JPS6254777A - 感圧接着性シート - Google Patents
感圧接着性シートInfo
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- JPS6254777A JPS6254777A JP19654385A JP19654385A JPS6254777A JP S6254777 A JPS6254777 A JP S6254777A JP 19654385 A JP19654385 A JP 19654385A JP 19654385 A JP19654385 A JP 19654385A JP S6254777 A JPS6254777 A JP S6254777A
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- pressure
- sensitive adhesive
- ultraviolet
- elastic polymer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は感圧接着剤組成物及び感圧接着性シートに関し
、詳しくは、紫外線照射によって接着力を低減させるこ
とができる感圧接着剤組成物及び感圧接着性シートに関
する。
、詳しくは、紫外線照射によって接着力を低減させるこ
とができる感圧接着剤組成物及び感圧接着性シートに関
する。
(従来の技術)
一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧
接着性シート又は粘着シートは、一般家庭及び産業にお
いて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着性
シートの要求特性が多様且つ多岐にわたり、用途に応じ
て種々の機能性が要求されるに至っている。
接着性シート又は粘着シートは、一般家庭及び産業にお
いて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着性
シートの要求特性が多様且つ多岐にわたり、用途に応じ
て種々の機能性が要求されるに至っている。
例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウェハーを
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なってダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフィルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウェハーを、載置し、
ダイシングフィルム上に感圧接着固定し、裁断した後、
これをダイシングフィルムからピックアップ、即ち、剥
離して取り上げる。従って、シリコンウェハーを正確に
ダイシングするためには、ダイシング時にはダイシング
フィルムがシリコンウェハーに対して強い接着力を有し
、一方、得られたダイスをダイシングフィルムからピッ
クアップするに際しては、ダイジングフィルムはその接
着力が弱いことが必要である。何ら制限されるものでは
ないが、例えば、シリコンウェハーのダイシングに際し
ては、ダイシングフィルムは100〜500g/25鶴
程度の接着力を有し、一方、ダイスのピックアップに際
しては、ダイシングフィルムは約20〜50g/25龍
程度又はこれ以下の接着力を有することが望ましいとい
われている。
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なってダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフィルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウェハーを、載置し、
ダイシングフィルム上に感圧接着固定し、裁断した後、
これをダイシングフィルムからピックアップ、即ち、剥
離して取り上げる。従って、シリコンウェハーを正確に
ダイシングするためには、ダイシング時にはダイシング
フィルムがシリコンウェハーに対して強い接着力を有し
、一方、得られたダイスをダイシングフィルムからピッ
クアップするに際しては、ダイジングフィルムはその接
着力が弱いことが必要である。何ら制限されるものでは
ないが、例えば、シリコンウェハーのダイシングに際し
ては、ダイシングフィルムは100〜500g/25鶴
程度の接着力を有し、一方、ダイスのピックアップに際
しては、ダイシングフィルムは約20〜50g/25龍
程度又はこれ以下の接着力を有することが望ましいとい
われている。
しかし、このように、被着面に適用後に、必要に応じて
、その接着力を低減させ得る感圧接着剤組成物及びかか
る特性を備えた感圧接着性シートは、未だ知られていな
い。
、その接着力を低減させ得る感圧接着剤組成物及びかか
る特性を備えた感圧接着性シートは、未だ知られていな
い。
他方、例えば、一般に接着剤の分野において、光重合性
オリゴマー、光重合性モノマー、光重合開始剤及びその
他の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られて
おり、これは無溶剤型、−波型の接着剤であり、速硬化
性であって、加熱を要しない等の点ですぐれているが、
この接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に
所要の接着力を発現させるために行なわれる。
オリゴマー、光重合性モノマー、光重合開始剤及びその
他の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られて
おり、これは無溶剤型、−波型の接着剤であり、速硬化
性であって、加熱を要しない等の点ですぐれているが、
この接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に
所要の接着力を発現させるために行なわれる。
(発明の目的)
本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減し得る感圧接着剤を得るために鋭意研
究した結果、予期しないことに、弾性重合体と紫外線架
橋性アクリル酸エステルとを主成分として含有する混合
物からなる感圧接着剤組成物が、これに紫外線を照射す
るとき、その接着力が著しく低減することを見出した。
その接着力を低減し得る感圧接着剤を得るために鋭意研
究した結果、予期しないことに、弾性重合体と紫外線架
橋性アクリル酸エステルとを主成分として含有する混合
物からなる感圧接着剤組成物が、これに紫外線を照射す
るとき、その接着力が著しく低減することを見出した。
本発明者らは、更に研究した結果、かかる感圧接着剤組
成物に更に無水シリカ粉末を成分とじて含有させてなる
感圧接着剤組成物は、これに紫外線を照射するとき、接
着力が一層顕著に低減することを見出して、本発明に至
ったものである。
成物に更に無水シリカ粉末を成分とじて含有させてなる
感圧接着剤組成物は、これに紫外線を照射するとき、接
着力が一層顕著に低減することを見出して、本発明に至
ったものである。
従って、本発明は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができる感圧接着剤及び感圧接
着性シートを提供することを目的とする。
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができる感圧接着剤及び感圧接
着性シートを提供することを目的とする。
(発明の構成)
本発明の紫外線照射によって接着力を低減し得る感圧接
着剤は、弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステル
と重合開始剤と無水シリカ粉末とを主成分として含有す
ることを特徴とし、また、本発明による感圧接着性シー
トは、紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上に、弾性
重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤
と無水シリカ粉末とを主成分として含有する感圧接着剤
の層が形成されていることを特徴とする。
着剤は、弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステル
と重合開始剤と無水シリカ粉末とを主成分として含有す
ることを特徴とし、また、本発明による感圧接着性シー
トは、紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上に、弾性
重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤
と無水シリカ粉末とを主成分として含有する感圧接着剤
の層が形成されていることを特徴とする。
従来、種々の感圧接着剤組成物が、例えば「接着ハンド
ブック(第2版)」(日本接着協会編集、日刊工業新聞
社発行、1980年)第398〜414頁に記載されて
いるように知られているが、代表的な感圧接着剤組成物
は弾性重合体を主成分とし、これに相溶性の良好な粘着
付与剤や可塑削、更には、必要に応じて充填剤、老化防
止剤、着色剤等を均一に混合してなる混合物である。本
発明においては、かかる弾性重合体として、特に、飽和
共重合ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステル及び
アクリル酸エステルの共重合体を好ましく用いることが
できる。
ブック(第2版)」(日本接着協会編集、日刊工業新聞
社発行、1980年)第398〜414頁に記載されて
いるように知られているが、代表的な感圧接着剤組成物
は弾性重合体を主成分とし、これに相溶性の良好な粘着
付与剤や可塑削、更には、必要に応じて充填剤、老化防
止剤、着色剤等を均一に混合してなる混合物である。本
発明においては、かかる弾性重合体として、特に、飽和
共重合ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステル及び
アクリル酸エステルの共重合体を好ましく用いることが
できる。
先ず、飽和共重合ポリエステル樹脂は、例えば、「工業
材料」第25巻第11号第101〜106頁に記載され
ているように、通常、異なる2種以上の飽和2価カルボ
ン酸と飽和2価アルコールとを重縮合させて得られるガ
ラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通常、
飽和2価カルボン酸として、芳香族2価カルボン酸と脂
肪族2価カルボン酸とが併用され、飽和2価アルコール
として脂肪族又は脂環式2価アルコール、即ち、グリコ
ールが用いられる。特に、本発明においては、芳香族2
価カルボン酸/脂肪族2価カルボン酸モル比が80/2
0乃至20/80、好ましくは70/30乃至50−1
50である飽和2価カルボン酸混合物とグリコールとを
等モルにて重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステ
ル樹脂が好ましく用いられる。本発明においては、芳香
族2価カルボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カル
ボン酸としてセバシン酸、アジピン酸、グリコールとし
てエチレングリコール、1.4−ブタンジオール、プロ
ピレングリコール等を用いて得られる飽和共重合ポリエ
ステル樹脂が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、
飽和共重合ポリエステル樹脂の製造においては、カルボ
ン酸成分として3価以上の飽和多価カルボン酸や、3価
以上の多価アルコールが一部併用されてもよい。
材料」第25巻第11号第101〜106頁に記載され
ているように、通常、異なる2種以上の飽和2価カルボ
ン酸と飽和2価アルコールとを重縮合させて得られるガ
ラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通常、
飽和2価カルボン酸として、芳香族2価カルボン酸と脂
肪族2価カルボン酸とが併用され、飽和2価アルコール
として脂肪族又は脂環式2価アルコール、即ち、グリコ
ールが用いられる。特に、本発明においては、芳香族2
価カルボン酸/脂肪族2価カルボン酸モル比が80/2
0乃至20/80、好ましくは70/30乃至50−1
50である飽和2価カルボン酸混合物とグリコールとを
等モルにて重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステ
ル樹脂が好ましく用いられる。本発明においては、芳香
族2価カルボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カル
ボン酸としてセバシン酸、アジピン酸、グリコールとし
てエチレングリコール、1.4−ブタンジオール、プロ
ピレングリコール等を用いて得られる飽和共重合ポリエ
ステル樹脂が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、
飽和共重合ポリエステル樹脂の製造においては、カルボ
ン酸成分として3価以上の飽和多価カルボン酸や、3価
以上の多価アルコールが一部併用されてもよい。
また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸の共重合
体としては、従来よりアクリル系粘着剤として知られて
いる粘着剤において、主成分である弾性重合体として用
いられている任意のものを含む。アクリル系粘着剤にお
いて弾性重合体として用いられている重合体は、通常、
実質的にアクリル酸エステル共重合体である。この共重
合体は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス転
移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチル、アク
リル酸ブチル、アクリル酸−2−エチルヘキシル等のア
クリル酸アルキルエステルを生モノマーとし、凝集性を
有せしめるために高いガラス転移点を有する硬い重合体
を形成するコモノマー、例えば、酢酸ビニル、アクリロ
ニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸
メチル等、及び架橋性や接着性の改良のためにカルボン
酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキシル
メチル基等の官能基を有する単量体、例えば、アクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシルエチルメ
タクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリレート、
アクリルアミド、グリシジルメタクリレート等のモノマ
ーを共重合させてなる共重合体である。
体としては、従来よりアクリル系粘着剤として知られて
いる粘着剤において、主成分である弾性重合体として用
いられている任意のものを含む。アクリル系粘着剤にお
いて弾性重合体として用いられている重合体は、通常、
実質的にアクリル酸エステル共重合体である。この共重
合体は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス転
移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチル、アク
リル酸ブチル、アクリル酸−2−エチルヘキシル等のア
クリル酸アルキルエステルを生モノマーとし、凝集性を
有せしめるために高いガラス転移点を有する硬い重合体
を形成するコモノマー、例えば、酢酸ビニル、アクリロ
ニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸
メチル等、及び架橋性や接着性の改良のためにカルボン
酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキシル
メチル基等の官能基を有する単量体、例えば、アクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシルエチルメ
タクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリレート、
アクリルアミド、グリシジルメタクリレート等のモノマ
ーを共重合させてなる共重合体である。
本発明による紫外線架橋性アクリル酸エステルは、紫外
線の照射によって架橋するオリゴマー又はモノマーとし
てのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルをい
い、分子内に少なくとも2つのアクリロイル基又はメタ
クリロイル基を有する。具体的には、かかるオリゴマー
としては、例えばオリゴエステルアクリレート等を、ま
た、モノマーとしては、例えば、1.6−ヘキサンジオ
ールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート
、ジペンタエリスリトールへキサアクリレート等の多価
アルコールとアクリル酸のエステル、或いは1.6−ヘ
キサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパ
ントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテトラ
メタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタク
リレート等の多価アルコールとメタクリル酸のエステル
等を挙げることができる。
線の照射によって架橋するオリゴマー又はモノマーとし
てのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルをい
い、分子内に少なくとも2つのアクリロイル基又はメタ
クリロイル基を有する。具体的には、かかるオリゴマー
としては、例えばオリゴエステルアクリレート等を、ま
た、モノマーとしては、例えば、1.6−ヘキサンジオ
ールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート
、ジペンタエリスリトールへキサアクリレート等の多価
アルコールとアクリル酸のエステル、或いは1.6−ヘ
キサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパ
ントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテトラ
メタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタク
リレート等の多価アルコールとメタクリル酸のエステル
等を挙げることができる。
本発明による感圧接着剤組成物は、前記弾性重合体10
′o重景部について、上記紫外線架橋性アクリル酸エス
テルを15〜200!量部、好ましくは50〜150重
量部の範囲にて含有する0弾性重合体100重量部につ
いて、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルが15重量
部よりも少ないときは、得られる接着剤組成物に紫外線
を照射しても、その接着力が実質的に変化せず、一方、
200重量部を越えるときは、紫外線照射によって、そ
の接着力を低減させることはできるが、例えば、シリコ
ンウェハーのダイシング後のダイスのピックアップ時に
、ダイスに接着剤が残留することがあり、好ましくない
からである。
′o重景部について、上記紫外線架橋性アクリル酸エス
テルを15〜200!量部、好ましくは50〜150重
量部の範囲にて含有する0弾性重合体100重量部につ
いて、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルが15重量
部よりも少ないときは、得られる接着剤組成物に紫外線
を照射しても、その接着力が実質的に変化せず、一方、
200重量部を越えるときは、紫外線照射によって、そ
の接着力を低減させることはできるが、例えば、シリコ
ンウェハーのダイシング後のダイスのピックアップ時に
、ダイスに接着剤が残留することがあり、好ましくない
からである。
本発明による感圧接着剤組成物は、好ましくは、更に粘
着付与剤を含有する。特に、用いる弾性重合体が飽和共
重合ポリエステル樹脂である場合は、この粘着付与剤を
併用することが好ましい、用い得る粘着付与剤は特に制
限されず、従来より一般に粘着剤の製造において用いら
れているものが適宜に用いられる。このような粘着付与
剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや重合ロジン
、水添ロジン、ロジンエステル等の変性ロジン系樹脂、
チルヘン樹脂、テルペンフェノール樹脂、ロジンフェノ
ール樹脂等のテルペン系樹脂、脂肪族系、芳香族系及び
脂環式系石油樹脂、クマロン樹脂、スチレン系樹脂、ア
ルキルフェノール樹脂等を挙げることができる。粘着付
与剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂100重量部につ
いて、通常、10〜200重量部の範囲で用いられる。
着付与剤を含有する。特に、用いる弾性重合体が飽和共
重合ポリエステル樹脂である場合は、この粘着付与剤を
併用することが好ましい、用い得る粘着付与剤は特に制
限されず、従来より一般に粘着剤の製造において用いら
れているものが適宜に用いられる。このような粘着付与
剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや重合ロジン
、水添ロジン、ロジンエステル等の変性ロジン系樹脂、
チルヘン樹脂、テルペンフェノール樹脂、ロジンフェノ
ール樹脂等のテルペン系樹脂、脂肪族系、芳香族系及び
脂環式系石油樹脂、クマロン樹脂、スチレン系樹脂、ア
ルキルフェノール樹脂等を挙げることができる。粘着付
与剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂100重量部につ
いて、通常、10〜200重量部の範囲で用いられる。
粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、接着力又は
粘着力が不十分であり、他方、多すぎるときは、得られ
る接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着力の低下幅
が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイシングフィ
ルムに適用した場合、シリコンウェハーのダイシング後
のダイスのピックアップ時に、ダイスに粘着付与剤が残
留することがあり、好ましくないからである。
粘着力が不十分であり、他方、多すぎるときは、得られ
る接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着力の低下幅
が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイシングフィ
ルムに適用した場合、シリコンウェハーのダイシング後
のダイスのピックアップ時に、ダイスに粘着付与剤が残
留することがあり、好ましくないからである。
本発明による感圧接着剤組成物は、更に重合開始剤又は
光増感剤を含有し、必要に応じて重合禁止剤を含有する
。重合開始剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
の紫外線照射による架橋を促進するために用いられる。
光増感剤を含有し、必要に応じて重合禁止剤を含有する
。重合開始剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
の紫外線照射による架橋を促進するために用いられる。
このような重合開始剤は、一般に、紫外線架橋重合の技
術分野においてよく知られており、本発明においては、
従来より一般に知られている重合開始剤を用いることが
できる。かかる重合開始剤の具体例として、例えば、ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエー
テル等のベンゾインアルキルエーテル類や、ベンゾイン
、ベンジル、ベンゾフェノン等の芳香族オキシケトン類
や芳香族ケトン類を挙げることができるが、これらに限
定されるものではない。
術分野においてよく知られており、本発明においては、
従来より一般に知られている重合開始剤を用いることが
できる。かかる重合開始剤の具体例として、例えば、ベ
ンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエー
テル等のベンゾインアルキルエーテル類や、ベンゾイン
、ベンジル、ベンゾフェノン等の芳香族オキシケトン類
や芳香族ケトン類を挙げることができるが、これらに限
定されるものではない。
熱重合禁止剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステル
が紫外線照射によらず、例えば、熱によって重合するこ
とを防止するために、必要に応じて添加されるもので、
かかる重合禁止剤としても、従来より知られている通常
の重合禁止剤を用いることができる。このような重合禁
止剤としては、例えば、ピクリン酸、フェノール、ハイ
ドロキノン、ハイトルキノンモノメチルエーテル等を用
いることができる。
が紫外線照射によらず、例えば、熱によって重合するこ
とを防止するために、必要に応じて添加されるもので、
かかる重合禁止剤としても、従来より知られている通常
の重合禁止剤を用いることができる。このような重合禁
止剤としては、例えば、ピクリン酸、フェノール、ハイ
ドロキノン、ハイトルキノンモノメチルエーテル等を用
いることができる。
上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、紫外線架橋
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、例えば、重合開始剤は、前記紫外線架橋性
アクリル酸エステル100重量部について1〜20重量
部、重合禁止剤は必要に応じて0.1〜1重量部の範囲
で用いられる。
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、例えば、重合開始剤は、前記紫外線架橋性
アクリル酸エステル100重量部について1〜20重量
部、重合禁止剤は必要に応じて0.1〜1重量部の範囲
で用いられる。
本発明による感圧接着剤組成物は、更に、弾性重合体1
00重量部について、無水シリカ粉末1〜30重量部を
含有する。無水シリカの存在によって、感圧接着剤組成
物は、これを含まない以外は同一の組成を有する感圧接
着剤組成物に比較して、紫外線照射後の接着力の低下幅
が大きい、しかし、その配合量が弾性重合体100重量
部について、1重量部よりも少ないときは、紫外線照射
後の接着力の低下効果に乏しく、他方、30重量部より
も多いときは、得られる感圧接着剤組成物が著しく増粘
してゲル状となり、例えば、塗布操作が困難となる。特
に好ましい配合量の範囲は、弾性重合体100重量部に
ついて、3〜15重量部である。
00重量部について、無水シリカ粉末1〜30重量部を
含有する。無水シリカの存在によって、感圧接着剤組成
物は、これを含まない以外は同一の組成を有する感圧接
着剤組成物に比較して、紫外線照射後の接着力の低下幅
が大きい、しかし、その配合量が弾性重合体100重量
部について、1重量部よりも少ないときは、紫外線照射
後の接着力の低下効果に乏しく、他方、30重量部より
も多いときは、得られる感圧接着剤組成物が著しく増粘
してゲル状となり、例えば、塗布操作が困難となる。特
に好ましい配合量の範囲は、弾性重合体100重量部に
ついて、3〜15重量部である。
上記無水シリカ粉末としては、特に限定されるものでは
ないが、本発明においては、微粒子であることが好まし
く、従って、例えば、デグッサ社による「アエロジル」
を好ましく用いることができる。
ないが、本発明においては、微粒子であることが好まし
く、従って、例えば、デグッサ社による「アエロジル」
を好ましく用いることができる。
本発明による感圧接着剤組成物は、上記した配合量にて
弾性重合体、紫外線架橋性アクリル酸エステル、重合開
始剤及び無水シリカ粉末を、必要に応じて粘着付与剤、
重合禁止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤等と共に、シ
リカを除く有機成分を溶解する適宜の有機溶剤、例えば
、芳香族炭化水素、ケトン類、又はこれらの混合物に溶
解し、シリカを分散させることによって均一な液状組成
物として得ることができる。溶剤としては、例えば、具
体的にはトルエンとメチルエチルケトンとの混合溶剤が
好ましく用いられるが、しかし、これに限定されるもの
ではない。また、接着剤組成物における弾性重合体の含
有量は、用途等に応じて適宜に選ばれるが、通常、10
〜50重量%の範囲である。しかし、これに限定される
ものではない。
弾性重合体、紫外線架橋性アクリル酸エステル、重合開
始剤及び無水シリカ粉末を、必要に応じて粘着付与剤、
重合禁止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤等と共に、シ
リカを除く有機成分を溶解する適宜の有機溶剤、例えば
、芳香族炭化水素、ケトン類、又はこれらの混合物に溶
解し、シリカを分散させることによって均一な液状組成
物として得ることができる。溶剤としては、例えば、具
体的にはトルエンとメチルエチルケトンとの混合溶剤が
好ましく用いられるが、しかし、これに限定されるもの
ではない。また、接着剤組成物における弾性重合体の含
有量は、用途等に応じて適宜に選ばれるが、通常、10
〜50重量%の範囲である。しかし、これに限定される
ものではない。
上記のような感圧接着剤組成物の調製方法は、何ら制限
されるものではないが、通常、弾性重合体及び粘着付与
剤は溶液の形態にて市販されており、これらを使用する
ことが便利であるので、例えば、これらの溶液を混合し
、これに紫外線架橋性アクリル酸エステル、重合開始剤
及び無水シリカ粉末、更に必要に応じて重合禁止剤、充
填剤、老化防止剤、着色剤等を添加混合し、均一に混合
すればよい。
されるものではないが、通常、弾性重合体及び粘着付与
剤は溶液の形態にて市販されており、これらを使用する
ことが便利であるので、例えば、これらの溶液を混合し
、これに紫外線架橋性アクリル酸エステル、重合開始剤
及び無水シリカ粉末、更に必要に応じて重合禁止剤、充
填剤、老化防止剤、着色剤等を添加混合し、均一に混合
すればよい。
更に、本発明による感圧接着剤組成物は、必要に応じて
、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポリブテン、鉱油
、ラノリン等の可塑剤や、また、充填剤、老化防止剤等
を適宜に含有していてもよい。
、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポリブテン、鉱油
、ラノリン等の可塑剤や、また、充填剤、老化防止剤等
を適宜に含有していてもよい。
本発明による感圧接着性シートは、紫外線を透過させ得
る基材シート上に上記したような感圧接着剤組成物の層
が形成されている。従って、例えば、上述したような液
状組成物としての感圧性接着剤組成物を基材シート上に
塗布し、乾燥することによって得ることができる。
る基材シート上に上記したような感圧接着剤組成物の層
が形成されている。従って、例えば、上述したような液
状組成物としての感圧性接着剤組成物を基材シート上に
塗布し、乾燥することによって得ることができる。
上記基材シートとしては、紫外線を透過し得る限りは、
特に制限されることなく、種々のシートを用いることが
できるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが
用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−塩
化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリオレフィン、ア
セチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアミド
、ポリエステル、ポリカーボネート等からなる樹脂シー
トが好適に用いられる。
特に制限されることなく、種々のシートを用いることが
できるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが
用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−塩
化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリオレフィン、ア
セチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアミド
、ポリエステル、ポリカーボネート等からなる樹脂シー
トが好適に用いられる。
上記した種々の基材樹脂シートのなかでも、可塑剤を含
有するポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの共重合体からな
る樹脂シートは、柔軟であり、更に、廉価でもあるので
、本発明において特に好適に用いることができる。また
、塩化ビニル樹脂シート以外にも、可塑剤を含有する基
材シートとして、好適に用いる得るものもある。例えば
、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニ
ル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル、−アクリル
酸エステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン9.アセ
チルセルロース等を挙げることができる。
有するポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの共重合体からな
る樹脂シートは、柔軟であり、更に、廉価でもあるので
、本発明において特に好適に用いることができる。また
、塩化ビニル樹脂シート以外にも、可塑剤を含有する基
材シートとして、好適に用いる得るものもある。例えば
、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニ
ル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル、−アクリル
酸エステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン9.アセ
チルセルロース等を挙げることができる。
ここに、可塑剤としては、特に制限されるものではない
が、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト、ジデシルフタレート、ジトリデシルフタレート、メ
チルベンジルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリ
クレジルホスフェート、トリオクチルホスフェート、ト
リフェニルホスフェート、2−エチルヘキシルジフェニ
ルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート等の
リン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオクチルセ
バケート、ジオクチルアゼレート、アセチルクエン酸ト
リー2−エチルヘキシル等の脂肪酸ジエステル、ポリプ
ロピレンアジペート、ポリプロピレンセバケート等のポ
リエステル系可塑剤、エポキシ化大豆油等のエポキシ系
可塑剤、塩素化パラフィン、塩素化脂肪酸エステル等の
塩素系可塑剤等を挙げることができる。
が、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト、ジデシルフタレート、ジトリデシルフタレート、メ
チルベンジルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリ
クレジルホスフェート、トリオクチルホスフェート、ト
リフェニルホスフェート、2−エチルヘキシルジフェニ
ルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート等の
リン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオクチルセ
バケート、ジオクチルアゼレート、アセチルクエン酸ト
リー2−エチルヘキシル等の脂肪酸ジエステル、ポリプ
ロピレンアジペート、ポリプロピレンセバケート等のポ
リエステル系可塑剤、エポキシ化大豆油等のエポキシ系
可塑剤、塩素化パラフィン、塩素化脂肪酸エステル等の
塩素系可塑剤等を挙げることができる。
しかしながら、このように、感圧接着性シートの基材樹
脂シートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる
場合は、この樹脂シートから可塑剤が感圧接着剤組成物
中に移行し、また、通常、可塑剤と紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルとは相溶性がよいために、感圧接着剤組成
物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸エステルが樹脂シ
ート中に移行し、このような相互移行によって、感圧接
着性シートの紫外線照射後の接着力の低減効果が著しく
減少する。
脂シートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる
場合は、この樹脂シートから可塑剤が感圧接着剤組成物
中に移行し、また、通常、可塑剤と紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルとは相溶性がよいために、感圧接着剤組成
物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸エステルが樹脂シ
ート中に移行し、このような相互移行によって、感圧接
着性シートの紫外線照射後の接着力の低減効果が著しく
減少する。
従って、本発明においては、感圧接着性シートの基材シ
ートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる場合
は、この基材シートと感圧接着性シートとの間に可塑剤
及び紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過させない樹
脂層からなるバリヤー層を介在させることが好ましい。
ートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる場合
は、この基材シートと感圧接着性シートとの間に可塑剤
及び紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過させない樹
脂層からなるバリヤー層を介在させることが好ましい。
但し、このバリヤー層は、紫外線の透過を妨げるもので
あってはならない。
あってはならない。
即ち、このバリヤー層は、紫外線の透過は何ら妨げない
が、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接着剤
組成物中に移行するのを阻止すると共に、感圧接着剤組
成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エステルが
基材樹脂シートに移行するのを阻止し、このようにして
、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基材中に
保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外線架橋性
アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持して、感圧
接着性シートの紫外線照射による接着力の経時的な低下
を防止する。
が、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接着剤
組成物中に移行するのを阻止すると共に、感圧接着剤組
成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エステルが
基材樹脂シートに移行するのを阻止し、このようにして
、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基材中に
保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外線架橋性
アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持して、感圧
接着性シートの紫外線照射による接着力の経時的な低下
を防止する。
前記バリヤー層としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン等のポリ−α−オレフィン、ポリエチレンテレフタレ
ート等のポリアルキレンテレフタレートのフィルムや、
樹脂塗膜、例えば、変性ポリアクリル樹脂等の樹脂塗膜
層が好適に用いられる。従って、バリヤー層は、基材樹
脂シート上に前記例示した樹脂からなるフィルムを圧着
し、又はこの樹脂の溶融液を塗布して冷却し、若しくは
上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによって、形成
することができる。また、例えば、変性ポリアクリル樹
脂溶液を塗布し、必要に応じて加熱乾燥させて、塗膜を
形成させることによっても、バリヤー層を得ることがで
きる。
ン等のポリ−α−オレフィン、ポリエチレンテレフタレ
ート等のポリアルキレンテレフタレートのフィルムや、
樹脂塗膜、例えば、変性ポリアクリル樹脂等の樹脂塗膜
層が好適に用いられる。従って、バリヤー層は、基材樹
脂シート上に前記例示した樹脂からなるフィルムを圧着
し、又はこの樹脂の溶融液を塗布して冷却し、若しくは
上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによって、形成
することができる。また、例えば、変性ポリアクリル樹
脂溶液を塗布し、必要に応じて加熱乾燥させて、塗膜を
形成させることによっても、バリヤー層を得ることがで
きる。
上記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、種々のもの
が知られているが、本発明においては、一般に、耐溶剤
性にすぐれ、従って、紫外線架橋性アクリル酸エステル
や基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しない
アルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアクリ
ル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂としては
、例えば、酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型等が
好適に用いられる。
が知られているが、本発明においては、一般に、耐溶剤
性にすぐれ、従って、紫外線架橋性アクリル酸エステル
や基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しない
アルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアクリ
ル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂としては
、例えば、酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型等が
好適に用いられる。
しかし、本発明においては、バリヤー層は、前述したよ
うに、感圧接着剤組成物に含まれる紫外線架橋性アクリ
ル酸エステル及び基材樹脂シートに含まれる可塑剤を実
質的に透過させない限りは、特に、その素材において制
限されるものではないことは容易に理解されるところで
あって、本発明において用いられる個々の具体的な紫外
線架橋性アクリル酸エステル及び可塑剤に応じて選択さ
れる。
うに、感圧接着剤組成物に含まれる紫外線架橋性アクリ
ル酸エステル及び基材樹脂シートに含まれる可塑剤を実
質的に透過させない限りは、特に、その素材において制
限されるものではないことは容易に理解されるところで
あって、本発明において用いられる個々の具体的な紫外
線架橋性アクリル酸エステル及び可塑剤に応じて選択さ
れる。
本発明による感圧接着剤組成物又は感圧接着シートへの
紫外線の照射手段及び照射方法は特に制限されず、紫外
線硬化性樹脂塗料や紫外線硬化性接着剤の技術分野にお
いて、従来より通常に行なわれている手段及び方法によ
ることができる。例えば、照射手段として、キセノンラ
ンプ、低圧、中圧、高圧或いは超高圧水銀灯灯のような
紫外線源を使用し、数秒乃至数分、照射すればよい。
紫外線の照射手段及び照射方法は特に制限されず、紫外
線硬化性樹脂塗料や紫外線硬化性接着剤の技術分野にお
いて、従来より通常に行なわれている手段及び方法によ
ることができる。例えば、照射手段として、キセノンラ
ンプ、低圧、中圧、高圧或いは超高圧水銀灯灯のような
紫外線源を使用し、数秒乃至数分、照射すればよい。
(発明の効果)
以上のように、本発明による感圧接着性シートは、紫外
線を透過させ得る基材樹脂シート上に弾性重合体と紫外
線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤と無水シリカ
粉末とを主成分として含有する感圧接着剤の層が形成さ
れており、ここに、上記感圧接着剤組成物は、その理由
は必ずしも明らかではないが、紫外線の照射によってそ
の接着力が著しく低減するので、かかる感圧接着性シー
トを被着面に適用した後、上記基材樹脂シート側から紫
外線を照射することによって、この感圧接着性シートを
被着面から゛容易に剥離することができる。
線を透過させ得る基材樹脂シート上に弾性重合体と紫外
線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤と無水シリカ
粉末とを主成分として含有する感圧接着剤の層が形成さ
れており、ここに、上記感圧接着剤組成物は、その理由
は必ずしも明らかではないが、紫外線の照射によってそ
の接着力が著しく低減するので、かかる感圧接着性シー
トを被着面に適用した後、上記基材樹脂シート側から紫
外線を照射することによって、この感圧接着性シートを
被着面から゛容易に剥離することができる。
従って、本発明による感圧接着性シートは、例えば、前
述したように、シリコンウェハーのダイシング用フィル
ムとして好適に用いることができる。
述したように、シリコンウェハーのダイシング用フィル
ムとして好適に用いることができる。
(実施例)
以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定さ
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。
実施例1
離型紙上に第1表に示す配合の感圧接着剤を塗布し、1
20℃で1分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として
10μm厚みに形成した。
20℃で1分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として
10μm厚みに形成した。
ここに、飽和共重合ポリエステル樹脂としては、テレフ
タル酸/セバシン酸モル比70/30の飽和2価カルボ
ン酸混合物とエチレングリコールとを等モルにて重縮合
させて得られるガラス転移魚釣10℃の樹脂を用いた。
タル酸/セバシン酸モル比70/30の飽和2価カルボ
ン酸混合物とエチレングリコールとを等モルにて重縮合
させて得られるガラス転移魚釣10℃の樹脂を用いた。
次に、平均重合度1300のポリ塩化ビニル100部、
可塑剤としてジオクチルフタレート又はポリエステル系
可塑剤35部及び適宜量の安定剤からなる塩化ビニル樹
脂組成物から成形した厚み0、1 +nのシート上に変
性アクリル樹脂を塗布し、乾燥して、バリヤー層を形成
した。この後、この基材樹脂シートのバリヤー層の表面
に上記感圧接着剤層を重ねて貼り合わせて、本発明によ
る感圧接着性シートを得た。
可塑剤としてジオクチルフタレート又はポリエステル系
可塑剤35部及び適宜量の安定剤からなる塩化ビニル樹
脂組成物から成形した厚み0、1 +nのシート上に変
性アクリル樹脂を塗布し、乾燥して、バリヤー層を形成
した。この後、この基材樹脂シートのバリヤー層の表面
に上記感圧接着剤層を重ねて貼り合わせて、本発明によ
る感圧接着性シートを得た。
また、比較のために、シリカ粉末を含存しない感圧接着
剤組成物を調製した(比較例1及び2)。
剤組成物を調製した(比較例1及び2)。
このようにして得たそれぞれの感圧接着性シートを所定
の温度で所定の時間放置した後、離型紙を剥離して、そ
のままにて接着力を測定し、また、別に塩化ビニル樹脂
シート側から主波長365mμ、120W/amにて紫
外線を7秒間照射した後、接着力を測定した。結果を第
1表に示す。
の温度で所定の時間放置した後、離型紙を剥離して、そ
のままにて接着力を測定し、また、別に塩化ビニル樹脂
シート側から主波長365mμ、120W/amにて紫
外線を7秒間照射した後、接着力を測定した。結果を第
1表に示す。
先ず、本発明の感圧接着性シートによれば、長期間後も
紫外線照射による接着力の低下が顕著であり、適当な配
合設計によって、当初250〜800g/25mの接着
力を有せしめ、紫外線照射後は数十g/25m乃至約1
00g/25m程度にまで接着力を減少させることがで
きるので、前述したように、シリコンウェハーのダイシ
ングに好適に用いることができる。
紫外線照射による接着力の低下が顕著であり、適当な配
合設計によって、当初250〜800g/25mの接着
力を有せしめ、紫外線照射後は数十g/25m乃至約1
00g/25m程度にまで接着力を減少させることがで
きるので、前述したように、シリコンウェハーのダイシ
ングに好適に用いることができる。
しかし、比較例1及び2の感圧接着性シートによれば、
紫外線照射前の接着力に比較して、紫外線照射後のそれ
の低減幅が小さい。
紫外線照射前の接着力に比較して、紫外線照射後のそれ
の低減幅が小さい。
尚、接着力の測定方法は次のとおりである。即ち、感圧
接着性シートを幅25鶴、長さ100鶴に裁断して試験
片とし、これを被着体としてのステンレス板上に重ね、
3 kgローラにて5回往復して押圧した後、ショツパ
ーにて引張速度300n/分にて180°剥離試験を行
なった。
接着性シートを幅25鶴、長さ100鶴に裁断して試験
片とし、これを被着体としてのステンレス板上に重ね、
3 kgローラにて5回往復して押圧した後、ショツパ
ーにて引張速度300n/分にて180°剥離試験を行
なった。
実施例2
弾性重合体としてポリアクリル酸エステル又はアクリル
酸エステルの共重合体を含むアクリル系粘着剤溶液(三
洋化成工業■製ポリシック610SA、ポリアクリル酸
エステル又はアクリル酸エステル共重合体含有量約40
重量%)100重量部に第2表に示す量にてジペンタエ
リスリトールへキサアクリレート及びベンゾインイソプ
ロピルエーテルを溶解し、更に、実施例1において用い
たのと同じ無水シリカ粉末を添加混合して、感圧接着剤
組成物を調製した。
酸エステルの共重合体を含むアクリル系粘着剤溶液(三
洋化成工業■製ポリシック610SA、ポリアクリル酸
エステル又はアクリル酸エステル共重合体含有量約40
重量%)100重量部に第2表に示す量にてジペンタエ
リスリトールへキサアクリレート及びベンゾインイソプ
ロピルエーテルを溶解し、更に、実施例1において用い
たのと同じ無水シリカ粉末を添加混合して、感圧接着剤
組成物を調製した。
この感圧接着剤組成物を離型紙上に塗布し、120℃で
1分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分第2表 として10μm厚みに形成した。
1分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分第2表 として10μm厚みに形成した。
次に、実施例1におけると同じ厚み0.1 mのシート
上に実施例1と同じ変性アクリル樹脂溶液を塗布し、乾
燥して、バリヤー層を形成した後、この基材樹脂シート
のバリヤー層の表面に上記感圧接着剤層を重ねて貼り合
わせて、本発明による感圧接着性シートを得た。
上に実施例1と同じ変性アクリル樹脂溶液を塗布し、乾
燥して、バリヤー層を形成した後、この基材樹脂シート
のバリヤー層の表面に上記感圧接着剤層を重ねて貼り合
わせて、本発明による感圧接着性シートを得た。
このようにして得た感圧接着性シートについて、実施例
1と同様にして、紫外線照射後の接着力を測定した。結
果を第2表に示す。
1と同様にして、紫外線照射後の接着力を測定した。結
果を第2表に示す。
Claims (10)
- (1)弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと
重合開始剤と無水シリカ粉末とを主成分として含有する
ことを特徴とする紫外線照射によつて接着力を低減し得
る感圧接着剤組成物。 - (2)弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂である
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の感圧接着
剤組成物。 - (3)弾性重合体がポリアクリル酸エステル又はアクリ
ル酸エステルの共重合体であることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の感圧接着剤組成物。 - (4)感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の感圧接着剤組成物。 - (5)紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上に、弾性
重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤
と無水シリカ粉末とを主成分として含有する感圧接着剤
の層が形成されていることを特徴とする紫外線照射によ
つて接着力を低減し得る感圧接着性シート。 - (6)弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂である
ことを特徴とする特許請求の範囲第5項記載の感圧接着
性シート。 - (7)弾性重合体がポリアクリル酸エステル又はアクリ
ル酸エステルの共重合体であることを特徴とする特許請
求の範囲第5項記載の感圧接着性シート。 - (8)感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを特徴と
する特許請求の範囲第5項記載の感圧接着性シート。 - (9)基材樹脂シートが可塑剤を含有し、この基材樹脂
シートと感圧接着剤組成物の層との間に上記可塑剤及び
紫外線架橋性アクリル酸エステルを透過させないが、紫
外線を透過させ得る樹脂からなるバリヤー層が介在され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第5項記載の感
圧接着性シート。 - (10)基材樹脂シートが可塑剤を含有するポリ塩化ビ
ニル又は塩化ビニルの共重合体からなるシートであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第5項記載の感圧接着性
シート。
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60196543A JPH0739565B2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 感圧接着性シート |
EP19860200196 EP0194706B1 (en) | 1985-02-14 | 1986-02-11 | A pressure sensitive adhesive and a pressure sensitive adhesive film having thereon a layer of the same |
DE8686200196T DE3665191D1 (en) | 1985-02-14 | 1986-02-11 | A pressure sensitive adhesive and a pressure sensitive adhesive film having thereon a layer of the same |
EP19860200195 EP0191534B1 (en) | 1985-02-14 | 1986-02-11 | A method for dicing a semiconductor wafer |
DE8686200195T DE3671577D1 (de) | 1985-02-14 | 1986-02-11 | Verfahren zum schneiden einer halbleiterscheibe in wuerfel. |
CA000501753A CA1252579A (en) | 1985-02-14 | 1986-02-13 | Method for dicing a semiconductor wafer |
CA000501750A CA1272542A (en) | 1985-02-14 | 1986-02-13 | Pressure sensitive adhesive and a pressure sensitive adhesive film having thereon a layer of the same |
US06/829,814 US4720317A (en) | 1985-02-14 | 1986-02-14 | Method for dicing a semiconductor wafer |
US06/829,818 US4818621A (en) | 1985-02-14 | 1986-02-14 | Pressure sensitive adhesives with reducible adhesive force using radiation, and films therewith |
US07/108,202 US4968559A (en) | 1985-02-14 | 1987-10-14 | Pressure sensitive adhesive film with barrier layer |
US07/287,089 US4913960A (en) | 1985-02-14 | 1988-12-21 | Pressure sensitive adhesive and a pressure sensitive adhesive film having thereon a layer of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60196543A JPH0739565B2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 感圧接着性シート |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11230496A Division JP2618356B2 (ja) | 1996-05-07 | 1996-05-07 | 感圧接着性シート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6254777A true JPS6254777A (ja) | 1987-03-10 |
JPH0739565B2 JPH0739565B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=16359487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60196543A Expired - Fee Related JPH0739565B2 (ja) | 1985-02-14 | 1985-09-04 | 感圧接着性シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0739565B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53121832A (en) * | 1977-04-01 | 1978-10-24 | Hitachi Chem Co Ltd | Method of protecting surface |
JPS5695902A (en) * | 1979-12-29 | 1981-08-03 | Toyobo Co Ltd | Uv-curable resin composition |
JPS578273A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Adhesive composition for laminate |
JPS5712083A (en) * | 1980-06-25 | 1982-01-21 | Nippon Carbide Ind Co Ltd | Self-adhesive film |
JPS5921038A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-02 | Nec Home Electronics Ltd | ペレツト剥離方法 |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP60196543A patent/JPH0739565B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53121832A (en) * | 1977-04-01 | 1978-10-24 | Hitachi Chem Co Ltd | Method of protecting surface |
JPS5695902A (en) * | 1979-12-29 | 1981-08-03 | Toyobo Co Ltd | Uv-curable resin composition |
JPS578273A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Adhesive composition for laminate |
JPS5712083A (en) * | 1980-06-25 | 1982-01-21 | Nippon Carbide Ind Co Ltd | Self-adhesive film |
JPS5921038A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-02 | Nec Home Electronics Ltd | ペレツト剥離方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0739565B2 (ja) | 1995-05-01 |
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