JPS6289737A - プラスチツクチユ−ブの製造方法 - Google Patents
プラスチツクチユ−ブの製造方法Info
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- JPS6289737A JPS6289737A JP61115769A JP11576986A JPS6289737A JP S6289737 A JPS6289737 A JP S6289737A JP 61115769 A JP61115769 A JP 61115769A JP 11576986 A JP11576986 A JP 11576986A JP S6289737 A JPS6289737 A JP S6289737A
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- plasma
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- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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- A61M19/00—Local anaesthesia; Hypothermia
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M39/00—Tubes, tube connectors, tube couplings, valves, access sites or the like, specially adapted for medical use
- A61M39/08—Tubes; Storage means specially adapted therefor
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- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
- A61M5/42—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests having means for desensitising skin, for protruding skin to facilitate piercing, or for locating point where body is to be pierced
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- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
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- H—ELECTRICITY
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プラスチックチューブ内表面を低温プラズマ
処理して、その内表面特性を良化せしめる方法の改良に
関する。
処理して、その内表面特性を良化せしめる方法の改良に
関する。
プラスチック表面を低温プラズマで処理することにより
、その面の親木性や接着性等を改良したり、あるいは可
塑剤の溶出を防止することは、本発明の出願以前より行
われており、また、低温プラズマ処理したプラスチック
表面に生成する多量のラジカルにラジカル重合性の単量
体を接触せしめて重合反応を生起させ、これによりプラ
スチック表面にグラフト共重合を行う方式も公知に属す
る。
、その面の親木性や接着性等を改良したり、あるいは可
塑剤の溶出を防止することは、本発明の出願以前より行
われており、また、低温プラズマ処理したプラスチック
表面に生成する多量のラジカルにラジカル重合性の単量
体を接触せしめて重合反応を生起させ、これによりプラ
スチック表面にグラフト共重合を行う方式も公知に属す
る。
そして、この低温プラズマ処理を利用して表面グラフト
共重合する方式は、他の方式、即ちガンマ線や電子線等
の放射線を照射する方式、紫外線を照射する方式及びオ
ゾンで処理する方式等に比べて、効率や安全性等の点で
優れた方式として知られている。
共重合する方式は、他の方式、即ちガンマ線や電子線等
の放射線を照射する方式、紫外線を照射する方式及びオ
ゾンで処理する方式等に比べて、効率や安全性等の点で
優れた方式として知られている。
従来より行われているプラスチックチューブ内表面の低
温プラズマ処理方法は、正負の電極間に試料を存置させ
て放電を行い、これにより両電極間の区域にプラズマを
発生させてチューブの内表面を処理していた関係上、効
率よく処理することが困難であった。
温プラズマ処理方法は、正負の電極間に試料を存置させ
て放電を行い、これにより両電極間の区域にプラズマを
発生させてチューブの内表面を処理していた関係上、効
率よく処理することが困難であった。
即ち、通常行われる方法は、プラスチックチューブの両
端に電極を設置して放電を行わせる方法であるので、こ
れにより処理し得るチューブの長さが必然的に電極間距
離によって制限を受けるのみならず、一度の操作で処理
し得るチューブの本数にも自ずから限界が出来てしまう
という欠点があった。
端に電極を設置して放電を行わせる方法であるので、こ
れにより処理し得るチューブの長さが必然的に電極間距
離によって制限を受けるのみならず、一度の操作で処理
し得るチューブの本数にも自ずから限界が出来てしまう
という欠点があった。
そのため、従来の方法は、多量のチューブを能率よく処
理したいという目的に対しては、適切な方法とは言い難
い面があったのである。
理したいという目的に対しては、適切な方法とは言い難
い面があったのである。
このような問題を解決するために、特開昭55−295
05号公報に記載されたような方式が提案されて来た。
05号公報に記載されたような方式が提案されて来た。
この方式においては内部を減圧状態に維持したチューブ
を円筒状の電極内に挿入し、チューブを連続的に移動さ
せながら低温プラズマを発生させて移動中のチューブ内
を低温プラズマ処理する方法が採られているが、この方
法ではチューブ内表面を均一に処理するのが技術的に難
しく、その上装置自体も複雑な機構を必要とする大型な
ものにならざるを得ないという欠点を生じ、また、より
重大な欠陥は、従来の方法と同様に電極と処理表面とを
接近させなければならない形式であるため、被処理チュ
ーブの温度上昇が無視出来ない程のものになりチューブ
が熱で変形したり、処理した表面に微細な凹凸が出来て
しまうということである。
を円筒状の電極内に挿入し、チューブを連続的に移動さ
せながら低温プラズマを発生させて移動中のチューブ内
を低温プラズマ処理する方法が採られているが、この方
法ではチューブ内表面を均一に処理するのが技術的に難
しく、その上装置自体も複雑な機構を必要とする大型な
ものにならざるを得ないという欠点を生じ、また、より
重大な欠陥は、従来の方法と同様に電極と処理表面とを
接近させなければならない形式であるため、被処理チュ
ーブの温度上昇が無視出来ない程のものになりチューブ
が熱で変形したり、処理した表面に微細な凹凸が出来て
しまうということである。
この欠陥は、例えば人造血管の如き医療用プラスチック
チューブ等に使用した場合には、血液の正常な流れを阻
害したり血栓を生ずる震れを招くといった重大結果につ
ながるので、精密なプラスチックチューブを得る上には
望ましい方法とは言えなかった。
チューブ等に使用した場合には、血液の正常な流れを阻
害したり血栓を生ずる震れを招くといった重大結果につ
ながるので、精密なプラスチックチューブを得る上には
望ましい方法とは言えなかった。
本発明はこれらの欠点を除くことを目的としてなされた
もので、その目的の第1は、プラスチックチューブ内表
面を処理するに当って、チューブの内外表面に凹凸の歪
みの生じない、且つ内表面を均一に仕上げることの出来
る低温プラズマ処理方法を提供することであり、その第
2は、低温プラズマ処理法を利用したチューブ内表面グ
ラフト共重合法を提供することであり、その第3は、プ
ラスチックチューブ内表面を能率よく低温プラズマ処理
する方法を提供することにある。
もので、その目的の第1は、プラスチックチューブ内表
面を処理するに当って、チューブの内外表面に凹凸の歪
みの生じない、且つ内表面を均一に仕上げることの出来
る低温プラズマ処理方法を提供することであり、その第
2は、低温プラズマ処理法を利用したチューブ内表面グ
ラフト共重合法を提供することであり、その第3は、プ
ラスチックチューブ内表面を能率よく低温プラズマ処理
する方法を提供することにある。
そして、これらの目的は、マイクロ波による無極放電に
より低温プラズマ気体を発生させ、発生したプラズマ気
体をプラズマ発生部から離れた位置に置いたプラスチッ
クチューブ−内に導入してチューブ内表面にこれを接触
せしめることを基本的条件として達成され、そして、内
表面グラフト共重合は低温プラズマ処理をしたチューブ
内表面に更にラジカル重合性単量体を接触させることに
より達成される。
より低温プラズマ気体を発生させ、発生したプラズマ気
体をプラズマ発生部から離れた位置に置いたプラスチッ
クチューブ−内に導入してチューブ内表面にこれを接触
せしめることを基本的条件として達成され、そして、内
表面グラフト共重合は低温プラズマ処理をしたチューブ
内表面に更にラジカル重合性単量体を接触させることに
より達成される。
マイクロ波無極放電では、放電空間(区域)の内部に電
極が存在せず、且つ発生するプラズマの量及び密度が他
の方法と比べて著しく多いので、本発明の方法では、減
圧気体を連続的に供給しながら放電処理することによっ
て連続的に充分の量の低温プラズマを含む気体を放電空
間より取出すことが出来る。
極が存在せず、且つ発生するプラズマの量及び密度が他
の方法と比べて著しく多いので、本発明の方法では、減
圧気体を連続的に供給しながら放電処理することによっ
て連続的に充分の量の低温プラズマを含む気体を放電空
間より取出すことが出来る。
而して、これをプラスチックチューブ内に導入してチュ
ーブ内表面に接触させれば、放電部から離れた場所でチ
ューブ内表面を処理することが出来、そのため被処理物
(チューブ)がマイクロ波や放電の影響を直接受けるこ
とがないという利点を生ずる。
ーブ内表面に接触させれば、放電部から離れた場所でチ
ューブ内表面を処理することが出来、そのため被処理物
(チューブ)がマイクロ波や放電の影響を直接受けるこ
とがないという利点を生ずる。
従って、放電部からの離間距離を適当に選択すれば、被
処理物が異常に加熱されて変形したり劣化したり、また
は内外表面に放電による凹凸を生じさせたりする虞れが
全くなくなるのである。
処理物が異常に加熱されて変形したり劣化したり、また
は内外表面に放電による凹凸を生じさせたりする虞れが
全くなくなるのである。
更に、このように処理したプラスチックチューブ内に、
ラジカル重合性単量体を気体あるいは液体の形で導入し
てその内表面に接触させれば、そこに重合反応が起こっ
て内表面上にグラフト共重合体が生成し、チューブ内表
面の改良が図られることになる。
ラジカル重合性単量体を気体あるいは液体の形で導入し
てその内表面に接触させれば、そこに重合反応が起こっ
て内表面上にグラフト共重合体が生成し、チューブ内表
面の改良が図られることになる。
以下、本発明を添付図面に基づいて説明する。
第1図は、本発明において使用するマイクロ波プラズマ
処理装置の基本構成図であるが、該装置は、発振装置1
.変換導波管2.アイソレータ3.パワーモニタ4.整
合器5.活性化炉6.活性化室7、処理室8.導管9及
び活性化室7〜処理室8を減圧にするための排気ポンプ
から構成されている。そして、エネルギー源としては、
周波数2450MHzのマイクロ波を用いている。
処理装置の基本構成図であるが、該装置は、発振装置1
.変換導波管2.アイソレータ3.パワーモニタ4.整
合器5.活性化炉6.活性化室7、処理室8.導管9及
び活性化室7〜処理室8を減圧にするための排気ポンプ
から構成されている。そして、エネルギー源としては、
周波数2450MHzのマイクロ波を用いている。
前記アイソレータ3は発振装置からのマイクロ波電力が
無負荷状態においても発振装置1を安定に動作させる目
的で設置されたものであり、パワーモニタ4は反射電力
を監視するために設けられているものである。
無負荷状態においても発振装置1を安定に動作させる目
的で設置されたものであり、パワーモニタ4は反射電力
を監視するために設けられているものである。
今、この装置の作動状況を説明すると、発振装置lから
発振されたマイクロ波は究極的に活性化炉6へ送られ、
活性化炉内のマイクロ波最大電界位置に挿入された石英
管型の活性化室7内の気体に吸収され、室内の気体をプ
ラズマ状態に励起する。この励起されたプラズマ気体は
導管9を通って処理室s内に導入されるが、導管9の先
端には処理すべきプラスチックチューブ10が図示の如
く取付けられているので、チューブ内表面にプラズマ気
体が接触して内表面を活性化されることになる。処理室
8は、プラスチックチューブ10を収納し、プラズマ処
理するためのものであり、チューブが外気圧力によって
潰れるのを防止する役目も有している。したがって、チ
ューブが外気圧力によって潰れる虞れがない場合には特
に設けなくてもよい、なお、処理室内及びチューブ内の
圧力は、0.01〜1(1wmHg程度が好ましい。
発振されたマイクロ波は究極的に活性化炉6へ送られ、
活性化炉内のマイクロ波最大電界位置に挿入された石英
管型の活性化室7内の気体に吸収され、室内の気体をプ
ラズマ状態に励起する。この励起されたプラズマ気体は
導管9を通って処理室s内に導入されるが、導管9の先
端には処理すべきプラスチックチューブ10が図示の如
く取付けられているので、チューブ内表面にプラズマ気
体が接触して内表面を活性化されることになる。処理室
8は、プラスチックチューブ10を収納し、プラズマ処
理するためのものであり、チューブが外気圧力によって
潰れるのを防止する役目も有している。したがって、チ
ューブが外気圧力によって潰れる虞れがない場合には特
に設けなくてもよい、なお、処理室内及びチューブ内の
圧力は、0.01〜1(1wmHg程度が好ましい。
第1図に示す装置は1度に1本のチューブしか処理でき
ないが、同時に複数のチューブを処理したい場合には、
導管9の先端を第2図に示す如く分岐させることもでき
る。この場合には、チューブの取付位置を分岐部から等
距離に保つのが好ましい。
ないが、同時に複数のチューブを処理したい場合には、
導管9の先端を第2図に示す如く分岐させることもでき
る。この場合には、チューブの取付位置を分岐部から等
距離に保つのが好ましい。
次に、チューブ内表面にグラフト共重合を行う場合につ
いて説明する。これは、前述の方法でプラズマ処理した
プラスチックチューブ内表面にラジカル重合性単量体溶
液あるいは蒸気を接触させることgこより行われる。こ
の場合、重合反応は室温でも進行するが、進行を制御す
るために適当な温度に加熱または冷却してもよいもので
ある。
いて説明する。これは、前述の方法でプラズマ処理した
プラスチックチューブ内表面にラジカル重合性単量体溶
液あるいは蒸気を接触させることgこより行われる。こ
の場合、重合反応は室温でも進行するが、進行を制御す
るために適当な温度に加熱または冷却してもよいもので
ある。
また、使用されるラジカル重合性単量体としては、アク
リルアミド、ジメチルアクリルアミド。
リルアミド、ジメチルアクリルアミド。
メタクリルアミド、ビニルピロリドン、アクリル酸、メ
タクリル酸、アクリル酸またはメタクリル酸のエステル
、酢酸ビニル、スチレン及び塩化ビニル等が挙げられる
が、単独で重合すると水溶性重合体を生成するものが好
ましい。
タクリル酸、アクリル酸またはメタクリル酸のエステル
、酢酸ビニル、スチレン及び塩化ビニル等が挙げられる
が、単独で重合すると水溶性重合体を生成するものが好
ましい。
実施具体例1
第1図に示す装置(マククロ波出力1 kw)を用いて
内径3n+n+、長さ30cmのポリウレタンチューブ
とエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)チューブの
内表面を、それぞれ低温プラズマ処理をした。処理ガス
としては酸素ガスを用い、圧力0.O7mmHgで10
秒および60秒間の処理を行った。
内径3n+n+、長さ30cmのポリウレタンチューブ
とエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)チューブの
内表面を、それぞれ低温プラズマ処理をした。処理ガス
としては酸素ガスを用い、圧力0.O7mmHgで10
秒および60秒間の処理を行った。
次に、これら低温プラズマ処理をしたチューブをアクリ
ルアミドの10%水溶液に浸漬し、60’Cで6時間重
合せしめた後、チューブを温水で洗浄して未反応の単量
体及び生成したホモ重合体を除去した。
ルアミドの10%水溶液に浸漬し、60’Cで6時間重
合せしめた後、チューブを温水で洗浄して未反応の単量
体及び生成したホモ重合体を除去した。
このようにして得られたチューブの両端及び中央部内表
面におけるグラフト重合量を測定し、処理の均一度を評
価した。結果を表1に示す。なお、グラフト重合量は以
下のようにして測定した。
面におけるグラフト重合量を測定し、処理の均一度を評
価した。結果を表1に示す。なお、グラフト重合量は以
下のようにして測定した。
まず、チューブの各測定部分を切断して、それぞれを1
.5NHCfに浸漬し、1.5気圧のオートクレーブ中
で30分間ポリアクリルアミドを加水分解した。そして
NaOHで中和し、ニンヒドリン溶液を加え、再び1.
5気圧のオートクレーブ中で5分間反応させ、反応溶液
の57On+aにおける吸光度を測定した。この測定値
とあらかじめ求めておいた検量線とからグラフト重合量
を算出した。
.5NHCfに浸漬し、1.5気圧のオートクレーブ中
で30分間ポリアクリルアミドを加水分解した。そして
NaOHで中和し、ニンヒドリン溶液を加え、再び1.
5気圧のオートクレーブ中で5分間反応させ、反応溶液
の57On+aにおける吸光度を測定した。この測定値
とあらかじめ求めておいた検量線とからグラフト重合量
を算出した。
表 1
比較具体例 1
内径3n+m、長さ30cmのポリウレタンチューブを
、針状電極を備えたグロー放電装置を用いて圧力0.8
mm1gで5秒間及び30秒間プラズマ処理した。
、針状電極を備えたグロー放電装置を用いて圧力0.8
mm1gで5秒間及び30秒間プラズマ処理した。
得られたチューブに、実施具体例1と同様にしてアクリ
ルアミドをグラフト重合し、重合量を測定した。結果を
表2に示す。
ルアミドをグラフト重合し、重合量を測定した。結果を
表2に示す。
表2
比較具体例 2
内径3++v+、長さ30cmのEVAチューブを、周
波数13.56MHz、出力50Wの高周波放電装置を
用いて、圧力0.2n+m)Igで10秒間プラズマ処
理した。
波数13.56MHz、出力50Wの高周波放電装置を
用いて、圧力0.2n+m)Igで10秒間プラズマ処
理した。
得られたチューブに実施具体例1と同様にしてアクリル
アミドをグラフト重合し、重合量を測定した。結果を表
3に示す。
アミドをグラフト重合し、重合量を測定した。結果を表
3に示す。
表3
実施具体例 2
内径30111.長さ120c+wのポリウレタンチュ
ーブを、実施具体例1と同様にして60秒間プラズマ処
理し、さらにグラフト重合を実施した。得られたチュー
ブの両端部および4等分点におけるグラフト重合量は、
?、3 4.5 4.2 6.9 及び5.3μg/
dであった。
ーブを、実施具体例1と同様にして60秒間プラズマ処
理し、さらにグラフト重合を実施した。得られたチュー
ブの両端部および4等分点におけるグラフト重合量は、
?、3 4.5 4.2 6.9 及び5.3μg/
dであった。
以上の結果から明らかなように、本発明の方法によれば
、チューブ内表面全体を均一にプラズマ処理することが
できる。
、チューブ内表面全体を均一にプラズマ処理することが
できる。
以上述べた如く本発明によれば、プラスチックチューブ
が放電の影響を直接に受けないで済むので、チューブが
熱で変形あるいは劣化したり、内外表面に凹凸を生じた
りすることがなく、その内表面を滑らかに処理すること
が出来るのである。
が放電の影響を直接に受けないで済むので、チューブが
熱で変形あるいは劣化したり、内外表面に凹凸を生じた
りすることがなく、その内表面を滑らかに処理すること
が出来るのである。
また、長いチューブを迅速且つ均一に処理することがで
きるので、安定した品質の製品を効率よく製造すること
ができる。
きるので、安定した品質の製品を効率よく製造すること
ができる。
そのため、本発明を医療用プラスチックチューブの製造
に応用した場合には、他のプラズマ処理法によって得ら
れるものにくらべてチューブ内表面が血液と接触した時
に血栓を生じに<<、特に、内表面グラフト共重合によ
りチューブ内表面の抗血栓性を改良した場合には、両方
の効果が相俟って著しく好ましい効果が得られるのであ
る。
に応用した場合には、他のプラズマ処理法によって得ら
れるものにくらべてチューブ内表面が血液と接触した時
に血栓を生じに<<、特に、内表面グラフト共重合によ
りチューブ内表面の抗血栓性を改良した場合には、両方
の効果が相俟って著しく好ましい効果が得られるのであ
る。
したがって、本発明は、人工血管、カテーテル及び血液
回路などの血液と接触する医療用チューブの製造に特に
適している。
回路などの血液と接触する医療用チューブの製造に特に
適している。
第1図及び第2図は本発明の方法に使用する低温プラズ
マ処理装置の基本構成図を示す。 1・・・発振装置 2・・・変換導波管3・・
・アイソレータ 4・・・パワーモニタ5・・・整
合器 6・・・活性他炉7・・・活性化室
8・・・処理室9・・・導管 10・・・プラスチックチューブ 代理人 弁理士 磯 野 道 造1”ニア”T
:7 第2図 各 区ココ
マ処理装置の基本構成図を示す。 1・・・発振装置 2・・・変換導波管3・・
・アイソレータ 4・・・パワーモニタ5・・・整
合器 6・・・活性他炉7・・・活性化室
8・・・処理室9・・・導管 10・・・プラスチックチューブ 代理人 弁理士 磯 野 道 造1”ニア”T
:7 第2図 各 区ココ
Claims (3)
- (1)マイクロ波による無極放電により活性化室内に低
温プラズマを発生させ、発生したプラズマ気体を前記活
性化室から離れた位置に置いたプラスチックチューブ内
に導入して、該プラスチックチューブ内表面を活性化せ
しめることを特徴とするプラスチックチューブの製造方
法。 - (2)マイクロ波による無極放電により活性化室内に低
温プラズマを発生させ、発生したプラズマ気体を前記活
性化室から離れた位置に置いたプラスチックチューブ内
に導入して、該プラスチックチューブ内表面を活性化せ
しめ、次いで該プラスチックチューブ内にラジカル重合
性単量体を導入して、活性化後のプラスチックチューブ
内表面上に重合体をグラフト共重合せしめることを特徴
とする医療用プラスチックチューブの製造方法。 - (3)ラジカル重合性単量体が、それ単独では水溶性重
合体を生成する単量体である特許請求の範囲第2項のプ
ラスチックチューブの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14135085 | 1985-06-27 | ||
JP60-141350 | 1985-06-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6289737A true JPS6289737A (ja) | 1987-04-24 |
JPH055251B2 JPH055251B2 (ja) | 1993-01-21 |
Family
ID=15289924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61115769A Granted JPS6289737A (ja) | 1985-06-27 | 1986-05-20 | プラスチツクチユ−ブの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6289737A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1989011500A1 (en) * | 1988-05-17 | 1989-11-30 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Or | Hydrophilic non-swelling multilayer polymeric materials and process for their manufacture |
US5597456A (en) * | 1993-06-07 | 1997-01-28 | Hiroshi Kashiwagi | Method for producing medical materials |
DE10331608A1 (de) * | 2003-07-12 | 2005-01-27 | Hew-Kabel/Cdt Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Beschichten und/oder partiellen Umspritzen von flexiblem langgestrecktem Gut |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5653137A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-12 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | Inner surface treatment of hollow body |
JPS5681344A (en) * | 1979-12-07 | 1981-07-03 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | Production of gasoline tank made of polyolefin |
JPS57209935A (en) * | 1981-06-18 | 1982-12-23 | Hashimoto Forming Co Ltd | Treatment of plastic molding with plasma generator |
JPS59189130A (ja) * | 1983-04-13 | 1984-10-26 | Toyota Motor Corp | プラズマ処理方法 |
JPS59230034A (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-24 | Toyota Motor Corp | プラズマ処理方法 |
-
1986
- 1986-05-20 JP JP61115769A patent/JPS6289737A/ja active Granted
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH055251B2 (ja) | 1993-01-21 |
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