JPS6254779A

JPS6254779A - 感圧接着性シート

Info

Publication number: JPS6254779A
Application number: JP19654585A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kuroda; 黒田　秀雄; Masao Taniguchi; 谷口　正雄
Original assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Current assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Priority date: 1985-09-04
Filing date: 1985-09-04
Publication date: 1987-03-10
Anticipated expiration: 2009-07-27
Also published as: JPH0655929B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は感圧接着剤組成物及び感圧接着性シートに関し
、詳しくは、紫外線照射によって接着力を低減させるこ
とができる感圧接着剤組成物及び感圧接着性シートに関
する。

（従来の技術）一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧
接着性シート又は粘着シートは、一般家庭及び産業にお
いて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着性
シートの要求特性が多様且つ多岐にわたり、用途に応じ
て種々の機能性が要求されるに至っている。

例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウェハーを
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なってダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフィルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウェハーを載置し、ダ
イシングフィルム上に感圧接着固定し、裁断した後、こ
れをダイシングフィルムからピックアップ、即ち、剥離
して取り上げる。従って、シリコンウェハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシングフ
ィルムがシリコンウェハーに対して強い接着力を有し、
一方、得られたダイスをダイシングフィルムからピック
アップするに際しては、ダイシングフィルムはその接着
力が弱いことが必要である。何ら制限されるものではな
いが、例えば、シリコンウェハーのダイシングに際して
は、ダイシングフィルムは１（１０）〜８（１０）ｇ／
２５鶴程度の接着力を有し、一方、ダイスのピックアッ
プに際しては、ダイシングフィルムは数十ｇ　／　２５
　ｍｍ程度又はこれ以下の接着力を有することが望まし
いといわれている。

しかし、このように、被着面に適用後に、必要に応じて
、その接着力を低減させ得る感圧接着剤組成物及びかか
る特性を備えた感圧接着性シートは、未だ知られていな
い。

他方、例えば、一般に接着剤の分野において、光重合性
オリゴマー、光重合性モノマー、光重合開始剤及びその
他の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られて
おり、これは無溶剤型、−浅型の接着剤であり、速硬化
性であって、加熱を要しない等の点ですぐれているが、
この接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に
所要の接着力を発現させるために行なわれる。

（発明の目的）本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減し得る感圧接着剤を得るために鋭意研
究した結果、予期しないことに、弾性重合体と紫外線架
橋性アクリル酸エステルとを主成分として含有する混合
物からなる感圧接着剤組成物が、これに紫外線を照射す
るとき、その接着力が著しく低減することを見出した。

本発明者らは、更に研究した結果、かかる感圧接着剤組
成物に更にポリイソシアネートと無水シリカ粉末とを成
分として含有さすてなる感圧接着剤組成物は、これに紫
外線を照射するとき、接着力が一層顕著に低減し、又は
実質的に消滅することを見出して、本発明に至ったもの
である。

従って、本発明は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができる感圧接着剤及び感圧接
着性シートを提供することを目的とする。

（発明の構成）本発明の紫外線照射によって接着力を低減し得る感圧接
着剤は、弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステル
と重合開始剤とポリイソシアネートと無水シリカ粉末と
を主成分として含有することを特徴とし、また、本発明
による感圧接着性シートは、紫外線を透過させ得る基材
樹脂シート上に、弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸
エステルと重合開始剤とポリイソシアネートと無水シリ
力粉末とを主成分として含有する感圧接着剤の層が形成
されていることを特徴とする。

従来、種々の感圧接着剤組成物が、例えば「接着ハンド
ブック（第２版）」（日本接着協会編集、日刊工業新聞
社発行、１９８０年）第３９８〜４１４頁に記載されて
いるように知られているが、代表的な感圧接着剤組成物
は弾性重合体を主成分とし、これに相溶性の良好な粘着
付与剤や可塑剤、更には、必要に応じて充填剤、老化防
止剤、着色剤等を均一に混合してなる混合物である。本
発明においては、かかる弾性重合体として、特に、飽和
共重合ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステル及び
アクリル酸エステルの共重合体を好ましく用いることが
できる。

先ず、飽和共重合ポリエステル樹脂は、例えば、「工業
材料」第２５巻第１１号第１０１〜１０６頁に記載され
ているように、通常、異なる２種以上の飽和２価カルボ
ン酸と飽和２価アルコールとを重縮合させて得られるガ
ラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通常、
飽和２価カルボン酸として、芳香族２価カルボン酸と脂
肪族２価カルボン酸とが併用され、飽和２価アルコール
として脂肪族又は脂環式２価アルコール、即ち、グリコ
ールが用いられる。特に、本発明においては、芳香族２
価カルボン酸／脂肪族２価カルボン酸モル比が８０／２
０乃至２０／８０、好ましくは７０／３０乃至５０１５
０である飽和２価カルボン酸混合物とグリコールとを等
モルにて重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステル
樹脂が好ましく用いられる。本発明においては、芳香族
２価カルボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カルボ
ン酸としてセバシン酸、アジピン酸、グリコールとして
エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、プロピ
レングリコール等を用いて得られる飽和共重合ポリエス
テル樹脂が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、飽
和共重合ポリエステル樹脂の製造においては、カルボン
酸成分として３価以上の飽和多価カルボン酸や、３価以
上の多価アルコールが一部併用されてもよい。

また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸の共重合
体としては、従来よりアクリル系粘着剤として知られて
いる粘着剤において、主成分である弾性重合体として用
いられている任意のものを含む。アクリル系粘着剤にお
いて弾性重合体として用いられている重合体は、通常、
実質的にアクリル酸エステル共重合体である。この共重
合体は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス転
移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチル、アク
リル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシル等のア
クリル酸アルキルエステルを生モノマーとし、凝集性を
有せしめるために高いガラス転移点を有する硬い重合体
を形成するコモノマー、例えば、酢酸ビニル、アクリロ
ニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸
メチル等、及び架橋性や接着性の改良のためにカルボン
酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキシル
メチル基等の官能基を有する単量体、例えば、アクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシルエチルメ
タクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリレート、
アクリルアミド、グリシジルメタクリレート等のモノマ
ーを共重合させてなる共重合体である。

本発明による紫外線架橋性アクリル酸エステルは、紫外
線の照射によって架橋するオリゴマー又はモノマーとし
てのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルをい
い、分子内に少なくとも２つのアクリロイル基又はメタ
クリロイル基を有する。具体的には、かかるオリゴマー
としては、例えばオリゴエステルアクリレート等を、ま
た、七ツマ−としては、例えば、１，６−ヘキサンジオ
ールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート
、ジペンタエリスリトールへキサアクリレート等の多価
アルコールとアクリル酸のエステル、或いは１，６−ヘ
キサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパ
ントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテトラ
メタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタク
リレート等の多価アルコールとメタクリル酸のエステル
等を挙げることができる。

本発明による感圧接着剤組成物は、前記弾性重合体１（
１０）重量部について、上記紫外線架橋性アクリル酸エ
ステルを１５〜２（１０）重量部、好ましくは５０〜１
５０重量部の範囲にて含有する。弾性重合体１（１０）
重量部について、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
が１５重量部よりも少ないときは、得られる接着剤組成
物に紫外線を照射しても、その接着力が実質的に変化せ
ず、一方、２（１０）重量部を越えるときは、紫外線照
射によって、その接着力を低減させることはできるが、
例えば、シリコンウェハーのダイシング後のダイスのピ
ックアップ時に、ダイスに接着剤が残留することがあり
、好ましくないからである。

本発明による感圧接着剤組成物は、好ましくは、更に粘
着付与剤を含有する。特に、用いる弾性重合体が飽和共
重合ポリエステル樹脂である場合は、この粘着付与剤を
併用することが好ましい。用い得る粘着付与剤は特に制
限されず、従来より一般に粘着剤の製造において用いら
れているものが適宜に用いられる。このような粘着付与
剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや重合ロジン
、水添ロジン、ロジンエステル等の変性ロジン系樹脂、
テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、ロジンフェノ
ール樹脂等のテルペン系樹脂、脂肪族系、芳香族系及び
脂環式系石油樹脂、クマロン樹脂、スチレン系樹脂、ア
ルキルフェノール樹脂等を挙げることができる。粘着付
与剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂１（１０）重量部
について、通常、１０〜２（１０）重量部の範囲で用い
られる。

粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、接着力又は
粘着力が不十分であり、他方、多すぎるときは、得られ
る接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着力の低下幅
が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイシングフィ
ルムに適用した場合、シリコンウェハーのダイシング後
のダイスのピックアップ時に、ダイスに粘着付与剤が残
留することがあり好ましくないからである。

本発明による感圧接着剤組成物は、更に重合開始剤又は
光増感剤を含有し、必要に応じて重合禁止剤を含有する
。重合開始剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
の紫外線照射による架橋を促進するために用いられる。

このような重合開始剤は、一般に、紫外線架橋重合の技
術分野においてよく知られており、本発明においては、
従来より一般に知られている重合開始剤を用いることが
できる。かかる重合開始剤の具体例として、例えば、ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエー
テル等のベンゾインアルキルエーテル類や、ベンゾイン
、ベンジル、ベンゾフェノン等の芳香族オキシケトン類
や芳香族ケトン類を挙げることができるが、これらに限
定されるものではない。

熱重合禁止剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
が紫外線照射によらず、例えば、熱によって重合するこ
とを防止するために、必要に応じて添加されるもので、
かかる重合禁止剤としても、従来より知られている通常
の重合禁止剤を用いることができる。このような重合禁
止剤としては、例えば、ピクリン酸、フェノール、ハイ
ドロキノン、ハイトルキノンモノメチルエーテル等を用
いることができる。

上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、紫外線架橋
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、例えば、重合開始剤は、前記紫外線架橋性
アクリル酸エステル１（１０）重量部について１〜２０
重量部、重合禁止剤は必要に応じて０．１〜１重量部の
範囲で用いられる。

本発明による感圧接着剤組成物は、更に、弾性重合体１
（１０）重量部について、ポリイソシアネート１〜１（
１０）重量部と無水シリカ粉末１〜３０重量部とを含有
する。

本発明者らは、既に弾性重合体と紫外線架橋性アクリル
酸エステルと重合開始剤とを主成分とする感圧接着剤組
成物にポリイソシアネート又は無水シリカをそれぞれ単
独で配合しても、これに紫外線を照射するとき、その接
着力が著しく低下することを見出しているが、上記感圧
接着剤組成物にポリイソシアネートと無水シリカ粉末と
を併用して添加するとき、ポリイソシアネートと無水シ
リカ粉末との相乗的効果によって、それぞれを単独にて
配合する場合に比較して、紫外線照射後の接着力の低下
が一層顕著となることを見出したものである。明確な理
由は未だ明らかでなく、また、本発明は理由によって何
ら制約を受けるものではないが、ポリイソシアネートの
存在による感圧接着剤組成物の紫外線照射後の接着力の
大幅な低下は、ポリイソシアネートと弾性重合体め有す
る官能基、例えば、飽和共重合ポリエステル樹脂の場合
であれば、カルボキシル基又は水酸基、との反応が関係
しているものとみられる。

しかし、ポリイソシアネートの配合量が弾性重合体１（
１０）重量部について、１重量部よりも少ないときは、
紫外線照射後の接着力の低下効果が十分でなく、他方、
１（１０）重量部よりも多いときは、得られる感圧接着
剤組成物の紫外線照射前の接着力が経時的に低下する。

特に好ましい配合量の範囲は、弾性重合体１（１０）重
量部について、１〜５０重量部であり、特に好ましくは
１〜２０重量部の範囲である。

上記ポリイソシアネートとしては、特に限定されるもの
ではないが、本発明においては、ジイソシアネート及び
トリイソシアネートが好適である。

ジイソシアネートとしては、例えば、２．４−　）ルエ
ンジイソシアネート、ｍ−フェニレンジイソシアネート
、ｍ−キシリレンジイソシアネート、４．４゛−ジフェ
ニルジイソシアネート、４，４°−ジフェニルメタンジ
イソシアネート、１．５−ナフタレンジイソシアネート
、イソホロンジイソシアネート、ジアニシジンジイソシ
アネートへキシリレンジイソシアネート等を例示するこ
とができる。また、トリイソシアネートも種々のものが
市販されており、例えば、住友化学工業−より「スミジ
ュールし」として市販されているトリメチロールプロパ
ントルエンジイソシアネートは、本発明において、ポリ
イソシアネートとして好適に用いることができるトリイ
ソシアネートの一例である。

また、ジイソシアネートとポリオールとをジイソシアネ
ートの過剰量の存在下に反応させて得られる末端イソシ
アネートの所謂ウレタンプレポリマーもポリイソシアネ
ートとして用いることができる。

゛また、感圧接着剤組成物における無水シリカの配合量
は、弾性重合体１（１０）重量部について１〜３０重量
部の範囲である。しかし、その配合量が弾性重合体１（
１０）重量部について、１重量部よりも少ないときは、
紫外線照射後の接着力の低下効果に乏しく、他方、３０
重量部よりも多いときは、得られる感圧接着剤組成物が
著しく増粘してゲル状となり、例えば、塗布操作が困難
となる。好ましい配合量の範囲は弾性重合体１（１０）
重量部について１〜２０重量部の範囲であり、特に好ま
しくは１〜１５重量部の範囲である。

上記無水シリカ粉末としては、特に限定されるものでは
ないが、本発明においては、微粒子であることが好まし
く、従って、例えば、デグツサ社による「アエロジル」
を好ましく用いることができる。

本発明による感圧接着剤組成物は、上記した配合量にて
弾性重合体、紫外線架橋性アクリル酸エステル、重合開
始剤、ポリイソシアネート及び無水シリカ粉末を、必要
に応じて粘着付与剤、重合禁止剤、充填剤、老化防止剤
、着色剤等と共に、無水シリカ粉末を除く有機成分を溶
解する適宜の有機溶剤、例えば、芳香族炭化水素、ケト
ン類、又はこれらの混合物に溶解し、無水シリカ粉末を
分散させることによって、均一な液状組成物として得る
ことができる。溶剤としては、例えば、具体的にはトル
エンとメチルエチルケトンとの混合溶剤が好ましく用い
られるが、しかし、これに限定されるものではない、ま
た、接着剤組成物における弾性重合体の含有量は、用途
等に応じて適宜に選ばれるが、通常、１０〜５０重量％
の範囲である。しかし、これに限定されるものではない
。

上記のような感圧接着剤組成物の調製方法は、何ら制限
されるものではないが、通常、弾性重合体及び粘着付与
剤は溶液の形態にて市販されており、これらを使用する
ことが便利であるので、例えば、これらの溶液を混合し
、これに紫外線架橋性アクリル酸エステル、重合開始剤
、ポリイソシアネート及び無水シリカ粉末、更に必要に
応じて重合禁止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤等を添
加し、均一に混合すればよい。

更に、本発明による感圧接着剤組成物は、必要に応じて
、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポリブテン、鉱油
、ラノリン等の可塑剤や、また、充填剤、老化防止剤等
を適宜に含有していてもよい。

本発明による感圧接着性シートは、紫外線を透過させ得
る基材シート上に上記したような感圧接着剤組成物の層
が形成されている。従って、例えば、上述したような液
状組成物としての感圧性接着剤組成物を基材シート上に
塗布し、乾燥することによって得ることができる。

上記基材シートとしては、紫外線を透過し得る限りは、
特に制限されることなく、種々のシートを用いることが
できるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが
用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−塩
化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリオレフィン、ア
セチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアミド
、ポリエステル、ポリカーボネート等からなる樹脂シー
トが好適に用−いられる。

上記した種々の基材樹脂シートのなかでも、可塑剤を含
有するポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの共重合体からな
る樹脂シートは、柔軟であり、更に、廉価でもあるので
、本発明において特に好適に用いることができる。また
、塩化ビニル樹脂シート以外にも、可塑剤を含有する基
材シートとして、好適に用いる得るものもある。例えば
、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニ
ル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル−アクリル酸
エステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン、アセチル
セルロース等を挙げることができる。

ここに、可塑剤としては、特に制限されるものではない
が、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト、ジデシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブ
チルベンジルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリ
クレジルホスフェート、トリオクチルホスフェート、ト
リフェニルホスフェート、２−エチルヘキシルジフェニ
ルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート等の
リン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオクチルセ
バケート、ジオクチルアゼレート、アセチルクエン酸ト
リー２−エチルヘキシル等の脂肪酸ジエステル、ポリプ
ロピレンアジペート、ポリプロピレンセバケート等のポ
リエステル系可塑剤、エポキシ化大豆油等のエポキシ系
可塑剤、塩素化パラフィン、塩素化脂肪酸エステル等の
塩素系可塑剤等を挙げることができる。

しかしながら、このように、感圧接着性シートの基材樹
脂シートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる
場合は、この樹脂シートから可塑剤が感圧接着剤組成物
中に移行し、また、通常、可塑剤と紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルとは相溶性がよいために、感圧接着剤組成
物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸エステルが樹脂シ
ート中に移行し、このような相互移行によって、感圧接
着性シートの紫外線照射後の接着力の低減効果が著しく
減少する。

従って、本発明においては、感圧接着性シートの基材シ
ートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる場合
は、この基材シートと感圧接着性シートとの間に可塑剤
及び紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過させない樹
脂層からなるバリヤー層を介在させることが好ましい。

但し、このバリヤー層は、紫外線の透過を妨げるもので
あってはならない。

即ち、このバリヤー層は、紫外線の透過は何ら妨げない
が、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接着剤
組成物中に移行するのを阻止すると共に、感圧接着剤組
成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エステルが
基材樹脂シートに移行するのを阻止し、このようにして
、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基材中に
保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外線架橋性
アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持して、感圧
接着性シートの紫外線照射による接着力の経時的な低下
を防止する。

前記バリヤー層としては、ポリエチレン、ボリプロピレ
ン等のポリ−α−オレフィン、ポリエチレンテレフタレ
ート等のポリアルキレンテレフタレートのフィルムや、
樹脂塗膜、例えば、変性ポリアクリル樹脂等の樹脂塗膜
層が好適に用いられる。従って、バリヤー層は、基材樹
脂シート上に前記例示した樹脂からなるフィルムを圧着
し、゛又はこの樹脂の溶融液を塗布して冷却し、若しく
は上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによって、形
成することができる。また、例えば、変性ポリアクリル
樹脂溶液を塗布し、必要に応じて加熱乾燥させて、塗膜
を形成させることによっても、バリヤー層を得ることが
できる。

上記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、種々のもの
が知られているが、本発明においては、一般に、耐溶剤
性にすぐれ、従って、紫外線架橋性アクリル酸エステル
や基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しない
アルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアクリ
ル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂としては
、例えば、酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型等が
好適に用いられる。

しか輸、本発明においては、バリヤー層は、前述したよ
うに、感圧接着剤組成物に含まれる紫外線架橋性アクリ
ル酸エステル及び基材樹脂シ４−トに含まれる可塑剤を
実質的に透過させない限りは、特に、その素材において
制限されるものではないことは容易に理解されるところ
であって、本発明において用いられる個々の具体的な紫
外線架橋性アクリル酸エステル及び可塑剤に応じて選択
される。

本発明による感圧接着剤組成物又は・感圧接着シートへ
の紫外線の照射手段及び照射方法は特に制限されず、紫
外線硬化性樹脂塗料や紫外線硬化性接着剤の技術分野に
おいて、従来より通常に行なわれている手段及び方法に
よることができる。例えば、照射手段として、キセノン
ランプ、低圧、中圧、高圧或いは超高圧水銀灯灯のよう
な紫外線源を使用し、数秒乃至数分、照射すればよい。

（発明の効果）以上のように、本発明による感圧接着性シートは、紫外
線を透過させ得る基材樹脂シート上に弾性重合体と紫外
線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤とポリイソシ
アネートと無水シリカ粉末を主成分として含有する感圧
接着剤の層が形成されており、ここに、上記感圧接着剤
組成物は、その理由は必ずしも明らかではないが、紫外
線の照射によってその接着力が著しく低減し、又は実質
的に消滅するので、かかる感圧接着性シートを被着面に
適用した後、上記基材樹脂シート側から紫外線を照射す
ることによって、この感圧接着性シートを被着面から容
易に剥離することができる。

従って、本発明による感圧接着性シートは、例えば、前
述したように、シリコンウェハーのダイシング用フィル
ムとして好適に用いることができる。

（実施例）以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定さ
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。

実施例１離型紙上に第１表に示す配合の感圧接着剤を塗布し、１
２０℃で１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として
１０μｍ厚みに形成した。

ここに、飽和共重合ポリエステル樹脂としては、テレフ
タル酸／セバシン酸モル比７０／３０の飽和２価カルボ
ン酸混合物とエチレングリコールとを等モルにて重縮合
させて得られるガラス転移魚釣１０℃の樹脂を用いた。

次に、平均重合度１３（１０）のポリ塩化ビニル１（１
０）部、可塑剤としてジオクチルフタレート又はポリエ
ステル系可塑剤３５部及び適宜量の安定剤からなる塩化
ビニル樹脂組成物から成形した厚み０、１　ｍのシート
上に、変性アクリル樹脂溶液を塗布し、乾燥して、バリ
ヤー層を形成した。この後、この基材樹脂シートのバリ
ヤー層の表面に上記感圧接着剤層を重ねて貼り合わせて
、本発明による感圧接着性シートを得た。

このようにして得たそれぞれの感圧接着性シートを所定
の温度で所定の時間放置した後、離型紙を剥離して、そ
のままにて接着力を測定し、また、別に塩化ビニル樹脂
シート側から主波長３６５ｍμ、１２０Ｗ／ｃｍにて紫
外線を７秒間照射した後、接着力を測定した。結果を第
１表に示す。

本発明の感圧接着性シートによれば、長期間後も紫外線
照射による接着力の低下が特に顕著であり、適当な配合
設計によって、当初数百ｇ／２５■の接着力を有せしめ
、紫外線照射後は数十ｇ／２５ｆｌ程度にまで接着力を
減少させ、又は実質的に消滅させることができるので、
前述したように、シリコンウェハーのダイシングに好適
に用いることができる。

尚、接着力の測定方法は次のとおりである。即ち、感圧
接着性シートを幅２５ｆｌ、長さ１０．０ｍｍに裁断し
て試験片とし、これを被着体としてのステンレス板上に
重ね、３　ｋｇローラにて５回往復して押圧した後、シ
ョツパーにて引張速度３（１０）ｎ＋／分にて１８０°
剥離試験を行なった。

比較例１比較のために、ポリイソシアネート及び無水シリカ粉末
の一方を含有しないほかは、実施例１と同じ組成の感圧
接着剤組成物の代表例を調製し、実施例１と同様にして
感圧接着性シートを調製した。

これら感圧接着性シートによれば、前記実施例による感
圧接着性シートに比較して、紫外線照射前の接着力に対
する紫外線照射後のそれの低下幅が小さい。

更に、比較のために、ポリイソシアネート及び無水シリ
カのいずれをも含有しない感圧接着剤組成物を調製し、
実施例１と同様にして感圧接着性シートを調製した。こ
れら感圧接着性シートは、紫外線照射によっても、その
接着力が実質的に変化しないことが明らかである。

実施例２弾性重合体として・ポリアクリル酸エステル又はアクリ
ル酸エステルの共重合体を含むアクリル系粘着剤溶液（
三洋化成工業■製ポリシック６１０Ｓ＾、ポリアクリル
酸エステル又はアクリル酸エステル共重合体含有量約４
０重量％＞　　ｉｏｏ重量部に第２表に示す量にてジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレート及びベンゾイン
イソプロピルエーテルを溶解し、更に、実施例１におい
て用いたのと同じポリイソシアネートを添加混合して、
感圧接着剤組成物を調製した。

この感圧接着剤組成物を離型紙上に塗布し、１２０℃で
１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として１０μｍ
厚みに形成した。

次に、実施例１におけると同じ厚み０．１　ｎのシート
上に実施例１と同じ変性アクリル樹脂溶液を塗布し、乾
燥して、バリヤー層を形成した後、この基材樹脂シート
のバリヤー層の表面に上記感圧接着剤層を重ねて貼り合
わせて、本発明による感圧接着性シートを得た。

このようにして得た感圧接着性シートについて、実施例
１と同様にして、紫外線照射後の接着力を測定した。結
果を第２表に示す。

比較例２比較のために、ポリイソシアネート及び無水シリカ粉末
の一方を含有しないほかは、実施例２と同じ組成の感圧
接着剤組成物の代表例を調製し、実施例１と同様にして
感圧接着性シートを調製した。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと
重合開始剤とポリイソシアネートと無水シリカ粉末とを
主成分として含有することを特徴とする紫外線照射によ
つて接着力を低減し得る感圧接着剤組成物。
（２）弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感圧接着
剤組成物。
（３）弾性重合体がポリアクリル酸エステル又はアクリ
ル酸エステルの共重合体であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の感圧接着剤組成物。
（４）感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の感圧接着剤組成物。
（５）紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上に、弾性
重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤
とポリイソシアネートと無水シリカ粉末とを主成分とし
て含有する感圧接着剤の層が形成されていることを特徴
とする紫外線照射によつて接着力を低減し得る感圧接着
性シート。
（６）弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂である
ことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の感圧接着
性シート。
（７）弾性重合体がポリアクリル酸エステル又はアクリ
ル酸エステルの共重合体であることを特徴とする特許請
求の範囲第５項記載の感圧接着性シート。
（８）感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを特徴と
する特許請求の範囲第５項記載の感圧接着性シート。
（９）基材樹脂シートが可塑剤を含有し、この基材樹脂
シートと感圧接着剤組成物の層との間に上記可塑剤及び
紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過させないが、紫
外線を透過させ得る樹脂からなるバリヤー層が介在され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の感
圧接着性シート。
（１０）基材樹脂シートが可塑剤を含有するポリ塩化ビ
ニル又は塩化ビニルの共重合体からなるシートであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の感圧接着性
シート。