JPS6278687A - プリント基板の配線パターン欠陥検査方法 - Google Patents
プリント基板の配線パターン欠陥検査方法Info
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- JPS6278687A JPS6278687A JP60218112A JP21811285A JPS6278687A JP S6278687 A JPS6278687 A JP S6278687A JP 60218112 A JP60218112 A JP 60218112A JP 21811285 A JP21811285 A JP 21811285A JP S6278687 A JPS6278687 A JP S6278687A
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- G01—MEASURING; TESTING
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、パターン検出器が残像を有する場合に、その
影響を受けることなく高速にパターン検２頁 出信号が得られるようにした残像消去パターン検出方法
に関するものである。
影響を受けることなく高速にパターン検２頁 出信号が得られるようにした残像消去パターン検出方法
に関するものである。
これまでに、例えばＴＶカメラを・平ターン検出器とし
てプリント板パターンを検出し、パターンの欠陥を検査
する装置が開発されている。例えば昭和６０年度電子通
信学会総合全周大会における醜１６８２、１６８３の論
文にはそのような装置が示されているが、これによると
７” ＩＪント板が保持されているＸＹステージをステ
ップ・レピー）サセツツー４ターンの静止画像が検出さ
れるようになっている。
てプリント板パターンを検出し、パターンの欠陥を検査
する装置が開発されている。例えば昭和６０年度電子通
信学会総合全周大会における醜１６８２、１６８３の論
文にはそのような装置が示されているが、これによると
７” ＩＪント板が保持されているＸＹステージをステ
ップ・レピー）サセツツー４ターンの静止画像が検出さ
れるようになっている。
このノ譬ターン検出においてはストロ♂照明を用いる場
合にはＸＹステージを停止させる必要はないが、ストロ
が照明光の強度が弱いことから、照明光としてストロ−
を使用し得ないものとなっている。これに対する解決策
としては超高感度のＴＶカメラであるＳ Ｉ Ｔ （８
１１１ａｏｎ＊ ＩｎｔｅｎａｌｆｌｅｄＴｍｒｇ・
ｔ）撮像管をノｆターン検出器として使用することが考
えられる。しかしながら、ＳＩＴ撮像管は残像が大きい
（次回走査で３０％の残像が残る）３頁 ためにその使用は困難となっている。
合にはＸＹステージを停止させる必要はないが、ストロ
が照明光の強度が弱いことから、照明光としてストロ−
を使用し得ないものとなっている。これに対する解決策
としては超高感度のＴＶカメラであるＳ Ｉ Ｔ （８
１１１ａｏｎ＊ ＩｎｔｅｎａｌｆｌｅｄＴｍｒｇ・
ｔ）撮像管をノｆターン検出器として使用することが考
えられる。しかしながら、ＳＩＴ撮像管は残像が大きい
（次回走査で３０％の残像が残る）３頁 ためにその使用は困難となっている。
本発明の目的は、残像が大きい・ヂターン検出器によっ
て７９ターン検出が行なわれる場合に、その残像による
影響を受けることなくパターンが検出され得る残像消去
・皆ターン検出方法を供するにある０ 〔発明の概要〕 この目的のため本発明は、前回フレーム時でのパターン
検出信号を残像相当分減衰させた状態で記憶し、該記憶
に係るパターン検出信号を今回フレーム時でのパターン
検出信号よシ差し引くようにしたものである。
て７９ターン検出が行なわれる場合に、その残像による
影響を受けることなくパターンが検出され得る残像消去
・皆ターン検出方法を供するにある０ 〔発明の概要〕 この目的のため本発明は、前回フレーム時でのパターン
検出信号を残像相当分減衰させた状態で記憶し、該記憶
に係るパターン検出信号を今回フレーム時でのパターン
検出信号よシ差し引くようにしたものである。
以下、本発明を説明するが、その前にその理論的背景に
ついて説明すれば以下のようである。
ついて説明すれば以下のようである。
即ち、第３図（＆＞に示すようにｘｙステージ２によっ
てパターンが形成されているシリンド板１を走査する一
方、ストロ？光源３からのストロが光を集光レンズ６に
よって平行光束としたうえ）・−フミラー４を介しシリ
ンド板ｌ・リーンに照射する場合は、その・譬ターンか
らの反射光は結像レンズ５を介しＴＶカメラ７で検出さ
れるが、あるフレーム走査時での・Ｉターン検出信号Ｓ
Ｎは第３図（ｂ）に示す如くに得られるところとなる。
てパターンが形成されているシリンド板１を走査する一
方、ストロ？光源３からのストロが光を集光レンズ６に
よって平行光束としたうえ）・−フミラー４を介しシリ
ンド板ｌ・リーンに照射する場合は、その・譬ターンか
らの反射光は結像レンズ５を介しＴＶカメラ７で検出さ
れるが、あるフレーム走査時での・Ｉターン検出信号Ｓ
Ｎは第３図（ｂ）に示す如くに得られるところとなる。
第３図（ｂ）は前フレーム走査時での・７タ一ン位置状
態（ｍ表示）が今回フレーム走査時にはｍ表示のパター
ン位置状態に変化することによって、今回フレーム走査
時での主走査線り上の信号、即ち、・リーン検出信号が
如何に得られるかを示したものである。第３図（ｂ）中
ｖＭは今回フレーム走査時に本来的に検出されるべき検
出信号部分を、また、ＶＮ−１は前フレーム走査時での
それであり、今回フレーム走査時での・９タ一ン検出信
号ｓＮ中に残像成分として含まれるものとなっている。
態（ｍ表示）が今回フレーム走査時にはｍ表示のパター
ン位置状態に変化することによって、今回フレーム走査
時での主走査線り上の信号、即ち、・リーン検出信号が
如何に得られるかを示したものである。第３図（ｂ）中
ｖＭは今回フレーム走査時に本来的に検出されるべき検
出信号部分を、また、ＶＮ−１は前フレーム走査時での
それであり、今回フレーム走査時での・９タ一ン検出信
号ｓＮ中に残像成分として含まれるものとなっている。
このように２９タ一ン検出信号には前フレーム走査時で
の残像成分が含まれているが、これを一般的に説明すれ
ば第４図に示すようである。第４図に示すようにあるフ
レーム走査時に特定走査線上で検出される・やターン検
出信号ｓＮには、前フレー５頁 ム以前の主走査で検出された・９タ一ン検出信号８Ｎ−
１８１−２が残像成分として含まれていることが判る。
の残像成分が含まれているが、これを一般的に説明すれ
ば第４図に示すようである。第４図に示すようにあるフ
レーム走査時に特定走査線上で検出される・やターン検
出信号ｓＮには、前フレー５頁 ム以前の主走査で検出された・９タ一ン検出信号８Ｎ−
１８１−２が残像成分として含まれていることが判る。
次回フレーム走査時に検出されるパターン検出信号ＳＮ
＋１にはまた前フレーム走査時に検出されたパターン検
出信号ｓＮが残像成分として含まれるようになるもので
ある。
＋１にはまた前フレーム走査時に検出されたパターン検
出信号ｓＮが残像成分として含まれるようになるもので
ある。
したがって、残像の減衰率をｋ（０くｋ〈１）としてパ
ターン検出信号８１ ＳＮ＋１を示せば以下のように
なる。
ターン検出信号８１ ＳＮ＋１を示せば以下のように
なる。
８Ｎ ＝ ＶＮ ＋ ｋＶａ−１＋ ｋ”ＶＷ−ｚ ＋
・・・（１）８ｗ＋ｔ ＝ ＶＮ＋１ ＋ ｋ Ｖ
Ｎ＋ ｋ” ＶＮ−１＋ ・” （
２）式（２）は更に式（３）のように変形され得ること
になるＯ ８Ｍ＋１ ＝ ＶＮ＋１ ＋ ｋ（Ｖｍ＋ ｋＶＭ−ｘ
＋ ”・）＝ ＶＭ＋１ ＋ ｋ ８Ｎ
・・・（３）よってＶＮ＋１は式（４）によっ
て求められることが判る。
・・・（１）８ｗ＋ｔ ＝ ＶＮ＋１ ＋ ｋ Ｖ
Ｎ＋ ｋ” ＶＮ−１＋ ・” （
２）式（２）は更に式（３）のように変形され得ること
になるＯ ８Ｍ＋１ ＝ ＶＮ＋１ ＋ ｋ（Ｖｍ＋ ｋＶＭ−ｘ
＋ ”・）＝ ＶＭ＋１ ＋ ｋ ８Ｎ
・・・（３）よってＶＮ＋１は式（４）によっ
て求められることが判る。
ＶＮ＋１ ＝ ８Ｎ＋１− ｋｓＮ−（４）即ち、ある
フレーム走査時での真のツクターン検出信号はそのフレ
ーム走査時に実際に検出された６百 ノリーン検出信号より、前フレーム時でのそれに減衰率
ｋを乗じたものを差し引くことによって得られるもので
ある。
フレーム走査時での真のツクターン検出信号はそのフレ
ーム走査時に実際に検出された６百 ノリーン検出信号より、前フレーム時でのそれに減衰率
ｋを乗じたものを差し引くことによって得られるもので
ある。
さて、本発明を具体的に説明すれば、第１図は本発明に
係る残像消去パターン検出器の一例での概要構成を示し
たものである。
係る残像消去パターン検出器の一例での概要構成を示し
たものである。
これによるとＴＶカメラ７よりパターン検出信号が得ら
れるまでは第３図（＆）に示すものに同様となっている
が、ノｆターン検出信号はこの後以下のように処理され
るものとなっている。
れるまでは第３図（＆）に示すものに同様となっている
が、ノｆターン検出信号はこの後以下のように処理され
るものとなっている。
即ち、ＴＶカメラ７によるＮ＋１回目走査によって検出
された・リーン検出信号ＳＮ＋１はＡ／Ｄ変換器８で多
値ディジタル信号に変換されたうえこれに残像減衰率ｋ
（この値はレジスタ９に予め設定されている）が乗算器
１０で乗じられるようになっている。この後はレジスタ
１１を介し多段階の画像ノ４ツファメモリ１２に順次所
定アドレス順に格納されるようになっている。一方、こ
のバッファメモリ１２には既にＴＶカメラ７によるＮ回
目走査によって得られたパターン検出信号ＳＮに減衰率
ｋが乗７頁 じられ九もの（ｋｓｙ）が格納されていることから、・
９タ一ン検出信号８Ｎ＋１に同期してノ寸ソファメモリ
１２よシ対応するｋｓＮをＳＮ＋１格納前に読み出した
うえ差分器１３で差分を求めるようにすれば、残像の影
響のないＮ−１−１回目走査時での真の・９タ一ン検出
信号ＶＷ＋１ （＝ ＳＮ＋１− ｋｓＭ）カ？Ｉ ラ
レル４） （Ｄ テする。
された・リーン検出信号ＳＮ＋１はＡ／Ｄ変換器８で多
値ディジタル信号に変換されたうえこれに残像減衰率ｋ
（この値はレジスタ９に予め設定されている）が乗算器
１０で乗じられるようになっている。この後はレジスタ
１１を介し多段階の画像ノ４ツファメモリ１２に順次所
定アドレス順に格納されるようになっている。一方、こ
のバッファメモリ１２には既にＴＶカメラ７によるＮ回
目走査によって得られたパターン検出信号ＳＮに減衰率
ｋが乗７頁 じられ九もの（ｋｓｙ）が格納されていることから、・
９タ一ン検出信号８Ｎ＋１に同期してノ寸ソファメモリ
１２よシ対応するｋｓＮをＳＮ＋１格納前に読み出した
うえ差分器１３で差分を求めるようにすれば、残像の影
響のないＮ−１−１回目走査時での真の・９タ一ン検出
信号ＶＷ＋１ （＝ ＳＮ＋１− ｋｓＭ）カ？Ｉ ラ
レル４） （Ｄ テする。
第２図は以上述べた処理過程を説明するためのものであ
るが、これについては特に説明を要しない。
るが、これについては特に説明を要しない。
このように本発明は、一般にＴＶカメラ等の残像の影響
のある）４ターン検出器を用いた場合に、残像の影響を
なくす目的に使用し得る。特に回路・量ターンを高速に
検出する目的に対して用い得、ストロが照明で・量ター
ンを映し止め検出する場合に残像の影響を避は得ること
から、毎回でのＴＶ走査検出信号をパターン検出に利用
し得ることになる。前述公知例において螢光を・量ター
ン検出に利用する場合やストロゲ照明を用いる場合、微
弱な螢光を検出する場合には超高感度のＴＶ右カメラ開
昭６２−７８Ｇ８７ （３）を 使用せざるを得ないが、超高感度ＴＶカメラは一般に残
像が大きくその使用は困難となっている。
のある）４ターン検出器を用いた場合に、残像の影響を
なくす目的に使用し得る。特に回路・量ターンを高速に
検出する目的に対して用い得、ストロが照明で・量ター
ンを映し止め検出する場合に残像の影響を避は得ること
から、毎回でのＴＶ走査検出信号をパターン検出に利用
し得ることになる。前述公知例において螢光を・量ター
ン検出に利用する場合やストロゲ照明を用いる場合、微
弱な螢光を検出する場合には超高感度のＴＶ右カメラ開
昭６２−７８Ｇ８７ （３）を 使用せざるを得ないが、超高感度ＴＶカメラは一般に残
像が大きくその使用は困難となっている。
しかしながら、本発明によれば、超高感度のＴＶカメラ
とストロがとの組合せで毎回でのＴＶ走査信号を利用し
得、高速に・量ターンが検出可能となり、したがって、
パターンの検査も高速に行なわれることになる。
とストロがとの組合せで毎回でのＴＶ走査信号を利用し
得、高速に・量ターンが検出可能となり、したがって、
パターンの検査も高速に行なわれることになる。
以上説明したように本発明による場合は、残像が大きい
・量ターン検出器によってパターン検出を行なう場合に
、その残像による影響を受けることなくノスターンが検
出され得るという効果がある。
・量ターン検出器によってパターン検出を行なう場合に
、その残像による影響を受けることなくノスターンが検
出され得るという効果がある。
第１図は、本発明に係る残像消去・中ターン検出器の一
例での概要構成を示す図、第２図は、本発明に係るパタ
ーン検出信号の処理を説明するための図、第３図（ａ）
、 （ｂ）および第４図は、本発明の理論的背景を説明
するだめの図である。 １・・・グリント板（検出対象・やターン）、２・・・
ＸＹステーゾ、３・・・ストロボ光源、７・・・ＴＶカ
メラ、９−頁 ８・・・Ａ／Ｔ）変換器、ＩＯ・・・乗算器、１２・・
・画像バッファメモリ、１３・・・差分器。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第１図 第２図 ＳＮ＋１−ｋＳＮ 第３図（ａ） （ｂ） 被工合号ＳＮＬ
例での概要構成を示す図、第２図は、本発明に係るパタ
ーン検出信号の処理を説明するための図、第３図（ａ）
、 （ｂ）および第４図は、本発明の理論的背景を説明
するだめの図である。 １・・・グリント板（検出対象・やターン）、２・・・
ＸＹステーゾ、３・・・ストロボ光源、７・・・ＴＶカ
メラ、９−頁 ８・・・Ａ／Ｔ）変換器、ＩＯ・・・乗算器、１２・・
・画像バッファメモリ、１３・・・差分器。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第１図 第２図 ＳＮ＋１−ｋＳＮ 第３図（ａ） （ｂ） 被工合号ＳＮＬ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、残像を有するパターン検出器によるパターン検出方
法において、前回フレーム時でのパターン検出信号を残
像相当分減衰させた状態で記憶し、該記憶に係るパター
ン検出信号を今回フレーム時でのパターン検出信号より
差し引くことを特徴とする残像消去パターン検出方法。 ２、照明光としてストロボが、パターン検出器としてＴ
Ｖカメラが用いられる特許請求の範囲第１項記載の残像
消去パターン検出方法。 ３、ＴＶカメラとして超高感度のものが用いられる特許
請求の範囲第２項記載の残像消去パターン検出方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60218112A JPH0762868B2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | プリント基板の配線パターン欠陥検査方法 |
| DE19863626061 DE3626061A1 (de) | 1985-10-02 | 1986-08-01 | Verfahren und vorrichtung zur pruefung eines musters auf einer gedruckten schaltungsplatte |
| KR1019860007707A KR900002578B1 (ko) | 1985-10-02 | 1986-09-13 | 프린트 기판 페턴 검사방법 및 그 장치 |
| US06/913,242 US4700225A (en) | 1985-10-02 | 1986-09-30 | Method and apparatus for testing pattern of a printed circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60218112A JPH0762868B2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | プリント基板の配線パターン欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6278687A true JPS6278687A (ja) | 1987-04-10 |
| JPH0762868B2 JPH0762868B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=16714815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60218112A Expired - Lifetime JPH0762868B2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | プリント基板の配線パターン欠陥検査方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4700225A (ja) |
| JP (1) | JPH0762868B2 (ja) |
| KR (1) | KR900002578B1 (ja) |
| DE (1) | DE3626061A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009277350A (ja) * | 1998-03-09 | 2009-11-26 | Meiko Kasei Kogyo Kk | 記録媒体用ディスクの収納ケース |
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| JPH0623999B2 (ja) * | 1986-07-28 | 1994-03-30 | 株式会社日立製作所 | パタ−ン欠陥検出方法 |
| DE3750285T2 (de) * | 1986-10-03 | 1995-03-30 | Omron Tateisi Electronics Co | Gerät zur Untersuchung einer elektronischen Vorrichtung in fester Baugruppe. |
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| US4998207A (en) * | 1988-02-01 | 1991-03-05 | Cooper Industries, Inc. | Method of manufacture of circuit boards |
| US4854039A (en) * | 1988-05-04 | 1989-08-08 | The Technology Congress, Ltd. | Prototype circuit board and method of testing |
| US4975972A (en) * | 1988-10-18 | 1990-12-04 | At&T Bell Laboratories | Method and apparatus for surface inspection |
| US5040228A (en) * | 1989-08-28 | 1991-08-13 | At&T Bell Laboratories | Method and apparatus for automatically focusing an image-acquisition device |
| IL99823A0 (en) * | 1990-11-16 | 1992-08-18 | Orbot Instr Ltd | Optical inspection method and apparatus |
| DE4318956A1 (de) * | 1993-06-14 | 1994-12-15 | Grundig Emv | Verfahren und Anordnung zur Überprüfung von Leiterplatten |
| JP3617547B2 (ja) * | 1995-02-14 | 2005-02-09 | 富士通株式会社 | 配線パターンを観察する方法および加工装置 |
| JPH10260190A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型蛍光プローブ顕微鏡 |
| US6304680B1 (en) | 1997-10-27 | 2001-10-16 | Assembly Guidance Systems, Inc. | High resolution, high accuracy process monitoring system |
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| DE102011114874A1 (de) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Auswerteschaltung für einen optoelektronischen Detektor und Verfahren zum Aufzeichnen von Fluoreszenzereignissen |
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1985
- 1985-10-02 JP JP60218112A patent/JPH0762868B2/ja not_active Expired - Lifetime
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1986
- 1986-08-01 DE DE19863626061 patent/DE3626061A1/de active Granted
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Patent Citations (2)
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