JPS6218489B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6218489B2 JPS6218489B2 JP6242379A JP6242379A JPS6218489B2 JP S6218489 B2 JPS6218489 B2 JP S6218489B2 JP 6242379 A JP6242379 A JP 6242379A JP 6242379 A JP6242379 A JP 6242379A JP S6218489 B2 JPS6218489 B2 JP S6218489B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burner
- soot body
- gas
- soot
- hollow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000004071 soot Substances 0.000 claims description 28
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気相ベルヌイ法により二酸化硅素の中
空スス体を製造する方法に関する。
空スス体を製造する方法に関する。
従来、中空スス体を作る代表的方法として円柱
状出発部材の上にススを堆積し、次いで出発部材
を除去するか或いは一旦棒状スス体を作り、その
中心部に孔をあけて作る方法が行われてきた。
状出発部材の上にススを堆積し、次いで出発部材
を除去するか或いは一旦棒状スス体を作り、その
中心部に孔をあけて作る方法が行われてきた。
本発明は高精度に直接中空スス体を製造する新
しい方法を提供する。
しい方法を提供する。
以下、詳細を第１図、第２図、第３図により説
明を行う。
明を行う。
１は２酸化珪素のススを発生させるためのバー
ナで、４重管バーナである構造は１２，１３，１
４，１５の管が同心にて組合されていて、それぞ
れガス供給口１６，１７，１８，１９を有する。
２は、ススを発生させるための原料ガスを発生さ
せる容器で、第３図に示す様に、原料液中に達す
る管２０及び放出管２１を有する１０は、バーナ
１及び原料ガス発生容器２へ燃焼用及びキヤリア
用のガスを供給するための制御装置である。３，
４，６，７，１１は、バーナー１、原料ガス発生
容器２、ガス制御装置１０の間を、それぞれ連絡
する管である。８はスス体引上棒で、図示してい
ない機構により、矢印イで示す様に水平面内で回
転させながら、ロの方向つまり垂直方向に一定ス
ピードで引上げる。９は中空スス体である。２１
は１と同様のバーナーである。
ナで、４重管バーナである構造は１２，１３，１
４，１５の管が同心にて組合されていて、それぞ
れガス供給口１６，１７，１８，１９を有する。
２は、ススを発生させるための原料ガスを発生さ
せる容器で、第３図に示す様に、原料液中に達す
る管２０及び放出管２１を有する１０は、バーナ
１及び原料ガス発生容器２へ燃焼用及びキヤリア
用のガスを供給するための制御装置である。３，
４，６，７，１１は、バーナー１、原料ガス発生
容器２、ガス制御装置１０の間を、それぞれ連絡
する管である。８はスス体引上棒で、図示してい
ない機構により、矢印イで示す様に水平面内で回
転させながら、ロの方向つまり垂直方向に一定ス
ピードで引上げる。９は中空スス体である。２１
は１と同様のバーナーである。
先ず本発明に採用されている、気相ベルヌイ法
の原理は四塩化硅素（SiCl4）を含んだキヤリヤガ
ス（不活性ガス）と、酸素ガス（O2）水素ガス
（H2）を混合、燃焼させることによりSiCl4＋2H2
＋O2→SiO2＋4HClの反応によりSiO2の粉末を得
る。この反応はバーナー１の燃焼部にて行われ
る。第２図に於いて１番内層の管１２には管１９
より原料ガスが供給される。原料ガスは第１図に
示す、原料ガス発生容器２より供給される。第１
図、第３図にて原料（SiCl4）５が原料ガス発生容
器２に入れられてガス制御装置１０より供給され
た不活性ガスが管３を通じて管２０に供給され、
原料液中にガスを放出、バブリングさせる。バブ
リングにより不活性ガス中に原料液が気化した成
分が含まれた、いわゆる原料ガスが放出管２１よ
り管４を通じて、バーナー１へ送られる。
の原理は四塩化硅素（SiCl4）を含んだキヤリヤガ
ス（不活性ガス）と、酸素ガス（O2）水素ガス
（H2）を混合、燃焼させることによりSiCl4＋2H2
＋O2→SiO2＋4HClの反応によりSiO2の粉末を得
る。この反応はバーナー１の燃焼部にて行われ
る。第２図に於いて１番内層の管１２には管１９
より原料ガスが供給される。原料ガスは第１図に
示す、原料ガス発生容器２より供給される。第１
図、第３図にて原料（SiCl4）５が原料ガス発生容
器２に入れられてガス制御装置１０より供給され
た不活性ガスが管３を通じて管２０に供給され、
原料液中にガスを放出、バブリングさせる。バブ
リングにより不活性ガス中に原料液が気化した成
分が含まれた、いわゆる原料ガスが放出管２１よ
り管４を通じて、バーナー１へ送られる。
次に第２図で示す第２層の管１３には、管１８
より水素ガスが供給される。第１図に示すように
ガス制御装置１０より管７を通じて供給される。
次いで第２図で示す第３層の管１４には管１７よ
り不活性ガスが送られ、第４層の管１５には管１
６より酸素ガスが送られる。第１図に示すよう
に、ガス制御装置１０より管、６，１１を通じ
て、それぞれ供給される。バーナー１の先端部２
０では、それぞれのガスが拡散により混り合うた
めに、そのガスに着火すると前記反応が起り、
SiO2の粉末が発生する。バーナー２１も１と同
様のバーナーでスス体９に対し、水平位置に配置
される。またバーナー１は引上棒８の回転中心に
対して、距離Ｃだけ偏心させて配置される。次に
本発明の作用について説明すると、バーナーにて
発生したSiO2粉末は、火炎の流れに乗つて移動
し、バーナ１に於いては引上棒端面に中空状にス
ス体を付着される。バーナー１にて形成された中
空スス体の外周面にバーナー２１にて必要な量の
スス体を付着させる。つまり本発明の特徴とする
ところは、引上棒端面方向へスス体を付着させる
バーナと、そのスス体の外周方向へ付着させるバ
ーナーの２系統のバーナを有していることにあ
る。つまり端面方向バーナー１は、スス体内径寸
法形状を形成する事を主にし、従つて比較的バー
ナー外径の小さいシヤープな火炎を放出するバー
ナーが望ましく、また外周方向バーナー２１は比
較的外径寸法の大きい、大量のスス体を発生する
バーナーが望ましい。
より水素ガスが供給される。第１図に示すように
ガス制御装置１０より管７を通じて供給される。
次いで第２図で示す第３層の管１４には管１７よ
り不活性ガスが送られ、第４層の管１５には管１
６より酸素ガスが送られる。第１図に示すよう
に、ガス制御装置１０より管、６，１１を通じ
て、それぞれ供給される。バーナー１の先端部２
０では、それぞれのガスが拡散により混り合うた
めに、そのガスに着火すると前記反応が起り、
SiO2の粉末が発生する。バーナー２１も１と同
様のバーナーでスス体９に対し、水平位置に配置
される。またバーナー１は引上棒８の回転中心に
対して、距離Ｃだけ偏心させて配置される。次に
本発明の作用について説明すると、バーナーにて
発生したSiO2粉末は、火炎の流れに乗つて移動
し、バーナ１に於いては引上棒端面に中空状にス
ス体を付着される。バーナー１にて形成された中
空スス体の外周面にバーナー２１にて必要な量の
スス体を付着させる。つまり本発明の特徴とする
ところは、引上棒端面方向へスス体を付着させる
バーナと、そのスス体の外周方向へ付着させるバ
ーナーの２系統のバーナを有していることにあ
る。つまり端面方向バーナー１は、スス体内径寸
法形状を形成する事を主にし、従つて比較的バー
ナー外径の小さいシヤープな火炎を放出するバー
ナーが望ましく、また外周方向バーナー２１は比
較的外径寸法の大きい、大量のスス体を発生する
バーナーが望ましい。
このようにそれぞれ別の機能及び目的を持つた
２系統のバーナーを用いることにより内径の均一
なかつ必要な肉厚の中空スス体を得ることができ
るのである。また２系統のバーナはそれぞれ複数
本有しても良く、それによりさらに多彩な制御が
可能になる。
２系統のバーナーを用いることにより内径の均一
なかつ必要な肉厚の中空スス体を得ることができ
るのである。また２系統のバーナはそれぞれ複数
本有しても良く、それによりさらに多彩な制御が
可能になる。
第１図は本発明による製造装置の概略図、第２
図は多重管バーナーの断面図、第３図は容器の断
面図を示す。 １はバーナー、２は容器、５は原料ガス、９は
中空スス体、１０はガス制御装置を表わす。
図は多重管バーナーの断面図、第３図は容器の断
面図を示す。 １はバーナー、２は容器、５は原料ガス、９は
中空スス体、１０はガス制御装置を表わす。
Claims (1)
- １ 垂直軸を中心に自転し、かつ軸方向に移動す
る引上棒の端部へ気相ベルヌイ法により生成され
た二酸化硅素のスス体を付着して中空スス体を製
造する方法において、引上棒の回転中心より水平
方向に所定の距離だけ偏心させて配置した一方の
バーナーより二酸化硅素のスス体を放出して引上
棒の端面に中空状に付着せしめ、さらに該中空ス
ス体の外周面に他のバーナーにより二酸化硅素の
スス体を放出して付着せしめることを特徴とする
中空スス体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6242379A JPS55154312A (en) | 1979-05-21 | 1979-05-21 | Manufacture of hollow sooty body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6242379A JPS55154312A (en) | 1979-05-21 | 1979-05-21 | Manufacture of hollow sooty body |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55154312A JPS55154312A (en) | 1980-12-01 |
| JPS6218489B2 true JPS6218489B2 (ja) | 1987-04-23 |
Family
ID=13199722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6242379A Granted JPS55154312A (en) | 1979-05-21 | 1979-05-21 | Manufacture of hollow sooty body |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55154312A (ja) |
-
1979
- 1979-05-21 JP JP6242379A patent/JPS55154312A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55154312A (en) | 1980-12-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5880532B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法およびガラス母材の製造方法 | |
| JPS62187135A (ja) | ガラス微粒子合成用ト−チ | |
| JP2001512085A (ja) | 酸素を用いる液相反応体の燃焼によるシリカ形成方法 | |
| JP3668862B2 (ja) | 石英ガラスブランクの製造方法およびそれに適した装置 | |
| JP3705169B2 (ja) | 多孔質ガラス体の製造方法 | |
| JP2003226544A (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
| JP2005524597A (ja) | ガラスプリフォームを作製するバーナ組立体及び相応する作製方法 | |
| JPH0351663B2 (ja) | ||
| JP2004035365A (ja) | 多重管バーナおよびこれを用いたガラス体の製造方法 | |
| JPS6218489B2 (ja) | ||
| JP2004331440A (ja) | 多孔質ガラス微粒子堆積体の製造法及び前記製造法に用いられるガラス合成用バーナ | |
| JPS62853B2 (ja) | ||
| JP2007076957A (ja) | ガラス合成用バーナ及び該バーナを用いたガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JP2003206154A (ja) | 光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置およびこれを用いた光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
| JPH0369527A (ja) | 光ファイバ用多孔質母材合成用トーチ | |
| JPH10330129A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造方法 | |
| JP2000327341A (ja) | 多孔質ガラス母材製造用多重管バーナおよびこれを用いた多孔質ガラス母材の製造方法並びに製造装置 | |
| JP3133392B2 (ja) | 光ファイバ用スート母材の製造方法 | |
| JPS6117433A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JP2020090427A (ja) | 多孔質体合成用バーナー及び多孔質体の製造方法 | |
| WO2022224725A1 (ja) | バーナ、ガラス微粒子堆積体の製造装置およびガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JPS62223037A (ja) | 多孔質ガラス層の形成方法 | |
| JP3785120B2 (ja) | シリカ多孔質母材の製造方法 | |
| JP2003267744A (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JPS61151031A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 |