JPS629215B2 - - Google Patents
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- JPS629215B2 JPS629215B2 JP56183768A JP18376881A JPS629215B2 JP S629215 B2 JPS629215 B2 JP S629215B2 JP 56183768 A JP56183768 A JP 56183768A JP 18376881 A JP18376881 A JP 18376881A JP S629215 B2 JPS629215 B2 JP S629215B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、樹脂で電子部品要素と外部引出導体
の一部を被覆封止した電子部品の製造方法に関す
る。
の一部を被覆封止した電子部品の製造方法に関す
る。
従来より公知とされている樹脂封止技術とし
て、ポツテイング法、キヤステイング法、トラン
スフアモールド法等があげられる。
て、ポツテイング法、キヤステイング法、トラン
スフアモールド法等があげられる。
第1図a,bは従来のポツテイング法による電
子部品の製造方法を示している。先ずaに示すよ
うに、金属製のケース1の凹部内底上に外部引出
導体2a,2bのそれぞれ一端に電子部品要素で
ある半導体素子3を介在させたものをのせてお
き、その後bに示すようにケース1に液状樹脂4
を一定量注入し外部引出導体2a,2bの一部お
よび半導体素子3を液状樹脂4で包囲成形して硬
化して製作するが、下記の問題点があつた。
子部品の製造方法を示している。先ずaに示すよ
うに、金属製のケース1の凹部内底上に外部引出
導体2a,2bのそれぞれ一端に電子部品要素で
ある半導体素子3を介在させたものをのせてお
き、その後bに示すようにケース1に液状樹脂4
を一定量注入し外部引出導体2a,2bの一部お
よび半導体素子3を液状樹脂4で包囲成形して硬
化して製作するが、下記の問題点があつた。
(i) 外部引出導体2a,2bの周囲に気泡が発生
しやすく、またケース1と外部引出導体2a,
2bの下端部との間に樹脂が入らず、半導体素
子3がむき出しになり、大きな絶縁耐圧が得ら
れない。
しやすく、またケース1と外部引出導体2a,
2bの下端部との間に樹脂が入らず、半導体素
子3がむき出しになり、大きな絶縁耐圧が得ら
れない。
(ii) 半導体素子3および外部引出導体2a,2b
の位置決めが難しく、量産困難である。
の位置決めが難しく、量産困難である。
(iii) 液状樹脂4の注入量のばらつき、硬化時の液
状樹脂4のひけ等のために、電子部品の外形寸
法精度が悪い。
状樹脂4のひけ等のために、電子部品の外形寸
法精度が悪い。
(iv) 液状樹脂4の注入時に樹脂付着による電子部
品の汚れを伴う。
品の汚れを伴う。
第2図a,bは、従来のキヤステイング法によ
る電子部品の製造方法を示している。先ず、aに
示すように、絶縁性の上ケース1aと金属製の下
ケース1bに囲まれた空間内に外部引出導体2
a,2bのそれぞれ一端に半導体素子3を介在さ
せたものを挿入し、上ケース1aと下ケース1b
とで囲まれた空間をほぼ真空に近い状態にしてお
き、次にbに示すように液状樹脂4を上ケース1
aと下ケース1bとで囲まれた空間内に満たし、
硬化して製作するが、液状樹脂4中に気泡が残り
やすいという問題点がある。この気泡は、加圧注
入したり、注入時に温度を上げることによりある
程度改善されるが、高粘度の液状樹脂を使用する
場合には特に不利である。
る電子部品の製造方法を示している。先ず、aに
示すように、絶縁性の上ケース1aと金属製の下
ケース1bに囲まれた空間内に外部引出導体2
a,2bのそれぞれ一端に半導体素子3を介在さ
せたものを挿入し、上ケース1aと下ケース1b
とで囲まれた空間をほぼ真空に近い状態にしてお
き、次にbに示すように液状樹脂4を上ケース1
aと下ケース1bとで囲まれた空間内に満たし、
硬化して製作するが、液状樹脂4中に気泡が残り
やすいという問題点がある。この気泡は、加圧注
入したり、注入時に温度を上げることによりある
程度改善されるが、高粘度の液状樹脂を使用する
場合には特に不利である。
第3図a〜cは、従来のトランスフアモールド
法による電子部品の製造方法を示している。先
ず、aに示すように、外部引出導体2a,2bの
それぞれ一端に半導体素子3を介在させたものを
上型1aおよび下型1bに囲まれた空間内に挿入
し、その後bに示すように樹脂タブレツト4をプ
ランジヤー1cにより加圧加熱溶融させ、上型1
aと下型1bとの間に送りこみ、固化して、cに
示すように上型1aと下型1bを取りはずして製
作するが、下記の問題点があつた。
法による電子部品の製造方法を示している。先
ず、aに示すように、外部引出導体2a,2bの
それぞれ一端に半導体素子3を介在させたものを
上型1aおよび下型1bに囲まれた空間内に挿入
し、その後bに示すように樹脂タブレツト4をプ
ランジヤー1cにより加圧加熱溶融させ、上型1
aと下型1bとの間に送りこみ、固化して、cに
示すように上型1aと下型1bを取りはずして製
作するが、下記の問題点があつた。
(i) 設備が高価で少中量生産には適さない。
(ii) 使用可能な樹脂が限られる。
(iii) 樹脂中に離型剤が添加されているため、半導
体素子3と樹脂4との接着性が悪い。
体素子3と樹脂4との接着性が悪い。
本発明の目的は、電子部品の外形寸法精度が良
く、電子部品本体への樹脂付着を伴わず、樹脂中
に気泡が少なく、広範囲の樹脂が適用でき、しか
も簡単に製作することができる電子部品の製造方
法を提供することにある。
く、電子部品本体への樹脂付着を伴わず、樹脂中
に気泡が少なく、広範囲の樹脂が適用でき、しか
も簡単に製作することができる電子部品の製造方
法を提供することにある。
本発明によれば、上記の目的は、液状樹脂中に
治具により電子部品要素を挿入すること、及び液
状樹脂の自由表面に離型性にすぐれた材料から成
る治具を密着させ、硬化後治具を除去することに
より、達成される。
治具により電子部品要素を挿入すること、及び液
状樹脂の自由表面に離型性にすぐれた材料から成
る治具を密着させ、硬化後治具を除去することに
より、達成される。
以下、実施例について本発明を詳述する。
第4図a〜dは本発明に係る電子部品の製造方
法を示してある。先ず、aに示すように、金属製
ケース1の凹部に液状樹脂4を一定量注入してお
き、bに示すように外部引出導体2a,2bのそ
れぞれ一端に例えば、ガラスで表面安定化された
半導体素子3を介在させたものを治具5にセツト
し、cに示すように液状樹脂4中にゆつくりと挿
入する。このとき、樹脂に対して離型性のすぐれ
た治具5の孔に外部引出導体2a,2bを挿入
し、治具5をケース1の開孔縁に当接することに
より、外部引出導体2a,2bおよび半導体素子
3の液状樹脂中での所定位置を決める。
法を示してある。先ず、aに示すように、金属製
ケース1の凹部に液状樹脂4を一定量注入してお
き、bに示すように外部引出導体2a,2bのそ
れぞれ一端に例えば、ガラスで表面安定化された
半導体素子3を介在させたものを治具5にセツト
し、cに示すように液状樹脂4中にゆつくりと挿
入する。このとき、樹脂に対して離型性のすぐれ
た治具5の孔に外部引出導体2a,2bを挿入
し、治具5をケース1の開孔縁に当接することに
より、外部引出導体2a,2bおよび半導体素子
3の液状樹脂中での所定位置を決める。
または、まず外部引出導体2a,2bのそれぞ
れ一端に半導体素子3を介在させたものを液状樹
脂4中に挿入し、その後治具5を外部引出導体2
a,2bの上部より挿入し、液状樹脂4の表面に
密着させてもよい。
れ一端に半導体素子3を介在させたものを液状樹
脂4中に挿入し、その後治具5を外部引出導体2
a,2bの上部より挿入し、液状樹脂4の表面に
密着させてもよい。
次に、治具5を押し込んだ状態で液状樹脂4を
硬化させた後、dに示すように治具5をとりはず
す。
硬化させた後、dに示すように治具5をとりはず
す。
本発明においては、治具5により、液状樹脂を
押圧し、そのまま樹脂を硬化させているので、治
具5の樹脂との接触面形状により、樹脂の形を自
由に調節でき、また、外形寸法精度を向上するこ
とができる。液状樹脂4はケース1の凹部内に予
め注入されているので、ケース1を汚すこともな
い。治具5により、樹脂4を押圧する際、余分な
樹脂は外部引出導体2a,2bが貫通する治具5
の隙間をはい上る。この時樹脂量を調節しておけ
ば、はい上り量は少なく、外部引出導体2a,2
bの周辺に樹脂4がほとんど付着していない。治
具5により、液状樹脂4の自由表面を押圧するの
で、樹脂中の気泡は脱泡され、樹脂は半導体素子
3と外部引出導体2a,2bが作る細密空間に侵
入し、半導体素子3を確実に被覆封止する。ま
た、樹脂4の粘度特性に係りなく製作することが
できるので、広範囲な樹脂を使用でき、各種の電
子部品に応じた仕様を満足させることができる。
押圧し、そのまま樹脂を硬化させているので、治
具5の樹脂との接触面形状により、樹脂の形を自
由に調節でき、また、外形寸法精度を向上するこ
とができる。液状樹脂4はケース1の凹部内に予
め注入されているので、ケース1を汚すこともな
い。治具5により、樹脂4を押圧する際、余分な
樹脂は外部引出導体2a,2bが貫通する治具5
の隙間をはい上る。この時樹脂量を調節しておけ
ば、はい上り量は少なく、外部引出導体2a,2
bの周辺に樹脂4がほとんど付着していない。治
具5により、液状樹脂4の自由表面を押圧するの
で、樹脂中の気泡は脱泡され、樹脂は半導体素子
3と外部引出導体2a,2bが作る細密空間に侵
入し、半導体素子3を確実に被覆封止する。ま
た、樹脂4の粘度特性に係りなく製作することが
できるので、広範囲な樹脂を使用でき、各種の電
子部品に応じた仕様を満足させることができる。
これらの、利点は、治具5によつて液状樹脂4
を押圧するだけで得られるので、製作が非常に容
易であると云える。
を押圧するだけで得られるので、製作が非常に容
易であると云える。
本実施例によれば、外部引出導体2a,2bの
下部のケース1との間に薄い樹脂層を形成するた
め大きな絶縁耐圧を有しかつ熱放散性も良くなり
電子部品の外形寸法精度が良くなり、ケース1か
ら外部引出導体2a,2bまでの沿面距離を樹脂
4に突部4aを設けることにより長くとることが
でき、製品の信頼性をあげることができ、しかも
液状樹脂4の使用量も少なくて済み、このことに
より半導体素子3と樹脂4との間の熱膨張による
ストレスを緩和できるという効果がある。
下部のケース1との間に薄い樹脂層を形成するた
め大きな絶縁耐圧を有しかつ熱放散性も良くなり
電子部品の外形寸法精度が良くなり、ケース1か
ら外部引出導体2a,2bまでの沿面距離を樹脂
4に突部4aを設けることにより長くとることが
でき、製品の信頼性をあげることができ、しかも
液状樹脂4の使用量も少なくて済み、このことに
より半導体素子3と樹脂4との間の熱膨張による
ストレスを緩和できるという効果がある。
また、樹脂4中に無機質高絶縁性の粒子を充填
しておくと、ケース1と外部引出導体2bの間の
間隔を正確に調節することが可能となる。
しておくと、ケース1と外部引出導体2bの間の
間隔を正確に調節することが可能となる。
本実施例において、工夫を要する点は、液状樹
脂4の注入量の制御と、液状樹脂4のまわりこみ
を良くし、外形精度を向上することの2点である
が、この点については、第5図、第6図、第7図
に示すように治具5の形状を変えることにより更
に製作を容易にすることができる。
脂4の注入量の制御と、液状樹脂4のまわりこみ
を良くし、外形精度を向上することの2点である
が、この点については、第5図、第6図、第7図
に示すように治具5の形状を変えることにより更
に製作を容易にすることができる。
第5図に示す実施例においては、治具5の下面
中央にくぼみ5aがあり、治具5を液状樹脂4に
押圧密着させたとき空気室ができ、この空気室に
接する液状樹脂4の自由表面の上下により液状樹
脂4の注入量のばらつきを制御し、硬化時に加温
した際の空気室から生ずる圧力により、液状樹脂
4のまわりこみを良くし、外形精度を向上させる
ものである。
中央にくぼみ5aがあり、治具5を液状樹脂4に
押圧密着させたとき空気室ができ、この空気室に
接する液状樹脂4の自由表面の上下により液状樹
脂4の注入量のばらつきを制御し、硬化時に加温
した際の空気室から生ずる圧力により、液状樹脂
4のまわりこみを良くし、外形精度を向上させる
ものである。
第6図に示す実施例においては、治具5の中央
部に上下に貫通する孔5bがあり、治具5を液状
樹脂4に押圧密着させた時、比較的低圧の空気を
この孔5bから注入することにより、液状樹脂4
の中央表面に形成される自由表面によつて、液状
樹脂4の注入量のばらつきを制御し、また液状樹
脂4のまわりこみを良くし、外形精度を向上させ
るものである。
部に上下に貫通する孔5bがあり、治具5を液状
樹脂4に押圧密着させた時、比較的低圧の空気を
この孔5bから注入することにより、液状樹脂4
の中央表面に形成される自由表面によつて、液状
樹脂4の注入量のばらつきを制御し、また液状樹
脂4のまわりこみを良くし、外形精度を向上させ
るものである。
第7図に示す実施例においては、治具5の外部
引出導体2a,2bが貫通する孔に内空5cがあ
り、内空5cの下部くびれと外部引出導体2a,
2bの作る間隙を適切な値とすることによつて治
具5で液状樹脂4を押し込んだ時に、外部引出導
体2a,2bの上部まで液状樹脂がまわりこんで
装置を汚さないようにしている。
引出導体2a,2bが貫通する孔に内空5cがあ
り、内空5cの下部くびれと外部引出導体2a,
2bの作る間隙を適切な値とすることによつて治
具5で液状樹脂4を押し込んだ時に、外部引出導
体2a,2bの上部まで液状樹脂がまわりこんで
装置を汚さないようにしている。
またさらに、第8図、第9図に示すように、外
部引出導体に矢印の方向に圧力をかけて下方へ押
し込んだり(第8図)、治具5の下面に設けた数
ケ所の突起部5dにより外部引出導体を下方へ押
し込むことにより(第9図)、外部引出導体2
a,2bとケース1とは非常に小さな間隙を残し
て絶縁され、半導体素子通電時の熱放散性が良く
なる。
部引出導体に矢印の方向に圧力をかけて下方へ押
し込んだり(第8図)、治具5の下面に設けた数
ケ所の突起部5dにより外部引出導体を下方へ押
し込むことにより(第9図)、外部引出導体2
a,2bとケース1とは非常に小さな間隙を残し
て絶縁され、半導体素子通電時の熱放散性が良く
なる。
以上に示した第5図〜第9図の特徴を複合させ
たものは、さらに良い効果を得ることができる。
たものは、さらに良い効果を得ることができる。
また、第10図aに示すように、治具5と同様
に樹脂4に対して離型性に優れた材料からなるケ
ース1を用いて、樹脂の硬化後にbに示すよう
に、治具5の外にケース1もとりはずすことによ
つて、さらに安価に装置を製造できる。
に樹脂4に対して離型性に優れた材料からなるケ
ース1を用いて、樹脂の硬化後にbに示すよう
に、治具5の外にケース1もとりはずすことによ
つて、さらに安価に装置を製造できる。
以上は、実施例として外部引出導体が2本の場
合をとり上げたが、第11図a〜dに示すよう
に、ケース1内の樹脂4中に埋設された電子部品
要素から複数本の導体2が外部に引出された樹脂
封止型装置に本発明を適用することにより、同様
の効果を得ることができる。
合をとり上げたが、第11図a〜dに示すよう
に、ケース1内の樹脂4中に埋設された電子部品
要素から複数本の導体2が外部に引出された樹脂
封止型装置に本発明を適用することにより、同様
の効果を得ることができる。
また、第12図に示すように、半導体素子のか
わりに、抵抗、コンデンサー等の電子部品要素3
を用い、または第13図に示すように部品搭載し
た厚膜基板13等を用いて、本発明に係る製造方
法により電子部品を製作すれば、同様の効果を得
ることができる。
わりに、抵抗、コンデンサー等の電子部品要素3
を用い、または第13図に示すように部品搭載し
た厚膜基板13等を用いて、本発明に係る製造方
法により電子部品を製作すれば、同様の効果を得
ることができる。
また、第14図aに示すように、樹脂に対して
離型性のよい型1のダム1a内に適当量の液状樹
脂4を注入しておき、bに示すように外部引出導
体2a,2bのそれぞれ一端に半導体素子3を介
在させたものを治具5にセツトし、液状樹脂4中
に挿入した時に、余分な液状樹脂4aをあふれ出
させて、硬化した後にcに示すように型1と治具
5を取り除くと、一定量の樹脂量を有し、表面が
成形された電子部品を得ることができる。
離型性のよい型1のダム1a内に適当量の液状樹
脂4を注入しておき、bに示すように外部引出導
体2a,2bのそれぞれ一端に半導体素子3を介
在させたものを治具5にセツトし、液状樹脂4中
に挿入した時に、余分な液状樹脂4aをあふれ出
させて、硬化した後にcに示すように型1と治具
5を取り除くと、一定量の樹脂量を有し、表面が
成形された電子部品を得ることができる。
第1図〜第3図は、各々従来のポツテイング
法、キヤステイング法およびトランスフアモール
ド法により電子部品を製作する工程を示す図、第
4図は本発明に従つて電子部品を製作する工程を
示す図、第5図〜第10図は本発明の変型例を示
す図、第11図〜第13図は本発明の応用例を示
す図、第14図は本発明の更に変型例を示す図で
ある。 1…ケース、2,2a,2b…外部引出導体、
3,13…電子部品要素、4…樹脂、5…治具。
法、キヤステイング法およびトランスフアモール
ド法により電子部品を製作する工程を示す図、第
4図は本発明に従つて電子部品を製作する工程を
示す図、第5図〜第10図は本発明の変型例を示
す図、第11図〜第13図は本発明の応用例を示
す図、第14図は本発明の更に変型例を示す図で
ある。 1…ケース、2,2a,2b…外部引出導体、
3,13…電子部品要素、4…樹脂、5…治具。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 下記工程を有する電子部品の製造方法。 (a) 一方向に開孔を有するケースの凹部内に液状
樹脂を注入する工程。 (b) 上記ケースの開孔縁に当接し得る治具を用い
て外部引出導体を備えた電子部品要素を上記開
孔側より上記液状樹脂中の所定位置に埋設する
とともに、該治具により上記液状樹脂の表面を
加圧し、上記液状樹脂をケースと治具とで形成
される空間内に十分まわりこませる工程。 (c) 上記液状樹脂を硬化させる工程。 2 特許請求の範囲第1項において、ケースおよ
び治具で形成される空間内に収納し得る液状樹脂
量を越えて(a)工程で注入された液状樹脂は(b)工程
で上記空間外に上記治具を介して排出されること
を特徴とする電子部品の製造方法。 3 特許請求の範囲第1項において、(b)工程で電
子部品要素を液状樹脂中に埋設すると同時に治具
で液状樹脂を加工する際、治具に設けた孔より上
記液状樹脂の表面に気圧で加圧し、上記液状樹脂
をケースと治具で形成される空間内に十分まわり
こませることを特徴とする電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18376881A JPS5885539A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18376881A JPS5885539A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5885539A JPS5885539A (ja) | 1983-05-21 |
JPS629215B2 true JPS629215B2 (ja) | 1987-02-27 |
Family
ID=16141620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18376881A Granted JPS5885539A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5885539A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02155256A (ja) * | 1988-12-08 | 1990-06-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5151282A (ja) * | 1974-10-31 | 1976-05-06 | Hitachi Ltd | Handotaisochi |
-
1981
- 1981-11-18 JP JP18376881A patent/JPS5885539A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5151282A (ja) * | 1974-10-31 | 1976-05-06 | Hitachi Ltd | Handotaisochi |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5885539A (ja) | 1983-05-21 |
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