JPS6293907A - 膜抵抗体のトリミング用抵抗パタ−ン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、膜抵抗にレーザ光を用いてトリミングする抵
抗パターンに関するものであり、高ネｎ度の膜抵抗素子
として広く利用されるものである。

（従来の技術） 本発明に係る従来技術としては、特開昭５７−３５３０
４号「膜抵抗体のトリミング方法」の公報がある。

このものは膜抵抗体をトリミングをするためにコの字形
膜抵抗体パターンにレーザ光を用いて直線トリミングを
施こし、一定の抵抗値とするトリミング方法において、
第５図に示す抵抗体２１の一方の辺２２で粗調整を行い
、のこりの幅をＷ７とし、他方の辺２３で前記粗調整時
よりも残り「陥Ｗ工を広くした微調整を行うトリミング
方法が開示されている。２４及び２５は電極を示す。

（発明が解決しようとする問題点） 然し前記膜抵抗素子のトリミング方法は、コの字形膜抵
抗体の辺２２及び２３に於いてトリミングした場所すな
わち第５図の２６．２７に示す交叉した斜線の部分には
熱影響を受けた抵抗部分が多く、この影響により抵抗値
について信頼性に不安があるという問題点がある。

本発明は膜抵抗素子のトリミング方法において熱影響の
少ない、抵抗値の変化の極めて少ない膜抵抗体のトリミ
ング用抵抗パターンを提供することを目的とするもので
ある。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 上記技術的課題を解決するために講じた技術的手段は、
次のようである。すなわち膜抵抗体のパターンを、２つ
の電極間を複数個の抵抗体にて連絡し、前記抵抗体を１
個の抵抗体にて連絡したＩ４形状に印刷、焼成し、Ｈ形
状の横棒の部分の抵抗体の一部にトリミングを行うもの
である。

（作用） 上記技術的手段は次のように作用する。すなわち、１１
形状の抵抗体の横棒の部分の一部をトリミングすること
により、第１図の１に示すトＩ形状の両側のタテの抵抗
体の幅小部分２より幅広部分３に流れる電流１１は、ト
リミング４により電流は１２と変化し、１１〉１２とな
り、トリミングした５付近を流れる電流が減り、カット
後の抵抗値変化は極めて小さくなるものである。

（実施例） 以下実施例について説明する。

第２図の１はＩ−■形状パターンの抵抗体であり、電ｉ
Ａ、Ｂを連結した複数の抵抗体２及び３に、他の抵抗体
７にて連絡し、６は連結部７付近の一部をトリミングし
たものである。８はＨ形状パターンの抵抗体の他の抵抗
体である連結部７に一部切抜き１０を設は更にトリミン
グ１１を行ったものである。

第４図の１２は３ケの抵抗体１３．１４．１５を１ケの
他の抵抗体よりなる連結部１６で連結し、連結部に切１
友き部１７．１８を設け、それぞれを１９．２０に示す
ようにトリミングを行ったものである。

第１図（ロ）及び第２〜４図に示す膜抵抗体の電極Ａ及
び３間に流れる電流ば横連結部５，７゜１６の一部をト
リミングすることにより、トリミング前に比較して、電
流の流れはいずれも小さくなり（鎖線で示す）、かつト
リミング部が従来技術に比して少ないので、熱影響１部
付近を流れる電流が少ないとともに熱影響を受けた面積
が小さくなり、信頼性のある安定した抵抗値を存する膜
抵抗体を形成できるものである。

〔発明の効果〕

本発明は次の特有の効果を有する。すなわち、１（形状
パターンの連絡部の一部をトリミングすることにより熱
影響部付近を流れる電流が少ないのでドリフトが小さく
、ドリフトは熱影響部／全面積に比例するために、相対
的に抵抗体の面積を小さくすることができるものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本実施例の基本パターンの説明図で、くイ）は
トリミング前の状況、（ロ）はトリミング後の状況を示
す。第２〜４図は他の変形実施例であり、第５図は従来
例を示す。 Ａ、　　Ｂ・・・電極、１．８．１２・・・Ｈ状パター
ン、４，６，１１，１９．２０　・　・　・　トリミン
グ部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　膜抵抗体パターンにレーザ光を用いて直線トリミング
   を施し、所定の抵抗値とするトリミング方法において、
   ２つの電極を複数個の抵抗体にて連結し、前記抵抗体を
   他の抵抗体にて連結し、前記他の抵抗体の一部をトリミ
   ングしてなる膜抵抗体のトリミング用抵抗パターン。