JPS6278740A - 情報記録原盤記録方法 - Google Patents

情報記録原盤記録方法

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JPS6278740A
JPS6278740A JP60219899A JP21989985A JPS6278740A JP S6278740 A JPS6278740 A JP S6278740A JP 60219899 A JP60219899 A JP 60219899A JP 21989985 A JP21989985 A JP 21989985A JP S6278740 A JPS6278740 A JP S6278740A
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樫原 俊昭
Kiyoshi Tanii
清 谷井
Mieko Kofukada
小深田 美恵子
Jinko Watanabe
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、映像信号、デジタルオーディオ信号。
コンピューター用デジタル信号等を記録・再生あるいは
さらに消去可能な光ディスクを製作するための情報記録
原盤記録方法に関するものである。
従来の技術 情報信号を書き込み可能な追記型光ディスク。
又は書き換え可能な光ディスクは、磁気ディスクに比べ
ると、2桁近くトラック密度が高く、記録可能な情報量
も多くなっている。したがって高密度のトラックに精度
良く高速アクセスを行なう必要があり、その為に光ディ
スクにはプリフォーマット信号が必要である。プリフォ
ーマット信号は。
ユーザーが情報を記録することが可能なガイドトラック
部と、トラック又はセクタ一番地を指定する為の番地情
報とがあらかじめ形成されたものである。ガラス原盤に
フォトレジストを塗布し、レーザー露光し、現像後、こ
れからニッケル金型を作製する。この金型より、各種の
成型法により、レプリカディスクが作られる。このレプ
リカディスクには、ガイドトラックと番地情報とが形成
されている。この上に、真空蒸着法等により、記録膜を
形成することにより、記録可能なディスクとなる。第6
図に従来のディスクのプリフォーマット信号の拡大図を
示す。ガイドトラック1の幅Waと番地情報ピット2の
幅wbとが、等しい状態になっている。このガイドトラ
ック部に情報が記録される。トラッキング誤差信号のフ
ァーフィールド検出効率を良くする為に、通常光学的溝
深さがλ/8(λ:再生用光源の波長)に設定される。
これは、ガラス原盤上に塗布するフォトレジストの厚さ
によって決まる。フォトレジスト厚さをレプリカディス
クでの光学的深さ相当厚さλ/4に設定し、番地情報部
ではλ/4深さに、ガイドトラック部ではλ/8深さに
なるように、原盤作製時にレーザーパワーコントロール
を行なって記録する方法も提案されている。
第7図は、連続したガイドトラック3を有し、トラック
間に番地情報ピット4を形成した光ディスクの例で、ガ
イドトラック間に情報信号を記録するものである。この
従来方法では、記録スポットが2個必要であり、記録光
学系はそれだけ複数1こなってくる。
発明が解決しようとする問題点 ガイドトラックは、高速アクセスの為にはなくてはなら
ないものであるが、凹凸構造を有している為、光が照射
させた場合、溝幅、溝深さ、溝形状等に依存して、回折
損失が生じ、情報信号再生時にC/N(信号対ノイズ比
)を下げる要因になる。
回折損失は、即ち、トラッキング誤差信号に対応するも
のであり1回折損失をなくすには、ガイドトラックをな
くしてしまえばよいが、アクセスに対して種々の支障が
出てくる。ガイドトラックをなくシ、ディスク上に、1
周について数十のセクターを設けておき、セクターによ
る間欠的なトラッキング誤差信号によってトラッキング
サーボをかける、セクターサーボ方式も提案されている
が。
セクター数により、トラッキングが不安定になったりす
る。第6図に示す従来法では、ガイドトラック1の幅W
aと番地情報ピット2の幅wbとが。
Wa=Wbとなっており、番地情報を効率良く読み出せ
るようにした場合、ガイドトラック1による回折損失も
大きくなり、記録情報信号に及ぼす影響も大きくなって
しまう、また第7図に示す従来法では、ガイドトラック
3と番地情報ピット4とを別々に記録する必要がある為
、記録スポットが2個必要になり、原盤記録の為の光学
系が複雑になり、光軸調整、2つのスポットの位置的な
安定性等が問題になる。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するため、本発明の情報記録原盤記録
方法は、記録光源と、この記録光源からの記録光束を情
報記録原盤上に集光する為の集光レンズと、フォーカス
状態を制御するフォーカス制御手段と、情報信号に応じ
て記録光束を変調する変調手段と、前記記録光源と集光
レンズとの間に位置する光学素子とを有する記録装置に
より情報記録原盤に情報信号を記録するに際して、前記
光学素子により複数の高次回折光束を発生せしめ、実質
的に、前記記録原盤上における記録スポットの大きさを
情報信号に応じて変化させるものである。
作用 上記方法によれば、光学素子により、集光レンズ入射光
強度分布を情報信号に応じて変化させて、情報記録原盤
上での記録スポットサイズを実質的に変化させるように
したので、ガイドトラックの幅を番地情報ピットの幅よ
り大きくすることができ1番地信号出力には実質的な影
響を与えないで、ガイドトラックによる回折損失を軽減
し、記録情報信号の再生C/Nを向上させることができ
る。
したがって、安定に製作出来、かつ高品質なアクセス用
プリフォーマット情報を有する情報°記録原盤を得るこ
とができる。
実施例 以下、本発明の一実施例を第1図〜第5図に基づいて説
明する。
第1図は本発明の一実施例における情報記録原盤記録方
法を用いて記録した記録ビットの説明図で、11はガイ
ドトラック、12は番地情報ピット、13は記録ピット
である。ガイドトラック11の幅W□と番地情報ピット
12の幅W2との関係は、W工〉W2となっている。番
地情報部からの再生信号出力は最大になるようにし、ガ
イドトラック部からの再生信号出力は、記録ビット13
による再生信号出力ができるだけ大きくなるような構造
にする。
トラックとトラックとの間隔すなわちトラックピッチP
は、通常1.6〜2.5μm程度の値が用いられている
。情報信号記録の際には、記録ビット13は番地情報部
には記録されず、ガイドトラック部にのみ記録されるの
が通例である。番地情報を効率良く再生できるピット幅
(又は溝幅)としては、再生光スポットの1/e2強度
(中心強度の13.5%)のところでの直径の30%〜
40%が最適である。例えば、再生光源の波長をλ=8
30nm、記録再生レンズのN A =o、s3とする
と、スポットサイズφ=適したピット幅(溝幅)は、0
.4〜0.5μm程度となる。またトラックピッチPに
対して、ガイドトラック110幅W1は、Wz<wユ〈
Pでなければならない。
このようにw、<w、<Pのピット幅とガイドトラック
幅とを得る為の記録スポットについて第2図を用いて説
明する。148〜L4cは各々記録レンズによって記録
原盤上に形成された記録スポットの強度分布を示してお
り、14aは0次光によるもの。
14b、 14cは光源と記録レンズとの間に配設され
た光学素子により発生せしめられた±1次回折光による
ものである。 14はこれらを合成した強度分布を示し
ている6番地情報ピット12を記録する際には、148
の記録スポットのみを発生させ、ガイドトラック11の
記録時には14a〜14eの記録スポットを発生させ、
実質的に記録原盤上における記録スポットサイズを変化
させて、記録幅を変える。
この強度分布可変記録スポットを実現する方法として、
第3図に示すような音響光学変調素子を用いる。第3図
において、 15はLiNbO3,テルライトガラス、
TaO2等よりなる音響光学変調素子であり、この透明
な固体に印加高周波源16により超音波foを加えると
、固体中に進行疎密波である進行超音波17が生じ、透
明回折格子となる。
これにより音響光学変調素子15に垂直に入射する入射
光Iは、音響光学変調素子15を通過後、工。。
ニオ□の光束に分離される。+1次の光束は、超音波f
oによりドツプラーシフトを受けており、光の周波数が
γからν±foに変化する。このように周波数が異なる
ため、同一波面を分割して重ね合せた場合のような干渉
は生じない。音響光学変調素子15に光束を垂直に入射
させた場合のラマンナース回折の回折角Omは、 λ sinθm=±m− m:回折光次数、λ:入射光波長、Δ:音響光学変調素
子、15中の進行超音波17の波長と表わせる。また回
折光の強度I++は。
Im/I=J2m(K−δn−L) J■:m次の第1種ベッセル関数、K:光の波長。
δn:超音波によって発生した屈折率変化、L:超音波
の光束に作用する光の進行方向の長さと表わせる0回折
光強度は、印加超音波強度によって自由に変えることが
できる。
第4図(A)は記録レンズ入射瞳上での0次及び±1次
回折光による入射光の分布を示し、18aは入射瞳径又
は0次光、 18b、 18cは各々+1次、−1次の
光束の分布を示す、この分布により、記録原盤上に生じ
る収束光スポットは19a〜19cのようになる。その
強度分布は第4図(C)のようになる。
各々のスポットの強度及び位置を変化させることにより
、合成光スポットの強度分布をかなり自由に変化させる
ことができる。スポット間距離は超音波周波数、強度比
は超音波強度を各々変化させることにより変えられる。
第5図は記録光学系の構成図で、記録光源としては、A
r+イオンレーザ−、Ha−Cdレーザー等の短波長レ
ーザーが、フォトレジストA Z−1350の露光の為
に用いられる。Ar+レーザーの波長は4579人、H
e−Cdレーザーの場合は4416人である。
フォトレジストA Z−1350は短波長側はど感度が
高い為である。音響光学変調素子15に入射したレーザ
ー光束20は、進行超音波17により回折され、レンズ
21に入射する。レンズ21よりの光束は、レンズ13
に入射して平行光束となり、記録レンズ23に入射する
。そして、記録原盤24上に記録の為のスポットを形成
する。
次に、記録原盤24上に形成するスポット形状について
検討する。記録レンズ23は一般的には精度の良い原盤
記録を行なう為に、開口数NAの大きいレンズが用いら
れる。ここではNA=0.9の場合について考察する1
回折限界まで絞られたスポット径は、エアリ−ディスク
径で λ 0.82□となる。NA=0.9、λ= 0.4579
μ謬A (Ar÷レーザー)とすると、φzze”=0.42μ
mとなる。エアリ−ディスク径では、φ^=0.62μ
mとなり、最大0.6〜0.7μmの幅のガイドトラッ
ク11の記録が限界である。番地情報部のピット幅は1
回折績分によると、再生スポットの1/e2強度におけ
る直径の30〜40%が最大回折効率を与えるから、1
/e2径を1.3μm とすると、ピット幅は0.4〜
0゜5μmが好適である。一方、ガイドトラック幅は、
最大回折効率を与える幅は好ましくなく、トラッキング
サーボに必要十分な信号強度を与える幅で良い、またレ
ジストのエツチングにより生じるガイドトラックエツジ
部のミクロな荒れがC/Nを悪化させる1つの要因とな
る。従って、ガイドトラック11の幅W、を、番地情報
ピット12の幅W2に対して1.5W、<w、<3no
程度の範囲に選べば、C/Nを数dB改善することがで
きる。W2=0.5μ閣とすれば、0.75μm<W、
<1.5μ腸となる。
このガイドトラック幅を得る為には、記録原盤24上の
0次、±1次光のスポットの間隔を精度良く設定する必
要がある。NA=0.9のレンズでの11e2径は、前
述のようにφzze”=0.42μ−となる。
0次光及び±1次光がおよそ等しい強度であるとすれば
、ガイドトラック幅1.5μ−を得る為には、0次及び
±1次光間の距離を0.54μ園に選べば記録できる。
記録原盤24上で0.54μm離間したスポットを得る
為には、音響光学変調素子15の印加超音波周波数をい
くらに設定すればよいか見積る。
記録レンズ23の焦点距離をfl、コリメーターレンズ
であるレンズ22の焦点距離をf2、光束を収束拡散す
るためのレンズ21の焦点距離をflとし、第5図のよ
うな配置とする。レンズ22又はレンズ21の焦点面に
おけるスポット間距離δは、〔δ′:記録原盤24上の
スポット間距離〕いま、δ’=0.54μm、  /、
=2.7no、 f、=300mmとすれば、δ=60
μmとなる。記録レンズ23に入射する光束は、少なく
とも、入射光強度分布の1182強度より大のところで
、入射瞳にけられるようにする必要がある。こうするこ
とにより、回折限界に近い形状のスポットを得ることが
できる。
その為には、レンズ21.22によりレーザー光を拡大
することが必要である。入射レーザー光束径をφい記録
レンズ23面での光束をφ2とすると、となる、φ、=
12m、φ、=12a、f、=300mmとすとなる。
この時、レンズ21の焦点面でのスポット間隔δ=60
μ謬が必要であったことを考慮して。
±1次光の回折角θ1は。
より、θ、#2Ilradとなる。
音響光学変調素子15による±1次の回折角θ1は、で
あったから。
λ A#□ θ、 となる。λ= 4579人とすれば、A:0.23mm
となる。
音響光学変調素子15の材質がTeO2の場合、音速V
=4.21a+/seeであるから、音響光学変調素子
15に印加する周波数fは、 λ f=− より、f=18M七となる。
このように、f =18MHzの周波数を印加すること
により、記録原盤24上で、0次及び±1次光の間隔が
0.54μ腸の3個のスポットを得ることができる。2
次以上の高次光も発生するが、印加高周波の強度を変え
ることにより1問題にしなくてすむ大きさにすることが
できる。この周波数を変えることにより、スポットの間
隔も自由に選ぶことができる。すなわち、ガイドトラッ
ク11の記録時には、音響光学変調素子15に高周波を
印加し、記録原盤24上でスポットを広げ、番地情報ピ
ット2の記録時には、高周波を印加せず、単−丸スポッ
トで記録し、幅の細いピットを形成することができる。
音響光学変調素子15中に発生する超音波は、進行超音
波17であるので、回折光強度は、印加周波数が一定で
も時間的に変動する。本実施例では印加周波数が18M
Hzであるので、この周波数で時間的に変動する。この
影響を避ける為、記録線速度を適切に選ぶ必要がある。
直径300 mのディスクの場合、 900r、p、■
、の回転数で記録すれば、影響を避けることができる。
発明の効果 以上述べたごとく本発明によれば、光学素子により情報
記録原盤上での記録スポットの大きさを実質的に変える
ようにしたので、従来、1ビームでパワーコントロール
のみで記録幅を変えるか。
あるいは2ビームによりガイドトラック部と番地情報部
とを別々に記録していたものが、1ビームでかつ信号に
応じて記録スポット径を変化させることができ、安定な
かつ再現性のある、溝幅の異なった記録を行なうことが
できる。このように1ビームで安定に記録が行なえるた
め、光学系も簡単になり、光軸調整が容易で、光軸のド
リフトも少なくできる。また1番地情報ピット幅よりも
幅広のガイドトラックを有するディスクを得ることがで
き、幅の広い溝部に記録することにより、C/Nの改善
を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例における情報記録原盤記録方
法により得られたガイドトラック及び番地情報ピットの
説明図、第2図はスポット形状とトラック幅との関係の
説明図、第3図は音響光学変調素子の動作説明図、第4
図は記録レンズの光量分布とスポット形状との関係の説
明図、第5図は記録光学系の動蓚説明図、第6図及び第
7図は各々従来の記録方法により得られたガイドトラッ
ク及び番地情報ピットの説明図である。 11・・・ガイドトラック、12・・・番地情報ピット
、15・・・音響光学変調素子、23・・・記録レンズ
、24・・・記録原盤 代理人   森  本  義  弘 第1図 1f=−力゛Aドトラ、フ tz−’4.地1’%L 第2図 第3図 第4図 第5図 23−−一多濾しンス゛ 24−老碌徹番 第7図 口====つOC=つC二 第7因

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、記録光源と、この記録光源からの記録光束を情報記
    録原盤上に集光する為の集光レンズと、フォーカス状態
    を制御するフォーカス制御手段と、情報信号に応じて記
    録光束を変調する変調手段と、前記記録光源と集光レン
    ズとの間に位置する光学素子とを有する記録装置により
    情報記録原盤に情報信号を記録するに際して、前記光学
    素子により複数の高次回折光束を発生せしめ、実質的に
    、前記記録原盤上における記録スポットの大きさを情報
    信号に応じて変化させる情報記録原盤記録方法。 2、光学素子として音響光学素子を用い、この音響光学
    素子をラマンナース回折配置とした特許請求の範囲第1
    項記載の情報記録原盤記録方法。 3、記録原盤上における記録スポットのディスク半径方
    向のスポットサイズを、ガイドトラック記録時に実質的
    にd_1とし、アドレス信号記録時にd_2として、こ
    れらd_1とd_2との関係を、1.5d_2<d_1
    <3d_2とした特許請求の範囲第1項記載の情報記録
    原盤記録方法。
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