JPS6343987A

JPS6343987A - 感圧接着性シ−ト

Info

Publication number: JPS6343987A
Application number: JP61187535A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kuroda; 黒田　秀雄; Masao Taniguchi; 谷口　正雄
Original assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Current assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Priority date: 1986-08-08
Filing date: 1986-08-08
Publication date: 1988-02-25
Anticipated expiration: 2009-02-23
Also published as: JPH0613681B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】ｊ業上の利用分野本発明は感圧接着性シートに関し、詳しくは、紫外線照
射によって接着力が低減されると共に、本ｉＭ移りしな
い感圧接着性シートに関する。

従来の技術一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布してなる感圧
接着性シート又は粘着シートは、−船室、昨及び産業に
おいて種々の用途に使用されているが、近年、感圧接着
性シートの要求特性が多様且つ多岐にわたり、用途に応
じて種々の機能性が要求されるに至っている。

例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウェハーを
所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシングを行なってダ
イスを得るためには、所謂ダイシングフィルムと呼ばれ
る感圧接着性シート上にシリコンウェハーを載置し、ダ
イシングフィルム上に感圧接着固定し、裁断した後、こ
れをダイシングフィルムからピックアップ、即ち、剥離
して取り上げる。従って、シリコンウェハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシングフ
ィルムがシリコンウェハーに対して強い接着力を有し、
一方、得られたダイスをダイシングフィルムからピック
アップするに際しては、ダイシングフィルムはその接着
力が弱いことが必要である。何ら制限されるものではな
いが、例えば、シリコンウェハーのダイシングに際して
は、ダイシングフィルムは１００〜５００ｇ、／２５龍
程度又はこれ以上の接着力を有し、一方、ダイスのピッ
クアップに際しては、ダイシングフィルムは約２０〜５
０　ｇ　／　２５　鶴程度又はこれ以下の接着力を有す
ることが望ましいといわれている。

しかし、このように、被着面に適用後に、必要に応じて
、その接着力を低減させ得る感圧接着性シートは、未だ
知られていない。

他方、例えば、−ａに接着剤の分野において、光重合性
オリゴマー、光重合性オリマー１光重合開始剤及びその
他の添加剤からなる紫外線架橋性接着剤が既に知られて
おり、これは無溶剤型、−成型の接着剤であり、速硬化
性であって、加熱を要しない等の点ですぐれているが、
この接着剤においては、紫外線照射は、本来、接着剤に
所要の接着力を発現させるために行なわれる。

明が解決しようとする問題、壱本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要に応して
その接着力を低減し得る感圧接着性シートのための接着
剤組成物を得るために鋭意研究した結果、予期しないこ
とに、弾性重合体と紫外線架橋性アクリル酸エステルと
光重合開始剤とを主成分として含有する感圧接着剤組成
物に紫外線を照射するとき、その接着力が著しく低減す
るどとを見出し、更に、紫外線を透過し得る基材樹脂シ
ート上にかかる感圧接着剤組成物の層を形成して、感圧
接着性シートとするとき、かかる、感圧接着性シートは
、所要の被着面に適用した後、上記基材樹脂シート側か
ら紫外線を照射することによって、その接着力が著しく
低減するので、被着面から容易にＨＩＭすることができ
ることを見出した。

しかしながら、他方、上記のような感圧接着性シートを
ダイシングフィルムとして用いて、これに半導体ウェハ
ーを接着固定するに際して、ダイシングフィルムとウェ
ハーとの間に空気が入り込んで、気泡が形成されるとき
、ダイシングフィルムの裏面に紫外線を照射した後、ダ
イシングフィルムから剥離したダイスに感圧接着剤組成
物が残存し、所謂糊残りする。その理由は、必ずしも明
らかではないが、気泡の周縁においてウェハーに接触す
る感圧性接着剤組成物中の紫外線架橋性アクリル酸エス
テルがダイシングフィルムに紫外線を照射した後も、気
泡（酸素）のために、十分な硬化反応が阻害され、接着
剤組成物が尚、十分な接着力を保持しており、その結果
として、ウェハーに糊移りして、糊残りが生じるするも
のとみられ、同時に、ウェハーをダイシングした後、ダ
イスをダイシングフィルムから剥離する際に、尚、大き
い剥離力を必要とすることとなる。

このように、ダイスに糊残りが生じるときは、ダイスに
導線を接続することが困難となったり、或いはダイス加
工後のチップからの熱拡散性が悪くなり、半導体デバイ
スの信頼性を低下させ、また、故障させる原因となる。

そこで、本発明者らは、かかる問題を解決するために鋭
意研究した結果、光増感剤として、特にアミノ基を有す
るアクリル酸エステル又はメタアクリル酸エステル（以
下、（メタ）アクリル酸エステルと記載する。）を上記
のような感圧性接着剤組成物に配合するとき、ががる感
圧性接着剤組成物の層を有する感圧性接着シートと被着
体との間に気泡が形成されても、接着性シートの裏面か
ら紫外線を照射することによって、感圧性接着シートは
気泡の影響を何ら受けず、その接着力が均一に著しく低
減され得ることを見出して本発明に至ったものである。

従って、本発明は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができ、且つ、被着体に瑚残り
しない感圧接着性シートを提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段本発明の紫外線照射によって接着力を低減し得る感圧接
着性シートは、紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上
に（ａ）弾性重合体、（ｂ）紫外線架橋性アクリル酸エステル、（ｃ）重合開
始剤、及び［ｄ）光増感剤としてアミノ基を有する（メタ）アクリ
ル酸エステルを含有する感圧接着剤の層が形成されていることを特徴
とする。

従来、種々の感圧接着剤組成物が、例えば「接着ハンド
ブック（第２版）」（日本接着協会偏集、日刊工業新聞
社発行、１９８０年）第３９８〜４１４頁に記載されて
いるように知られているが、代表的な感圧接着剤組成物
は弾性重合体を主成分とし、これに相溶性の良好な粘着
付与剤や可塑剤、更には、必要に応して充填剤、老化防
止剤、着色剤等を均一に混合してなる混合物である。本
発明においては、かかる弾性重合体として、時に、飽和
共重合ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステル及び
アクリル酸エステルの共重合体を好ましく用いることが
できる。

先ず、飽和共重合ポリエステル樹脂は、例えば、「工業
材料」第２５巻第１１号第１０１〜１０６頁に記載され
ているように、通常、異なる２種以上の飽和２価カルボ
ン酸と飽和２価アルコールとを重縮合させて得られるガ
ラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通常、
飽和２価カルボン酸として、芳香族２価カルボン酸と脂
肪族２価カルボン酸とが併用され、飽和２価アルコール
として脂肪族又は脂環式２価アルコール、即ち、グリコ
ールが用いられる。特に、本発明においては、芳香族２
価カルボン酸／脂肪族２価カルボン酸モル比が８０／２
０乃至２０／８０、好ましくは７０／３０乃至５０１５
０である飽和２価カルボン酸混合物とグリコールとを等
モルにて重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステル
樹脂が好ましく用いられる。本発明においては、芳香族
２価カルボン酸としてテレフタル酸、脂肪族多価カルボ
ン酸としてセバシン酸、アジピン酸、グリコールとして
エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、プロピ
レングリコール等を用いて得られる飽和共重合ポリエス
テル樹脂が好ましく用いられる。尚、必要に応じて、飽
和共重合ポリエステル樹脂の製造においては、カルボン
酸成分として３価以上の飽和多価カルボン酸や、３価以
上の多価アルコールが一部併用されてもよい。

また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸の共重合
体としては、従来よりアクリル系粘着剤として知られて
いる粘着剤において、主成分であ　　　′る弾性重合体
として用いられている任意のものを含む。アクリル系粘
着剤において弾性重合体として用いられている重合体は
、通常、実質的にアクリル酸エステル共重合体である。

この共重合体は、通常、粘着性を有せしめるために低い
ガラス転移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチ
ル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−２〜エチルヘキシ
ル等のアクリル酸アルキルエステルを生モノマーとし、
凝集性を有せしめるために高いガラス転移点を有する硬
い重合体を形成するコモノマー、例えば、酢酸ビニル、
アクリロニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタ
クリル酸メチル等、及び架橋性や接着性の改良のために
カルボン酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒド
ロキシルメチル基等の官能基を有する単量体、例えば、
アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシル
エチルメタクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリ
レート、アクリルアミド、グリシジルメタクリレート等
のモノマーを共重合させてなる共重合体である。

本発明において用いる紫外線架橋性アクリル酸エステル
は、紫外線の照射によって架橋するオリゴマー又は七ツ
マ−としてのアクリル酸エステル又はメタクリル酸エス
テルをいい、分子内に少なくとも２つのアクリロイル基
又はメタクリロイル基を有する。具体的には、かかるオ
リゴマーとしては、例えばオリゴエステルアクリレート
等を、また、モノマーとしては、例えば、１．６−ヘキ
サンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパン
トリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアク
リレート、ジペンタエリスリトールへキサアクリレ−１
・等の多価アルコールとアクリル酸のエステル、或いは
１．６−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロ
ールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメ
タンテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンクメタクリレート等の多価アルコールとメタクリル酸
のエステル等を挙げることができる。

本発明において、感圧接着剤組成物は、前記弾性重合体
１００重量部について、上記紫外線架橋性アクリル酸エ
ステルを１５〜２０（ｌｆｆｉｆＪ部、好ましくは５０
〜１５０重量部の範囲にて含有する。

弾性重合体１００重量部について、上記紫外線架橋性ア
クリル酸エステルが１５重量部よりも少ないときは、得
られる接着剤組成物に紫外線を照射しても、その接着力
が実質的に変化せず、一方、２００重量部を越えるとき
は、紫外線照射によって、その接着力を低減させること
はできるが、例えば、シリコンウェハーのダイシング後
のダイスのピックアップ時に、ダイスに接着剤が残留す
ることがあり、好ましくないからである。

本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更に重合開
始剤を含有し、必要に応じて重合禁止剤を含有する。重
合開始剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルの紫
外線照射による架橋を促進するために用いられる。この
ような重合開始剤は、一般に、紫外線架橋重合の技術分
野においてよく知られており、本発明においては、従来
より一般に知られている重合開始剤を用いることができ
る。

かかる重合開始剤の具体例として、例えば、ベンゾイン
メチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等の
ベンゾインアルキルエーテル類や、ベンゾイン、ベンジ
ル、ベンゾフェノン等の芳香族オキシケトン類や芳香族
ケトン類、更には、ベンジルジメチルケタール、ポリビ
ニルベンゾフェノン等を挙げることができるが、これら
に限定されるものではない。

重合禁止剤は、上記紫外線架橋性アクリル酸エステルが
紫外線照射によらず、例えば、熱によって重合すること
を防止するために、必要に応じて添加されるもので、か
かる重合禁止剤としても、従来より知られている通常の
重合禁止剤を用いることができる。このような重合禁止
剤としては、例えば、ピクリン酸、フェノール、ハイド
ロキノン、ハイトルキノンモノメチルエーテル等ヲ用い
ることができる。

上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、紫外線架橋
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、例えば、重合開始剤は、前記紫外線架橋性
アクリル酸エステル１００重量部について１〜２０重量
部、重合禁止剤は必要に応じて０．１〜１重量部の範囲
で用いられる。

本発明において用いる感圧接着剤組成物は、光増感剤と
して、アミノ基を有する（メタ）アクリル酸エステルを
含有する。光増感剤は、一般に、単独では紫外線の照射
によっても活性化しないが、光重合開始剤と共に併用す
るとき、紫外線架橋性化合物のゲル化時間を短縮する機
能を有するものとして定義されるが、特に、本発明にお
いては、前記した感圧接着剤組成物が上記した光増感剤
を含有するとき、例えば、半導体ウェハーのダンンング
において、得られるダイスに糊残りが生じない。

特に、本発明においては、かかる光増感剤として、−形
式％式％一儀式（但し、Ｒは水素又はメチル基を示し、Ｒｏはアルキル
基又はアルケニル基を示す。）で表わされる（メタ）アクリル酸エステルが好ましく用
いられる。Ｒｏとしては、特に、低級アルキル基、例え
ば、メチル基が好ましい。従って、例えば、Ｎ、Ｎ−ジ
メチルアミノエチルアクリレートやＮ−メチルアミノビ
スエチルアクリレートが好ましく用いられる。

光増感剤は、本発明においては、通常、光架橋性アクリ
ル酸エステル１００重量部について１〜１００重量部の
範囲で用いられる。配合量が余りに少ないときは、被着
体への糊残りが尚生じ、他方、余りに多量に配合しても
、その効果が飽和するからである。

本発明において用いる感圧接着剤Ｍｉ成物は、好ましく
は、更に粘着付与剤を含有する。特に、用いる弾性重合
体が飽和共重合ポリエステル樹脂である場合は、この粘
着付与剤を併用することが好ましい。用い得る粘着付与
剤は特に制限されず、従来より一般に粘着剤の製造にお
いて用いられているものが適宜に用いられる。このよう
な粘着付与剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや
重合ロジン、水添ロジン、ロジンエステル等の変性ロジ
ン系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、ロ
ジンフェノール樹脂等のテルペン系樹脂、脂肪族系、芳
香族系及び脂環式系石油樹脂、クマロン樹脂、スチレン
系樹脂、アルキルフェノール樹脂等を挙げることができ
る。粘着付与剤は、飽和共重合ポリエステル樹脂１００
重量部について、通常、１０〜２００重量部の範囲で用
いられる。粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、
接着力又は粘着力が不十分であり、他方、多すぎるとき
は、得られる接着剤組成物に紫外線を照射した後の接着
力の低下幅が小さく、また、かかる接着剤組成物をダイ
シングフィルムに通用した場合、シリコンウェハーのダ
イシング後のダイスのピックアップ時に、ダイスに粘着
付与剤が残留することがあり、好ましくないからである
。

本発明において用いる感圧接着剤組成物は、好ましくは
、上記した配合量にて弾性重合体、紫外線架橋性アクリ
ル酸エステル、重合開始剤及び光増感剤を、必要に応じ
て粘着付与剤、重合禁止剤、充填剤、老化防止剤、着色
剤等と共に、これらを溶解する適宜の有機溶剤、例えば
、芳香族炭化水素、ケトン類、又はこれらの混合物に溶
解することによって、均一な溶液状組成物として得るこ
とができる。溶剤としては、例えば、具体的にはトルエ
ンとメチルエチルケトンとの混合溶剤が好ましく用いら
れるが、しかし、これに限定されるものではない。また
、接着剤組成物における弾性重合体の含有量は、用途等
に応じて適宜に選ばれるが、通常、１０〜５０重量％の
範囲である。しかし、これに限定されるものではない。

特に、弾性重合体及び粘着付与剤は、通常、溶液の形態
にて市販されており、これらを使用することが便利であ
るので、例えば、これらの溶液を混合し、これに紫外線
架橋性アクリル酸エステル、重合開始剤及び光増感剤、
更に必要に応して、その他の添加混合し、均一に溶解す
ればよい。

本発明による感圧接着性シートは、上記のような感圧接
着剤組成物の層を紫外線を透過し得る基材樹脂シート上
に常法に従って形成することによって得ることができる
。

上記基材樹脂シートとしては、紫外線を透過し得る限り
は、特に制限されることなく、種々の樹脂シートを用い
ることができるが、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂
シートが用いられる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビ
ニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸
ビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン、ポリオレフ
ィン、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリエステ
ル、ポリカーボネート、アセチルセルロース等からなる
樹脂シートが好適に用いられる。

上記した種々の基材樹脂シートのなかでも、可塑剤を含
有するポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの共重合体からな
る樹脂シートは、柔軟であり、更に、廉価でもあるので
、本発明の方法において特に好適に用いることができる
。また、塩化ビニル樹脂ソート以外にも、可塑剤を含有
する基材シートとして、好適に用いる得るものもある。

例えば、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩
化ビニル−酢酸ヒニル共重合体ｍ　脂、塩化ヒニルーア
クリル酸エステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン、
アセチルセルロース等を挙げることができる。

ここに、上記可塑剤は、特に制限されるものではないが
、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート
、ジデシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブチ
ルベンジルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリク
レジルホスフェート、トリオクチルホスフェート、トリ
フェニルホスフェート、２−エチルへキシルジフェニル
ホスフェート、タレジルジフェニルホスフェート等のリ
ン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオクチルセバ
ケート、ジオクチルアゼレート、アセチルクエン酸トリ
ー２−エチルヘギシル等の脂肪酸ジエステル、ポリプロ
ピレンアジペート、ポリプロピレンセバケート等のポリ
エステル系可塑剤、エポキシ化大豆油等のエポキシ系可
塑剤、塩素化パラフィン、塩素化脂肪酸エステル等の塩
素系可塑剤等を挙げることができる。

しかしながら、このように、感圧接着性シートの基材樹
脂シートとして、可塑剤を含有する樹脂シートを用いる
場合は、このｐ４脂シートから可塑剤が感圧接着剤組成
物中に移行し、また、通常、可塑剤と紫外線架橋性アク
リル酸エステルとは相溶性がよいために、感圧接着剤組
成物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸エステルが樹脂
シート中に１多行し、このような相互移行によって、ダ
イシングフィルムの紫外線照射後の接着力の低減効果が
著しく減少する場合がある。

従って、本発明においては、基材樹脂シートとして、可
塑剤を含有する樹脂シートを用いる場合は、この基材樹
脂シートと感圧接着剤組成物の層との間に紫外線の透過
を妨げないが、可塑剤及び紫外線架橋性アクリル酸エス
テルを共に透過させない樹脂層からなるバリヤ一層を介
在させることが好ましい。

即ち、このバリヤ一層は、紫外線の透過は何ら妨げない
が、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接着剤
組成物中に移行するのを阻止すると共に、感圧接着剤組
成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エステルが
基材樹脂シートに移行するのを阻止し、このようにして
、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基材中に
保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外線架橋性
アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持して、感圧
接着性シートの紫外線照射による接着力の経時的な低下
を防止する。

前記バリヤ一層としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン等のポリ−α−オレフィン、ポリエチレンテレフタレ
ート等のポリアルキレンテレフタレートのフィルムや、
樹脂塗膜、例えば、変性ポリアクリル樹脂等の樹脂塗膜
層が好適に用いられる。従って、バリヤ一層は、基材樹
脂シート上に前記例示した樹脂からなるフィルムを圧着
し、又はこの樹脂の溶融液を塗布して冷却し、若しくは
上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによって、形成
することができる。また、例えば、変性ポリアクリル樹
脂溶液を塗布し、必要に応じて加熱乾燥させて、塗膜を
形成させることによっても、バリヤ一層を得ることがで
きる。

上記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、種々のもの
が知られているが、本発明においては、一般に、耐溶剤
性にすぐれ、従って、紫外線架橋性アクリル酸エステル
や基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しない
アルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアクリ
ル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂としては
、例えば、酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型等が
好適に用いられる。

しかし、本発明においては、バリヤ一層は、前通したよ
うに、感圧接着剤組成物に含まれる紫外・　腺架橋性ア
クリル酸エステル及び基材樹脂シートに含まれる可塑剤
を実質的に透過させない限りは、特に、その素材におい
て制限されるものではないことは容易に理解されるとこ
ろであって、本発明において用いられる個ヤの具体的な
紫外線架橋性アクリル酸エステル及び可塑剤に応じて選
択される。

従って、本発明による感圧接着性シートは、例えば、基
材樹脂シート上に上記バリヤ一層を積層し、この上に上
述したような感圧接着剤組成物の溶液を基材シート上に
塗布し、乾燥することによって得ることができる。

前述したように、本発明による感圧接着性シートは、半
導体ウェハーのダイシングにおいてダイシングフィルム
として好適に用いることができるが、特に、本発明によ
る感圧接着性シートは、被着体との間に気泡が生成して
も、紫外線照射後に被着体に糊残りが生じないので、こ
の感圧接着性シートをダイシングフィルムとして用いて
、これに半導体ウェハーを接着固定するに際しては、そ
の雰囲気は開放又は密閉された空気であってよい。

しかし、例えば、窒素やヘリウム、アルゴン等のような
不活性気体下又は真空下にダイシングフィルムに半導体
ウェハーを接着固定してもよいのは、勿論である。

本発明による感圧接着シートを所要の被着面に適用した
後に、これに紫外線を照射する手段及び照射する方法は
特に制限されず、紫外線硬化性接着剤料や紫外線硬化性
接着剤の技術分野において、従来より通常に行なわれて
いる手段及び方法によることができる。例えば、照射手
段として、キセノンランプ、低圧、中圧、高圧或いは超
高圧水銀灯灯のような紫外線源を使用し、数秒乃至数分
、照射すればよい。

発明の効果以上のように、本発明による感圧接着性シートは、紫外
線を透過させ得る基材樹脂ソート上に弾性重合体と紫外
線架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤とアミノ基を
有する光増懇剤を主成分として含有する感圧接着剤の層
が形成されており、ここに、上記感圧接着剤組成物は、
その理由は必ずしも明らかではないが、紫外線の照射に
よってその接着力が著しく低減するので、ががる感圧接
着性シートを被着面に適用した後、上記基材樹脂シート
側から紫外線を照射することによって、この感圧接着性
シートを被着面から容易に剥離することができる。

しかも、本発明による感圧接着性シートは、大気中にお
いて、怒圧接着性シートと被着体との間に気泡が形成さ
れても、紫外線照射後に被着体を感圧接着性シートから
剥離したとき、被着体に糊残りがないので、紫外線照射
によって、常に糊残りなしにその接着力を低減させるこ
とができる。

従って、本発明による感圧接着性シートは、例えば、前
述したように、シリコンウェハーのダイシング用フィル
ムとして好適に用いることができ、且つ、性能の信頬性
の高いダイスを安定して得ることができる。

実施例以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定さ
れるものではない。また、実施例中、部とあるのは重量
部を示す。

離型紙上に第１表に示す配合の感圧接着剤を塗布し、１
２０℃で１分間乾燥し、感圧接着剤の層を固形分として
１０μｍ厚みに形成した。

ここに、弾性重合体として飽和共重合ポリエステル樹脂
を用いる場合は、テレフタル酸／セバシン酸モル比７０
／３０の飽和２価カルボン酸混合物とエチレングリコー
ルとを等モルにて重縮合させて得られるガラス転移魚釣
１０℃の樹脂を用いた。

また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸エステル
の共重合体を弾性重合体として用いる場合は、ポリアク
リル酸エステル又はアクリル酸エステルの共重合体を含
むアクリル系粘着剤溶液（三洋化成工業■ポリシック６
１０ＳＡ、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸エス
テル共重合体含有量約４０重量％）１００重量部に第１
表に示す量にて光架橋性アクリル酸エステル、重合開始
剤、光増感剤等を溶解して、感圧接着剤組成物を調製し
た。

この感圧接着剤組成物を離型紙上に塗布し、１２０°Ｃ
で１分間乾燥し、８圧接着剤の層を固形分として１０μ
ｍ厚みに形成した。

次に、平均重合度１３００のポリ塩化ビニル１００部、
可塑剤としてジオクチルフタレート又はポリエステル系
可塑剤３５部及び適宜量の安定剤からなる塩化ビニル樹
脂組成物から成形した厚み０、１龍のシート上に変性ア
クリル樹脂を塗布し、乾燥して、バリヤ一層を形成した
後、この基材樹脂シートのバリヤ一層の表面に上記感圧
接着剤層を重ねて貼り合わせて、本発明による感圧接着
性シートを得た。

比較のために、光増感剤としてのアミノ基を有するアク
リル酸エステルを含まない感圧接着剤組成物を用いて、
同様にして、感圧接着性シートを得た。

このようにして得たそれぞれの感圧接層性シートについ
て、離型紙を剥離した後、次のようにして、種々の条件
下における接着力を測定した。

紫外線照射前の接着力感圧接着性シートを幅２５寵１、長さ１００　＊會に裁
断して試験片とし、その間に気泡を形成させないように
して、これを被着体としてのステンレス板上に重ね、３
　ｋｇローラにて５回往復して押圧密着させ、室温で２
０分間放置した後、ショツパーにて引張速度３００ｎ／
分にて１８０°剥離試験を行なった。

紫外線照射後の接着力感圧接着性シートをステンレス板上に重ねる際に、強制
的に試験片とステンレス板との間に気泡を残存させ、塩
化ビニル樹脂シート側から主波長３６５ｍμ、１２０Ｗ
／ｃ１１１にて紫外線を７秒間熱−射した後、試験片を
ステンレス板から剥離し、目視及び５０倍顕微鏡にてス
テンレス板への瑚残りの有無を観察した。

また、上記と同様にして、感圧性接着シートをステンレ
ス仮に重ねる際に、幅２５ｍｍ、長さ１００■１の試験
片を得ることができる程度に十分に大きい気泡をシート
とステンレス板との間に強制的に」存させ、塩化ビニル
樹脂シート側から主波長３６５μｍ、１２０Ｗ／ａｍに
て紫外線を７秒間照射した。

次いで、感圧接着性シートを幅２５ｍ■、長さ１００１
１に裁断して試験片とし、その間に気泡を形成させない
ようにして、ステンレス板上に重ね、３　ｋｇローラに
て５回往復して押圧密着させ、室温で２０分間放置した
後、ショツパーにて引張速度３００１％／分にて１８０
６剥望試験を行なった。

結果を第１表に示す。

本発明の感圧接着性シートによれば、これを被着体に接
着させる際に、その間に気泡が形成されても、紫外線を
照射した後、被着体を剥離したとき、被着体に糊残りが
生じない。また、その結果、紫外線照射後の接着力は、
紫外線照射前に比較して、著しく低減されている。従っ
て、本発明の感圧接着性シートによれば、適当な配合設
計によって、当初数百ｇ　／　２５　ｍの接着力を有せ
しめ、紫外線照射後は数十ｇ　／　２５　ｕｒ程度にま
で接着力を減少させることができるので、前述したよう
に、シリコンウェハーのダイシングに好適に用いること
ができる。

これに対して、比較例の悪玉接着性シートによれば、こ
れを被着体に接着させる際に、その間に気泡が形成され
たときは、紫外線を照射した後、被着体を剥離したとき
、被着体に糊残りが生じていると共に、紫外線照射後の
接着力が尚高い。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）紫外線を透過させ得る基材樹脂シート上に（ａ）
弾性重合体、（ｂ）紫外線架橋性アクリル酸エステル、（ｃ）重合開始剤、及び（ｄ）光増感剤としてアミノ基を有する（メタ）アクリ
ル酸エステルを含有する感圧接着剤の層が形成されていることを特徴
とする紫外線照射によつて接着力を低減し得る感圧接着
性シート。
（２）弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感圧接着
性シート。
（３）弾性重合体がポリアクリル酸エステル又はアクリ
ル酸エステルの共重合体であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の感圧接着性シート。
（４）感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性シート。
（５）基材樹脂シートが可塑剤を含有し、且つ、紫外線
を透過させ得る樹脂シートであつて、この樹脂シート上
に、（ａ）弾性重合体、（ｂ）紫外線架橋性アクリル酸エステル、（ｃ）重合開始剤、及び（ｄ）光増感剤としてアミノ基を有する（メタ）アクリ
ル酸エステルを含有する感圧接着剤の層が、上記可塑剤及び紫外線架
橋性アクリル酸エステルを透過させないが、紫外線を透
過させる樹脂層を介して形成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性シート。
（６）基材樹脂シートがポリ塩化ビニル又は塩化ビニル
の共重合体からなることを特徴とする特許請求の範囲第
５項記載の感圧接着性シート。