JPH0720617B2 - 穴明け装置とセラミックグリーンシート穴明け方法 - Google Patents
穴明け装置とセラミックグリーンシート穴明け方法Info
- Publication number
- JPH0720617B2 JPH0720617B2 JP60148601A JP14860185A JPH0720617B2 JP H0720617 B2 JPH0720617 B2 JP H0720617B2 JP 60148601 A JP60148601 A JP 60148601A JP 14860185 A JP14860185 A JP 14860185A JP H0720617 B2 JPH0720617 B2 JP H0720617B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- shaft
- piezoelectric element
- leaf spring
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、穴明け装置とそれを用いてセラミックグリー
ンシート上に複数の穴を明けるセラミックグリーンシー
ト穴明け方法に関するものである。
ンシート上に複数の穴を明けるセラミックグリーンシー
ト穴明け方法に関するものである。
セラミック多層配線基板は、大型コンピュータなどの高
密度実装基板として、実用化され始め、今後ますます波
及していくものと思われる。そのセラミック多層基板の
製造行程の一つにセラミックグリーンシートへの穴明け
行程がある。従来セラミックグリーンシートへの穴明け
は、ステンレスの板をエッチングにより面上に複数の突
起部を設けた凸型と、面上に複数の穴を設けた凹型との
間に挾んでプレスや加圧ローラーによって行っていた。
しかしこの方法では、（１）穴位置がエッチング時に決
められ変更する時は基板を変更しなければならない。
（２）金型の製作費が高価であり、（３）剛性の低い金
型は加圧時に変形するため、スルーホールを均一に明け
ることが難しい、などの問題点があった。
密度実装基板として、実用化され始め、今後ますます波
及していくものと思われる。そのセラミック多層基板の
製造行程の一つにセラミックグリーンシートへの穴明け
行程がある。従来セラミックグリーンシートへの穴明け
は、ステンレスの板をエッチングにより面上に複数の突
起部を設けた凸型と、面上に複数の穴を設けた凹型との
間に挾んでプレスや加圧ローラーによって行っていた。
しかしこの方法では、（１）穴位置がエッチング時に決
められ変更する時は基板を変更しなければならない。
（２）金型の製作費が高価であり、（３）剛性の低い金
型は加圧時に変形するため、スルーホールを均一に明け
ることが難しい、などの問題点があった。
本発明の目的は、上記欠点をなくし、セラミックグリー
ンシート等に対しその任意の位置に極めて精度よく穴明
けできる装置とそれを用いたセラミックグリーンシート
穴明け方法を提供することにある。
ンシート等に対しその任意の位置に極めて精度よく穴明
けできる装置とそれを用いたセラミックグリーンシート
穴明け方法を提供することにある。
本発明によれば枠状筐体の内面上端に一端を固定した積
層圧電素子と、前記筐体の内面下端の両隅に両端を固定
した湾曲状の板ばねと、該板ばねの外周面中央部に固定
された先端が球状でしかも前記積層圧電素子の他端に接
触した高硬度、高反発の材料を使ったフライトピンと、
前記板ばねの内周面中央部に固定された先端がエッヂで
しかも前記筐体の下端に埋め込まれた円筒管の内面を摺
動する軸とから構成された凸型と、前記筐体と一体構造
でしかも前記筐体を支持している足部の上端には、前記
軸の真下でしかも前記軸と適当な隙間を持った穴を有す
る板を備えた凹型とで構成された穴明け装置を準備する
工程と、前記穴明け装置が得られる。また本発明によれ
ばこの穴明け装置の前記凹型と前記凸型間の所定の位置
にセラミックグリーンシートを設置する工程と、前記凸
型の前記筐体に設けられた前記積層圧電素子に通電し前
記圧電素子を下方に伸長させ前記フライトピン及び前記
板ばねを介して前記穴明け用軸を下降させ前記セラミッ
クグリーンシートを打抜く工程と、前記積層圧電素子の
通電を中止し、前記穴明け用軸をもとの位置に復帰させ
る工程とを含んだセラミックグリーンシート穴明け方法
が得られる。
層圧電素子と、前記筐体の内面下端の両隅に両端を固定
した湾曲状の板ばねと、該板ばねの外周面中央部に固定
された先端が球状でしかも前記積層圧電素子の他端に接
触した高硬度、高反発の材料を使ったフライトピンと、
前記板ばねの内周面中央部に固定された先端がエッヂで
しかも前記筐体の下端に埋め込まれた円筒管の内面を摺
動する軸とから構成された凸型と、前記筐体と一体構造
でしかも前記筐体を支持している足部の上端には、前記
軸の真下でしかも前記軸と適当な隙間を持った穴を有す
る板を備えた凹型とで構成された穴明け装置を準備する
工程と、前記穴明け装置が得られる。また本発明によれ
ばこの穴明け装置の前記凹型と前記凸型間の所定の位置
にセラミックグリーンシートを設置する工程と、前記凸
型の前記筐体に設けられた前記積層圧電素子に通電し前
記圧電素子を下方に伸長させ前記フライトピン及び前記
板ばねを介して前記穴明け用軸を下降させ前記セラミッ
クグリーンシートを打抜く工程と、前記積層圧電素子の
通電を中止し、前記穴明け用軸をもとの位置に復帰させ
る工程とを含んだセラミックグリーンシート穴明け方法
が得られる。
〔実施例〕 以下本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図・第２図は本発明の一実施例を説明するための図
であり、第１図は本発明に使用する穴明け装置の一実施
例を示す斜視図、第２図は第１図の中央の一部切欠き断
面図を示す。
であり、第１図は本発明に使用する穴明け装置の一実施
例を示す斜視図、第２図は第１図の中央の一部切欠き断
面図を示す。
第１図および第２図において、１は枠状の筐体であり内
面上端部に積層圧電素子２の一端を固定している。３は
湾曲状の板ばねであり両端を筐体１の内面で下端部両隅
に固定されている。板ばね３の外周面中央部には先端が
球状で、しかも高硬度、高反発の材料（ここでは、焼入
れピン）を使ったフライトピン４が固定されており、フ
ライトピン４の球状先端は、積層圧電素子２の他端に与
圧され接触している。板ばね３の内周面中央部には先端
がエッヂの穴明け用軸５（ここでは、タングステン線）
の一端が固定されている。穴明け用軸（以下軸と略記す
る）５は筐体１の下面中央に埋め込まれた円筒管である
すべり軸受管６（ここでは、テフロンチューブ）の内面
を案内として摺動する。７は筐体１の支持部で筐体１と
一体構造になっており上面中央部に軸５に対して適当な
隙間（ここでは径で100μｍ）を有する穴801を備えた凹
型８を固定している。穴801は軸５の真下に位置してい
る。セラミックグリーンシート９は軸５と凹型８の間に
挾んで穴明けを行う。凹型８の下に設けられた穴10は、
セラミックグリーンシート９の打ち抜き屑が落ち易くす
るためである。
面上端部に積層圧電素子２の一端を固定している。３は
湾曲状の板ばねであり両端を筐体１の内面で下端部両隅
に固定されている。板ばね３の外周面中央部には先端が
球状で、しかも高硬度、高反発の材料（ここでは、焼入
れピン）を使ったフライトピン４が固定されており、フ
ライトピン４の球状先端は、積層圧電素子２の他端に与
圧され接触している。板ばね３の内周面中央部には先端
がエッヂの穴明け用軸５（ここでは、タングステン線）
の一端が固定されている。穴明け用軸（以下軸と略記す
る）５は筐体１の下面中央に埋め込まれた円筒管である
すべり軸受管６（ここでは、テフロンチューブ）の内面
を案内として摺動する。７は筐体１の支持部で筐体１と
一体構造になっており上面中央部に軸５に対して適当な
隙間（ここでは径で100μｍ）を有する穴801を備えた凹
型８を固定している。穴801は軸５の真下に位置してい
る。セラミックグリーンシート９は軸５と凹型８の間に
挾んで穴明けを行う。凹型８の下に設けられた穴10は、
セラミックグリーンシート９の打ち抜き屑が落ち易くす
るためである。
次に動作について述べる。
積層圧電素子２に通電すると、積層圧電素子２の特性上
下方に高速で伸びるため、積層圧電素子２に与圧され接
触しているフライトピン４は、下方に飛ばされる。この
時フライトピン４を外周面に固定している板ばね３の中
央部は下方にたわみを生じ、同時に板ばね３の内周に固
定している軸５も、すべり軸受管６の内面に案内され下
方に動作する。軸５が動作すると、軸５と凹型８の間に
置かれたセラミックグリーンシートは、軸５の先端エッ
ヂの部分と凹型８に設けた穴801の内周エッヂ部により
打ち抜かれる。打ち抜いた屑は穴801を通り下方へ押し
出される。セラミックグリーンシート９を打ち抜いた後
軸５およびフライトピン４は、板ばね３の復帰力により
初期状態まで戻される。（この時積層圧電素子は無通
電）これで穴明け動作は完了する。
下方に高速で伸びるため、積層圧電素子２に与圧され接
触しているフライトピン４は、下方に飛ばされる。この
時フライトピン４を外周面に固定している板ばね３の中
央部は下方にたわみを生じ、同時に板ばね３の内周に固
定している軸５も、すべり軸受管６の内面に案内され下
方に動作する。軸５が動作すると、軸５と凹型８の間に
置かれたセラミックグリーンシートは、軸５の先端エッ
ヂの部分と凹型８に設けた穴801の内周エッヂ部により
打ち抜かれる。打ち抜いた屑は穴801を通り下方へ押し
出される。セラミックグリーンシート９を打ち抜いた後
軸５およびフライトピン４は、板ばね３の復帰力により
初期状態まで戻される。（この時積層圧電素子は無通
電）これで穴明け動作は完了する。
以上説明したように本発明によれば、図に示すように簡
単な構造の装置で容易に穴明けすることができ、しか
も、極めて精度のよい穴を明けることができる。また本
発明の穴明け方法を用い、XYの自動制御テーブルに設置
すれば、セラミックグリーンシート上の任意の位置に穴
明け可能な自動装置を提供できるのは明らかである等の
効果がある。
単な構造の装置で容易に穴明けすることができ、しか
も、極めて精度のよい穴を明けることができる。また本
発明の穴明け方法を用い、XYの自動制御テーブルに設置
すれば、セラミックグリーンシート上の任意の位置に穴
明け可能な自動装置を提供できるのは明らかである等の
効果がある。
【図面の簡単な説明】 第１図及び第２図は本発明の一実施例を説明するための
図であり、第１図は、本発明に使用する穴明け装置の斜
視図、第２図は第１図の中央の一部切欠き断面図であ
る。 １……筐体、２……積層厚電素子、３……板ばね、４…
…フライトピン、５……穴明け用軸、６……すべり軸受
管、７……筐体支持部、８……凹型、９……セラミック
グリーンシート、10……屑取り穴、801……穴。
図であり、第１図は、本発明に使用する穴明け装置の斜
視図、第２図は第１図の中央の一部切欠き断面図であ
る。 １……筐体、２……積層厚電素子、３……板ばね、４…
…フライトピン、５……穴明け用軸、６……すべり軸受
管、７……筐体支持部、８……凹型、９……セラミック
グリーンシート、10……屑取り穴、801……穴。
Claims (2)
- 【請求項１】枠状筐体の内面上端に一端を固定した積層
圧電素子と、前記筐体の内面で下端の両隅に両端を固定
した湾曲状の板ばねと、該板ばねの外周面中央部に固定
された先端が球状でしかも、前記積層圧電素子の他端に
接触している高硬度、高反発の材料を使ったフライトピ
ンと、前記板ばねの内周面中央部に固定された先端がエ
ッヂでしかも、前記筐体の下端に埋め込まれた円筒管の
内面を摺道する軸とから構成された凸型と、前記筐体と
一体構造でしかも前記筐体を支持している足部の上端に
は、前記軸の真下でしかも、前記軸と適当な隙間を持っ
た穴を有する板を備えた凹型とで構成されたことを特徴
とする穴明け装置。 - 【請求項２】枠状筐体の内面上端に一端を固定した積層
圧電素子と、前記筐体の内面で下端の両隅に両端を固定
した湾曲状の板ばねと、該板ばねの外周面中央部に固定
された先端が球状でしかも、前記積層圧電素子の他端に
接触している高硬度、高反発の材料を使ったフライトピ
ンと、前記板ばねの内周面中央部に固定された先端がエ
ッヂでしかも、前記筐体の下端に埋め込まれた円筒管の
内面を摺道する軸とから構成された凸型と、前記筐体と
一体構造でしかも前記筐体を支持している足部の上端に
は、前記軸の真下でしかも、前記軸と適当な隙間を持っ
た穴を有する板を備えた凹型とで構成された穴明け装置
を準備する工程と、前記穴明け装置の前記凹型と前記凸
型間の所定の位置にセラミックグリーンシートを設置す
る工程と、前記凸型の前記筐体に設けられた前記積層圧
電素子に通電し前記圧電素子を下方に伸長させ前記フラ
イトピン及び前記板ばねを介して前記穴明け用軸を下降
させ前記セラミックグリーンシートを打抜く工程と、前
記積層圧電素子の通電を中止し、前記穴明け用軸をもと
の位置に復帰させる工程とを含むことを特徴とするセラ
ミックグリーンシート穴明け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60148601A JPH0720617B2 (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | 穴明け装置とセラミックグリーンシート穴明け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60148601A JPH0720617B2 (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | 穴明け装置とセラミックグリーンシート穴明け方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS629913A JPS629913A (ja) | 1987-01-17 |
| JPH0720617B2 true JPH0720617B2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=15456411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60148601A Expired - Lifetime JPH0720617B2 (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | 穴明け装置とセラミックグリーンシート穴明け方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720617B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100602908B1 (ko) * | 2003-05-13 | 2006-07-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 세라믹 그린 시트의 적층 장치 및 적층 방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6393594A (ja) * | 1986-10-07 | 1988-04-23 | 富士電機株式会社 | せん断加工装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5431155U (ja) * | 1977-08-05 | 1979-03-01 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58124707U (ja) * | 1982-02-19 | 1983-08-25 | 三菱電機株式会社 | 加熱調理装置 |
-
1985
- 1985-07-05 JP JP60148601A patent/JPH0720617B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5431155U (ja) * | 1977-08-05 | 1979-03-01 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100602908B1 (ko) * | 2003-05-13 | 2006-07-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 세라믹 그린 시트의 적층 장치 및 적층 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS629913A (ja) | 1987-01-17 |
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