JPS63100626A - 情報記録装置 - Google Patents

情報記録装置

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JPS63100626A
JPS63100626A JP62193850A JP19385087A JPS63100626A JP S63100626 A JPS63100626 A JP S63100626A JP 62193850 A JP62193850 A JP 62193850A JP 19385087 A JP19385087 A JP 19385087A JP S63100626 A JPS63100626 A JP S63100626A
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JP
Japan
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sub
information recording
beams
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recording device
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Application number
JP62193850A
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English (en)
Inventor
クラース・コンパーン
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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
    • G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
    • G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
    • G01P13/045—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement with speed indication
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/02062—Active error reduction, i.e. varying with time
    • G01B9/02063—Active error reduction, i.e. varying with time by particular alignment of focus position, e.g. dynamic focussing in optical coherence tomography
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光学放射を用いて記録キャリヤにトラック状の
情報構体で情報を記録する装置であって、該装置が第１
光源及び変調器を収納している書込みヘッドと、該ヘッ
ドに対して互いに相対的に移動可能に配置される記録キ
ャリヤ用支持装置と、記録キャリヤの平面に対し平行で
、しかも記録すべき情報トラックの方向に対して直交す
る方向における書込みヘッドの変位を決定する変位測定
装置とを具えており、該変位測定装置が物体の移動の直
線性を決定する直線性決定装置を含み、該直線性決定装
置が、コヒーレントな光ビームを発生する光源と、前記
光ビームから第１及び第２サブビームを引出すビームス
プリッタとを具え、前記物体の表面に前記第１サブビー
ムを入射させた後に前記両サブビームを光−感知検出装
置の平面にて一敗させるようにした情報記録装置に関す
るものである。
斯種情報記録装ぼに変位測定装置として用いられるもの
は干渉計を成し、斯種の干渉計は、例えば「フィリップ
ス・テクニカル・レビュー」（Ｐｈ１ｌｉｐｓ　Ｔｅｃ
ｈｎｉｃａｌ　Ｒｅｖｉｅｗ”１立、Ｎａ６／７゜第１
６０〜１６５頁）から既知である。各サブビームの通路
には反射器を配置する。これらの反射器の内の１つは固
定して配置すると共に、他方の第２の反射器は変位を測
定すべき物体に固着する。
反射器にて反射された２つのサブビームはビームスプリ
ッタにより再結合され、はぼ同じ光路長を走行した上記
サブビームは互いに干渉する。この干渉パターンの強度
はサブビームの相対位相に依存するため、第２サブビー
ムの光路長が物体の変位により絶えず増減する場合には
、上記干渉パターンの強度が周期的に変化するようにな
る。干渉パターンの１周期は使用する光の１／２波長の
大きさの光路長の変化分に相当する。光−感知検出器に
よって周期性の電気信号を得ることができ、その信号の
周期数を計数して、物体の変位量を求めることができる
。
Ｐｈ１ｌｉｐｓ　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｒｅｖｉａｗ・
″　（３０，１１ｋＬ６／７、第１６０〜１６５頁）の
論文には、１ａｌｌの数分の１までの精度で簡単にディ
ジタル表示し、かつ、順方向変位と逆方向変位とを区別
し得る優れた特性を有する特殊な干渉針について記載さ
れている。しかし、上述したような特性は強度が等しく
ても周波数が相違する２つの逆向きの円偏光成分を有す
るレーザビームを発生する特殊な周波数安定レーザ光源
を使用する場合にしか得ることができない。
近年光学的に読取り可能な記録キャリヤの分野において
はめざましい発展が成されている。これらの記録キャリ
ヤには、ビデオおよび／またはオーディオ情報或いはデ
ィジタル情報の如き多重の情報を記憶させ、情報細部の
寸法は１μ園またはそれ以下とする。上記記録キャリヤ
への情報記録装置においては、書込みヘッドのトラック
に直角方向の移動を正確に制御する必要がある。
そこで、本発明の目的は、構成が非常に簡単であるも、
実質上正確な制御が可能な、変位測定装置としての干渉
計を含む前述した種類の情報記録装置を提供することに
ある。
本発明は、冒頭にて述べた種類の情報記録装置において
、前記２つのサブビームが前記検出装置の平面にて互い
に鋭角を成し、かつ前記光−感知検出装置が、ホト−ダ
イオードを直線的に配列して成る多重ホト−セルによっ
て構成され、前記ホト−ダイオードが電子スイッチを介
してこれらホト−ダイオードに発生する信号を処理する
回路に順次接続されて、前記検出装置が可動回折格子の
ような検出器として機能し、多重ホト−セルの格子周期
が２つの重畳サブビームの干渉パターンの周期に対応す
るように構成したことを特徴とする。
本発明は、干渉計では正弦波干渉パターンを発生させる
ことができ、しかも、サブビームの光路長の変化によっ
て生ずる干渉パターンの強度変化を上記干渉パターンの
変位と見なすことができると云う事実を利用している。
明るい縞と暗い縞との斯種干渉パターン（これは回折格
子と見なすことができる）の変位は、多重ホト−セル形
態の基準回折格子を用いて測定することができる。
電子スイッチによって基準回折格子が多重水トーセルの
表面上を見掛上“移動°゛するようにする。
多重ホト−セルの光−感知素子、電子スインチおよび電
子処理回路は半導体材料の１個のチップに集積化するこ
とができる。
上記多重ホト−セルについては、例えば米国特許筒３．
９７３，１１９号に記載されている。この米国特許明細
書によれば、物体に接続した第１回折格子を多重ホト−
セルによって構成した基準回折格子に投影することによ
って物体の変位を測定することができる。この変位測定
の精度は第１回折格子の格子周期によって決定される。
この格子周期は例えば６３５μ閣としている。この場合
、信号処理および信号周期内での補間を適当に行うこと
によって変位測定精度を原則として０．５μｍまでにす
ることができる。
本発明に適用する干渉計における電気信号の周期性は、
周期が６３５μｍの回折格子の代りに使用する光の波長
の１／２の周期に依存する。従って、同じ多重ホト−セ
ルを用いる場合に、本発明に適用する干渉計にて得られ
る精度は前記米国特許筒３．９７３，１１９号に基ずく
変位測定針にて得られる精度よりも遥かに高くなる。
図面につき本発明を説明する。
第１図は本発明情報記録装置に適用する変位測定装置と
しての干渉計の一例を示したものであり、放射源（以後
光源と称する）１はビーム２を放射する。このビーム２
のコヒーレンス長は干渉計の使用目的に応じて小さくし
たり大きくしたりする。
比較的長い距離の変位を測定したりする場合にはビーム
のコヒーレンス長を大きくする。この場合、光源ｌは例
えばヘリウム−ネオンレーザのようなレーザとする。ビ
ーム２の一部はビームスプリッタ３によってサブビーム
ａとして固定の基準ミラ・−４に反射させる。ビームス
プリッタ３を透過するサブビームｂは第２ミラー５に入
射させる。この第２ミラー５は変位を測定すべき物体６
の上に配置するか、その物体に取付けるか、或いはその
物体の一部とする。
ミラー４によって反射されるビームａの一部（ａ′）は
ビームスプリッタ３を透過し、また、ミラー５によって
反射されるビームｂの一部（ｂ′）はビームスプリッタ
３によって反射される。従って、ビームａ′とｂ′とに
より干渉パターンｌが形成される。この干渉パターンの
強度はサブビームａ′とｂ′の相対位相に依存する。従
って、サブビームｂ′の光路長が物体６の変位により増
減する場合、上記干渉パターンの強度は周期的に変化す
るようになる。
従来の干渉計では、例えば光−感知検出系の光軸上に配
置される光−感知検出器によって干渉パターンの強度を
局部的に測定している。物体６が動く場合、上記検出器
の出力端子には周期性、またはパルス状の信号が発生す
る。これらのパルス数を計数することにより物体の変位
の大きさを測定することができる。
本発明に適用する干渉計では、サブビームａ′とｂ′と
が互いに小角度を成すようにする手段を講する。これは
第１図に示すように、ミラー５をビームｂに対して９０
°とは多少異なる角度で配置することによって行うこと
ができる。このようにすることにより第１図に概略的に
示す干渉パターンは空間強度分布を呈する干渉パターン
Ｉとなる。干渉縞（ライン）は第１図の図面の平面に垂
直に現われる。第２図には干渉パターンを平面図にて示
しである。
ビームａとｂが等しい光路長を走行する場合、例えば光
−恩知検出系の光軸上の成る点ＣＩの強度は最大となり
、点Ｃ！およびＣ８の強度も最大となるが、点Ｄ１およ
びＤ８０強度は最小となる。
従って、干渉パターンは第２図に曲線１１にて示すよう
になる。物体６が変位する場合には、点ＣＩ＋Ｃ８およ
びＣ１の強度が低下し、点ＤＩおよびり。
の強度が増大するようになる０例えば、物体６がビーム
２の１／４波長に相当する距離を動いた場合には点Ｃ，
，Ｃ□およびＣ１の強度が最小となり、点Ｄ１およびＤ
８の強度が最大となる。この場合の干渉パターンは曲線
１２にて示すようになる。
本発明に適用する干渉計では、強度分布の変化は点Ｃ＋
　、Ｃｚ　、Ｃ３、Ｄ＋　、Ｄｚに対する干渉パターン
の「トラベリング」　（移動）と見なせると云う事実を
利用する。さらに、干渉パターンそのものは明るい格子
縞から暗い格子縞へと順次転換部を有している回折格子
と見なすことができる。
ここに提案した干渉計では、干渉パターンの変位、従っ
て、物体の変位を干渉パターンの平面に配置される基準
回折格子８を用いて決定する。この場合、２個の物理的
回折格子を互いに動かす従来の測定装置に用いられる技
術を使用することができる０本発明に適用する干渉計で
は、周期が例えば数１００μ簡のような物理的な回折格
子の代りに、周期が使用する光の波長の１／２に相当す
るような、例えばヘリウム−ネオンレーザの場合には０
、３１６μ−の周期の干渉パターンを利用するため、回
折格子による測定装置に比べて遥かに小さな変位を測定
することができる。
第１図に示すように、可動基準回折格子はほぼ同一構成
のホト−ダイオードを直線的に配列して成る多重ホト−
セルを用いて形成することができ、各ホト−ダイオード
は電子スイッチを介して順次電子処理回路に接続する。
この干渉針は基準回折格子を使用するものでもなければ
、上記格子に均一な動きを与える可動部分も使用するも
のでないため、この干渉計は構造が簡単であると共に、
耐振性も高いものである。
第３図は本発明に適用する変位測定装置としての干渉計
の第２例を示したものである。第１図に示した例ではビ
ームスプリッタ３として半透鏡を用いたが、第３図に示
す例では特殊な形状をしたプリズム１４をビームスプリ
ッタとして用いる。
このプリズムは第３図に示すように、半透鏡面１５を有
し、かつ、第２の全反射面１６と第３の半透鏡面１７を
研磨しである普通の半透プリズムと想定することができ
る０反射面１６と１７との角度を適当に選定することに
よって、反射されたサブビームａ′とｂ′とが互いに小
角度を成すようにすることができる。
この例では反射素子を所謂リトロ−リフレクタ（逆反射
体）２０および２１とする。斯種の素子は互いに垂直の
３つの反射面を有しているプリズム、所謂ｒコーナーキ
ューブ」プリズムによって構成する。上記３つの面にて
連続的に反射されるビームの方向は、プリズムの角度位
置に拘らず、プリズムに入射するビームの方向と同じと
なる。
従って、上記プリズムの角度位置は設定する必要がない
、同様な効果はレンズと、このレンズの焦点面に配置さ
れるミラーとを具えて成る所謂「キャラツーアイ」ミラ
ー装置の場合にも得ることができる。
第４図は、互いに干渉するサブビームａ′とｂ′との間
に小角度を導入させるために、ウォラストンプリズム２
６を用いた干渉計の例を示し、この例ではビームスプリ
ッタを偏光−感知面２３を有している偏光−感知分割プ
リズム２２とする。この際、ビーム２の２成分は互いに
垂直に偏光され、その一方の成分ａは面２３にて反射さ
れ、また他方の成分すは面２３を透過する。光源ｌが発
生するビームの偏光方向を適合させるために偏光子２８
を設けることができる。λ／４板２４を通過するサブビ
ームａは反射素子２０によって反射され、つぎに再度λ
／４板に入射する。この場合、偏光方向は全体として９
０”にわたうて回転して、サブビームａ′は面２３を透
過する。この面２３を透過するビーム２の成分すはλ／
４板２５を２度通過して、面２３にて反射される。偏光
方向が互いに垂直の一敗（時を同じくした）サブビーム
ａ′およびｂ′は、これらビームの偏光方向に応じてビ
ームを偏光させるウォラストンプリズム２６を通過する
。このプリズムから出るサブビームは互いに小角度を成
す、これらのサブビームは検光子２７を通過後、検出器
、即ち多重ホト−セル２９の位置に空間強度分布を有す
る干渉パターンを形成することができる。
半透鏡に比べて、偏光−感知式のビームスプリッタは原
則としてビーム分割処理およびサブビームの再結合処理
にて光の損失がないと云う利点がある。第３図に示す干
渉計ではプリズムの面１５および１７を偏光−感知面と
することもできる。
この場合にはサブビームａおよびｂの通路にλ／４ヰ反
１８および１９を配置し、かつ、プリズム１４と検出器
２９との間に検光子２７を設ける必要がある。
偏光−感知式のビームスプリッタを用いる場合には、反
射プリズムの面でのビームの反射時にビームが追加的に
偏光されて変化することのないようにする手段を講じる
必要がある。これがため、上記プリズムの反射面にはｔ
ａＭを設けることができる。
前述したように、本発明に適用する干渉計では光検出装
置として多重ホト−セルを用いる。
第５図は多重ホト−セル２９の正面図と、これに関連す
る信号処理回路のブロック線図を示したものである。ホ
ト−セルはホト−ダイオード３０の如き光−感知素子を
相当多数具えており、これらの素子は比較的少数のグル
ープに分ける。従って、各グループはかなり多数のホト
−ダイオードを具えている。１つのグループにおける各
ホト−ダイオードは干渉パターン■の１つの明るい縞と
暗い縞との１周期分に対応させる。この結果、１つのグ
ループにおけるホト−ダイオードの数に相当する多数の
干渉パターンの周期が走査される。
干渉パターンの１周期当りのホト−ダイオードの数はで
きるだけ多くして、光学的な信号を電気信号に最適に再
生する必要がある。また、干渉パターンの走査部分はで
きるだけ大きくすべきである。
多重ホト−セルの一例として、ホト−ダイオードの数を
２００個とし、その各ダイオードの長さは１．８　ｍｍ
とした。また、各ホト−ダイオードの幅は１０μ−とし
、これらダイオードの間隔も１０μ−とした、干渉パタ
ーンの１周期当りのホト−ダイオードの個数を１０個と
したため、全体のホト−ダイオードによってカバーされ
る視野は干渉パターンの２０周期分となった。各組１０
個づつのホト−ダイオードの対応するダイオードを相互
接続して、各グループ２０個づつのホト−ダイオードか
ら成るグループを１０個とした。
ホト−ダイオードの５個の連続するグループ（本例では
各々２０個のホト−ダイオードから成る５つのグループ
）を動作させることによって、多重ホト−セル２９の個
所に白黒比が１：ｌの固定回折格子を擬装させる。５つ
のグループから成る組を１グループづつ進めると移動回
折格子が得られる。
第５図にブロックにて示す処理回路では、クロックパル
ス発生器３１で発生させたクロックパルスを分周器３３
および３４に供給する０分周器３３はリングカウンタ３
６を駆動させるパルス３５を供給する。このリングカウ
ンタ３６は多重ホト−セル２９を動作させて、測定信号
３７をバッファカウンタ（計数装置）３９に供給する０
分周器３４は基準信号を成すパルス３８（このパルスの
繰返し周波数は分周器３３からの制御パルス３５の周波
数とは相違させるのが普通である。）をバッファカウン
タ３９に供給する。バッファカウンタ３９では測定信号
と基準パルス３８とを互いに比較する。バッファカウン
タ３９の出力パルスは例えば表示器に供給する。
リングカウンタ３６は多重ホト−セル２９の連続するホ
ト−ダイオードのグループを動作させるため、実際上、
ホト−セル２０の表面を一定速度で移動する回折格子が
得られる。この回折格子の周期は干渉パターンＩの周期
に等しい。干渉パターンがホト−セル２９に対して静止
する場合には測定信号の周波数が一定となる。干渉パタ
ーンがリングカウンタ３６によって動作させた見掛上の
回折格子と同一方向に動く場合には、測定信号３７の周
波数は減少し、また、干渉パターンが反対方向に動く場
合には測定信号３７の周波数が増大するようになる。従
って、上述したようにして干渉パターンの変位方向およ
びその大きさ、従って物体６の変位を測定することがで
きる。
干渉パターンＩの１周期の範囲内では、測定信号３７と
リングカウンタ３６のリセット信号との位相差を測定す
ることによって多重ホト−セル２９の干渉パターンに対
する位置を完全に測定することができる。リングカウン
タ３６は、このカウンタが特定の初期位置にて必ずスタ
ートし得るようにするために、測定を開始する度毎にリ
セットさせる必要がある。
しかし、このようにリングカウンタ３６を各周期毎にリ
セットさせる場合でも、回路構成は簡単となり、その動
作も確実なものとなる。リング力　　　−ウンタ３６の
リセット信号は、分周器４０にてパルス３５を分周して
形成する。このリセットパルスの周波数は測定信号３７
の公称周波数に等しい値に選定する。
周期が６３５μ−の回折格子を用いる回折格子測定装置
に第５図に示す多重ホト−セルおよび処理回路を用いる
場合には、原則として測定回折格子の変位を０．５μ−
まで検出することができる。
波長が０．６３２８μ−のヘリウム−ネオンレーザビー
ムを用いる本発明に適用する干渉計に第５図の多重ホト
−セルおよび処理回路を用いた場合にｎ＋ｍまでの変位
を検出することができる。
前述した変位測定装置は、例えば旋盤のような工作機械
にてスライダや、シャフトの動きを測定する場合のよう
な、小さな変位を正確に測定する必要のある凡ゆる場合
に使用することができる。
この例は”０ｐｔｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ”　（ｖｏｌ
、　１４　、　％　２第７０〜７２頁）に記載されてい
る数値制御旋盤であり、これによって双非球面の対物レ
ンズ、即ち２つの非球面を有しているレンズを製造する
ことができる。
本発明に適用する干渉計は移動物体の直線通路からのず
れ量を測定する直線性決定装置として用いることもでき
、このような用途に用いる場合には、第６図に示すよう
に、光源１、ビームスプリンタ３、反射ミラー４および
光−感知検出装置２９をすべて１個のハウジング４１に
収納させる。小寸法に設計し得るこのハウジング４１は
物体６と同じ速度で矢４６の方向に動かす、この方向に
物体６が移動しても干渉パターンには何の変化も生じな
い、しかし、物体６が矢４６の方向に対して傾いて動く
場合には、反射サブビームｂ′がサブビームａ′に対し
て動くため、干渉パターンの分布は変化する。従って、
干渉パターンは光−感知検出装置２９に対して「移動」
し始める。この動きは検出装置２９の出力信号における
周期数を計数することによって測定することができる。
ハウジング４１および物体６を同時に動かす場合、ハウ
ジング４１は物体６を動かすスライダ４３に取付けるこ
とができる。また、第６図に示すように、ハウジング４
１に別の駆動手段４２を設けて、これを連結具４５を介
してモータ４４により附勢することもでき、この際物体
をのせるスライダ４３もモータ４４によって駆動させる
。
前述したように、近年光学的に読取り可能な記録キャリ
ヤの分野においてはめざましい発展が成されており、こ
れらの記録キャリヤには、ビデオおよび／またはオーデ
ィオ情報或いはディジタル情報の如き多重の情報を記憶
させ、情報細部の寸法は１μ個またはそれ以下としてい
る。これがため、上記記録キャリヤへの情報記録装置に
おいては、書込みヘッドのトラックに直角方向の移動を
正確に制御する必要がある。特にオーディオ情報をキャ
リヤに記録する場合に、書込ヘッドの移動は極めて遅く
することができる。
第７図は上述したような記録キャリヤに情報を記録する
本発明による装置を示したものである。
情報を記録する記録キャリヤ５０はモータ５２によって
回転させることのできるテーブル５１の上に載置する。
書込みヘッド５３に設けるレーザ５４からのレーザビー
ム６１はミラー５５．５６．および５７を介して記録キ
ャリヤ５０の方向に向け、このビームを対物レンズ５８
によって小さな書込みスポットに集束させる。記録すべ
き情報は、その情報に基いてビーム強度を変調する変調
器５９の端子６０に供給する。書込みヘッド５３の壁部
には反射プリズム６４を配置し、このプリズムを干渉計
の測定アームに適合させる。この干渉計には分割プリズ
ム６２および第２反射プリズム６３も設ける。各反射プ
リズムによって反射されるビームａ′とｂ′の方向はこ
れらのプリズムに入射するビームａおよびｂの方向と同
一となるも、これらのビームａおよびｂに対しては僅か
に変位される。光学くさび６５はビームｂ′を僅かに偏
向させるため、プリズム６２から出るビームは互いに小
角度を成すようになる。
本発明に適用する干渉計は変位測定装置以外に、測定信
号の単位時間当りの周期数を求める速度計にも勿論のこ
と、干渉計を用い得る凡ゆる用途に使用することができ
る。このような例には、表面荒さ測定器、極めて小さな
磁気ひずみまたは電わい効果等を測定する装置がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明情報記録装置に適用する変位測定装置と
しての干渉針の第１例を示す線図；第２図は第１図の干
渉計にて形成される干渉パターンおよび回折格子を示す
説明図； 第３および４図は本発明に適用する干渉計の他の２つの
例を示す線図； 第５図は本発明に適用する干渉計に用いる信号処理回路
の一例を示すブロック線図； 第６図は本発明に適用する干渉計を具えた物体の直線移
動測定装置の一例を示す線図；第７図は本発明による情
報記録装置の一例を示す線図である。 １・・・光源　　　　　　　２・・・ビーム３・・・ビ
ームスプリッタ　４・・・固定基準ミラー５・・−ミラ
ー　　　　　　６・・・物体７・・・光−感知検出袋Ｗ
　８・・・基準回折格子１４・・・ビームスプリッタ（
プリズム）１５．１７・・・半透鋳面　１６・・・全反
射面１８．１９・・・λ／４板 ２０．２１・・・リトロ−リフレクタ ２２・・・偏向−感知分割プリズム（ビームスプリッタ
） ２３・・・偏向感知面　　　２４・・・λ／４板２６・
・・ウォラストンプリズム ２７・・・検光子　　　　　２８・・・偏光子２９・・
・多重ホト−セル（光−感知検出袋Ｗｔ）３０・・・ホ
ト−ダイオード ３１・・・クロックパルス発生器 ３３．３４・・・分周器　　３６・・・リングカウンタ
３９・・・パンファカウンタ（計数装ｒＩｌ）４０・・
・分周器　　　　　４１・・・ハウジング４２・・・駆
動手段　　　　４３・・・スライダ４４・・・モータ　
　　　　４５・・・連結具５０・・・記録キャリヤ　　
５１・・・テーブル５２・・・モータ　　　　　５３・
・・書込みヘッド５４・・・レーザ ５５．５６．５７・・・ミラー ５８・・・対物レンズ　　　５９・・・変調器６２・・
・分割プリズム ６３．６４・・・反射プリズム ６５・・・光学くさび 特許出願人　　　エヌ・ベー・フィリップス・フルーイ
ランペンファブリケン ｉ−２ 響 ＦＩＧ、Ｉ ＦＩＧ、２

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、光学放射を用いて記録キャリヤにトラック状の情報
    構体で情報を記録する装置であって、該装置が第１光源
    及び変調器を収納している書込みヘッドと、該ヘッドに
    対して互いに相対的に移動可能に配置される記録キャリ
    ヤ用支持装置と、記録キャリヤの平面に対し平行で、し
    かも記録すべき情報トラックの方向に対して直交する方
    向における書込みヘッドの変位を決定する変位測定装置
    とを具えており、該変位測定装置が物体の移動の直線性
    を決定する直線性決定装置を含み、該直線性決定装置が
    、コヒーレントな光ビームを発生する光源と、前記光ビ
    ームから第１及び第２サブビームを引出すビームスプリ
    ッタとを具え、前記物体の表面に前記第１サブビームを
    入射させた後に前記両サブビームを光−感知検出装置の
    平面にて一致させるようにした情報記録装置において、
    前記２つのサブビームが前記検出装置の平面にて互いに
    鋭角を成し、かつ前記光−感知検出装置が、ホト−ダイ
    オードを直線的に配列して成る多重ホト−セルによって
    構成され、前記ホト−ダイオードが電子スイッチを介し
    てこれらホト−ダイオードに発生する信号を処理する回
    路に順次接続されて、前記検出装置が可動回折格子のよ
    うな検出器として機能し、多重ホト−セルの格子周期が
    ２つの重畳サブビームの干渉パターンの周期に対応する
    ように構成したことを特徴とする情報記録装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の情報記録装置におい
    て、ホト−ダイオードを複数個のグループに分割して、
    各グループの対応するホト−ダイオードを電気的に相互
    接続するようにしたことを特徴とする情報記録装置。 ３、特許請求の範囲第１項に記載の情報記録装置におい
    て、ホト−ダイオードの各グループを、パルス発生器か
    ら導出したクロックパルスによって制御されるリングカ
    ウンタによって順次動作させるようにすると共に、ホト
    −ダイオードに発生した信号とパルス発生器から導出し
    たパルス信号との双方を計数装置によって受信し、この
    計数装置にて前記両信号を互いに比較するように構成し
    たことを特徴とする情報記録装置。 ４、特許請求の範囲第３項に記載の情報記録装置におい
    て、クロックパルスを分周して得られるリセットパルス
    をリングカウンタに供給すると共に、前記リセットパル
    スを計数装置にも供給するように構成したことを特徴と
    する情報記録装置。 ５、特許請求の範囲第１〜４項のいずれか一項に記載の
    情報記録装置において、前記直線性決定装置を構成する
    光源、ビームスプリッタ、基準反射器及び光−感知検出
    装置をハウジング内に収納し、該ハウジングに前記物体
    と同じ速度でこのハウジングを動かす手段を設けたこと
    を特徴とする情報記録装置。
JP62193850A 1980-09-22 1987-08-04 情報記録装置 Pending JPS63100626A (ja)

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IT8124043A0 (it) 1981-09-18
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GB2084315A (en) 1982-04-07
IT1139451B (it) 1986-09-24
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AU551571B2 (en) 1986-05-08
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