JPS629913A - 穴明け装置とセラミックグリーンシート穴明け方法 - Google Patents

穴明け装置とセラミックグリーンシート穴明け方法

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JPS629913A
JPS629913A JP14860185A JP14860185A JPS629913A JP S629913 A JPS629913 A JP S629913A JP 14860185 A JP14860185 A JP 14860185A JP 14860185 A JP14860185 A JP 14860185A JP S629913 A JPS629913 A JP S629913A
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JP
Japan
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shaft
piezoelectric element
ceramic green
green sheet
housing
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JP14860185A
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公徳 吉田
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NEC Corp
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NEC Corp
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミックグリーンシート上に複数の穴を明
けるセラミックグリーンシート穴明は方法に関するもの
である。
〔従来技術とその問題点〕
セラミック多層配線基板は、大型コンビーータなどの高
密度実装基板として、実用化され始め、今後ますます波
及していくものと思われる。そのセラミック多層基板の
製造行程の一つにセラミックグリーンシートへの穴明は
行程がある。従来セラミックグリーンシートへの穴明け
は、ステンレスの板をエツチングにより面上に複数の突
起部を設けた凸型と、面上に複数の穴を設けた凹型との
間に挾んでプレスや加圧ローラーによって行っていた。
しかしこの方法では、(1)穴位置がエツチング時に決
められ変更する時は基板を変更しなければならない、(
2)金型の製作費が高価であり、(3)剛性の低い金型
は加圧時に変形するため、スルーホールを均一に明ける
ことが難しい、などの問題点があった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上記欠点をなくし、セラミックグリー
ンシート上の任意の位置に簡単な構造の装置を用い極め
て精度よく穴明けできるセラミックグリーンシート穴明
は方法を提供することにある。
〔発明の構成〕
本発明lこよれば枠状筐体の内面上端に一端を固定した
積層圧電素子と、前記筐体の内向下端の両隅に両端を固
定した湾曲状の板ばねと、該板ばねの外周面中央部に固
定された先端が球状でしかも前記積層圧電・素子の他端
に接触した高硬度、高反発の材料を使ったフライトビン
と、前記板ばねの内周面中央部に固定された先端がエッ
ヂでしかも前記筐体の下端に埋め込まれた円筒管の内面
を摺動する軸とから構成された凸型と、前記筐体と一体
構造でしかも前記筐体を支持している足部の上端には、
前記軸の真下でしかも前記軸と適当な隙間を持った穴を
有する板を備えた凹型とで構成された穴明は装置を準備
する工程と、前記穴明は装置の前記凹型と前記凸型間の
所定の位R1とセラミックグリーンシートを設置する工
程と、前記凸型の前記筐体に設けられた前記積層圧電素
子に通電し前記圧電素子を下方に伸長させ前記フライト
ビン及び前記板ばねを介して前記穴明は用軸を下降をも
との位置に復帰させる工程とを含んだセラミックグリー
ンシート穴明は方法が得られる。
〔実施例〕
以下本発明の一実施例について図面を参照して説明する
第1図・第2図は本発明の一実施例を説明するための図
であり、第1図は本発明に使用する穴明は装置の一実施
例を示す斜視図、第2図は第1図の中央の一部切欠き断
面図を示す。
第1図および第2図において、1は枠状の筐体であり内
面上端部lこ積層圧電素子2の一端を固定している。3
は湾曲状の板ばねであり両端を筐体1の内面で上端部両
隅に固定されている。板はね3の外周面中央部には先端
が球状で、しかも高硬度、高反発の材料(ここでは、焼
入れピン)を使ったフライトピン4が固定されており、
フライトビン4の球状先端は、積層圧電素子2の他端に
与圧され接触している。板ばね3の内周面中央部には先
端がエッヂの穴明は用軸5(ここでは、タングステン線
)の一端が固定されている。穴明は用軸(以下軸と略記
する)5は筐体1の下面中央に埋め込まれた円筒管であ
るすべり軸受管6(ここでは、テフロンチー−ブ)の内
面を案内として摺動する。7は筐体1の支持部で筐体1
と一体構造になっており上面中央部に軸5に対して適当
な隙間(ここでは径で100μm)を有する穴801を
備えた凹型8を固定している。穴801は軸5の真下に
位置している。セラミックグリーンシート9は軸5と凹
型80間に挾んで穴明けを行う。凹型8の下に設けられ
た穴10は、セラミックグリーンシート9の打ち抜き屑
が落ち易くするためである。
次に動作について述べる。
積層圧電素子2に通電すると、積層圧電素子2の特性上
下方に高速で伸びるため、積層圧電素子2に与圧され接
触しているフライトビン4は、下方に飛ばされる。この
時フライトピン4を外周面に固定している板ばね3の中
央部は下方にたわみを生じ、同時に板ばね3の内周に固
定している軸5も、すべり軸受管6の内面に案内され下
方に動作する。軸5が動作すると、軸5と凹型80間に
置かれたセラミックグリーンシートは、軸5の先端エッ
ヂの部分と凹型8に設けた穴801の内周エッヂ部番こ
より打ち抜かれる。打ち抜いた屑は穴801を通り下方
へ押し出される。セラミックグリーンシート9を打ち抜
いた後軸5およびフライトビン4は5板ばね3の復帰力
により初期状態まで戻される。(この時積層圧電素子は
無通電)これで穴明は動作は完了する。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、図に示すように簡
単な構造の装置で容易に穴明けすることができ、しかも
、極めて精度のよい穴を明けることができる。また本発
明の穴明は方法を用い、XYの自動制御テーブルに設置
すれば、セラミックグリーンシート上の任意の位置に穴
明は可能な自動装置を提供できるのは明らかである等の
効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第“2図は本発明の一実施例を説明するため
の図であり、第1図は、本発明に使用、する穴明は装置
の斜視図、第2図は第1図の中央の一部切欠き断面図で
ある。 1・・・・・・筐体、2・・・・・・積層原電素子、3
・・・・・・板ばね、4・・・・・・フライトビン、5
・・・・・・穴明は用軸、6・・・・・・すべり軸受管
、7・・・・−・筐体支持部、8・・・・・・凹型、9
・・・・・・セラミックグリーンシート 10・・・・
・・屑堆り穴、801・・・・・・穴。 8二 り八

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  枠状筐体の内面上端に一端を固定した積層圧電素子と
    、前記筐体の内面で下端の両隅に両端を固定した湾曲状
    の板ばねと、該板ばねの外周面中央部に固定された先端
    が球状でしかも、前記積層圧電素子の他端に接触してい
    る高硬度、高反発の材料を使ったフライトピンと、前記
    板ばねの内周面中央部に固定された先端がエッヂでしか
    も、前記筐体の下端に埋め込まれた円筒管の内面を摺動
    する軸とから構成された凸型と、前記筐体と一体構造で
    しかも前記筐体を支持している足部の上端には、前記軸
    の真下でしかも、前記軸と適当な隙間を持った穴を有す
    る板を備えた凹型とで構成された穴明け装置を準備する
    工程と、前記穴明け装置の前記凹型と前記凸型間の所定
    の位置にセラミックグリーンシートを設置する工程と、
    前記凸型の前記筐体に設けられた前記積層圧電素子に通
    電し前記圧電素子を下方に伸長させ前記フライトピン及
    び前記板ばねを介して前記穴明け用軸を下降させ前記セ
    ラミックグリーンシートを打抜く工程と、前記積層圧電
    素子の漏電を中止し、前記穴明け用軸をもとの位置に復
    帰させる工程とを含むことを特徴とするセラミックグリ
    ーンシート穴明け方法。
JP60148601A 1985-07-05 1985-07-05 穴明け装置とセラミックグリーンシート穴明け方法 Expired - Lifetime JPH0720617B2 (ja)

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JPH0720617B2 JPH0720617B2 (ja) 1995-03-08

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6393594A (ja) * 1986-10-07 1988-04-23 富士電機株式会社 せん断加工装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4182158B2 (ja) * 2003-05-13 2008-11-19 株式会社村田製作所 セラミックグリーンシートの積層装置および積層方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5431155U (ja) * 1977-08-05 1979-03-01
JPS58124707U (ja) * 1982-02-19 1983-08-25 三菱電機株式会社 加熱調理装置

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