JPS61180432A

JPS61180432A - パタ−ン検査方法

Info

Publication number: JPS61180432A
Application number: JP60019919A
Authority: JP
Inventors: Yozo Ouchi; 大内　洋三; Haruo Yoda; 晴夫依田
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-02-06
Filing date: 1985-02-06
Publication date: 1986-08-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕本発明は、半導体素子及びその製造に用いられるマスク
等のパターン検査方法に係り、特に複数種類の単位パタ
ーンが一定の規則で繰返されているようなパターンの検
査に好適なパターン検査方法に関する。

〔発明の背景〕

以下に図を用いて従来のパターン検査方法を説明する。

第２図は従来のパターン検査方法の説明図である。なお
第２図において、２１は被検査パターン、２２は光学系
、２３はイーメジセンサ。

２４は比較部、２５はパターン発生部、６は磁気テープ
装置である。この種の装置としては、「電子材料、　１
９８２年６月、第５０〜５４頁「レチクル・マスク自動
欠陥検査装置ヨ栗村大吉著」に示されるものがある。本
検査方法では、あらかじめ磁気テープ等の記憶装置に検
査対象となるパターン全体を基準パターンとして用意し
、イメージセンサ２３が被検査パターン２１を走査して
得た信号と磁気テープ装置２６から読み出された信号と
を比較部２４で比較照合し、パターン異常部を検出して
いる。しかし、本検査方法は、パターン全体のデータを
用いるため、取り扱うデータ量が膨大となり、装置が大
きくなるという欠点がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、このような従来方式の問題点を克服し
てパターンに関する設計データを効果的に利用すること
によって、複数種類の単位パターンから構成される被検
査パターンを能率よくかつ比較的小規模の装置構成で実
現可能なパターン検査方法を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明の要点は、前記の目的を達成するために、必要最
小限の単位パターンのみをメモリに格納し。

該単位パターンを一定の規則で読出すことによって被検
査パターンと同一のパターンを発生させ。

これを基準として、被検査パターン走査信号と比較照合
するところにある。

第３図、第４図を用いて本発明のパターン検査方法の基
本的な考え方を説明する。両図において、被検査パター
ン３１．４１を光学結像系３２゜４２を介してイメージ
センサ３３，４３により走査し、さらにＡ／Ｄ変換部３
４．４４を介してディジタル化した走査信号を得る。一
方被検査データに関するパターン設計データに基づいて
、前述した単位パターンをパターンメモリ３５．４５に
格納するとともに、単位パターンの接続規則をパターン
読出部３６．４６に記憶させる。該パターン読出部３６
．４６では、先に述べた被検査パターン走査信号に同期
して、パターンメモリ３５゜４５からパターン接続規則
にしたがってパターンデータを発生する６第３図に示し
たように、被検査パターン走査信号及びパターンデータ
を比較部３７で比較することにより、被検査パターンの
欠陥検出が可能となる。また第４図に示したように一旦
メモリ４８に格納した被検査パターン走査信号を基準と
して、これとメモリ４８を介さない被検査パターン走査
信号とを比較部４９によって比較し、被検査パターンの
欠陥検出を行い、さらにこの欠陥信号が前述したパター
ンデータのどの位置に存在するかを比較部４７にて比較
することによって求めるという、錐より詳細な検査が可
能となる。

以上のようにパターンデータを参照することによって高
機能の検査が実現できる。とくに、本発明のパターンデ
ータ参照方法は、予め格納しておくパターンデータの容
量を少なく押えることが可能であるため、上記の機能を
比較的小規模の装置で実現できる。

〔発明の実施例〕

以下本発明の一実施例を第１図、第５図〜第１１図によ
って詳細に説明する。本実施例は第４図の例に対応する
ものである６第１図は本発明を用いたパターン検査装置
の全体構成図である。図において、１〜６は被検査パタ
ーンを撮像して電気信号に変えるための撮像系、７〜１
０は撮像系により得られた映像信号から被検査パターン
上の欠陥を検出した後、欠陥の特徴量を算出し、その結
果を格納する欠陥検査部、１２〜１４はパターンに対す
る検出欠陥の特徴量を算出するために用いるパターンデ
ータの続出部である。

まず撮像系について説明すると１図において１は被検査
パターン、２は被検査パターンを固定し移動させるため
の移動台、３は位置検出器、４は移動台制御回路、５は
照明器、６は被検査パターンの像を１次元的に走査して
電気信号に変換するラインセンサを示す。被検査パター
ン１は移動台上に固定され、移動台は移動台制御回路４
によってＸ方向に等速移動される。被検査パターン１は
照明器５によって照明され、その像はラインセンサ６に
よって結像する。同期信号発生回路１６から発せられる
同期信号にしたがってラインセンサを繰返し駆動するこ
とによって被検査パターン１の像が映像信号Ｓ６として
出力されることになる。

さて、いま第５図に示したような複数の層で構成される
パターンを被検査パターンとする。第５図において、そ
の部分領域である（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は同一のパタ
ーンである。そこでこの繰返しパターンのＸ方向の幅だ
けステージを移動するごとに、繰返しパターン内の同一
位置の映像信号が繰返して出力されることになる０次に
欠陥検査部について説明する。第１図において、７はＡ
／Ｄ変換器、８は入力映像信号を指定クロック遅らせ映
像信号を一時的に保持するための遅れ回路、９は遅れ回
路８を経由した映像信号を経由しない映像信号とを比較
するための比較回路、１０は、パターンデータ発生部か
らのパターンデータを参照し、比較回路９で得られた信
号から検出欠陥の特徴量を算出しそれを格納するための
特徴抽出回路である。

さて、まず撮像系からの映像信号Ｓ６をＡ／Ｄ変換し、
ディジタル信号Ｓ７に変換する。このディジタル信号Ｓ
７は、前述した遅れ回路８に転送される。ここで被検査
パターンが、第５図に示したような繰返し性のあるパタ
ーンであるとき、遅れ回路８ではそのパターンの繰返し
幅に対応した時間分遅らせる。このとき、遅れ回路８の
出力信号Ｓ８には、Ａ／Ｄ変換変換比力信号Ｓ７に対し
て繰返パターン前の映像信号が出力される。比較部９で
は、これら２つの映像信号Ｓ７．Ｓ８を入力し、両者の
差分信号を得た後、２値化処理を行う。

先に述べたように、映像信号Ｓ７．Ｓ８は、異なる繰返
パターン内の同一位置を走査して得たものであるため、
その差分信号は理想的には零となる。

しかし、比較パターン位置のどちらかに正常パターンと
は異なる部分が存在した場合、その部分に対応した差分
信号は、非零の値を示すことになる。

そこで５差分信号を適切な閾値で２値化すれば、欠陥領
域のみが１′となり、他がｌ　□　ｌ　となる欠陥検出
信号Ｓ９が得られる。さらに欠陥特徴抽出回路１０では
、欠陥信号Ｓ９に基づいて面積、位置など、欠陥領域に
関する特徴量Ｓ１０を導出する。またこのとき、パター
ンデータ発生部から得られる被検査パターンに関する層
別、領域列のパターンデータを参照し、層別領域別に欠
陥特徴量を算出する。

さて上述した欠陥検査の開始、終了は、起動制御回路１
５によって管理する。この起動制御回路の詳細を第７図
に示す。図においてブロック１５１゜１５２はレジスタ
であり、検査に先立って計算機１７から信号５１７１と
して検査開始座標Ｘ８、検査終了座標Ｘ、が書込まれる
。Ｓ３は位置検出器の出力信号であり、移動台の現在位
置Ｘ、Ｙが常時Ｓ３として一致回路１５３，１５４に入
力されている。ブロック１５５は一致回路の出力信号５
１５３．５１５４によってセット、リセットされるフリ
ップフロップである。検査開始とともに移動台がＸ方向
に移動を開始し、Ｓ３の位置Ｘがレジスタ１５１の検査
スタート座＠Ｘ、に一致すると、フリップフロップ１５
５がセットされ出力信号Ｓ１５が１′となり、移動台が
さらに移動しレジスタ１５２の検査終了座標Ｘ６に一致
するとフリップフロップ１５５がリセットされＳ１５が
０′となる。この検査信号Ｓ１５は、第１図に示した同
期信号発生回路１６に送られ、ここで欠陥検査部の同期
信号８１６３を発生する。同期信号発生回路１６の詳細
は第８図に示した通りであり、同期信号発生器１６１か
ら発せられる同期信号８１６１は、前述したラインセン
サへの同期信号となる。さらに、同期信号８１６１と検
査信号Ｓ１５との論理積をとった信号８１６５を発生す
る。−力筒１図における続出回路１３では、検査部の動
作の一時的な停止を指定するためのクロック停止信号５
１３２を発生する。この信号は、被検査パターンの中で
、繰り返しパターン領域とは異なるパターン領域の検査
を省略するために用いる。このクロック停止信号５１３
２と前述の同期信号８１６５との論理積により得られる
信号８１６３が欠陥検査部への同期信号となる。また、
同期信号発生回路１６には、これらの同期信号とは別に
、ラインセンサが何番目の画素を走査しているかを常時
検出できるように、ラインセンサの画素数Ｎを法（モー
ド）として同期信号８１６１のクロックをカウントする
Ｎｍカウンタ１６２を付加している。このカウンタから
はカウンタ量５１６４及びキャリー信号８１６２が出力
される。

このカウンタデータは検出した欠陥の位置を知るために
用いられる。またキャリー信号８１６２は、ラインセン
サの全画素を走査終了する毎に発生するライン同期信号
であり、第１図に示したパターンデータ発生部内のパタ
ーンメモリ読出回路１３への同期信号となる。

次に、パターンデータ発生部から得られる被検査パター
ンデータを参照し、層別、領域別に欠陥特徴量を算出す
る欠陥特性抽出回路１０の具体的な実施例を、第９図を
用いて説明する。図におい１キて、１０１ｋｌラインシフトレジスタ、１０２は１画素
シフトレジスタである。この回路を同期信号８１６３で
起動し、′欠陥′映像信号Ｓ９に対する５層５画素の局
所領域映像信号を得る。ブロック１０３，１０４は加算
器であり、並列出力された５層５画素の局所映像の中か
ら′１″の数を総和する。入力信号Ｓ９は欠陥部分が′
１′となる′欠陥′映像であるるので′１′の数は５層
５局所領域内の欠陥面積を示す。そこで欠陥面積信号５
１０４を閾値５１７１と比較回路１０５で比較すれば、
出力信号５１０５はある程度以上欠陥が大きい場合のみ
′１′、他は′０′になりわずかなノイズによって生じ
る１欠陥１信号を欠陥と誤まることなく欠陥判定するこ
とができる。比較回路１０５によって′１′が出力され
ると、それに対応した欠陥の面積５１０４がレジスタ１
０６に、その時点での移動台座標信号５３（Ｘ、Ｙ）と
ラインセンサの走査位置信号８１６４が夫々レジスタ１
０７ａ、ｂにセットされ、さらにワンショット回路１０
８によってタイミングがとられて欠陥データメモリ１０
９に記憶される。ここで得られた欠陥の特徴データは、
信号ＳＩＯとして第１図ビおける計算機１７に読みとら
れる。

以上によって、′欠陥′信号Ｓ９を入力信号としたとき
の欠陥領域全体についての特徴量の算出方法を説明した
。一方、後述する領域分割回路１４からパターンに関す
る層別、領域別の信号が並列して出力される。すなわち
、第５図のようにパターンがＡ層、Ｂ層、０層の３つの
層で構成されている場合について説明する。ただし、０
層は、Ａ層、Ｂ層よりも下層であって、図示されていな
い。０層はＡ層と重なる部分を有する。Ａ層内部パター
ン信号５１４１．Ａ層境界部信号５１４２、Ａ層外Ｂ層
内部信号５１４３、Ａ層内Ｂ層境界部信号５１４４、Ａ
層外Ｂ層境界部信号５１４４、Ａ層外Ｂ層境界部信号５
１４５、Ａ層内Ｃ層境界部信号８１４６の６種類のパタ
ーン部分領域信号が、同期信号８１６３に同期して出力
される。これらの信号の各々と′欠陥″信号Ｓ９との論
理積をとることによって１部分領域内部に存在する欠陥
領域のみが′１′、他はＩ　Ｏ＋　になる欠陥信号が得
られる。そこで、これら６種類の′欠陥′信号の各々に
、前述した面積算出回路１１０を割当てることによって
、パターン部分領域毎の欠陥面積を得ることができる。

これらの面積データは、すべて欠陥データメモリ１０９
に格納し、さらに計算機１７に送られる。ここで、０層
については。

Ａ層内Ｃ層境界部部分の欠陥しか検出していないのは、
この部分以外の０層について欠陥が生じても、チップに
影響がなく、特に検出するまでもないからである。

次に本発明の根幹である層別・領域別のパターンデータ
の発生部について詳しく説明する。被検査パターンデー
タの例としては、第５図に示したパターンを用いる。第
５図のパターンは、Ａ層とＢ層の２層からなり、Ａ層パ
ターンは、（ａ）。

（ｂ）、（ｃ）の部分領域を単位として繰り返されてい
る。また、これらの繰り返しの単位となるパターンは、
鏡像パターンも同一パターンと見做せばさらに小さい部
分パターンから構成されている。

すなわち、Ａ層は、第６図に示した（ａ）、（ｂ）から
構成され、Ｂ層は、第６図（ｃ）の部分パターンで構成
されている。したがって基本的な考え方として、メモリ
には繰り返しの単位となる部分パターンのみを層別に記
憶し、これらを一定の規則にしたがって繰り返し読み出
すこととする。以上の考え方にもとづくパターンデータ
発生部の具体的実施例を第１０図〜第１１図を用いて説
明する。

まず第１０図はパターンデータ読出回路の詳細な説明図
である。ここでは、第１図における起動制御回路１５か
らの検査開始信号Ｓ１５を入力信号として、層別パター
ンメモリ１２の続出アドレス信号５１３１及び検査部の
クロックを停止するためのクロック停止信号５１３２を
出力する。ただし、層別パターンメモリはラインセンサ
のライン画素数単位にアドレス付けされている。なお、
第１０図において、１０１はパターンメモリ読出しテー
ブルメモリであり、アドレスカウンタ１０２によって指
し示されたアドレスの内容が読出される。各アドレスに
は、パターンメモリの先頭アドレス、最終アドレス、ク
ロック停止指定データ、パターンメモリ読出し方向デー
タの４種類のデータを予め格納しておく。一連の動作を
信号の流れにしたがって説明する。まず検査開始信号Ｓ
１５の立上がりをとらえてアドレスカウンタ１０２が動
作し、現在のカウンタ値が出力される。さらに、カウン
タの内容はクロックに同期して逐次更新される。なお、
アドレスカウンタ１０２の初期値には、予め計算機から
与えられた読出テーブルアドレスをセットする。すなわ
ち計算機から続出回路内部のレジスタへ読出しテーブル
メモリ先頭アドレス、読出テーブルメモリ最終アドレス
、ステージ移動方向が与えられる。これらのデータを読
出し、選択回路１０３を介して、ステージ移動方向が正
のときは、指定した読出しテーブルメモリ先頭アドレス
をアドレスカウンタ１０２にセットし、ステージ移動方
向が負のときは、最終アドレスをアドレスカウンタの初
期値としてセットする。またアドレスカウンタの更新は
、ステージ移動方向が正ならば順次増加させ、ステージ
移動方向が負ならば順次減少させる。

さて、パターンメモリ続出アドレステーブルメモリ１０
１は、アドレスカウンタ１０２によってアドレス指定さ
れることにより、前述した４種類のデータが読出される
。このうち、パターンメモリ先頭アドレス及びパターン
メモリ最終アドレスは、それぞれ選択回路１０４，１０
５へ送られる。

またパターンメモリ読出方向データも、ステージ移動方
向と排他的論理和をとった後、選択回路１０４．１０５
へ制御信号として送られる。ステージ移動方向、パター
ンメモリ読出方向が共に正または負のときは、選択回路
１０４ではパターンメモリ最終アドレスが出力され、選
択回路１０５ではパターンメモリ先頭アドレスが出力さ
れる。

また、ステージ移動方向及びパターンメモリ読出方向が
上記以外の条件の場合、選択回路１０４゜１０５では、
それぞれ上記と反対のアドレスが選択される。

ステージ移動方向、パターンメモリ読出方向が共に正の
場合について説明する。選択回路１０５では、前述した
ようにパターンメモリ先頭アドレスが出力され、アドレ
スカウンタ１０６の初期値として設定される。またこの
ときのアドレスカウンタの更新方向は選択回路１０４の
制御信号によって決定され、ライン同期信号８１６２に
同期して逐次増加する。さらに、アドレスカウンタ１０
６の開始及び初期設定は、検査開始信号Ｓ１５と一致回
路１０７の出力信号８１０７とを論理和した信号に基づ
いて実行される。したがって、検査開始信号Ｓ１５が立
上がるタイミングで、パターンメモリ読出開始テーブル
メモリ１０１に格納しであるパターンメモリ先頭アドレ
スを初期値としてアドレスカウンタ１０６にセットし、
以後ライン同期信号８１６２に同期して逐次増加出力さ
れることとなる。このようにして、ラインセンサのライ
ン画素数単位にアドレス付けされている層別パターンメ
モリへの指定アドレスを得ることができる。

一方、ステージ移動方向、パターンメモリ読出方向が共
に正のとき１選択回路１０４からは、パターンメモリ最
終アドレスが出力され、−数回路１０７へ送られる。−
数回路１０７では、このパターンメモリ最終アドレスと
アドレスカウンタ１０６のカウンタ出力データとが一致
したとき。

すなわち、パターンメモリ指定アドレス５１３１がパタ
ーンメモリ最終アドレスに一致する迄更新したとき、ワ
ンショットパルスを出力し、クロヅク信号としてアドレ
スカウンタ１０２へ送られる。

アドレスカウンタ１０２では、この信号を受けてそのカ
ウンタデータを更新し、パターンメモリ読出しテーブル
メモリ１０１の読出しアドレスを変更するとともに、前
述したパターンメモリ指定アドレスの発生動作を繰り返
す。但し、アドレスカウンタ１０６の再開始及び初期設
定については、今度は一致回路１０７の出力信号５１０
７に基づいて行う０次に、パターンメモリ読出しテーブ
ルメモリ内のパターン読出方向が逆の場合について説明
する。このとき、アドレスカウンタ１０６の初期値には
、パターンメモリ最終アドレスが設定され、パターンメ
モリ指定アドレス５１３１は。

パターンメモリ最終アドレスを逐次減少していくデータ
となる。一方、パターンメモリ読出しテーブルメモリ内
のクロック停止データは、クロック停止信号５１３２と
して読み出され、同期信号発生回路へ送られる。

以上によって、第１図におけるパターンデータ読出し回
路１３の動作を説明した。

さて、読出し回路１３の使用例として、第５図に示した
２層パターンのうちＡ層を読出す場合について説明する
。このとき、第１０図でのパターンメモリ読出しテーブ
ルメモリ１０１には以下のデータを設定する。まずテー
ブルメモリ１０１の先頭アドレスの内容として、層別パ
ターンメモリに格納した第６図における部分パターン（
ａ）。

（ｂ）のうち１部分パターン（ａ）の先頭、終了アドレ
スを格納するとともに、クロック停止は行わず、パター
ン読出方向をアドレス増加方向によるように指定する。

読出テーブルメモリのこれに続くアドレスの内容として
４よ、今度は第６図における部分パターン（ｂ）の先頭
、終了アドレスを格納する。

さらに、続出テーブルメモリの次のアドレスには、再び
第６図における部分パターン（ａ）の先頭、終了アドレ
スを格納する。ただし、このときのパターン読出方向は
、アドレス減少方向になるように指定する。パターンメ
モリ続出テーブルメモリにおいて、以上の３つの連続し
たアドレスを順次読出すことによって、第５図に示した
繰返しパターン（ａ）が読み出されることになる。第５
図（ｂ）。

（Ｃン、（Ｑ）、（ｆ）は、繰返しパターン（ａ）と全
く同一・のパターンであり、前述した繰返しパターン（
ａ）を読み出す場合と同じ要領で読出すことができる。

これに対して、第５図（ｄ）の領域には繰返しパターン
が存在しないためこの領域では、欠陥の検出ができない
。このためパターンメモリ読出テーブルメモリにおいて
、パターンメモリ先頭アドレス、終了アドレスとしてこ
の領域に相当する範囲を指定し、かつクロック停止を指
定する。こうすることによって、パターンデータが（ｄ
）の領域を読出している間、欠陥検出動作は停止する。

したがって、第５図の（ａ）から（ｆ）に至る検査では
、あたかも領域（ｄ）が存在しなかった如く連続した検
査が実現できる。以上は、第５図におけるＡ層の読出し
方法について述べたが、Ｂ層についでもＡ層を読出す場
合と全く同じ回路によって実現できる。とくに、ＡＭ、
Ｂ層とで、パターンメモリ読出しテーブルメモリの内容
を一致するように設定すれば、パターン読出回路を共用
することができる。以上の考え方は、Ｊｉｉ／パターン
が３Ｍ１以上の場合にも拡張できることは明らかである
。

次に、このようにして得られた層別パターンデす一夕をさらに１部分領域に分割たるための第１図に示し
た領域分割回路１４を、第１１図を用いて説明する。一
般に、欠陥の致命度を見極めるためには、欠陥の大きさ
、欠陥の存在層の他に、断線、欠け、ショート、突起な
どのように層パターンの境界部に関わる欠陥であるか、
ピンホールなどのように層パターンの内部に存在する欠
陥であるがを識別することが重要となる。第１１図では
、層別パターンメモリー２からのＡｊｌ、Ｂ層、Ｃ１４
３種類の層別パターン発生データを入力データとして、
Ａ層内部、Ａ層境界部、Ａ層外Ｂ層内部、Ａ層内Ｂ層境
界部、Ａ層外Ｂ層境界部、Ａ層内Ｃ層境界部の６種類の
部分領域データを生成する。すなわち、層別パターンメ
モリからは、同期信号８１６３に同期して、層別のパタ
ーンデータが並列に出力され、エツジ検出回路１４１，
１４２゜１４３へそれぞれ送られる６各工ツジ検出回路
の前段には、１ラインシフトレジスタと１画素シフトレ
ジスタを配し、３Ｘ３画素の局所領域信号を生成する。

さらに、局所領域内の中心画素の値が１１′でかつその
周辺８画素のうち少なくとも１つの画素が′０′の場合
についてのみその中心画素の値を′１′、他の場合を′
０′とする処理を行うにのようにして、パターンデータ
のエツジデータを生成する。さらに、これらの層別のエ
ツジデータとエツジ検出回路を介さない層別パターンデ
ータとの間で論理演算することによって前述した６種類
の部分領域データを得る。これらの部分領域データは、
先に詳述した第１図における欠陥特徴抽出回路１０へ送
られる。

以上の説明によって、本発明が具体的に実施可能である
ことは明示された。

本実施例においては、遅れ回路をもつ２パタ一ン比較方
式を説明したが、本発明の内容は、いったん基準パター
ンを記憶し、入カバターンと基準パターンとを比較する
方式にも適用可能である。

次に、もう一つ別の実施例を説明する。本実施例は第３
図の例に対応するものである。第１２図は、本発明を用
いたパターン全体構成図である。

第１図に示した回路と同一のものは、同一符号が付しで
ある。比較回路９の入力データの一方を。

濃淡メモリ１８の出力データとすることが、第１の実施
例と異なる。すなわち１本実施例では、層別パターンメ
モリ１２に格納したデータと、ラインセンサ６を介して
入力した被検査パターンの映像データとを直接比較する
。

以下、この比較方法について説明する。層別パターンメ
モリ１２からパターンデータを発生する方法は、第１の
実施例と全く同様である。パターンメモリ１２から並列
して出力されるＡ層、Ｂ層。

０層の３層分のパターンデータは領域分割回路１４′に
転送される。領域分割回路１４’では、第１３図に示し
たように１例えばＡ層パターンデータに対しては、Ａ層
内部領域を１′、それ以外の領域を０′とする２値信号
５１４１’　、及びＡ層境界部領域′１′、それ以外の
領域をＯ′とする２値信号５Ｌ４２’の２つの２値信号
を得る。したがって３層分のパターンデータに対しては
、計６本の２値信号が出力される。これらの６本の２値
信号は、第１２図における濃淡メモリ１８のアドレスデ
ータとして使用される６′ａ淡メモリ１８には、第１４
図に示したように、パターン部分領域の明るさデータを
格納しておく。すなわち、例えば、層パターンの注目画
素がＡＦｊパターン外部でかつＢ層パターン外部でかつ
Ｃ層パターン外部に位置するとき、領域分割回路１４′
からの６本の２値信号はすべて（０１の値を示し、濃淡
メモリ１８に対しては、第０番地を指定する。

濃淡メモリ１８の第０番地には、Ａ層領域であすかつ８
層領域であり、かつＣ層領域である部分領域に対する明
るさが格納されており、この値が読み出される。このよ
うにして、被検査パターンに対応した濃淡パターンを合
成することができる。

以上の方法によって合成した濃淡データＳ１８とライン
センサを介して実際に入力した被検査パターン映像デー
タＳ７とを比較回路９にて比較する。

比較回路９では、互いに比較する２つのパターンデータ
を、対応する画素ごとに差分した後、絶対変換処理、２
値化処理を施し、欠陥領域を１′とする′欠陥′パター
ンデータを得る。

これらの実施例の変形として、特定の部分領域をマスク
領域にして、この領域での欠陥検出を無視することが可
能である。これは、パターン境界部分のように、明かる
さの変動が大きく、濃淡データを簡単に割当てることが
できない場合に有効な方法である。具体的な実現方法と
しては、領域分割回路で得られた複数の部分領域信号の
うちの特定のいくつかの信号を論理和した信号、または
、領域分割回路で得られた部分領域信号をデコードした
信号のうちの特定のいくつかの信号を論理和した信号を
、′欠陥′パターンのマスク信号として使用することに
よって実現できる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、参照するパターンデータとして、パタ
ーンを構成する複数種類の単位パターンのみを記憶すれ
ばよいため、検査装置の小型化が計られる。とくに、記
憶したパターンデータの鏡像データが読出せるため、記
憶するパターンデータをさらに少なくすることができる
。さらに、パターンデータの参照機能をもった検査を、
実時間で行うことが可能であり、高速で高精能のパター
ン検査が実現できる。また、実時間検査動作の一時的な
停止が実現可能なため、パターン中に、特殊なパターン
が含まれていても、連続した検査が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す全体構成図、第２図は従
来技術の説明図、第３図及び第４図は本発明の概要を示
す説明図、第５図は被検査パターン例、第６図は第５図
のパターンの単位パターン、第７図は起動制御回路の詳
細説明図、第８図は同期信号発明の詳細説明図、第９図
は欠陥特徴抽出回路の詳細説明図、第１０図は続出回路
の詳細説明図、第１１図は領域分割回路の詳細説明図、
第１２図は本発明の他の実施例を示す全体構成図、第１
３図は第１２図の実施例に用いる領域分割回路の詳細説
明図で、第１４図は濃淡メモリの詳細な説明図である。１・・・被検査パターン、２・・移動台、３・・・位置
検出器、４・・・移動台制御回路、５・・・照明器、６
・・・ラインセンサ、７・・・Ａ／Ｄ変換器、８・・・
遅れ回路、９・・・比較回路、１０・・・・・・欠陥特
徴抽出回路、１２・・・層別パターンメモリ、１３・・
・読出回路、１４・・・領域分割回路、１５・・・起動
制御回路、１６・・・同期信号発明第２図第３図頁　４　図扁５図Ｕ冨　６　図（＾）　　　　（ｂ）　　　　＜（１）ｖ　　７　図ン ■　３　図篤　１０　図ハ書ターンメとリシεｔｈ（テーノ′ルメＬす■１１図第１２図

Claims

【特許請求の範囲】１、複数種類の単位パターンから構成されるパターンの
検査において、検査すべきパターンに対する標準パター
ンの構成要素となる複数種類の単位パターン及び該単位
パターンの接続情報を記憶し、該接続情報に基づいて再
構成して該標準パターンを得、該標準パターンと、被検
査パターンを比較することを特徴とするパターン検査方
法。２、複数の層からなる被検査パターンに対して、単位パ
ターンデータを層別に記憶することを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のパターン検査方法。