JPS6247179A - 圧電性フイルムおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は改良された圧電性フィルムに関し、さらに詳し
くは機械的物性および高温時における圧電性に優れたフ
ィルムおよびその製造方法に関するものである。

（従来の技術） 従来より、セルロース、コラーゲン、ポリペプチド等の
天然高分子のフィルムが圧電性を示すことはよく知られ
ていたが、これらの圧電性は低く、また吸湿性などのた
めに、実際にはあまり用いられていなかった。

近年、圧電性フィルムとして、ポリフッ化ビニリデンお
よびその共重合体を初めとして、ポリフッ化ビニル、ポ
リ塩化ビニル、ナイロン等の合成高分子をボーリング処
理することによってエレクトレット化したものが注目を
集め、一部実用化もされている。これらの圧電性フィル
ムは薄いフィルム状にでき、生産性、加工性に優れてい
ること、機械インピーダンスが小さい等の特徴があるた
めに、マイクロホン、スピーカー、ヘッドホン等の電気
音響変換素子、超音波トランスデユーサ−、キーボード
、圧力センサー等の圧力−電気変換素子として用いられ
ている。

しかし、これらの圧電性フィルムは機械的物性が不足し
、また高温になると自発分極を消失して圧電性を失って
しまい、またはなはだしい場合には融解、著しい収縮な
どの寸法変化や、熱分解による着色劣化等をひき起こす
という欠点がある。

一方、電子機器の小型化という根強いニーズに基づき、
電子機器に用いられる材料や素子には、使用時または製
造工程における耐熱性の向上が強く望まれている。この
ような要求を満たず高分子素材として、ポリパラフェニ
レンテレフタラミド（以下、ＰＰＴＡと略す）に代表さ
れる直線配位性の芳香族ポリアミドは、特に優れた結晶
性や高い融点、また剛直な分子構造のゆえに、高い耐熱
性および機械的強度を有し、特にその優れた強度、耐熱
性および高い誘電率から、圧電性フィルム素材としても
極めて有望な高分子である。

しかし、従来のＰＰＴＡフィルムは強度、構造的に異方
性が大きく、例えば特公昭５９−１４５６７号公報に、
光学異方性を有する芳香族ポリアミド溶液を、スリット
から短い空気層を介して凝固浴中に押し出して得るフィ
ルムが開示されているが、このフィルムを圧電性フィル
ムとして使用すると、フィルムの機械方向（以下、ＭＤ
力方向称する）には極めて強いが、それと直行する方向
（以下、ＴＤ力方向称する）には極端に弱く裂けやすい
ものとなり、全く実用には耐えられないものであった。

さらに高温に曝された場合、フィルムの収縮、カールの
発生、寸法変化などの好ましくない現象も見られた。

（発明が解決しようとする問題点） 以上のように、ＰＰＴＡの光学異方性ドープは、ポリマ
ーが液晶として集合したドメイン構造を有するため、ド
ープをフィルム状とした場合、わずかな剪断力でその方
向への分子配向が高度に起こり、その結果それにより得
られた圧電性フィルムはＭＤ力方向容易に裂けやすくな
り、また寸法安定性にも乏しいものとなる。

これを避けようとして光学等方性ドープを用いようとす
れば、有用な高分子量のＰＰＴＡポリマーでは極めて高
粘度となり、約５重量％以下のポリマー濃度でないと製
膜不能となり、この濃度の光学等方性ドープから製膜し
たフィルムは、凝固に際してボイドを生成しやすく、ま
た機械的物性も不十分なものとなり、圧電性フィルムと
しては全く使用することができない。

以上のように、ＰＰＴＡフィルムは、その耐熱性、およ
びボーリング処理をした後の圧電性能から見れば、高温
特性に優れた圧電性フィルムとして十分期待されるもの
でありながら、上記のごとき機械的性質が全く不十分な
ため、実用に供し得るようなものはまだ得られていない
。

本発明の目的は、このような問題点を解決し、耐熱性お
よび機械的性質に優れた圧電性フィルムおよびその製造
方法を提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 本発明者らは上記問題点の解決のために鋭意検討した結
果、ＰＰＴＡフィルムの製膜過程において、フィルム状
としたドープを光学異方性から光学等方性に転化して得
たフィルムを、一定温度以上でボーリング処理すること
により得られた圧電性フィルムが、かかる問題点を解決
することを見出し、本発明を完成するに到った。

すなわち本発明は、対数粘度ηｉｎｈが２．５以上の実
質的にポリパラフェニレンテレフタラミドからなり、１
８０℃における圧電率（ｄ３１）が５ｘｌ　Ｏ’　ｃｇ
ｓ　−ｅｓｕ以上であることを特徴とする圧電性フィル
ムであり、また本発明のフィルムの製造方法は、対数粘
度ηｌｎｈが２．５以上の実質的にポリパラフェニレン
テレフタラミドの光学異方性ドープを製膜後、凝固に先
立って光学等方性に転化して得たフィルムを、２５０℃
以上の温度でボーリング処理することを特徴とする。

本発明に用いられるＰＰＴＡは実質的にされるポリマー
であり、例えば従来公知のバラフェニレンジアミンとテ
レフタロイルクロライドから、低温溶液重合法により製
造するのが好都合である。

本発明のポリマーの重合度は、あまりに低いと本発明の
目的とする機械的性質の良好な圧電性フィルムが得られ
なくなるため、対数粘度η１ｎｈ（硫酸１００ｍ１にポ
リマー０．２ｇを溶解して３０℃で測定した値）が２．
５以上、好ましくは３．５以上を与える重合度のものか
ら選ばれる。

本発明のＰＰＴＡフィルムの成型に用いるドープを調製
するための、ＰＰＴＡの溶媒としては、９８重量％以上
の濃度の硫酸、クロル硫酸、フルオル硫酸またはそれら
の混合物が好ましく用いられる。硫酸は１００％以上の
もの、すなわち発煙硫酸、トリハロゲン化酢酸などを、
本発明の効果を損なわない範囲で混合して用いてよい。

本発明に用いられるドープ中のポリマー濃度は、常温（
約２０〜３０℃）またはそれ以上の温度で、光学異方性
を示す濃度以上が用いられる。具体的には約１０重量％
以上、好ましくは約１２重量％以上である。常温または
それ以上の温度で光学Ｗ方性を示さないポリマー濃度で
は、成型されたＰＰＴＡフィルムが好ましい機械的性質
を持たなくなることが多い。ドープのポリマー濃度の上
限は特に限定されるものではないが、通常は２５重量％
以下、特に高いηｉｎｈのＰＰＴＡに対しては２０重量
％以下が好ましい。

ドープが光学異方性か光学等方性であるかは、特公昭５
（１−８４７４号公報記載の方法で調べることができる
が、その臨界点は、溶媒の種類、温度、ポリマー濃度、
ポリマーの重合度、非溶媒の含有量等に依存するので、
これらの関係をあらかじめ調べることによって、光学異
方性ドープをつくることができる。

本発明のドープには普通の添加剤、例えば、増量剤、除
光沢剤、紫外線安定化剤、熱安定化剤、抗酸化剤、顔料
、溶解助剤などを混入してもよい。

本発明の圧電性フィルムのベースフィルムとなるべきＰ
ＰＴＡフィルムの製膜方法は、上記の光学異方性ドープ
を用い、以下のように行なうことが望ましい。

まずガラス板または金属板、もしくは一部を凝固浴中に
浸した回転ドラム等の支持面上に、光学異方性ドープを
均一に流延する。本発明においては、このフィルＪい伏
としたドープが凝固する前に、光学異方性から光学等方
性に転化させる。光学異方性から等方性に転化する方法
は特に限定されないが、例えば支持面上にフィルム状と
した光学異方性ドープを、吸湿させた後、あるいは吸湿
させなから、加熱することにより達成される。このよう
な方法により光学等方性化する機構は必ずしも明らかで
はないが、吸湿によりドープの光学異方性領域が縮小す
るのに加えて、加熱することによリドープが昇温し、ド
ープの相を光学等方性に転移させているためであろうと
思われる。

ドープを吸湿させるには、ドープを絶対湿度１ｇ（水）
／ｋｇ（乾燥空気）以上、好ましくは３ｇ（水）／ｋｇ
（乾燥空気）以上で、かつ相対湿度９９％以下の雰囲気
中を通過させることにより達成することができる。また
通常の湿度雰囲気にさらに積極的に加湿を施ず工夫は、
加熱温度を低く、光学等方性化するまでの時間を短くで
きる点から、望ましい実施態様である。

ドープの温度としては、ポリマー濃度、ポリマーの重合
度、溶媒濃度、ドープの厚み、さらには吸湿の程度によ
り左右されるが、通常は４５℃以上が好ましく用いられ
る。上限温度は、ポリマーの分解の点から一般的にはあ
まり高くないことが望ましく、２００℃を超えない程度
に選ばれることが望ましい。

ドープをフィルム状化した後、固化するための凝固液と
しては、例えば水、約７０重量％以下の希硫酸、約２０
重量％以下の水酸化ナトリウム水溶液およびアンモニア
水、約５０重量％以下の塩化ナトリウム水溶液および塩
化カルシウム水溶液などが好ましい。凝固浴の温度は特
に制限されるものではなく、通常約−５℃〜５０℃の範
囲で行なわれる。

凝固されたフィルムはそのままでは酸が含まれているた
め、加熱による機械的物性の低下の少ないフィルムを製
造するには酸分の洗浄、除去をできるだけ行なう必要が
ある。酸分の除去は、具体的には約５０００ｐｐｍ以下
、好ましくは５００ｐｐｍ以下まで行なわれる。

洗浄液としては水が通常用いられるが、必要に応じて温
水で行なったり、アルカリ水溶液で中和洗浄した後、水
などで洗浄してもよい。また、洗浄方法は、洗浄液中で
フィルムを走行させてもよいし、洗浄液を噴霧してもよ
い。

洗浄されたフィルムは、次いで乾燥する必要がある。こ
こで乾燥とは、フィルムに付着している洗浄液などを取
り除くのみならず、熱固定を行なう意味があり、加熱さ
れた非活性気体、例えば空気、窒素、アルゴンなどでの
雰囲気下の乾燥、加熱ロール上での乾燥、テンターでの
加熱雰囲気下の乾燥などいずれの方法でもよい。これら
の乾燥は緊張下または定長下に、フィルムの収縮を制限
して行なう方法が好んで用いられる。

乾燥温度は、特に限定されるものではないが、機械的強
度を効果的にするためには高温のほうが好ましく、２０
０℃以上、さらにボーリング処理時の寸法安定性を考え
れば２５０℃以上の温度が好ましく用いられる。このよ
うな熱処理により得られたフィルムは、フィルム表面に
直角に入射したＸ線による（２００）面の回折強度が最
大となる方向の結晶配向角が３０°以ｊ二、フィルム表
面に平行に入射したＸ線による（０１０）面の結晶配向
角が６０°以下という結晶構造を有する。

かくして得られたＰＰＴＡフィルムは、必要に応じて延
伸後、２５０℃以上の温度でボーリング処理することに
より本発明の圧電性フィルムが得られる。ボーリング処
理は、１００〜５００ＫＶ／　Ｃｍの電界強度を１０〜
６０分間、好ましくはフィルムの厚み方向に作用させて
分極を誘起し、電界をかけたままで温度を常温近くまで
冷却し、分極を凍結することにより行なわれる。２５０
℃未満のボーリング温度では本発明の目的とする圧電率
は得られない。このようにして、１８０℃における圧電
率（ｄ３１）を５Ｘ１０−Ｓｃｇｓ−ｅｓｕ以上にする
ことができる。

ボーリング処理を行なう前に一軸延伸した場合は、上記
結晶面の配向性がより明確に表われ、より優れた圧電性
と一軸方向に優れた機械的特性を有する圧電フィルムが
得られる。

Ｘ線の入射は第１図に示すごとく、フィルム表面に直角
に入射する場合（以下、ＴＶ方向と称する）と表面に並
行に入射する場合（以下、ＳＶ力方向称する）とに分け
られる。

ＰＰＴＡの結晶構造については広く論じられており、例
えば高柳ら（Ｊ、Ａｐｐβ、ｐｏｎｙｍ。

Ｓｃｉ、、第２３巻、９１５ページ（１９７９）〕の研
究がある。本発明のフィルムは、ＴＶ方向からのＸ線に
よる（２００）面の反射である２θζ２３°に大きな回
折ピークを持つが、この２θ＃２３°における回折強度
が最大となる方向の結晶配向角が３０°以上、特に３０
’以上、Ｔｏ”未満であることが好ましい。さらにＳ■
力方向らの入射による（０１０）面の反射である２θ−
１８°の大きな回折ピークが赤道線上に現われるが、こ
の２θ＃１８°における結晶配向角が６０°以下である
ことが好ましい。

この結晶配向角で定義される面配向性を持つことにより
、より優れた圧電性と、さらに−軸方向に優れた機械的
物性を持つ圧電性フィルムが得られる。

結晶配向角の測定方法としては公知の方法が採用でき、
例えば次のように行なう。所定の２０の角度に計数管を
置き、フィルムを１８０°回転することにより回折強度
曲線を得る。ＴＶにおいては、最高強度を中心とし、前
後９０°の間を回転させるべきである。この曲線の最高
強度の最低強度点間に引いたベースラインに対する半分
の強度を示す点に対応する、回折写真における円弧長を
度で表わした値、すなわち最高強度のベースラインに対
する５０％の点に対する角度を測定し、それを試料の結
晶配向角とする。フィルムは必要により何枚か重ねて回
折強度を測ればよい。

このような結晶配向角をもったフィルムを得るためには
、好ましくは前述した製膜方法に加えて、次に述べる延
伸を行なうことによって達成される。

すなわち、凝固したフィルムを、水洗によって溶剤を除
去した後、乾燥する前に、実質的に溶剤は含まず、かつ
水分を含む膨潤状態で１軸に延伸する、いわゆる湿式延
伸する方法である。

凝固水洗したフィルムの水分は、一般に、ドープ中のポ
リマー濃度、凝固浴の温度に依存するが、本発明を効果
的に実施する上で上記フィルムの水分は、ポリマー１０
０重量部に対し５０重量部以上が好ましく、このような
水分を含む状態で１．０５倍以上の、通常用いられる方
法、例えばロール周速差により、またはテンターを用い
て延伸が行なわれる。ここで最高延伸倍率は約２．５倍
以下が好ましく、それ以上で延伸すると切断したり、延
伸した方向の結晶配向角が小さくなり過ぎ、延伸した方
向と直角の方向の機械的強度が弱く、裂けやすくなるば
かりでなく、フィブリル化も起こすようになる。

ボーリングされたフィルムは自発分極を持ち、１８０℃
の高温においても圧電性を有し、その値は５Ｘ１０−９
　ｃｇｓ　・ｅｓｕ以上であり、十分な高温特性を有す
る。従来知られている主たる高分子圧電性フィルムは、
１８０℃の状態におけばほとんどその性状に変化をもた
らし、再び常温に戻しても昇温以前の圧電性や形状など
を失ってしまう。例えば、ポリフッ化ビニリデンは融解
し、圧電性を失ってしまうし、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルムは収縮を起こし、やはり圧電性を失ってし
まう。このように１８０℃という温度に長時間曝される
という苛酷な条件に耐えるだけの圧電性と十分な機械的
物性を持った高分子フィルムは今までのところ実用化さ
れた例はない。

本発明における圧電率（ｄ３１）とは、ボーリング方向
に垂直な面内（通常、フィルム面内）に加えた力によっ
て結晶中に生じた応力をＴとし、そのとき生じるボーリ
ング方向の結晶中の電気分極をＰとすると、次式で表わ
される。

ｄ３１＝Ｐ／Ｔ 該フィルムが延伸によって配向しているときは、応力の
方向と配向の方向を一致させたときに圧電率が最も大き
くなる。本発明のＰＰＴＡフィルムを−軸延伸したフィ
ルムは、高度の分子配向が起こるため、圧電率もより大
きくなる傾向がある。

以下に実施例を示すが、これらの実施例は本発明を説明
するものであって、本発明を限定するものではない。な
お、実施例中特に規定しない場合は重量部または重量％
を示す。

対数粘度ηｌｎｈは９８％硫酸１００ｍ１にポリマー０
．２ｇを熔解し、３０℃で常法で測定した。

強伸度およびモジュラスは、定速伸長型強伸度測定機に
より、フィルム試料を１００ｍｍＸＩＱＤＯ長方形に切
りとり、最初のつかみ長さ３０＊ｎ、引張り速度３００
／分で５枚の荷重−伸長曲線を描き、これより算出した
ものである。

誘電率は、２３℃、１０００Ｈｚで測定した値であり、
ｄ３１は東洋精機製レオログラフを用い、１０）（ｚで
測定した値である。

（実施例） 参考例（ＰＰＴＡの製造） 低温溶液重合法により、次のごと＜ＰＰＴＡを得た。特
公昭５３−４３９８６号公報に示された重合装置中でＮ
−メチルピロリドン１０００部に無水塩化リチウム７０
部を溶解し、次いでバラフェニレンジアミン４８．６部
を溶解した。８℃に冷却した後、テレフタル酸ジクロラ
イド９１．４部を粉末状で一度に加えた。数分後に重合
反応物はチーズ状に固化したので、特公昭５３−４３９
８６号公報記載の方法にしたがって重合装置より重合反
応物を排出し、直ちに２軸の密閉型ニーグーに移し、同
ニーダ−中で重合反応物を微粉砕した。

次に微粉砕物をヘンシェルミキサー中に移し、はぼ等量
の水を加えさらに粉砕した後、濾過し、数回温水中で洗
浄して、１１０℃の熱風中で乾燥した。このようにして
ηｉｎｈが６．５の淡黄色のＰＰＴＡポリマー９５部を
得た。なお、異なったηｉｎｈのポリマーはＮ−メチル
ピロリドンとモノマー（バラフェニレンジアミンおよび
テレフタル酸ジクロライド）の比、または／および七ツ
マー間の比等を変えることによって容易に得ることがで
きる。

実施例１ ηｉｎｈが６．２のＰＰＴＡを９９．６％の硫酸に６０
’Ｃでポリマー濃度が１４．０％になるように溶解した
。このドープは８０℃で光学異方性を示し、粘度は３３
００ポイズであった。このドープを８０℃に保ったタン
クに入れ、タンクからギアポンプを経てダイに到る１、
５ｍの曲管を８０゛Ｃに保ち、０．２ｍｍＸ３００璽ｌ
のスリン１〜をもったダイから、鏡面に磨いた移動する
ハステロイ製のベルトにキャストした。このベルト−ヒ
で、絶対湿度７．０ｇ（水）／ｋｇ（乾燥空気）の２０
℃の空気中を移動させ、その際市販の加湿器により絶対
湿度を約１４ｇ（水）／ｋｇ（乾燥空気）に調整したボ
ックス中を１５秒間走らセ、キャスト地点から熱風ゾー
ン入口まで３５秒間かかるような速度で移動させ、次い
で７０℃の熱風を吹きつけるゾーンの中を４秒間で通過
させたところ、光学等方性の透明なドープを得た。その
後、５℃の水で凝固、水洗、５％水酸化ナトリウム水溶
液で中和、水洗を行なった後、この湿フィルムを３００
℃で２０分間、定長乾燥して厚さ１８μの透明フィルム
を得た。得られたフィルムのＴＶ方向（２００）面の配
向角は８４°、ＳＶ力方向０１０）面の配向角は４３゜
であった。引張破断強度はＭＤ力方向ＴＤ力方向それぞ
れ２６．５ｋｇ／ｍｎ？、　２６．３ｋｇ／ｍｒｄ、モ
ジュラスは６２０ｋｇ／ｍｎ（，５６３ｋｇ／ｍ％であ
り、フィルムのηｉｎｈは５．７であった。また誘電率
は６．３であった。

このフィルムの両面にアルミニウムを蒸着してボーリン
グ電極とし、電界強度３００ＫＶ／（１）の直流電圧を
２０分間印加し、電界強度はそのままに室温まで冷却し
分極処理を施した。このときのボーリング温度と１８０
℃におけるｄ３１の関係は、２４０℃のとき３．９ｘｌ
Ｏ’、２６０℃のとき７゜４Ｘ１０’、２８０℃のとき
８．ＯＸｌｏ−９ｃｇｓ・ｅｓｕであった・ 比較例１ 実施例１において、ベルト上にキャストするかわりに、
１ｃＩｎの空気層を介して、５℃の水に直接凝固させた
。後の処理は実施例１と同様に行なったが、得られた不
透明なフィルＪいの厚みは２３　ｐであり、ＴＤ力方向
２００）面の配向角は２６°、ＳＶ力方向０１０）面の
配向角は３４°であった。

引張破断強度ばＭＤ力方向ＴＤ力方向それぞれ３６．４
ｋｇ／ｍｍ、４．１ｋｇ／ｍｎ（、モジュラスは各々６
５３ｋｇ／ｍｎ（，５４６ｋｇ／ｍｍであり、フィルム
のηｉｎｈは５．６であった。

このフィルムはＭＤ力方向裂は易く、取扱い難いもので
あったが、実施例１と同様にボーリング処理を施したと
ころ、２５０℃のボーリング温度ではカールしてしまい
、圧電性フィルムとしてとても使用に耐えるものではな
かった。

実施例２ ηｌｎｈが５．５のＰＰＴＡポリマーを９９．７％の硫
酸にポリマー濃度１３．０％で溶解し、６０℃で光学異
方性のあるドープを得た。このドープの粘度を常温で測
定したところ、１４，５００ボイズであった。製膜しや
すくするために、このドープをタンクに入れ、約７０℃
に保持したところ、上記と同じく光学異方性を有し、粘
度は４２００ボイズに低下した。このドープをタンクか
らギアポンプを経てダイに到る１、５ｍの曲管を約７０
℃に保ち、０．２１１Ｘ３００１１のスリットをもった
ダイから、鏡面に磨いた１１０℃に保ったハステロイ製
のベルトにキャストし、２０℃で相対湿度６８％の雰囲
気中に４０秒間保った後、凝固し連続的に製膜した。製
膜途中凝固直前のベルト上よりドープをサンプリングし
たところ、かなりの高粘度で光学等方性であった。

凝固したフィルムをとり出して常温の水で１晩洗浄し、
水分を測定したところ、ポリマー１００重量部に対し、
３５０重量部の水を含んでいた。

水を含んだままのフィルムを、定速伸長型強伸度測定機
の１００ｍ幅のチャックにはさみ１００ｍｍの長さから
、ＭＤ力方向１．５倍延伸しそのまま２８０℃の熱風を
当て定長乾燥を行なった。

得られた厚さ１７μのフィルムのＴＤ力方向２００）面
の配向角は５１°、ＳＶ力方向０１０）面の配向角は４
２°であった。引張破断強度はＭＤ力方向ＴＤ力方向そ
れぞれ５４．９ｋｇ／ｍｎｆ、１３．８ｋｇ／ｍｒｄ、
モジュラスは各々１４６０ｋｇ／ｍイ、３４０　ｋｇ／
ｍ　ｎ（であり、フィルムのηｉｎｈは５．０であった
。また誘電率は６．６であった。

このＰＰＴＡの一軸延伸フィルムをボーリング温度２８
０℃で、電界強度をそれぞれ２００．３００および３５
０ＫＶ／ｃｍと変化させたときの１８０℃におけるｄ３
１の値は、それぞれ７．３　Ｘ　１０−９．１、５　Ｘ
　１０−９および１．４Ｘ１０−９ｃｇｓ−ｅｓｕであ
った。またこの圧電率の値は室温で一週間放置後も実質
的な変化は認められなかった。

実施例３ ηｌ’ｎｈ５．０のＰＰＴＡポリ′７−を９９．６％の
硫酸に６０℃でポリマー濃度１１．０％で溶解し、６０
℃で光学異方性のドープを得た。このドープの粘度は６
０℃で６３００ボイズであった。このドープを、室温３
０℃のガラス板上に０．０５　ｍｌの段差のついたアプ
リケータにより製膜した。そのときの気温は３０℃１相
対湿度は８３％であり、その雰囲気下に１２０秒間放置
したところ、ガラス板上のドープは光学異方性から光学
等方性に変化した。その直後、水中に入れて凝固させた
。凝固したフィルムを取り出して常温の水で１晩洗浄し
、水分を測定したところ、ポリマー１００１１１１部に
対し、３８０重量部の水を含んでいた。水を含んだまま
のフィルムを定速伸長型強伸度測定機で１．４倍延伸し
、そのまま２５０　’ｃの熱風で乾燥した。

得られた８μの厚みの透明フィルムのＴＤ力方向２００
）面の配向角は５６°、ｓｖ方向（０１０）面の配向角
は４０°であった。引張破断強度はＭｒ）方向、ＴＤ力
方向それぞれ４．８．６　ｋｇ　／　ｍ　ｎ？　。

１６、１　ｋｇ／ｍｇ、モジュラスは各々１１６０ｋｇ
／ｍｒｒｒ、　４１０ｋｇ／ｍｒｄであり、フィルムの
？７ｉｎｈは４．６であった。またこのフィルムの誘電
率は６．５であった。

この−軸延伸フィルムを２５０　’ｃ、４００ＫＶ／ｃ
ｍでボーリング処理した。この処理フィルムの１８０℃
におけるｄ３１は１．２Ｘ１０−９　ｃｇｓ　・ｅｓｕ
であった。

（発明の効果） 本発明の圧電性フィルムは、実施例にも示したように、
特に高温時の圧電性に優れ、１４種絶縁材料と同等の耐
熱性を有すると見做されるので、圧電デバイスの製造ま
たは使用時に１８０　’Ｃまでの高温条件を採用するこ
とができる。さらに本発明の圧電性フィルムは、優れた
強度とモジュラスを有し、市販のフィルムにはない高い
機械的物性を示す。また圧電性のみならず、焦電性も有
しているので、電気部品等の広い用途にも適用すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、結晶配向角を求める際のＰＰＴＡフィルムに
対するＸ線の入射方向を示す図である。 代理人　弁理士　　川　北　武　長 第１図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）対数粘度ηｉｎｈが２．５以上の実質的にポリパ
   ラフェニレンテレフタラミドからなり、１８０℃におけ
   る圧電率（ｄ３１）が５×１０＾−＾９ｃｇｓ・ｅｓｕ
   以上であることを特徴とする圧電性フィルム。
2. （２）フィルム表面に直角に入射したＸ線による（２０
   ０）面の回折強度が最大となる方向の結晶配向角が３０
   °以上であり、フィルム表面に並行に入射したＸ線によ
   る（０１０）面の結晶配向角が６０°以下であることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧電性フィルム
   。
3. （３）対数粘度ηｉｎｈが２．５以上のポリパラフェニ
   レンテレフタラミドの光学異方性ドープを製膜後、凝固
   に先立って光学等方性に転化して得たフィルムを、２５
   ０℃以上の温度でボーリング処理することを特徴とする
   圧電性フィルムの製造方法。