直線読み取り機構で読
み取っていたシリアルコードを円弧スキャンで読み取り
、それにより得られたデータを補正することにより、当
該シリアルコードを直線スキャンで読み取った場合と同
様のシリアルコードデータを得ることを特徴としてハる
。
これにより、シリアルコードを付す物体を回転させる機
構を既に有しているような場合、例えばウェハを回転し
て位置合せを行なう機構を備えた半導体製造装置におい
て、ウェハにバーコードを記入しておきそれを読み取る
ような場合には、直線読み取り機構がなくともクエへを
回転している間に円弧スキャンによりバーコードを読み
取ることができる。読み取ったコードデータは補正して
、直線スキャンにより読み取った場合と同様なシリアル
コードデータとしているので正しい値でコードを判読す
ることができる。
構を既に有しているような場合、例えばウェハを回転し
て位置合せを行なう機構を備えた半導体製造装置におい
て、ウェハにバーコードを記入しておきそれを読み取る
ような場合には、直線読み取り機構がなくともクエへを
回転している間に円弧スキャンによりバーコードを読み
取ることができる。読み取ったコードデータは補正して
、直線スキャンにより読み取った場合と同様なシリアル
コードデータとしているので正しい値でコードを判読す
ることができる。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図〜第３図は、本発明のシリアルコード判読方法を
半導体ウェハに記入された情報の読み取りに適用した実
施例を示す。
半導体ウェハに記入された情報の読み取りに適用した実
施例を示す。
第１図は、バーコード２がウェハ１の裏面に記入されて
いる様子を示す平面図である。本実施例では、バーコー
ド２を円３に沿って読み取る。第２図（ａ）はそのバー
コード２をウェハ１の円中心を中心とした円弧４でスキ
ャンしている様子を示し、Ｆ１図（ｂ）は（ａ）におけ
る一定の角速度での円弧スキャンによって得られる読み
取り信号を２値化した信号を示す。同図（Ｃ）は（ｂ）
の２値化信号に対し歪補正を施した２値化信号を示し、
同図（ｄ）は（ａ） と同じバーコード２を矢印５の
方向に直線スキャンしている様子を示す。（ｂ）の信号
に歪補正を施した（Ｃ）の２値化信号が、バーコード２
を直線スキャンした場合に得られる２値化信号と等価で
あることがわかる。
いる様子を示す平面図である。本実施例では、バーコー
ド２を円３に沿って読み取る。第２図（ａ）はそのバー
コード２をウェハ１の円中心を中心とした円弧４でスキ
ャンしている様子を示し、Ｆ１図（ｂ）は（ａ）におけ
る一定の角速度での円弧スキャンによって得られる読み
取り信号を２値化した信号を示す。同図（Ｃ）は（ｂ）
の２値化信号に対し歪補正を施した２値化信号を示し、
同図（ｄ）は（ａ） と同じバーコード２を矢印５の
方向に直線スキャンしている様子を示す。（ｂ）の信号
に歪補正を施した（Ｃ）の２値化信号が、バーコード２
を直線スキャンした場合に得られる２値化信号と等価で
あることがわかる。
次に、第３図を参照して上述した歪補正の原理を説明す
る。
る。
バーコードは、予めウェハの円中心を中心とし、適当な
半径ｒを持った円周上に全てのバーが掛かるように配置
する。すなわち、第１図に示したように、バーコード２
は半径ｒの円周３に掛かるように配置する。また、バー
コード自身の配列は直線に沿った形とする。直線配列と
すれば、コードの記入を簡単に行なうことができ、また
市販のバーコードマーカ等が利用でき、便宜だからであ
る。
半径ｒを持った円周上に全てのバーが掛かるように配置
する。すなわち、第１図に示したように、バーコード２
は半径ｒの円周３に掛かるように配置する。また、バー
コード自身の配列は直線に沿った形とする。直線配列と
すれば、コードの記入を簡単に行なうことができ、また
市販のバーコードマーカ等が利用でき、便宜だからであ
る。
このように配置されたバーコードを第２図（ａ）のよう
にウニへの円中心から半径ｒの円弧４に沿って読み取る
。半導体製造装置においてはウェハの簡単な位置合わせ
のためウェハを回転させる動作がある。従って回転中心
から半径ｒの位置の適当な定点にバーコード読み取りセ
ンサを配置することにより簡単に円弧スキャン読み取り
が実現できる。一般に、このウニへの回転は所定の角速
度で行なわれる。そのため、その回転による円弧スキャ
ンによって読み取られるコード信号は、時系列上で第２
図（ｂ）のように、コードの始点および終点側が、その
コード中心点より、信号が伸びた状態となる。
にウニへの円中心から半径ｒの円弧４に沿って読み取る
。半導体製造装置においてはウェハの簡単な位置合わせ
のためウェハを回転させる動作がある。従って回転中心
から半径ｒの位置の適当な定点にバーコード読み取りセ
ンサを配置することにより簡単に円弧スキャン読み取り
が実現できる。一般に、このウニへの回転は所定の角速
度で行なわれる。そのため、その回転による円弧スキャ
ンによって読み取られるコード信号は、時系列上で第２
図（ｂ）のように、コードの始点および終点側が、その
コード中心点より、信号が伸びた状態となる。
第３図（ｄ）は、この伸びた状態の信号を示している。
同図（Ｃ） に示すように、矢印１１のように円弧スキ
ャンが行なわれ、その結果矢印１２の部分がバーコード
の１コ一ド成分であるバーに掛かっていたとすると、得
られるパルス信号の長さは（ｄ）のようにｒ・Δθとな
る。ここで、バーコードは同図（ｂ）に示す直線方向に
沿って配置されているものとする。もし、この直線方向
に沿ってスキャンしたとすれば、同図（ａ）のような正
しい幅Δｘの信号が得られる。しかし、同図（Ｃ）のよ
うな円弧スキャンでは（ｄ）のようにパルス幅が伸びた
信号となる。バーコードのように、１．０のパルス幅、
あるいは時系列上の１．０に意味があるようなコード体
系に基づき構成されたシリアルコードにおいては、この
ような伸びた信号から直接、コード判読はできない。
ャンが行なわれ、その結果矢印１２の部分がバーコード
の１コ一ド成分であるバーに掛かっていたとすると、得
られるパルス信号の長さは（ｄ）のようにｒ・Δθとな
る。ここで、バーコードは同図（ｂ）に示す直線方向に
沿って配置されているものとする。もし、この直線方向
に沿ってスキャンしたとすれば、同図（ａ）のような正
しい幅Δｘの信号が得られる。しかし、同図（Ｃ）のよ
うな円弧スキャンでは（ｄ）のようにパルス幅が伸びた
信号となる。バーコードのように、１．０のパルス幅、
あるいは時系列上の１．０に意味があるようなコード体
系に基づき構成されたシリアルコードにおいては、この
ような伸びた信号から直接、コード判読はできない。
そこで、この場合、第３図より分かるように、Δｘ＝
（ｒ・Δθ） ｃｏｓθ という変換を施してやればパルス信号の正しい幅が求め
られ、第２図（ｂ）の信号から第２図（Ｃ）。
（ｒ・Δθ） ｃｏｓθ という変換を施してやればパルス信号の正しい幅が求め
られ、第２図（ｂ）の信号から第２図（Ｃ）。
（（１）のようにバーコードを直線スキャンしたときの
信号と等価的なデータを得ることができる。
信号と等価的なデータを得ることができる。
この変換は簡単な演算であるから、時系列データを収集
した後、ＣＰＵがこのゝ演算を行なうようにソフトウェ
アを作成しておくことにより容易に実現できる。さらに
、演算素子を使用した八−ドウエアによって行なっても
よい。このような変換の後、コードデータを決められた
体系に従って判読すればよい。
した後、ＣＰＵがこのゝ演算を行なうようにソフトウェ
アを作成しておくことにより容易に実現できる。さらに
、演算素子を使用した八−ドウエアによって行なっても
よい。このような変換の後、コードデータを決められた
体系に従って判読すればよい。
第４図は、第１〜３図で説明したようにクエへのバーコ
ードを円弧スキャンで判読する際の判読装置の構成例を
示す。同図は、半導体製造装置において、ウェハの位置
合せのために通常備わっているクエへの回転駆動機構部
にコード判読回路を付加したものである。
ードを円弧スキャンで判読する際の判読装置の構成例を
示す。同図は、半導体製造装置において、ウェハの位置
合せのために通常備わっているクエへの回転駆動機構部
にコード判読回路を付加したものである。
同図において、２０はウェハ、２１はバーコードが記入
されているウェハ底面、２２はウェハ２０を回転させる
ためのＤＣモータ、２３はＤＣモータの回転をウェハに
与えるための駆動ローラである。２４はウェハ２０のガ
イドのための固定ローラであり、駆動ローラ２３の対面
に配置され、ウェハ２０を支持し回転させる。２５はバ
ーコードの読み取りのためにバーコードを照明する光源
、２６は照明光源２５の電源である。また、２７はバー
コードからの反射光を検出する読み取りセンサ、２８は
読み取りセンサ２７からの信号を増幅するセンサ・アン
プ、２９はセンサアンプ２８からの信号を２値化するた
めのアナログ・デジタル（Ａ／Ｄ）コンバータである。
されているウェハ底面、２２はウェハ２０を回転させる
ためのＤＣモータ、２３はＤＣモータの回転をウェハに
与えるための駆動ローラである。２４はウェハ２０のガ
イドのための固定ローラであり、駆動ローラ２３の対面
に配置され、ウェハ２０を支持し回転させる。２５はバ
ーコードの読み取りのためにバーコードを照明する光源
、２６は照明光源２５の電源である。また、２７はバー
コードからの反射光を検出する読み取りセンサ、２８は
読み取りセンサ２７からの信号を増幅するセンサ・アン
プ、２９はセンサアンプ２８からの信号を２値化するた
めのアナログ・デジタル（Ａ／Ｄ）コンバータである。
３０は２値化された信号等を記憶しておくためのメモリ
、３１は２値化された信号を処理しコードの判読を行な
うＣＰｔＪである。なお、ウェハ２０を回転させるため
の部材２２〜２４は、元より備えられているオリフラ位
置合せ機構と兼用でき、またＣＰＵ３１、メモリ３０も
他のコントロールのためのＣＰＵ、メモリと兼用するこ
とが可能である。
、３１は２値化された信号を処理しコードの判読を行な
うＣＰｔＪである。なお、ウェハ２０を回転させるため
の部材２２〜２４は、元より備えられているオリフラ位
置合せ機構と兼用でき、またＣＰＵ３１、メモリ３０も
他のコントロールのためのＣＰＵ、メモリと兼用するこ
とが可能である。
上記構成において、まず、ＤＣモータ２２を駆動し、ウ
ェハ２０を回転させる。バーコードはウェハ底面２１の
第１図で示したような位置に予め配置し、また読み取り
センサ６は第２図（ａ）のようにバーコードを円弧スキ
ャンするような位置に配置しておく。これによりバーコ
ードを読み取り、第２図（ｂ）のような信号を得る。こ
のときの２値化はＡ／Ｄコンバータ２９によってバーコ
ードの明／暗の信号強度変化を明を「１」、暗を「０」
とするように２値化する。２値化された信号は、順次、
メモリ３０に記憶する。ウェハ２０が一回転し、バーコ
ードを読み取った後、ＣＰＵ３１は上述したようなバー
幅の補正とコード判別を行なう。
ェハ２０を回転させる。バーコードはウェハ底面２１の
第１図で示したような位置に予め配置し、また読み取り
センサ６は第２図（ａ）のようにバーコードを円弧スキ
ャンするような位置に配置しておく。これによりバーコ
ードを読み取り、第２図（ｂ）のような信号を得る。こ
のときの２値化はＡ／Ｄコンバータ２９によってバーコ
ードの明／暗の信号強度変化を明を「１」、暗を「０」
とするように２値化する。２値化された信号は、順次、
メモリ３０に記憶する。ウェハ２０が一回転し、バーコ
ードを読み取った後、ＣＰＵ３１は上述したようなバー
幅の補正とコード判別を行なう。
円弧スキャンで読み取ったバー幅の補正は、第５図のフ
ローチャートで示されるような手順に従ってＣＰＵ３１
で行なう。その後、コード判別処理を行なう。
ローチャートで示されるような手順に従ってＣＰＵ３１
で行なう。その後、コード判別処理を行なう。
第５図において、まず始めにバーコードのスタートマー
クの検出を行なう。通常、バーコードの「１」または「
Ｏ」が一定時間以上継続するバーをスタートバーとして
認識する。具体的には、まずステップＳ１で変数Ｎに初
期値Ｏを設定する。次にステップＳ２でＮを１カウント
アツプし、ステップＳ３でＮ番目のバー幅と所定の値の
スタートバー幅を比較する。Ｎ番目のバー幅とは、先に
メモリ３０に記憶した２値化信号のデータ（「１」と「
０」のデータ列）中Ｎ番目のバーのバー幅のことである
。このステップＳ２．Ｓ３によりスタートバーを認識す
る。
クの検出を行なう。通常、バーコードの「１」または「
Ｏ」が一定時間以上継続するバーをスタートバーとして
認識する。具体的には、まずステップＳ１で変数Ｎに初
期値Ｏを設定する。次にステップＳ２でＮを１カウント
アツプし、ステップＳ３でＮ番目のバー幅と所定の値の
スタートバー幅を比較する。Ｎ番目のバー幅とは、先に
メモリ３０に記憶した２値化信号のデータ（「１」と「
０」のデータ列）中Ｎ番目のバーのバー幅のことである
。このステップＳ２．Ｓ３によりスタートバーを認識す
る。
次に、スタートバーを認識したらステップＳ４でこの位
置を基準に円弧スキャンによる歪の補正を行なう。なお
、以下でθの値は円弧スキャンの中心とバーコードの中
点を結ぶ線からスキャン方向（第３図（Ｃ）の矢印１１
）を正として測ったものである。
置を基準に円弧スキャンによる歪の補正を行なう。なお
、以下でθの値は円弧スキャンの中心とバーコードの中
点を結ぶ線からスキャン方向（第３図（Ｃ）の矢印１１
）を正として測ったものである。
バーコード全体の長さは一定であるから、第３図におい
てθの始めと終りは既知である。すなわち、円弧スキャ
ンを行なうためにクエへに照射する光が、バーコードに
掛かり始める時点のθの値およびバーコードからはずれ
る時点のθの値は予め明らかである。そこで、スタート
バーの位置を一〇ｏ１またバーコードの終わり位置を十
〇。とじ、その間を一定のステップで変化させた際に検
出される各バーの幅Δθを元に、次式によってバー幅の
補正を行なう。
てθの始めと終りは既知である。すなわち、円弧スキャ
ンを行なうためにクエへに照射する光が、バーコードに
掛かり始める時点のθの値およびバーコードからはずれ
る時点のθの値は予め明らかである。そこで、スタート
バーの位置を一〇ｏ１またバーコードの終わり位置を十
〇。とじ、その間を一定のステップで変化させた際に検
出される各バーの幅Δθを元に、次式によってバー幅の
補正を行なう。
Δｘ ｘ （スキャン半径ｒ）ｘΔθｘ ｃｏｓθΔθ
は補正前のバー幅で、クエへを一定の角速度で回転して
得た２値化信号のデータすなわちメモリ３０に記憶した
「１」と「０」のデータ列中、当該バーに対応する部分
のデータ列の長さである。ウェハを回転する角速度は一
定であるから、上記のデータ列はウェハを一定のステッ
プで変化させて、各バーを検出したものとなる。θは当
該バーの終り位置における角度θを使用しているが、当
該バーの始まり位置における値や当該バーの中点の位置
における値を使用してもよい。
は補正前のバー幅で、クエへを一定の角速度で回転して
得た２値化信号のデータすなわちメモリ３０に記憶した
「１」と「０」のデータ列中、当該バーに対応する部分
のデータ列の長さである。ウェハを回転する角速度は一
定であるから、上記のデータ列はウェハを一定のステッ
プで変化させて、各バーを検出したものとなる。θは当
該バーの終り位置における角度θを使用しているが、当
該バーの始まり位置における値や当該バーの中点の位置
における値を使用してもよい。
補正後のデータは、バーコードを直線スキャンで読み取
ったものと同じバーコードデータとなるので、補正後は
従来と同様なバーコード判読処理を行なえばよい。
ったものと同じバーコードデータとなるので、補正後は
従来と同様なバーコード判読処理を行なえばよい。
なお、上記実施例中、補正はソフトウェアにより計算式
で行なっているが、予め参照テーブルを作成しておき使
用してもよいし、ハードウェアにより実行してもよい。
で行なっているが、予め参照テーブルを作成しておき使
用してもよいし、ハードウェアにより実行してもよい。
従来、バーコードの方向はオリフラの方向と揃える必要
があったが、本実施例によれば、ウェハ上のバーコード
の記入方向を揃える必要がない。
があったが、本実施例によれば、ウェハ上のバーコード
の記入方向を揃える必要がない。
また、位置合せのためにウェハを回転している間に、固
定しである読み取り装置でバーコードを読み取ることが
できるので、直線読み取り機構を付加する必要もなく、
また時間的ロスも抑えることができる。
定しである読み取り装置でバーコードを読み取ることが
できるので、直線読み取り機構を付加する必要もなく、
また時間的ロスも抑えることができる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明のシリアルコードの判読方
法によれば、直線上に配列されたシリアルコードを円弧
スキャンで読み取りそれによって歪んだコードデータを
直線スキャンで読み取ったのと同様なシリアルコードデ
ータに変換してシリアルコードを判読しているので、従
来必要であった直線読み取り機構を不要とし読み取り時
間も極力抑えることが可能である。
法によれば、直線上に配列されたシリアルコードを円弧
スキャンで読み取りそれによって歪んだコードデータを
直線スキャンで読み取ったのと同様なシリアルコードデ
ータに変換してシリアルコードを判読しているので、従
来必要であった直線読み取り機構を不要とし読み取り時
間も極力抑えることが可能である。
第１図は、本発明の一実施例であり、円弧スキャン上に
配置されたバーコードを示す平面図、第２図は、円弧ス
キャンでバーコードを読み取り補正した信号が直線スキ
ャンによる信号と同等であることを示す図、 第３図は、円弧スキャンと直線スキャンの補正量の関係
を示す図、 第４図は、ウニへの回転機構とバーコード読み取り回路
の概略構成図、 第５図は、補正計算の手順を示すフローチャート、 第６図は、従来ウェハ上に記入されたバーコードを示す
平面図、 第７図は、第６図のバーコードを直線方向に読み取った
際の２値化信号を示す図である。 １．２０：ウェハ、 ２：バーコード、 ４：円弧スキャン方向、 ２２：ＤＣモータ、 ２３：駆動ローラ、 ２５：照明光源、 ２７：読み取りセンサ、 ２９：Ａ／Ｄ変換器、 ３０：メモリ、 ３１：ＣＰＵ。 第３図 第４図 第５ 図
配置されたバーコードを示す平面図、第２図は、円弧ス
キャンでバーコードを読み取り補正した信号が直線スキ
ャンによる信号と同等であることを示す図、 第３図は、円弧スキャンと直線スキャンの補正量の関係
を示す図、 第４図は、ウニへの回転機構とバーコード読み取り回路
の概略構成図、 第５図は、補正計算の手順を示すフローチャート、 第６図は、従来ウェハ上に記入されたバーコードを示す
平面図、 第７図は、第６図のバーコードを直線方向に読み取った
際の２値化信号を示す図である。 １．２０：ウェハ、 ２：バーコード、 ４：円弧スキャン方向、 ２２：ＤＣモータ、 ２３：駆動ローラ、 ２５：照明光源、 ２７：読み取りセンサ、 ２９：Ａ／Ｄ変換器、 ３０：メモリ、 ３１：ＣＰＵ。 第３図 第４図 第５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、直線上に配列されたシリアルコードを所定の円弧の
方向に走査し、得られたコードデータに基づいて、上記
シリアルコードを上記直線方向に走査した場合のコード
データを得ることを特徴とするシリアルコードの判読方
法。 ２、前記シリアルコードが、前記円弧の接線上に沿って
該シリアルコードの中点が該円弧との接点となるように
配置され、かつ、該シリアルコード中の各コード成分の
幅Δｘが、該円弧の半径をｒ、円弧方向の走査により測
定した該コード成分の幅をΔθ、該コード成分の上記中
点からの角度をθとして Δｘ＝（ｒ・Δθ）ｃｏｓθ と算出される特許請求の範囲第１項記載のシリアルコー
ドの判読方法。 ３、前記シリアルコードが、半導体ウェハに記入された
バーコードである特許請求の範囲第１項または第２項記
載のシリアルコードの判読方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61152771A JPH0673144B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | シリアルコ−ドの判読方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61152771A JPH0673144B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | シリアルコ−ドの判読方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310291A true JPS6310291A (ja) | 1988-01-16 |
| JPH0673144B2 JPH0673144B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=15547789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61152771A Expired - Fee Related JPH0673144B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | シリアルコ−ドの判読方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673144B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007520001A (ja) * | 2004-01-14 | 2007-07-19 | インターナショナル バーコード コーポレイション | スキャン可能な歪補償用仮想バーコード画像 |
| CN107492539A (zh) * | 2016-06-12 | 2017-12-19 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体结构及其形成方法和水印识别方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57211668A (en) * | 1981-06-23 | 1982-12-25 | Fujitsu Ltd | Serial signal correcting system |
| JPS5892066A (ja) * | 1981-11-27 | 1983-06-01 | Fujitsu Ltd | シリアル信号補正方式 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP61152771A patent/JPH0673144B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57211668A (en) * | 1981-06-23 | 1982-12-25 | Fujitsu Ltd | Serial signal correcting system |
| JPS5892066A (ja) * | 1981-11-27 | 1983-06-01 | Fujitsu Ltd | シリアル信号補正方式 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007520001A (ja) * | 2004-01-14 | 2007-07-19 | インターナショナル バーコード コーポレイション | スキャン可能な歪補償用仮想バーコード画像 |
| CN107492539A (zh) * | 2016-06-12 | 2017-12-19 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体结构及其形成方法和水印识别方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0673144B2 (ja) | 1994-09-14 |
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