JPS624418A - 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 - Google Patents
超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙Info
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- JPS624418A JPS624418A JP14153285A JP14153285A JPS624418A JP S624418 A JPS624418 A JP S624418A JP 14153285 A JP14153285 A JP 14153285A JP 14153285 A JP14153285 A JP 14153285A JP S624418 A JPS624418 A JP S624418A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体工業におけるＭＯＳダイナミックＲＡ
Ｍなどの製造における空気清浄用の超高性能エアフィル
ター用ガラス繊ＷＮｐ紙に関する。
Ｍなどの製造における空気清浄用の超高性能エアフィル
ター用ガラス繊ＷＮｐ紙に関する。
（従来の技術）
従来、エアフィルター用ガラス繊維か紙として、粒径０
．３１Ｌの粒子を９９．９９９％以上捕集するＨＥＰＡ
ｉ戸紙は公知であり、これはジグザグ状に折り曲げ、そ
の波状の折曲げて対向するろ紙面が川ならないようにぞ
の各面間にジグザグ状のスペーサーを挿入介在させたも
のを囲枠内に装入し、その四周をシール材を介して気密
に固着せしめてエアフィルタユニットとして、半導体工
業のＭＯＳダイナミックＲＡＭの製造等における空気清
浄用のエアフィルターとして使用されている。この場合
、０．３μｍ以上の粒子を９９、９９９％以上捕集し且
つ圧力損失が定格値で２５順＾ｑ以下（６１０ｘ ６１
０Ｘ １５０ｍ ）であることが一般である。
．３１Ｌの粒子を９９．９９９％以上捕集するＨＥＰＡ
ｉ戸紙は公知であり、これはジグザグ状に折り曲げ、そ
の波状の折曲げて対向するろ紙面が川ならないようにぞ
の各面間にジグザグ状のスペーサーを挿入介在させたも
のを囲枠内に装入し、その四周をシール材を介して気密
に固着せしめてエアフィルタユニットとして、半導体工
業のＭＯＳダイナミックＲＡＭの製造等における空気清
浄用のエアフィルターとして使用されている。この場合
、０．３μｍ以上の粒子を９９、９９９％以上捕集し且
つ圧力損失が定格値で２５順＾ｑ以下（６１０ｘ ６１
０Ｘ １５０ｍ ）であることが一般である。
（発明が解決しようとづる問題点）
近年半導体工業における生産技術の進歩はめざましく、
ウェハの大口径化、パターン密度の微細化、集積億の大
容量化が進み、超ＬＳＩ素子の製造では、ＭＯＳダイナ
ミックＲＡＭの場合、ｌ Ｈｂｉｔ〜４Ｈｂｉｔの高集
積化が進み、パターン寸法も０．５〜１．５μｍと超微
細化され、従って＞７＋過除去対象粒子も０．１〜０．
０５μｍと極めて微細なものとなり、これを低い圧力１
０失で高捕集効率のエアフィルター用ろ紙が望まれるが
、未だ、粒径０．０５Ａｔｍの粒子を９９．９９９％捕
集し得るか紙は実在せずその実現が望まれている。
ウェハの大口径化、パターン密度の微細化、集積億の大
容量化が進み、超ＬＳＩ素子の製造では、ＭＯＳダイナ
ミックＲＡＭの場合、ｌ Ｈｂｉｔ〜４Ｈｂｉｔの高集
積化が進み、パターン寸法も０．５〜１．５μｍと超微
細化され、従って＞７＋過除去対象粒子も０．１〜０．
０５μｍと極めて微細なものとなり、これを低い圧力１
０失で高捕集効率のエアフィルター用ろ紙が望まれるが
、未だ、粒径０．０５Ａｔｍの粒子を９９．９９９％捕
集し得るか紙は実在せずその実現が望まれている。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、従来実現し得なかった微粒子径０．０５ｍｍ
の粒子を低圧力損失で９９．９９９％と云う高捕集率で
捕集し得る超高性能エアフィルター用ガラスｍ維ろ紙を
提供するもので、繊維径０．０５〜０．２ｔＬｍのガラ
ス繊維５〜１５重世％とこれと異なる！ｌ！ｌｆ径のガ
ラス１ｌ１９５〜８５％との配合から成る。
の粒子を低圧力損失で９９．９９９％と云う高捕集率で
捕集し得る超高性能エアフィルター用ガラスｍ維ろ紙を
提供するもので、繊維径０．０５〜０．２ｔＬｍのガラ
ス繊維５〜１５重世％とこれと異なる！ｌ！ｌｆ径のガ
ラス１ｌ１９５〜８５％との配合から成る。
（作 用）
上記の本発明の特徴とする繊維径０，０５〜０．２μｍ
のガラス繊維５〜１５重量％とこれとは繊維径の異なる
ガラス繊維９５〜８５重量％とを配合抄造したガラス繊
維か紙により例えば、これを組み込んだエアフィルタユ
ニットとして使用した場合、従来の７戸紙を組み込んだ
エアフィルタユニットに比し、圧力損失２５履ＡＱ（０
，７７ＦＬ／Ｓ）で以下の低い値で粒径ｏ、ｏｓ ｌＬ
ｍの粒子を９９、９９９％捕集することができる。
のガラス繊維５〜１５重量％とこれとは繊維径の異なる
ガラス繊維９５〜８５重量％とを配合抄造したガラス繊
維か紙により例えば、これを組み込んだエアフィルタユ
ニットとして使用した場合、従来の７戸紙を組み込んだ
エアフィルタユニットに比し、圧力損失２５履ＡＱ（０
，７７ＦＬ／Ｓ）で以下の低い値で粒径ｏ、ｏｓ ｌＬ
ｍの粒子を９９、９９９％捕集することができる。
（実施例）
本発明の実施例を次に説明する。
従来のガラス短繊維の製造装置により各種のｍ組径の異
なるガラス繊維の配合組成のものが製造されるが、本発
明は特に、これらのガラスｍ組径の異なる各種配合組成
のガラス繊維組を色々に混ぜてサンプルを色々つくり、
これを抄造した抄紙型を濾紙を、特にエアフィルタユニ
ットとして使用し、特に粒径が０．０５１Ｌｍの粒子を
９９．９９９％捕集し得られ而もその時の圧力損失は２
５＃ＩＩＩＡＱ以下と低いものを得るため種々試験研究
していたが、その結果、その濾紙として、繊維径０．０
５〜０．２μｍののガラス繊維５〜１５重量％の範囲に
含むように他の繊維径のガラス繊維と配合し抄造し、好
ましくは、厚さ０．３〜０．５０ｍ、目付ｆｆ１６ｏ
〜８５ｇ／ＴＩＬの抄紙とすることにより、これを組み
込みフィルタユニットとして使用した場合に、上記の低
圧力損失下でｏ、ｏｓｎｍの微粒子を９９．９９９％捕
集し得ル濾紙の実現をもたらした。
なるガラス繊維の配合組成のものが製造されるが、本発
明は特に、これらのガラスｍ組径の異なる各種配合組成
のガラス繊維組を色々に混ぜてサンプルを色々つくり、
これを抄造した抄紙型を濾紙を、特にエアフィルタユニ
ットとして使用し、特に粒径が０．０５１Ｌｍの粒子を
９９．９９９％捕集し得られ而もその時の圧力損失は２
５＃ＩＩＩＡＱ以下と低いものを得るため種々試験研究
していたが、その結果、その濾紙として、繊維径０．０
５〜０．２μｍののガラス繊維５〜１５重量％の範囲に
含むように他の繊維径のガラス繊維と配合し抄造し、好
ましくは、厚さ０．３〜０．５０ｍ、目付ｆｆ１６ｏ
〜８５ｇ／ＴＩＬの抄紙とすることにより、これを組み
込みフィルタユニットとして使用した場合に、上記の低
圧力損失下でｏ、ｏｓｎｍの微粒子を９９．９９９％捕
集し得ル濾紙の実現をもたらした。
次にその詳細な実施例を説明する。
実施例１
従来のガラス繊維の製造装置により夫々下記の繊維径分
布組成のガラス繊維組とガラス繊維８組とを製造した。
布組成のガラス繊維組とガラス繊維８組とを製造した。
Ａ組
８組
上記のＡ組ガラス繊Ｉｆｆ （０，０５〜Ｏ，ｉｍの繊
維径のガラス繊維４５重量％含有）を２５重量％と８組
ガラス繊維（０，０５〜０．２ａｍの繊維径のガラス繊
維３重ｎ１％含有）を６５重ａ％と更に繊維径７ｕのガ
ラス長繊維（チョツプドストランド）１０重間％とを１
１＄１１１度０．３５％となるようにパルパーに投入し
混合離解し、これを抄造した。得られた湿紙匹を乾燥し
、アクリル樹脂及び撥水剤の混合液でディッピングし、
乾燥し、目付ｆＭ７５ｇ〜ｒａ？、厚さ０．４０ｔｔｍ
のガラスｌａｍ’ｔｐ紙を得た。該濾紙の繊維径分布組
成は下記の通りである。
維径のガラス繊維４５重量％含有）を２５重量％と８組
ガラス繊維（０，０５〜０．２ａｍの繊維径のガラス繊
維３重ｎ１％含有）を６５重ａ％と更に繊維径７ｕのガ
ラス長繊維（チョツプドストランド）１０重間％とを１
１＄１１１度０．３５％となるようにパルパーに投入し
混合離解し、これを抄造した。得られた湿紙匹を乾燥し
、アクリル樹脂及び撥水剤の混合液でディッピングし、
乾燥し、目付ｆＭ７５ｇ〜ｒａ？、厚さ０．４０ｔｔｍ
のガラスｌａｍ’ｔｐ紙を得た。該濾紙の繊維径分布組
成は下記の通りである。
実施例１ろ紙
尚、抄造時の水は、酸でｐＨ３にｗＡ製したもの或は酸
を添加せずｐＨ６，８の中性水に微量の例えば８ＰＰＭ
のカブ−オン高分子を添加して調製したもののいづれを
使）１１シてもよい。
を添加せずｐＨ６，８の中性水に微量の例えば８ＰＰＭ
のカブ−オン高分子を添加して調製したもののいづれを
使）１１シてもよい。
実施例２
前記のＡ組ガラス繊維３３重量％と別に製造した下記の
ｍＷ１径分布のＣ組ガラス繊維５７重量％と繊維径１μ
ｍの長繊維であるチョツプドストランドガラスｍ Ｎ
１ｏ１ ｍ ％とを、繊維濃度０．３５％となるように
パルパーに投入し、混合離解し、これを前記実施例１と
同様に抄造し日付も１８５９〜ｄ１厚さ０．４５１ｍ１
＋の濾紙を得た。そのろ紙の繊維径分布組成は下記の通
りである。
ｍＷ１径分布のＣ組ガラス繊維５７重量％と繊維径１μ
ｍの長繊維であるチョツプドストランドガラスｍ Ｎ
１ｏ１ ｍ ％とを、繊維濃度０．３５％となるように
パルパーに投入し、混合離解し、これを前記実施例１と
同様に抄造し日付も１８５９〜ｄ１厚さ０．４５１ｍ１
＋の濾紙を得た。そのろ紙の繊維径分布組成は下記の通
りである。
０組
実施例２ ？ＴＪ紙
比較例
ｔＪＡＭ径０．３〜４ａｒｒｔのガラス短繊維を９０重
量％と繊維径７ｕＴｒＬの長繊維ガラス繊維（チョツプ
ド３トランド）１０重量％とを配合し実施例１１と同様
に抄造した目付ｍ７５ｇ〜ｄ、厚さ０．４０厘の従来の
か紙を作成した。
量％と繊維径７ｕＴｒＬの長繊維ガラス繊維（チョツプ
ド３トランド）１０重量％とを配合し実施例１１と同様
に抄造した目付ｍ７５ｇ〜ｄ、厚さ０．４０厘の従来の
か紙を作成した。
上記の本発明実施例１及び２の濾紙及び比較例のか紙に
つぎ、エアフィルターユニットに組み込まないか紙白体
のフィルター特性並びにエアフィルタユニットに構成し
たもののエアフィルター特性を夫々試験した。そのＩｉ
！ｉ東は下記表１の通りであった。エアフィルタユニッ
トの寸法は全てｅｉｏｘ ６１０Ｘ １５０＃ＩＩＩ
＋とした。
つぎ、エアフィルターユニットに組み込まないか紙白体
のフィルター特性並びにエアフィルタユニットに構成し
たもののエアフィルター特性を夫々試験した。そのＩｉ
！ｉ東は下記表１の通りであった。エアフィルタユニッ
トの寸法は全てｅｉｏｘ ６１０Ｘ １５０＃ＩＩＩ
＋とした。
表 １
上記表１から明らかなように、繊維径０．０５〜０．２
μｍのガラス短繊維５〜１５％を含有する本発明の７戸
紙をエアフィルタとして使用するときは、０．０５１Ｌ
ｍ粒径の微細粒子を９９．９９９％、２５＃ＡＱ （０
，７１１１／Ｓで）以下の低い圧力損失ｔ’ ｔｒｔｌ
集でき、超高性能エアフィルター用に適用し得ることが
認められる。多くの実験研究の結果、繊維径０．０５〜
０．２ａｍのガラス短繊維の含有量が５％未満では上記
の高捕集効率を維持できず、一方１５％を越えるときは
、圧力損失が増大し実用的でなくなる。
μｍのガラス短繊維５〜１５％を含有する本発明の７戸
紙をエアフィルタとして使用するときは、０．０５１Ｌ
ｍ粒径の微細粒子を９９．９９９％、２５＃ＡＱ （０
，７１１１／Ｓで）以下の低い圧力損失ｔ’ ｔｒｔｌ
集でき、超高性能エアフィルター用に適用し得ることが
認められる。多くの実験研究の結果、繊維径０．０５〜
０．２ａｍのガラス短繊維の含有量が５％未満では上記
の高捕集効率を維持できず、一方１５％を越えるときは
、圧力損失が増大し実用的でなくなる。
又ｍａａ径が０．０５１１ｍ未満のガラス繊維の含有は
、数％までは差支えないが、それ以上の増加は、その割
には０．０５１ｉＤＯＰの捕集効率の増大に効果がない
ことが認められた。濾紙の残部は繊維径０．２ａｍを超
えるｍ組径はＬｃｔｙａまでから選んだ任意の短繊維で
構成することにより上記の効果をもたらすが、ジグザグ
状の折り曲げ強度を増大するには７〜９１ＬＴｒＬのチ
ョツプドストランド（ガラス長ｉＩ維）を含有せしめる
ことが好ましい。
、数％までは差支えないが、それ以上の増加は、その割
には０．０５１ｉＤＯＰの捕集効率の増大に効果がない
ことが認められた。濾紙の残部は繊維径０．２ａｍを超
えるｍ組径はＬｃｔｙａまでから選んだ任意の短繊維で
構成することにより上記の効果をもたらすが、ジグザグ
状の折り曲げ強度を増大するには７〜９１ＬＴｒＬのチ
ョツプドストランド（ガラス長ｉＩ維）を含有せしめる
ことが好ましい。
又、本発明か紙の秤量は６０〜８５ｇ／ＴＩｔ、厚さ０
．３〜０．！ｇ））ｍであることが実用上好ましい。又
繊維径０．０５〜０．２ａｍの著しい細かい短繊維は抄
造時に抄造ネットから扱けやすいためガラス繊維の離解
濃度０．５％以下望ましくは０．３５％で離解すること
により、離解時に繊維が短くなることを防ぐことができ
る。
．３〜０．！ｇ））ｍであることが実用上好ましい。又
繊維径０．０５〜０．２ａｍの著しい細かい短繊維は抄
造時に抄造ネットから扱けやすいためガラス繊維の離解
濃度０．５％以下望ましくは０．３５％で離解すること
により、離解時に繊維が短くなることを防ぐことができ
る。
（発明の効果）
本発明のガラスｍ維ろ紙は、繊維径０．０５〜０．２ａ
ｍのガラスｍ維を５〜１５重徂％とこれとは異なる繊維
径のガラスｍｔａを９５〜８５重間％との配合から成る
ので、従来実現できなかった粒径００５μｍの粒子を、
低圧力損失で、９９．９９９％捕集することができるフ
ィルター特性を有し、電子工業等における超高性能エア
フィルタユニットとして優れた性能をもたらす効果を有
する。
ｍのガラスｍ維を５〜１５重徂％とこれとは異なる繊維
径のガラスｍｔａを９５〜８５重間％との配合から成る
ので、従来実現できなかった粒径００５μｍの粒子を、
低圧力損失で、９９．９９９％捕集することができるフ
ィルター特性を有し、電子工業等における超高性能エア
フィルタユニットとして優れた性能をもたらす効果を有
する。
＆
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、繊維径０．０５〜０．２μｍのガラス繊維５〜１５
重量％とこれと異なる繊維径のガラス繊維９５〜８５％
との配合から成る超高性能エアフィルター用ガラス繊維
ろ紙。 ２、厚さ０．３〜０．４ｍｍ、目付量６０〜８５ｇ／ｃ
ｍ＾２である特許請求の範囲第１項に記載のろ紙。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14153285A JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14153285A JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624418A true JPS624418A (ja) | 1987-01-10 |
| JPH0559768B2 JPH0559768B2 (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=15294158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14153285A Granted JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS624418A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04284803A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-09 | Hokuetsu Paper Mills Ltd | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
| JP2006037269A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 耐熱セラミックシート |
| WO2009119054A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 北越製紙株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
| JP2022124201A (ja) * | 2021-02-15 | 2022-08-25 | 北越コーポレーション株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023103021A (ja) | 2022-01-13 | 2023-07-26 | 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 | 情報処理装置及びプログラム |
-
1985
- 1985-06-29 JP JP14153285A patent/JPS624418A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04284803A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-09 | Hokuetsu Paper Mills Ltd | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
| JP2006037269A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 耐熱セラミックシート |
| WO2009119054A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 北越製紙株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
| KR20110008153A (ko) | 2008-03-25 | 2011-01-26 | 호쿠에츠 기슈 세이시 가부시키가이샤 | 에어필터용 여과재 |
| EP2848295A1 (en) | 2008-03-25 | 2015-03-18 | Hokuetsu Kishu Paper Co., Ltd. | Filter material for air filters |
| KR20160116012A (ko) | 2008-03-25 | 2016-10-06 | 호쿠에츠 기슈 세이시 가부시키가이샤 | 에어필터용 여과재 |
| JP2022124201A (ja) * | 2021-02-15 | 2022-08-25 | 北越コーポレーション株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0559768B2 (ja) | 1993-08-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |