JPS62853B2 - - Google Patents
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- JPS62853B2 JPS62853B2 JP6242279A JP6242279A JPS62853B2 JP S62853 B2 JPS62853 B2 JP S62853B2 JP 6242279 A JP6242279 A JP 6242279A JP 6242279 A JP6242279 A JP 6242279A JP S62853 B2 JPS62853 B2 JP S62853B2
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- gas
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- soot body
- tube
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- Expired
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Landscapes
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気相ベルヌイ法により二酸化硅素の中
空スス体を製造する方法に関する。
空スス体を製造する方法に関する。
従来、中空スス体を作る代表例として円柱状出
発部材の上にススを堆積し、次いで出発部材を除
去するか或いは一旦棒状スス体を作り、その中心
部に孔をあけて作る方法が行われてきた。
発部材の上にススを堆積し、次いで出発部材を除
去するか或いは一旦棒状スス体を作り、その中心
部に孔をあけて作る方法が行われてきた。
本発明は直接中空スス体を高精度に製造する新
しい方法を提供する。
しい方法を提供する。
以下、詳細を第１図〜第５図により説明を行
う。１は二酸化硅素のススを発生させるためのバ
ーナで４重管バーナである。このバーナーは４重
である必要性は特になく少なくとも２重管以上で
あればよい、以下４重管にて特に説明する。その
構造は第４図に示すように２，３，４，５の管が
同心にて組合されていて、それぞれガス供給口
６，７，８，９を有する。またバーナー１は第１
図に示すようにバーナートラバース装置１０に固
定されており、矢印○ハにて示すように水平面内に
て往復動作を行う。第１図、第２図、第３図によ
り往復機構を説明すると、１１は往復台で、これ
にバーナ１が固定されている。往復台１１は、基
板１２に蟻溝にて系合している。従つて往復台１
１と基板１２は相対運動ができる。また基板１２
には制御用モータ１３が固定されており、その出
力軸には、ネジ軸１４が直結されていて、さらに
ネジ軸１４のネジ部の一部は、往復台１１にネジ
嵌合している。従つてモーター１３の出力軸の正
逆転のくり返しにより、バーナー１は往復動作を
行う。１５はススを発生させるための原料ガスを
発生させる容器で、第５図に示すように、原料液
中に達する管１６及び、放出管１７を有する。１
８はバーナ１及び、原料ガス発生容器１５へ燃焼
用及びキヤリヤ用のガスを供給するための、制御
装置である。１９，２０，２１，２２はバーナ
１、原料ガス発生容器１５、ガス制御装置１８の
間をそれぞれ連絡する管であり、２３で示す、一
部は可撓管になつていてバーナ１のトラバース動
作を容易にする。２４はスス体引上棒で図示して
いない機構により矢印○イで示す様に、水平面内で
回転させながら○ロの方向、つまり垂直方向に一定
スピードで引上げる、引上げスピードは中空スス
体の成長速度と同じである。２５は中空スス体で
ある。次に第１図〜第５図により本発明の詳細説
明を行う。先ず本発明に採用されている。気相ベ
ルヌイ法の原理は四塩化硅素（SiCl4）を含んだキ
ヤリヤガス（不活性ガス）と酸素ガス（O2）水素
ガス（H2）を混合燃焼させることにより、SiCl4＋
2H2＋O2→SiO2＋4HClの反応により、SiO2の粉
末を得る。この反応はバーナ１の燃焼部にて行わ
れる。第４図に於いて１番内層の管２には、管６
より原料ガスが供給され、次の層の管３には管７
より水素ガスが送られ、次の層の管４には管８よ
り不活性ガスが送られ、最外層の管５には管９よ
り酸素ガスが送られる。原料ガスは第１図に示
す、原料ガス発生容器１５より供給される。原料
ガス発生容器１５には、第５図にて示す様に原料
（SiCl4）２５が満たされて管１６より不活性ガス
を吹込む事により、原料液中にガスを放出バブリ
ングさせる。バブリングにより不活性ガス中に原
料液が気化した成分が含まれた、いわゆる原料ガ
スが発生し、放出管１７よりバーナー１へ供給さ
れる。なおキヤリヤ用不活性ガスは第１図に示す
ガス制御装置１８より管２２を通じ、原料ガス発
生容器へ送られる。また、他の酸素、水素、不活
性ガスも、ガス制御装置１８より、管１９，２
０，２１を通じてバーナ１へ送られる。バーナ１
の先端部に於いて、それぞれのガスが拡散によ
り、混り合うために、そのガスに着火すると、前
記反応が起り、SiO2の粉末が発生する。バーナ
１は、引上棒２４の回転中心に対して距離Ｃだけ
偏心させて配置され、その位置を基準としてスス
体の内、外径方向に水平に往復動作を行う。次
に、本発明の作用について説明する。バーナにて
発生したSiO2粉末は、火炎の流れに乗つて移動
し、引上棒端面に中空状にスス体を形成する。そ
の際、バーナトラバース装置１０により適当なパ
ターンにてバーナー１を往復動させることによ
り、所定の寸法のスス体が形成できる。本発明の
特徴とするところはバーナーと中空スス体の外周
部より中心部に向つて往復動させるところにあ
る。つまり、固定されたバーナーでは、そのバー
ナー形状寸法にて出来る中空スス体の寸法が決ま
つてしまうこと。また、肉厚の大きな中空スス体
を作るには、大形のバーナーを必要とし、大形に
なるほど、気相反応の制御がむずかしくなること
になる。従つて本発明の通り比較的小形のバーナ
ーで、良くコントロールされた気相反応を生ぜし
め、発生する粉末を中空スス体の径方向に分散せ
しめることにより、寸法の正確な、かつ均質の中
空スス体を得ることができる。なおバーナーは複
数本使つても良い。
う。１は二酸化硅素のススを発生させるためのバ
ーナで４重管バーナである。このバーナーは４重
である必要性は特になく少なくとも２重管以上で
あればよい、以下４重管にて特に説明する。その
構造は第４図に示すように２，３，４，５の管が
同心にて組合されていて、それぞれガス供給口
６，７，８，９を有する。またバーナー１は第１
図に示すようにバーナートラバース装置１０に固
定されており、矢印○ハにて示すように水平面内に
て往復動作を行う。第１図、第２図、第３図によ
り往復機構を説明すると、１１は往復台で、これ
にバーナ１が固定されている。往復台１１は、基
板１２に蟻溝にて系合している。従つて往復台１
１と基板１２は相対運動ができる。また基板１２
には制御用モータ１３が固定されており、その出
力軸には、ネジ軸１４が直結されていて、さらに
ネジ軸１４のネジ部の一部は、往復台１１にネジ
嵌合している。従つてモーター１３の出力軸の正
逆転のくり返しにより、バーナー１は往復動作を
行う。１５はススを発生させるための原料ガスを
発生させる容器で、第５図に示すように、原料液
中に達する管１６及び、放出管１７を有する。１
８はバーナ１及び、原料ガス発生容器１５へ燃焼
用及びキヤリヤ用のガスを供給するための、制御
装置である。１９，２０，２１，２２はバーナ
１、原料ガス発生容器１５、ガス制御装置１８の
間をそれぞれ連絡する管であり、２３で示す、一
部は可撓管になつていてバーナ１のトラバース動
作を容易にする。２４はスス体引上棒で図示して
いない機構により矢印○イで示す様に、水平面内で
回転させながら○ロの方向、つまり垂直方向に一定
スピードで引上げる、引上げスピードは中空スス
体の成長速度と同じである。２５は中空スス体で
ある。次に第１図〜第５図により本発明の詳細説
明を行う。先ず本発明に採用されている。気相ベ
ルヌイ法の原理は四塩化硅素（SiCl4）を含んだキ
ヤリヤガス（不活性ガス）と酸素ガス（O2）水素
ガス（H2）を混合燃焼させることにより、SiCl4＋
2H2＋O2→SiO2＋4HClの反応により、SiO2の粉
末を得る。この反応はバーナ１の燃焼部にて行わ
れる。第４図に於いて１番内層の管２には、管６
より原料ガスが供給され、次の層の管３には管７
より水素ガスが送られ、次の層の管４には管８よ
り不活性ガスが送られ、最外層の管５には管９よ
り酸素ガスが送られる。原料ガスは第１図に示
す、原料ガス発生容器１５より供給される。原料
ガス発生容器１５には、第５図にて示す様に原料
（SiCl4）２５が満たされて管１６より不活性ガス
を吹込む事により、原料液中にガスを放出バブリ
ングさせる。バブリングにより不活性ガス中に原
料液が気化した成分が含まれた、いわゆる原料ガ
スが発生し、放出管１７よりバーナー１へ供給さ
れる。なおキヤリヤ用不活性ガスは第１図に示す
ガス制御装置１８より管２２を通じ、原料ガス発
生容器へ送られる。また、他の酸素、水素、不活
性ガスも、ガス制御装置１８より、管１９，２
０，２１を通じてバーナ１へ送られる。バーナ１
の先端部に於いて、それぞれのガスが拡散によ
り、混り合うために、そのガスに着火すると、前
記反応が起り、SiO2の粉末が発生する。バーナ
１は、引上棒２４の回転中心に対して距離Ｃだけ
偏心させて配置され、その位置を基準としてスス
体の内、外径方向に水平に往復動作を行う。次
に、本発明の作用について説明する。バーナにて
発生したSiO2粉末は、火炎の流れに乗つて移動
し、引上棒端面に中空状にスス体を形成する。そ
の際、バーナトラバース装置１０により適当なパ
ターンにてバーナー１を往復動させることによ
り、所定の寸法のスス体が形成できる。本発明の
特徴とするところはバーナーと中空スス体の外周
部より中心部に向つて往復動させるところにあ
る。つまり、固定されたバーナーでは、そのバー
ナー形状寸法にて出来る中空スス体の寸法が決ま
つてしまうこと。また、肉厚の大きな中空スス体
を作るには、大形のバーナーを必要とし、大形に
なるほど、気相反応の制御がむずかしくなること
になる。従つて本発明の通り比較的小形のバーナ
ーで、良くコントロールされた気相反応を生ぜし
め、発生する粉末を中空スス体の径方向に分散せ
しめることにより、寸法の正確な、かつ均質の中
空スス体を得ることができる。なおバーナーは複
数本使つても良い。
第１図は本発明による製法装置の概略図、第２
図は第１図のＢ〜視図、第３図は第２図のＡ―Ａ
断面図、第４図は多重管バーナー、第５図は容器
を示す。 １はバーナー、１０はトラバース装置、１５は
容器、１８は制御装置、２５は中空スス体を表わ
す。
図は第１図のＢ〜視図、第３図は第２図のＡ―Ａ
断面図、第４図は多重管バーナー、第５図は容器
を示す。 １はバーナー、１０はトラバース装置、１５は
容器、１８は制御装置、２５は中空スス体を表わ
す。
Claims (1)
- １ 軸を中心に自転し、かつ軸方向に移動する出
発部材の端部へ気相ベルヌイ法により生成された
二酸化硅素のスス体を堆積せしめる方法におい
て、出発部材の軸に対して偏心して配設されたバ
ーナーを半径方向に所望の長さ往復移動させ、中
空状にスス体を軸方向に成長せしめることを特徴
とする中空スス体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6242279A JPS55154311A (en) | 1979-05-21 | 1979-05-21 | Manufacture of hollow sooty body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6242279A JPS55154311A (en) | 1979-05-21 | 1979-05-21 | Manufacture of hollow sooty body |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55154311A JPS55154311A (en) | 1980-12-01 |
| JPS62853B2 true JPS62853B2 (ja) | 1987-01-09 |
Family
ID=13199692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6242279A Granted JPS55154311A (en) | 1979-05-21 | 1979-05-21 | Manufacture of hollow sooty body |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55154311A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0325018U (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-14 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4920476B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-04-18 | 本田技研工業株式会社 | エンジンの動弁装置 |
| JP4741542B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2011-08-03 | 本田技研工業株式会社 | エンジンの動弁装置 |
-
1979
- 1979-05-21 JP JP6242279A patent/JPS55154311A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0325018U (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55154311A (en) | 1980-12-01 |
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