JPH0673144B2 - シリアルコ−ドの判読方法 - Google Patents
シリアルコ−ドの判読方法Info
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- JPH0673144B2 JPH0673144B2 JP61152771A JP15277186A JPH0673144B2 JP H0673144 B2 JPH0673144 B2 JP H0673144B2 JP 61152771 A JP61152771 A JP 61152771A JP 15277186 A JP15277186 A JP 15277186A JP H0673144 B2 JPH0673144 B2 JP H0673144B2
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- H01L2223/00—Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54413—Marks applied to semiconductor devices or parts comprising digital information, e.g. bar codes, data matrix
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2223/544—Marks applied to semiconductor devices or parts
- H01L2223/54493—Peripheral marks on wafers, e.g. orientation flats, notches, lot number
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、バーコードリーダ等のシリアルコードの判読
方法に関し、特に半導体製造装置で用いられるウエハや
レチクルに記入されたシリアルコードの判読方法に関す
る。
方法に関し、特に半導体製造装置で用いられるウエハや
レチクルに記入されたシリアルコードの判読方法に関す
る。
［従来技術］ 従来、この種のシリアルコード判読方法としては、直線
上に沿って記入されたコードをその直線方向に沿って読
み取り、判読するのが普通であった。
上に沿って記入されたコードをその直線方向に沿って読
み取り、判読するのが普通であった。
第６図は、半導体ウエハ41の裏面にバーコード42を記入
した例を示す。半導体製造装置においては、このように
各種の情報を記録したり読出したりするためウエハやレ
チクルにバーコードを付すことが多い。
した例を示す。半導体製造装置においては、このように
各種の情報を記録したり読出したりするためウエハやレ
チクルにバーコードを付すことが多い。
第７図は、第６図のようなバーコードを直線方向（図中
矢印Ａ）に読み取り、それを２値化した様子を示す。同
図下段の信号Ｓは２値化信号を示す。２値化した後は、
１（オン）,0（オフ）の組合わせやパルス幅等のコード
規則に従って判読する。
矢印Ａ）に読み取り、それを２値化した様子を示す。同
図下段の信号Ｓは２値化信号を示す。２値化した後は、
１（オン）,0（オフ）の組合わせやパルス幅等のコード
規則に従って判読する。
ところで、このウエハのような円盤状の物体の面上にバ
ーコードを記入しておきそれを随時読み取る場合にも、
その読み取り方向は直線方向であるため、当該物体上に
何らかの基準を設け、バーコードはその基準に対し一定
位置となるように記入する必要がある。例えば、半導体
ウエハでは、通常この基準としてウエハの周囲の設けら
れたオリエンテーションフラット（オリフラ）が使用さ
れる。第６図では、バーコード42がオリフラの切欠きと
平行な方向に沿って記入されている。そして、ウエハ上
のバーコードを読み取るには、まず、ウエハのオリフラ
を検出し、その後オリフラ位置を基準として所定の相対
位置にあるバーコードを読み取る、という手順をとって
いた。
ーコードを記入しておきそれを随時読み取る場合にも、
その読み取り方向は直線方向であるため、当該物体上に
何らかの基準を設け、バーコードはその基準に対し一定
位置となるように記入する必要がある。例えば、半導体
ウエハでは、通常この基準としてウエハの周囲の設けら
れたオリエンテーションフラット（オリフラ）が使用さ
れる。第６図では、バーコード42がオリフラの切欠きと
平行な方向に沿って記入されている。そして、ウエハ上
のバーコードを読み取るには、まず、ウエハのオリフラ
を検出し、その後オリフラ位置を基準として所定の相対
位置にあるバーコードを読み取る、という手順をとって
いた。
［発明が解決しようとする問題点］ 通常、ウエハを扱う半導体製造装置においては、オリフ
ラ位置合せのための回転位置合せ機構を備えるのが一般
的であるが、上述したようにバーコードの読み取りのた
めには、この位置合せ機構によりオリフラを検出し、直
線方向に読み取る必要がある。従って、直線読み取り機
構と読み取りのための時間が必須である。
ラ位置合せのための回転位置合せ機構を備えるのが一般
的であるが、上述したようにバーコードの読み取りのた
めには、この位置合せ機構によりオリフラを検出し、直
線方向に読み取る必要がある。従って、直線読み取り機
構と読み取りのための時間が必須である。
これは、半導体製造装置のようなスループットを重視す
る装置においては都合が悪い。
る装置においては都合が悪い。
本発明の目的は、上述の従来形における問題点に鑑み、
従来必要であった直線読み取り機構を不要として読み取
り時間も極力抑えることが可能なシリアルコードの判読
方法を提供することを目的とする。
従来必要であった直線読み取り機構を不要として読み取
り時間も極力抑えることが可能なシリアルコードの判読
方法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段および作用］ この目的を達成するため本発明のシリアルコードの判別
方法は、基板の位置合せのために前記基板を回転駆動す
る際、前記基板の回転駆動に応じて前記基板上の直線配
列されたシリアルコードを読み取りセンサで円弧走査す
ることによりコードデータを得るステップと、前記円弧
走査によって得られるコードデータから前記シリアルコ
ードを直線走査した際に得られるコードデータを演算処
理により求めるステップとを有し、この演算処理におい
ては、前記円弧走査のための円弧の半径をｒ、前記シリ
アルコードの中点と前記円弧の中心を結ぶ線と、前記シ
リアルコードの前記円弧上の点と前記中心を結ぶ線が成
す角度をθ、前記円弧走査によって得られるコードデー
タの幅をΔθとする時、前記直線走査によって得られる
コードデータの幅Δｘを、 Δｘ＝（ｒ・Δθ）cosθ として求めることを特徴とする。
方法は、基板の位置合せのために前記基板を回転駆動す
る際、前記基板の回転駆動に応じて前記基板上の直線配
列されたシリアルコードを読み取りセンサで円弧走査す
ることによりコードデータを得るステップと、前記円弧
走査によって得られるコードデータから前記シリアルコ
ードを直線走査した際に得られるコードデータを演算処
理により求めるステップとを有し、この演算処理におい
ては、前記円弧走査のための円弧の半径をｒ、前記シリ
アルコードの中点と前記円弧の中心を結ぶ線と、前記シ
リアルコードの前記円弧上の点と前記中心を結ぶ線が成
す角度をθ、前記円弧走査によって得られるコードデー
タの幅をΔθとする時、前記直線走査によって得られる
コードデータの幅Δｘを、 Δｘ＝（ｒ・Δθ）cosθ として求めることを特徴とする。
これにより、シリアルコードを付す物体を回転させる機
構を既に有しているような場合、例えばウエハを回転し
て位置合せを行なう機構を備えた半導体製造装置におい
て、ウエハにバーコードを記入しておきそれを読み取る
ような場合には、直線読み取り機構がなくともウエハを
回転している間に円弧スキャンによりバーコードを読み
取ることができる。読み取ったコードデータは補正し
て、直線スキャンにより読み取った場合と同様なシリア
ルコードデータとしているので正しい値でコードを判読
することができる。
構を既に有しているような場合、例えばウエハを回転し
て位置合せを行なう機構を備えた半導体製造装置におい
て、ウエハにバーコードを記入しておきそれを読み取る
ような場合には、直線読み取り機構がなくともウエハを
回転している間に円弧スキャンによりバーコードを読み
取ることができる。読み取ったコードデータは補正し
て、直線スキャンにより読み取った場合と同様なシリア
ルコードデータとしているので正しい値でコードを判読
することができる。
したがって、半導体製造装置等に本発明を適用すること
により、生産性の向上が図られるとともに、装置構成の
簡略化が図られる。
により、生産性の向上が図られるとともに、装置構成の
簡略化が図られる。
［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
第１図〜第３図は、本発明のシリアルコード判読方法を
半導体ウエハに記入された情報の読み取りに適用した実
施例を示す。
半導体ウエハに記入された情報の読み取りに適用した実
施例を示す。
第１図は、バーコード２がウエハ１の裏面に記入されて
いる様子を示す平面図である。本実施例では、バーコー
ド２を円３に沿って読み取る。第２図（ａ）はそのバー
コード２をウエハ１の円中心を中心とした円弧４でスキ
ャンしている様子を示し、同図（ｂ）は（ａ）における
一定の角速度での円弧スキャンによって得られる読み取
り信号を２値化した信号を示す。同図（ｃ）は（ｂ）の
２値化信号に対し歪補正を施した２値化信号を示し、同
図（ｄ）は（ａ）と同じバーコード２を矢印５の方向に
直線スキャンしている様子を示す。（ｂ）の信号に歪補
正を施した（ｃ）の２値化信号が、バーコード２を直線
スキャンした場合に得られる２値化信号と等価であるこ
とがわかる。
いる様子を示す平面図である。本実施例では、バーコー
ド２を円３に沿って読み取る。第２図（ａ）はそのバー
コード２をウエハ１の円中心を中心とした円弧４でスキ
ャンしている様子を示し、同図（ｂ）は（ａ）における
一定の角速度での円弧スキャンによって得られる読み取
り信号を２値化した信号を示す。同図（ｃ）は（ｂ）の
２値化信号に対し歪補正を施した２値化信号を示し、同
図（ｄ）は（ａ）と同じバーコード２を矢印５の方向に
直線スキャンしている様子を示す。（ｂ）の信号に歪補
正を施した（ｃ）の２値化信号が、バーコード２を直線
スキャンした場合に得られる２値化信号と等価であるこ
とがわかる。
次に、第３図を参照して上述した歪補正の原理を説明す
る。
る。
バーコードは、予めウエハの円中心を中心とし、適当な
半径ｒを持った円周上に全てのバーが掛かるように配置
する。すなわち、第１図に示したように、バーコード２
は半径ｒの円周３に掛かるように配置する。また、バー
コード自身の配列は直線に沿った形とする。直線配列と
すれば、コードの記入を簡単に行なうことができ、また
市販のバーコードマーカ等が利用でき、便宜だからであ
る。
半径ｒを持った円周上に全てのバーが掛かるように配置
する。すなわち、第１図に示したように、バーコード２
は半径ｒの円周３に掛かるように配置する。また、バー
コード自身の配列は直線に沿った形とする。直線配列と
すれば、コードの記入を簡単に行なうことができ、また
市販のバーコードマーカ等が利用でき、便宜だからであ
る。
このように配置されたバーコードを第２図（ａ）のよう
にウエハの円中心から半径ｒの円弧４に沿って読み取
る。半導体製造装置においてはウエハの簡単な位置合わ
せのためウエハを回転させる動作がある。従って回転中
心から半径ｒの位置の適当な定点にバーコード読み取り
センサを配置することにより簡単に円弧スキャン読み取
りが実現できる。一般に、このウエハの回転は所定の角
速度で行なわれる。そのため、その回転による円弧スキ
ャンによって読み取られるコード信号は、時系列上で第
２図（ｂ）のように、コードの始点および終点側が、そ
のコード中心点より、信号が伸びた状態となる。
にウエハの円中心から半径ｒの円弧４に沿って読み取
る。半導体製造装置においてはウエハの簡単な位置合わ
せのためウエハを回転させる動作がある。従って回転中
心から半径ｒの位置の適当な定点にバーコード読み取り
センサを配置することにより簡単に円弧スキャン読み取
りが実現できる。一般に、このウエハの回転は所定の角
速度で行なわれる。そのため、その回転による円弧スキ
ャンによって読み取られるコード信号は、時系列上で第
２図（ｂ）のように、コードの始点および終点側が、そ
のコード中心点より、信号が伸びた状態となる。
第３図（ｄ）は、この伸びた状態の信号を示している。
同図（ｃ）に示すように、矢印11のように円弧スキャン
が行なわれ、その結果矢印12の部分がバーコードの１コ
ード成分であるバーに掛かっていたとすると、得られる
パルス信号の長さは（ｄ）のようにｒ・Δθとなる。こ
こで、バーコードは同図（ｂ）に示す直線方向に沿って
配置されているものとする。もし、この直線方向に沿っ
てスキャンしたとすれば、同図（ａ）のような正しい幅
Δｘの信号が得られる。しかし、同図（ｃ）のような円
弧スキャンでは（ｄ）のようにパルス幅が伸びた信号と
なる。バーコードのように、1,0のパルス幅、あるいは
時系列上の1,0に意味があるようなコード体系に基づき
構成されたシリアルコードにおいては、このような伸び
た信号から直接、コード判読はできない。
同図（ｃ）に示すように、矢印11のように円弧スキャン
が行なわれ、その結果矢印12の部分がバーコードの１コ
ード成分であるバーに掛かっていたとすると、得られる
パルス信号の長さは（ｄ）のようにｒ・Δθとなる。こ
こで、バーコードは同図（ｂ）に示す直線方向に沿って
配置されているものとする。もし、この直線方向に沿っ
てスキャンしたとすれば、同図（ａ）のような正しい幅
Δｘの信号が得られる。しかし、同図（ｃ）のような円
弧スキャンでは（ｄ）のようにパルス幅が伸びた信号と
なる。バーコードのように、1,0のパルス幅、あるいは
時系列上の1,0に意味があるようなコード体系に基づき
構成されたシリアルコードにおいては、このような伸び
た信号から直接、コード判読はできない。
そこで、この場合、第３図より分かるように、 Δｘ＝（ｒ・Δθ）cosθ という変換を施してやればパルス信号の正しい幅が求め
られ、第２図（ｂ）の信号から第２図（ｃ），（ｄ）の
ようにバーコードを直線スキャンしたときの信号と等価
的なデータを得ることができる。
られ、第２図（ｂ）の信号から第２図（ｃ），（ｄ）の
ようにバーコードを直線スキャンしたときの信号と等価
的なデータを得ることができる。
この変換を簡単な演算であるから、時系列データを収集
した後、CPUがこの演算を行なうようにソフトウエアを
作成しておくことにより容易に実現できる。さらに、演
算素子を使用したハードウエアによって行なってもよ
い。このような変換の後、コードデータを決められた体
系に従って判読すればよい。
した後、CPUがこの演算を行なうようにソフトウエアを
作成しておくことにより容易に実現できる。さらに、演
算素子を使用したハードウエアによって行なってもよ
い。このような変換の後、コードデータを決められた体
系に従って判読すればよい。
第４図は、第１〜３図で説明したようにウエハのバーコ
ードを円弧スキャンで判読する際の判読装置の構成例を
示す。同図は、半導体製造装置において、ウエハの位置
合せのために通常備わっているウエハの回転駆動機構部
にコード判読回路を付加したものである。
ードを円弧スキャンで判読する際の判読装置の構成例を
示す。同図は、半導体製造装置において、ウエハの位置
合せのために通常備わっているウエハの回転駆動機構部
にコード判読回路を付加したものである。
同図において、20はウエハ、21はバーコードが記入され
ているウエハ底面、22はウエハ20を回転させるためのDC
モータ、23はDCモータの回転をウエハに与えるための駆
動ローラである。24はウエハ20のガイドのための固定ロ
ーラであり、駆動ローラ23の対面に配置され、ウエハ20
を支持し回転させる。25はバーコードの読み取りのため
にバーコードを照明する光源、26は照明光源25の電源で
ある。また、27はバーコードからの反射光を検出する読
み取りセンサ、28は読み取りセンサ27からの信号を増幅
するセンサ・アンプ、29はセンサアンプ28からの信号を
２値化するためのアナログ・デジタル（A/D）コンバー
タである。30は２値化された信号等を記憶しておくため
のメモリ、31は２値化された信号を処理しコードの判読
を行なうCPUである。なお、ウエハ20を回転させるため
部材22〜24は、元より備えられているオリフラ位置合せ
機構と兼用でき、またCPU31,メモリ30も他のコントロー
ルのためのCPU,メモリと兼用することが可能である。
ているウエハ底面、22はウエハ20を回転させるためのDC
モータ、23はDCモータの回転をウエハに与えるための駆
動ローラである。24はウエハ20のガイドのための固定ロ
ーラであり、駆動ローラ23の対面に配置され、ウエハ20
を支持し回転させる。25はバーコードの読み取りのため
にバーコードを照明する光源、26は照明光源25の電源で
ある。また、27はバーコードからの反射光を検出する読
み取りセンサ、28は読み取りセンサ27からの信号を増幅
するセンサ・アンプ、29はセンサアンプ28からの信号を
２値化するためのアナログ・デジタル（A/D）コンバー
タである。30は２値化された信号等を記憶しておくため
のメモリ、31は２値化された信号を処理しコードの判読
を行なうCPUである。なお、ウエハ20を回転させるため
部材22〜24は、元より備えられているオリフラ位置合せ
機構と兼用でき、またCPU31,メモリ30も他のコントロー
ルのためのCPU,メモリと兼用することが可能である。
上記構成において、まず、DCモータ22を駆動し、ウエハ
20を回転させる。バーコードはウエハ底面21の第１図で
示したような位置に予め配置し、また読み取りセンサ６
は第２図（ａ）のようにバーコードを円弧スキャンする
ような位置に配置しておく。これによりバーコードを読
み取り、第２図（ｂ）のような信号を得る。このときの
２値化はA/Dコンバータ29によってバーコードの明／暗
の信号強度変化を明を「１」、暗を「０」とするように
２値化する。２値化された信号は、順次、メモリ30に記
憶する。ウエハ20が一回転し、バーコードを読み取った
後、CPU31は上述したようなバー幅の補正とコード判別
を行なう。
20を回転させる。バーコードはウエハ底面21の第１図で
示したような位置に予め配置し、また読み取りセンサ６
は第２図（ａ）のようにバーコードを円弧スキャンする
ような位置に配置しておく。これによりバーコードを読
み取り、第２図（ｂ）のような信号を得る。このときの
２値化はA/Dコンバータ29によってバーコードの明／暗
の信号強度変化を明を「１」、暗を「０」とするように
２値化する。２値化された信号は、順次、メモリ30に記
憶する。ウエハ20が一回転し、バーコードを読み取った
後、CPU31は上述したようなバー幅の補正とコード判別
を行なう。
円弧スキャンで読み取ったバー幅の補正は、第５図のフ
ローチャートで示されるような手順に従ってCPU31で行
なう。その後、コード判別処理を行なう。
ローチャートで示されるような手順に従ってCPU31で行
なう。その後、コード判別処理を行なう。
第５図において、まず始めにバーコードのスタートマー
クの検出を行なう。通常バーコードの「１」または
「０」が一定時間以上継続するバーをスタートバーとし
て、認識する。具体的には、まずステップS1で変数Ｎに
初期値０を設定する。次にステップS2でＮを１カウント
アップ、ステップS3でＮ番目のバー幅と所定の値のスタ
ートバー幅を比較する。Ｎ番目のバー幅とは、先にメモ
リ30に記憶した２値化信号のデータ（「１」と「０」の
データ列）中Ｎ番目のバーのバー幅のことである。この
ステップS2,S3によりスタートバーを認識する。
クの検出を行なう。通常バーコードの「１」または
「０」が一定時間以上継続するバーをスタートバーとし
て、認識する。具体的には、まずステップS1で変数Ｎに
初期値０を設定する。次にステップS2でＮを１カウント
アップ、ステップS3でＮ番目のバー幅と所定の値のスタ
ートバー幅を比較する。Ｎ番目のバー幅とは、先にメモ
リ30に記憶した２値化信号のデータ（「１」と「０」の
データ列）中Ｎ番目のバーのバー幅のことである。この
ステップS2,S3によりスタートバーを認識する。
次に、スタートバーを認識したらステップS4でこの位置
を基準に円弧スキャンによる歪の補正を行なう。なお、
以下でθの値は円弧スキャンの中心とバーコードの中点
を結ぶ線からスキャン方向（第３図（ｃ）の矢印11）を
正として測ったものである。
を基準に円弧スキャンによる歪の補正を行なう。なお、
以下でθの値は円弧スキャンの中心とバーコードの中点
を結ぶ線からスキャン方向（第３図（ｃ）の矢印11）を
正として測ったものである。
バーコード全体の長さは一定であるから、第３図におい
てθの始めと終りは既知である。すなわち、円弧スキャ
ンを行なうためにウエハに照射する光が、バーコードに
掛かり始める時点のθの値およびバーコードからはずれ
る時点のθの値は予め明らかである。そこで、スタート
バーの位置を−θＣ、またバーコードの終わり位置を＋
θＣとし、その間を一定のステップで変化させた際に検
出される各バーの幅Δθを元に、次式によってバー幅の
補正を行なう。
てθの始めと終りは既知である。すなわち、円弧スキャ
ンを行なうためにウエハに照射する光が、バーコードに
掛かり始める時点のθの値およびバーコードからはずれ
る時点のθの値は予め明らかである。そこで、スタート
バーの位置を−θＣ、またバーコードの終わり位置を＋
θＣとし、その間を一定のステップで変化させた際に検
出される各バーの幅Δθを元に、次式によってバー幅の
補正を行なう。
Δｘ＝（スキャン半径ｒ）×Δθ×cosθ Δθは補正前のバー幅で、ウエハを一定の角速度で回転
して得た２値化信号のデータすなわちメモリ30に記憶し
た「１」と「０」のデータ列中、当該バーに対応する部
分のデータ列の長さである。ウエハを回転する角速度は
一定であるから、上記のデータ列はウエハを一定のステ
ップで変化させて、各バーを検出したものとなる。θは
当該バーの終り位置における角度θを使用しているが、
当該バーの始まり位置における値や当該バーの中点の位
置における値を使用してもよい。
して得た２値化信号のデータすなわちメモリ30に記憶し
た「１」と「０」のデータ列中、当該バーに対応する部
分のデータ列の長さである。ウエハを回転する角速度は
一定であるから、上記のデータ列はウエハを一定のステ
ップで変化させて、各バーを検出したものとなる。θは
当該バーの終り位置における角度θを使用しているが、
当該バーの始まり位置における値や当該バーの中点の位
置における値を使用してもよい。
補正後のデータは、バーコードを直線スキャンで読み取
ったものと同じバーコードデータとなるので、補正後は
従来と同様なバーコード判読処理を行なえばよい。
ったものと同じバーコードデータとなるので、補正後は
従来と同様なバーコード判読処理を行なえばよい。
なお、上記実施例中、補正はソフトウェアにより計算式
で行なっているが、予め参照テーブルを作成しておき使
用してもよいし、ハードウエアにより実行してもよい。
で行なっているが、予め参照テーブルを作成しておき使
用してもよいし、ハードウエアにより実行してもよい。
従来、バーコードの方向はオリフラの方向と揃える必要
があったが、本実施例によれば、ウエハ上のバーコード
の記入方向を揃える必要がない。また、位置合せのため
にウエハを回転している間に、固定してある読み取り装
置でバーコードを読み取ることができるので、直線読み
取り機構を付加する必要もなく、また時間的ロスも抑え
ることができる。
があったが、本実施例によれば、ウエハ上のバーコード
の記入方向を揃える必要がない。また、位置合せのため
にウエハを回転している間に、固定してある読み取り装
置でバーコードを読み取ることができるので、直線読み
取り機構を付加する必要もなく、また時間的ロスも抑え
ることができる。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、位置合せのために
基板を回転駆動させる間に基板上の直線配列されたシリ
アルコードのデータを読み取ることができるため、生産
性を向上させることができる。また、基板のそのような
回転駆動に応じて円弧走査するため、走査のための特別
の機構を不要とし、装置構成を簡略化することができ
る。
基板を回転駆動させる間に基板上の直線配列されたシリ
アルコードのデータを読み取ることができるため、生産
性を向上させることができる。また、基板のそのような
回転駆動に応じて円弧走査するため、走査のための特別
の機構を不要とし、装置構成を簡略化することができ
る。
第１図は、本発明の一実施例であり、円弧スキャン上に
配置されたバーコードを示す平面図、 第２図は、円弧スキャンでバーコードを読み取り補正し
た信号が直線スキャンによる信号と同等であることを示
す図、 第３図は、円弧スキャンと直線スキャンの補正量の関係
を示す図、 第４図は、ウエハの回転機構とバーコード読み取り回路
の概略構成図、 第５図は、補正計算の手順を示すフローチャート、 第６図は、従来ウエハ上に記入されたバーコードを示す
平面図、 第７図は、第６図のバーコードを直線方向に読み取った
際の２値化信号を示す図である。 1,20:ウエハ、 2:バーコード、 4:円弧スキャン方向、 22:DCモータ、 23:駆動ローラ、 25:照明光源、 27:読み取りセンサ、 29:A/D変換器、 30:メモリ、 31:CPU。
配置されたバーコードを示す平面図、 第２図は、円弧スキャンでバーコードを読み取り補正し
た信号が直線スキャンによる信号と同等であることを示
す図、 第３図は、円弧スキャンと直線スキャンの補正量の関係
を示す図、 第４図は、ウエハの回転機構とバーコード読み取り回路
の概略構成図、 第５図は、補正計算の手順を示すフローチャート、 第６図は、従来ウエハ上に記入されたバーコードを示す
平面図、 第７図は、第６図のバーコードを直線方向に読み取った
際の２値化信号を示す図である。 1,20:ウエハ、 2:バーコード、 4:円弧スキャン方向、 22:DCモータ、 23:駆動ローラ、 25:照明光源、 27:読み取りセンサ、 29:A/D変換器、 30:メモリ、 31:CPU。
Claims (1)
- 【請求項１】基板の位置合せのために前記基板を回転駆
動する際、前記基板の回転駆動に応じて前記基板上の直
線配列されたシリアルコードを読み取りセンサで円弧走
査することによりコードデータを得るステップと、前記
円弧走査によって得られるコードデータから前記シリア
ルコードを直線走査した際に得られるコードデータを演
算処理により求めるステップとを有し、この演算処理に
おいては、前記円弧走査のための円弧の半径をｒ、前記
シリアルコードの中点と前記円弧の中心を結ぶ線と、前
記シリアルコードの前記円弧上の点と前記中心を結ぶ線
が成す角度をθ、前記円弧走査によって得られるコード
データの幅をΔθとする時、前記直線走査によって得ら
れるコードデータの幅Δｘを、 Δｘ＝（ｒ・Δθ）cosθ として求めることを特徴とするシリアルコードの判読方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61152771A JPH0673144B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | シリアルコ−ドの判読方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61152771A JPH0673144B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | シリアルコ−ドの判読方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310291A JPS6310291A (ja) | 1988-01-16 |
| JPH0673144B2 true JPH0673144B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=15547789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61152771A Expired - Fee Related JPH0673144B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | シリアルコ−ドの判読方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673144B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1711911A4 (en) * | 2004-01-14 | 2008-07-02 | Int Barcode Corp | VIRTUAL SCAN BAR CODE IMAGE DISTORTING COMPENSATION |
| CN107492539B (zh) * | 2016-06-12 | 2019-11-01 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体结构及其形成方法和水印识别方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57211668A (en) * | 1981-06-23 | 1982-12-25 | Fujitsu Ltd | Serial signal correcting system |
| JPS5892066A (ja) * | 1981-11-27 | 1983-06-01 | Fujitsu Ltd | シリアル信号補正方式 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP61152771A patent/JPH0673144B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6310291A (ja) | 1988-01-16 |
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