JPS6294258A - 平面加工における被加工物の保持方法 - Google Patents
平面加工における被加工物の保持方法Info
- Publication number
- JPS6294258A JPS6294258A JP60231174A JP23117485A JPS6294258A JP S6294258 A JPS6294258 A JP S6294258A JP 60231174 A JP60231174 A JP 60231174A JP 23117485 A JP23117485 A JP 23117485A JP S6294258 A JPS6294258 A JP S6294258A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- holder
- base
- machining
- wax
- Prior art date
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- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
この発明は第１の平面加工後さらに第２の平面加工を行
なう場合、例えば研削加工後ζこラップ加工を行なう場
合に、被加工物をラップ加工装置のホルダに保持する方
法に関するものである０ 〔発明の背景〕 従来、研削加工後にラップ加工を行なう場合には、実開
昭５９−１２０５５０号に記載されているように、接着
ベースに被加工物を接着し、その接着ベースを複数個研
削加工装置のホルダに機械的に取付けて、研削加工を行
なった後に、接着ベースを研削加工装置のホルダから取
外し、接着ベースをそのブまラップ加工装置のホルダに
機械的に取付けている。しかし、この場合には各接着ベ
ースをラップ加工装置のホルダに取付ける際に、数μｍ
前後のばらつきが生ずるとともに、接着ベースを機械的
にホルダに取付けるから、接着ベースが変形するので、
被加工物の変形は避けられず、ラップ加工後に接着ベー
スをホルダから取外すと、接着ベース、被加工物の変形
が元に戻るので、被加工物の被加工面の平面度が劣化し
てしまう。
なう場合、例えば研削加工後ζこラップ加工を行なう場
合に、被加工物をラップ加工装置のホルダに保持する方
法に関するものである０ 〔発明の背景〕 従来、研削加工後にラップ加工を行なう場合には、実開
昭５９−１２０５５０号に記載されているように、接着
ベースに被加工物を接着し、その接着ベースを複数個研
削加工装置のホルダに機械的に取付けて、研削加工を行
なった後に、接着ベースを研削加工装置のホルダから取
外し、接着ベースをそのブまラップ加工装置のホルダに
機械的に取付けている。しかし、この場合には各接着ベ
ースをラップ加工装置のホルダに取付ける際に、数μｍ
前後のばらつきが生ずるとともに、接着ベースを機械的
にホルダに取付けるから、接着ベースが変形するので、
被加工物の変形は避けられず、ラップ加工後に接着ベー
スをホルダから取外すと、接着ベース、被加工物の変形
が元に戻るので、被加工物の被加工面の平面度が劣化し
てしまう。
この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、被加工物を所定の厚さに加工することができるとと
もに、被加工物の被加工面の平面度が劣化することがな
い平面加工における被加工物の保持方法を提供すること
を目的とする。
で、被加工物を所定の厚さに加工することができるとと
もに、被加工物の被加工面の平面度が劣化することがな
い平面加工における被加工物の保持方法を提供すること
を目的とする。
この目的を達成するため、この発明においては、第１の
平面加工後さらに第２の平面加工を行なう場合に被加工
物を接着ペースを介してホルダに保持する方法において
、平面精度の高い基準板の表面に上記被加工物の加工対
象面を当接した状態で、上記接着ペースと上記ホルダと
を多自由度バネを介して接着剤で接着する。
平面加工後さらに第２の平面加工を行なう場合に被加工
物を接着ペースを介してホルダに保持する方法において
、平面精度の高い基準板の表面に上記被加工物の加工対
象面を当接した状態で、上記接着ペースと上記ホルダと
を多自由度バネを介して接着剤で接着する。
第１図はこの発明に係る平面加工における被加工物の保
持方法の説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ矢視図である
。図において、５はオプティカルフラット、１は加工対
象面の大きさが４ ｍｍ Ｘ ４ ｍｍのセラミック等
からなる被加工物。
持方法の説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ矢視図である
。図において、５はオプティカルフラット、１は加工対
象面の大きさが４ ｍｍ Ｘ ４ ｍｍのセラミック等
からなる被加工物。
２は接着ペース、乙はランプ加工装置のホルダ。
４はホルダ３と接着ペース２との間にｉ？ｔした多自由
度バネで、多自由度バネ４としては厚さ０．７５ｍｍの
発泡ブチルゴムを用いる。１０はホルダ３に設けられた
凹所、７は凹所１０の底部に設けられた穴で、穴７は接
着ペース２、多自由度バネ４で形成された空間と凹所１
０とを連通している。６は凹所１０に供給された軟化点
が約６０ Ｃのホットメルト系ワックスである。
度バネで、多自由度バネ４としては厚さ０．７５ｍｍの
発泡ブチルゴムを用いる。１０はホルダ３に設けられた
凹所、７は凹所１０の底部に設けられた穴で、穴７は接
着ペース２、多自由度バネ４で形成された空間と凹所１
０とを連通している。６は凹所１０に供給された軟化点
が約６０ Ｃのホットメルト系ワックスである。
そ［７て、被加工物１をホルダ乙に保持するには、捷ず
接着ペース２に被加工物１をホットメルト系ワックスで
接着し、オプティカルフラット５の表面と被加工物１の
加工対象面とを当接する。次に、ホルダ３と接着ペース
２との間に多自由度バネ４を設け、ホルダ３を！１図紙
面下方に押した状態で、温度を上昇させると、ワックス
６が溶けその溶けたワックス６が穴７を介して接着ペー
ス２、多自由度バネ４で形成された空間に充填される。
接着ペース２に被加工物１をホットメルト系ワックスで
接着し、オプティカルフラット５の表面と被加工物１の
加工対象面とを当接する。次に、ホルダ３と接着ペース
２との間に多自由度バネ４を設け、ホルダ３を！１図紙
面下方に押した状態で、温度を上昇させると、ワックス
６が溶けその溶けたワックス６が穴７を介して接着ペー
ス２、多自由度バネ４で形成された空間に充填される。
この状態で温度を下降させると、多自由度バネ４が変形
した状態でワックス６が固化し、被加工物１がホルダ３
に保持される。この場合、各被加工物１の加工対象面は
オプティカルフラット５の表面に当接しているから、各
被加工物１の加工対象面はほぼ同一平面上にあり、各被
加工物１をばらつきが０８μｍ以下の精度で接着するこ
とができるため、ラップ加工における被加工物１の加工
量のばらつきを１μｍ以下に抑えることができる。また
、ラップ加工後の被加工物１の平面度も接着の影響がほ
とんどなく、平面度を００２〜０．０３μｍにすること
ができる。
した状態でワックス６が固化し、被加工物１がホルダ３
に保持される。この場合、各被加工物１の加工対象面は
オプティカルフラット５の表面に当接しているから、各
被加工物１の加工対象面はほぼ同一平面上にあり、各被
加工物１をばらつきが０８μｍ以下の精度で接着するこ
とができるため、ラップ加工における被加工物１の加工
量のばらつきを１μｍ以下に抑えることができる。また
、ラップ加工後の被加工物１の平面度も接着の影響がほ
とんどなく、平面度を００２〜０．０３μｍにすること
ができる。
第３図はこの発明に係る他の平面加工における被加工物
の保持方法の説明図である。図において、３ａはホルダ
３に着脱可能に取付けられたホルダコマで、ホルダコマ
６ａには凹所１０゜穴７が設けられている。８はホルダ
コマ３ａをホルダ３に取付けるための止ネジ、９はホル
ダ３１こ接着されたダミーで、ダミー９は被加工物１と
同じ材料からなり、ダミー９は全周あるいは等分した位
置に配置されている− そして、ホルダ５に複数の被加工物１を保持してラップ
加工を行なうときには、被加工物１の最適加工所が各被
加工物１によって異なる場合があるが、ラップ加工の途
中で各仮加工物１の加工量を測定し、ある仮加工物１の
加工１が最適加工量に到達したとき、その被加工物１が
保持されたホルダコマ３ａを取外せば、各被加工物１の
加工量を最適加工量にすることができる。この場合、ダ
ミー９が、ｉ己＋ｍされているので、ホルダコマ３ａ％
取外したとしても、負荷圧力の変動は少なくてすみ、ま
た加工量のアンバランスは生じない。そして、例えば被
加工物１゜ダミー９の材料とし７てアルミナチタンカー
バイトを用いて１２個の被加工物１をラップ加工した場
合には、被加工物１の目標加工量からの誤差は±０５μ
ｍ以内であり、かつ被加工物１の平面度は００３μｍで
あった。
の保持方法の説明図である。図において、３ａはホルダ
３に着脱可能に取付けられたホルダコマで、ホルダコマ
６ａには凹所１０゜穴７が設けられている。８はホルダ
コマ３ａをホルダ３に取付けるための止ネジ、９はホル
ダ３１こ接着されたダミーで、ダミー９は被加工物１と
同じ材料からなり、ダミー９は全周あるいは等分した位
置に配置されている− そして、ホルダ５に複数の被加工物１を保持してラップ
加工を行なうときには、被加工物１の最適加工所が各被
加工物１によって異なる場合があるが、ラップ加工の途
中で各仮加工物１の加工量を測定し、ある仮加工物１の
加工１が最適加工量に到達したとき、その被加工物１が
保持されたホルダコマ３ａを取外せば、各被加工物１の
加工量を最適加工量にすることができる。この場合、ダ
ミー９が、ｉ己＋ｍされているので、ホルダコマ３ａ％
取外したとしても、負荷圧力の変動は少なくてすみ、ま
た加工量のアンバランスは生じない。そして、例えば被
加工物１゜ダミー９の材料とし７てアルミナチタンカー
バイトを用いて１２個の被加工物１をラップ加工した場
合には、被加工物１の目標加工量からの誤差は±０５μ
ｍ以内であり、かつ被加工物１の平面度は００３μｍで
あった。
なお、上述実施例においては、研削加工後、さらにラッ
プ加工を行なう場合について説明したが、粗い研削加工
後さらに精度の高い研削加工を行なう場合にもこの発明
を適用することが可能である。
プ加工を行なう場合について説明したが、粗い研削加工
後さらに精度の高い研削加工を行なう場合にもこの発明
を適用することが可能である。
以上説明したように、この発明に係る平面加工における
被加工物の保持方法においては、加工量のばらつきを小
さくすることができるとともに、被加工物の平面度が劣
化するのを防止することが可能である。このように、こ
の発明の効果は顕著である。
被加工物の保持方法においては、加工量のばらつきを小
さくすることができるとともに、被加工物の平面度が劣
化するのを防止することが可能である。このように、こ
の発明の効果は顕著である。
第１図はこの発明に係る平面加工における被加工物の保
持方法の説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ矢視図、第３
図はこの発明に係る他の平面加工における被加工物の保
持方法の説明図である。 １・・・被加工物 ２・・・接着ペース ３・・・ホル
ダＳａ・・・ホルダコマ ４・・・多自由度バネ５・・
・オプティカルフラット ６・・・ホットメルト系ワッ
クス
持方法の説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ矢視図、第３
図はこの発明に係る他の平面加工における被加工物の保
持方法の説明図である。 １・・・被加工物 ２・・・接着ペース ３・・・ホル
ダＳａ・・・ホルダコマ ４・・・多自由度バネ５・・
・オプティカルフラット ６・・・ホットメルト系ワッ
クス
Claims (2)
- （１）第１の平面加工後さらに第２の平面加工を行なう
場合に被加工物を接着ベースを介してホルダに保持する
方法において、平面精度の高い基準板の表面に上記被加
工物の加工対象面を当接した状態で、上記接着ベースと
上記ホルダとを多自由度バネを介して接着剤で接着する
ことを特徴とする平面加工における被加工物の保持方法
。 - （２）上記ホルダに着脱自在にホルダコマを取付け、そ
のホルダコマに上記接着ベースを接着することを特徴と
する特許請求の範囲１項 記載の平面加工における被加工物の保持方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60231174A JPS6294258A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 平面加工における被加工物の保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60231174A JPS6294258A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 平面加工における被加工物の保持方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6294258A true JPS6294258A (ja) | 1987-04-30 |
Family
ID=16919475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60231174A Pending JPS6294258A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 平面加工における被加工物の保持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6294258A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01153265A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-15 | Tdk Corp | ヘッドピース集合体の研磨方法 |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP60231174A patent/JPS6294258A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01153265A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-15 | Tdk Corp | ヘッドピース集合体の研磨方法 |
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