JPS624418A - 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 - Google Patents
超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙Info
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- JPS624418A JPS624418A JP14153285A JP14153285A JPS624418A JP S624418 A JPS624418 A JP S624418A JP 14153285 A JP14153285 A JP 14153285A JP 14153285 A JP14153285 A JP 14153285A JP S624418 A JPS624418 A JP S624418A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体工業におけるMOSダイナミックRA
Mなどの製造における空気清浄用の超高性能エアフィル
ター用ガラス繊WNp紙に関する。
Mなどの製造における空気清浄用の超高性能エアフィル
ター用ガラス繊WNp紙に関する。
(従来の技術)
従来、エアフィルター用ガラス繊維か紙として、粒径0
.31Lの粒子を99.999%以上捕集するHEPA
i戸紙は公知であり、これはジグザグ状に折り曲げ、そ
の波状の折曲げて対向するろ紙面が川ならないようにぞ
の各面間にジグザグ状のスペーサーを挿入介在させたも
のを囲枠内に装入し、その四周をシール材を介して気密
に固着せしめてエアフィルタユニットとして、半導体工
業のMOSダイナミックRAMの製造等における空気清
浄用のエアフィルターとして使用されている。この場合
、0.3μm以上の粒子を99、999%以上捕集し且
つ圧力損失が定格値で25順^q以下(610x 61
0X 150m )であることが一般である。
.31Lの粒子を99.999%以上捕集するHEPA
i戸紙は公知であり、これはジグザグ状に折り曲げ、そ
の波状の折曲げて対向するろ紙面が川ならないようにぞ
の各面間にジグザグ状のスペーサーを挿入介在させたも
のを囲枠内に装入し、その四周をシール材を介して気密
に固着せしめてエアフィルタユニットとして、半導体工
業のMOSダイナミックRAMの製造等における空気清
浄用のエアフィルターとして使用されている。この場合
、0.3μm以上の粒子を99、999%以上捕集し且
つ圧力損失が定格値で25順^q以下(610x 61
0X 150m )であることが一般である。
(発明が解決しようとづる問題点)
近年半導体工業における生産技術の進歩はめざましく、
ウェハの大口径化、パターン密度の微細化、集積億の大
容量化が進み、超LSI素子の製造では、MOSダイナ
ミックRAMの場合、l Hbit〜4Hbitの高集
積化が進み、パターン寸法も0.5〜1.5μmと超微
細化され、従って>7+過除去対象粒子も0.1〜0.
05μmと極めて微細なものとなり、これを低い圧力1
0失で高捕集効率のエアフィルター用ろ紙が望まれるが
、未だ、粒径0.05Atmの粒子を99.999%捕
集し得るか紙は実在せずその実現が望まれている。
ウェハの大口径化、パターン密度の微細化、集積億の大
容量化が進み、超LSI素子の製造では、MOSダイナ
ミックRAMの場合、l Hbit〜4Hbitの高集
積化が進み、パターン寸法も0.5〜1.5μmと超微
細化され、従って>7+過除去対象粒子も0.1〜0.
05μmと極めて微細なものとなり、これを低い圧力1
0失で高捕集効率のエアフィルター用ろ紙が望まれるが
、未だ、粒径0.05Atmの粒子を99.999%捕
集し得るか紙は実在せずその実現が望まれている。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、従来実現し得なかった微粒子径0.05mm
の粒子を低圧力損失で99.999%と云う高捕集率で
捕集し得る超高性能エアフィルター用ガラスm維ろ紙を
提供するもので、繊維径0.05〜0.2tLmのガラ
ス繊維5〜15重世%とこれと異なる!l!lf径のガ
ラス1l195〜85%との配合から成る。
の粒子を低圧力損失で99.999%と云う高捕集率で
捕集し得る超高性能エアフィルター用ガラスm維ろ紙を
提供するもので、繊維径0.05〜0.2tLmのガラ
ス繊維5〜15重世%とこれと異なる!l!lf径のガ
ラス1l195〜85%との配合から成る。
(作 用)
上記の本発明の特徴とする繊維径0,05〜0.2μm
のガラス繊維5〜15重量%とこれとは繊維径の異なる
ガラス繊維95〜85重量%とを配合抄造したガラス繊
維か紙により例えば、これを組み込んだエアフィルタユ
ニットとして使用した場合、従来の7戸紙を組み込んだ
エアフィルタユニットに比し、圧力損失25履AQ(0
,77FL/S)で以下の低い値で粒径o、os lL
mの粒子を99、999%捕集することができる。
のガラス繊維5〜15重量%とこれとは繊維径の異なる
ガラス繊維95〜85重量%とを配合抄造したガラス繊
維か紙により例えば、これを組み込んだエアフィルタユ
ニットとして使用した場合、従来の7戸紙を組み込んだ
エアフィルタユニットに比し、圧力損失25履AQ(0
,77FL/S)で以下の低い値で粒径o、os lL
mの粒子を99、999%捕集することができる。
(実施例)
本発明の実施例を次に説明する。
従来のガラス短繊維の製造装置により各種のm組径の異
なるガラス繊維の配合組成のものが製造されるが、本発
明は特に、これらのガラスm組径の異なる各種配合組成
のガラス繊維組を色々に混ぜてサンプルを色々つくり、
これを抄造した抄紙型を濾紙を、特にエアフィルタユニ
ットとして使用し、特に粒径が0.051Lmの粒子を
99.999%捕集し得られ而もその時の圧力損失は2
5#IIIAQ以下と低いものを得るため種々試験研究
していたが、その結果、その濾紙として、繊維径0.0
5〜0.2μmののガラス繊維5〜15重量%の範囲に
含むように他の繊維径のガラス繊維と配合し抄造し、好
ましくは、厚さ0.3〜0.50m、目付ff16o
〜85g/TILの抄紙とすることにより、これを組み
込みフィルタユニットとして使用した場合に、上記の低
圧力損失下でo、osnmの微粒子を99.999%捕
集し得ル濾紙の実現をもたらした。
なるガラス繊維の配合組成のものが製造されるが、本発
明は特に、これらのガラスm組径の異なる各種配合組成
のガラス繊維組を色々に混ぜてサンプルを色々つくり、
これを抄造した抄紙型を濾紙を、特にエアフィルタユニ
ットとして使用し、特に粒径が0.051Lmの粒子を
99.999%捕集し得られ而もその時の圧力損失は2
5#IIIAQ以下と低いものを得るため種々試験研究
していたが、その結果、その濾紙として、繊維径0.0
5〜0.2μmののガラス繊維5〜15重量%の範囲に
含むように他の繊維径のガラス繊維と配合し抄造し、好
ましくは、厚さ0.3〜0.50m、目付ff16o
〜85g/TILの抄紙とすることにより、これを組み
込みフィルタユニットとして使用した場合に、上記の低
圧力損失下でo、osnmの微粒子を99.999%捕
集し得ル濾紙の実現をもたらした。
次にその詳細な実施例を説明する。
実施例1
従来のガラス繊維の製造装置により夫々下記の繊維径分
布組成のガラス繊維組とガラス繊維8組とを製造した。
布組成のガラス繊維組とガラス繊維8組とを製造した。
A組
8組
上記のA組ガラス繊Iff (0,05〜O,imの繊
維径のガラス繊維45重量%含有)を25重量%と8組
ガラス繊維(0,05〜0.2amの繊維径のガラス繊
維3重n1%含有)を65重a%と更に繊維径7uのガ
ラス長繊維(チョツプドストランド)10重間%とを1
1$111度0.35%となるようにパルパーに投入し
混合離解し、これを抄造した。得られた湿紙匹を乾燥し
、アクリル樹脂及び撥水剤の混合液でディッピングし、
乾燥し、目付fM75g〜ra?、厚さ0.40ttm
のガラスlam’tp紙を得た。該濾紙の繊維径分布組
成は下記の通りである。
維径のガラス繊維45重量%含有)を25重量%と8組
ガラス繊維(0,05〜0.2amの繊維径のガラス繊
維3重n1%含有)を65重a%と更に繊維径7uのガ
ラス長繊維(チョツプドストランド)10重間%とを1
1$111度0.35%となるようにパルパーに投入し
混合離解し、これを抄造した。得られた湿紙匹を乾燥し
、アクリル樹脂及び撥水剤の混合液でディッピングし、
乾燥し、目付fM75g〜ra?、厚さ0.40ttm
のガラスlam’tp紙を得た。該濾紙の繊維径分布組
成は下記の通りである。
実施例1ろ紙
尚、抄造時の水は、酸でpH3にwA製したもの或は酸
を添加せずpH6,8の中性水に微量の例えば8PPM
のカブ−オン高分子を添加して調製したもののいづれを
使)11シてもよい。
を添加せずpH6,8の中性水に微量の例えば8PPM
のカブ−オン高分子を添加して調製したもののいづれを
使)11シてもよい。
実施例2
前記のA組ガラス繊維33重量%と別に製造した下記の
mW1径分布のC組ガラス繊維57重量%と繊維径1μ
mの長繊維であるチョツプドストランドガラスm N
1o1 m %とを、繊維濃度0.35%となるように
パルパーに投入し、混合離解し、これを前記実施例1と
同様に抄造し日付も1859〜d1厚さ0.451m1
+の濾紙を得た。そのろ紙の繊維径分布組成は下記の通
りである。
mW1径分布のC組ガラス繊維57重量%と繊維径1μ
mの長繊維であるチョツプドストランドガラスm N
1o1 m %とを、繊維濃度0.35%となるように
パルパーに投入し、混合離解し、これを前記実施例1と
同様に抄造し日付も1859〜d1厚さ0.451m1
+の濾紙を得た。そのろ紙の繊維径分布組成は下記の通
りである。
0組
実施例2 ?TJ紙
比較例
tJAM径0.3〜4arrtのガラス短繊維を90重
量%と繊維径7uTrLの長繊維ガラス繊維(チョツプ
ド3トランド)10重量%とを配合し実施例11と同様
に抄造した目付m75g〜d、厚さ0.40厘の従来の
か紙を作成した。
量%と繊維径7uTrLの長繊維ガラス繊維(チョツプ
ド3トランド)10重量%とを配合し実施例11と同様
に抄造した目付m75g〜d、厚さ0.40厘の従来の
か紙を作成した。
上記の本発明実施例1及び2の濾紙及び比較例のか紙に
つぎ、エアフィルターユニットに組み込まないか紙白体
のフィルター特性並びにエアフィルタユニットに構成し
たもののエアフィルター特性を夫々試験した。そのIi
!i東は下記表1の通りであった。エアフィルタユニッ
トの寸法は全てeiox 610X 150#III
+とした。
つぎ、エアフィルターユニットに組み込まないか紙白体
のフィルター特性並びにエアフィルタユニットに構成し
たもののエアフィルター特性を夫々試験した。そのIi
!i東は下記表1の通りであった。エアフィルタユニッ
トの寸法は全てeiox 610X 150#III
+とした。
表 1
上記表1から明らかなように、繊維径0.05〜0.2
μmのガラス短繊維5〜15%を含有する本発明の7戸
紙をエアフィルタとして使用するときは、0.051L
m粒径の微細粒子を99.999%、25#AQ (0
,7111/Sで)以下の低い圧力損失t’ trtl
集でき、超高性能エアフィルター用に適用し得ることが
認められる。多くの実験研究の結果、繊維径0.05〜
0.2amのガラス短繊維の含有量が5%未満では上記
の高捕集効率を維持できず、一方15%を越えるときは
、圧力損失が増大し実用的でなくなる。
μmのガラス短繊維5〜15%を含有する本発明の7戸
紙をエアフィルタとして使用するときは、0.051L
m粒径の微細粒子を99.999%、25#AQ (0
,7111/Sで)以下の低い圧力損失t’ trtl
集でき、超高性能エアフィルター用に適用し得ることが
認められる。多くの実験研究の結果、繊維径0.05〜
0.2amのガラス短繊維の含有量が5%未満では上記
の高捕集効率を維持できず、一方15%を越えるときは
、圧力損失が増大し実用的でなくなる。
又maa径が0.0511m未満のガラス繊維の含有は
、数%までは差支えないが、それ以上の増加は、その割
には0.051iDOPの捕集効率の増大に効果がない
ことが認められた。濾紙の残部は繊維径0.2amを超
えるm組径はLctyaまでから選んだ任意の短繊維で
構成することにより上記の効果をもたらすが、ジグザグ
状の折り曲げ強度を増大するには7〜91LTrLのチ
ョツプドストランド(ガラス長iI維)を含有せしめる
ことが好ましい。
、数%までは差支えないが、それ以上の増加は、その割
には0.051iDOPの捕集効率の増大に効果がない
ことが認められた。濾紙の残部は繊維径0.2amを超
えるm組径はLctyaまでから選んだ任意の短繊維で
構成することにより上記の効果をもたらすが、ジグザグ
状の折り曲げ強度を増大するには7〜91LTrLのチ
ョツプドストランド(ガラス長iI維)を含有せしめる
ことが好ましい。
又、本発明か紙の秤量は60〜85g/TIt、厚さ0
.3〜0.!g))mであることが実用上好ましい。又
繊維径0.05〜0.2amの著しい細かい短繊維は抄
造時に抄造ネットから扱けやすいためガラス繊維の離解
濃度0.5%以下望ましくは0.35%で離解すること
により、離解時に繊維が短くなることを防ぐことができ
る。
.3〜0.!g))mであることが実用上好ましい。又
繊維径0.05〜0.2amの著しい細かい短繊維は抄
造時に抄造ネットから扱けやすいためガラス繊維の離解
濃度0.5%以下望ましくは0.35%で離解すること
により、離解時に繊維が短くなることを防ぐことができ
る。
(発明の効果)
本発明のガラスm維ろ紙は、繊維径0.05〜0.2a
mのガラスm維を5〜15重徂%とこれとは異なる繊維
径のガラスmtaを95〜85重間%との配合から成る
ので、従来実現できなかった粒径005μmの粒子を、
低圧力損失で、99.999%捕集することができるフ
ィルター特性を有し、電子工業等における超高性能エア
フィルタユニットとして優れた性能をもたらす効果を有
する。
mのガラスm維を5〜15重徂%とこれとは異なる繊維
径のガラスmtaを95〜85重間%との配合から成る
ので、従来実現できなかった粒径005μmの粒子を、
低圧力損失で、99.999%捕集することができるフ
ィルター特性を有し、電子工業等における超高性能エア
フィルタユニットとして優れた性能をもたらす効果を有
する。
&
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、繊維径0.05〜0.2μmのガラス繊維5〜15
重量%とこれと異なる繊維径のガラス繊維95〜85%
との配合から成る超高性能エアフィルター用ガラス繊維
ろ紙。 2、厚さ0.3〜0.4mm、目付量60〜85g/c
m^2である特許請求の範囲第1項に記載のろ紙。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14153285A JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14153285A JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS624418A true JPS624418A (ja) | 1987-01-10 |
JPH0559768B2 JPH0559768B2 (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=15294158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14153285A Granted JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS624418A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04284803A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-09 | Hokuetsu Paper Mills Ltd | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
JP2006037269A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 耐熱セラミックシート |
WO2009119054A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 北越製紙株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
JP2022124201A (ja) * | 2021-02-15 | 2022-08-25 | 北越コーポレーション株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023103021A (ja) | 2022-01-13 | 2023-07-26 | 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 | 情報処理装置及びプログラム |
-
1985
- 1985-06-29 JP JP14153285A patent/JPS624418A/ja active Granted
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04284803A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-09 | Hokuetsu Paper Mills Ltd | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
JP2006037269A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 耐熱セラミックシート |
WO2009119054A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 北越製紙株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
KR20110008153A (ko) | 2008-03-25 | 2011-01-26 | 호쿠에츠 기슈 세이시 가부시키가이샤 | 에어필터용 여과재 |
EP2848295A1 (en) | 2008-03-25 | 2015-03-18 | Hokuetsu Kishu Paper Co., Ltd. | Filter material for air filters |
KR20160116012A (ko) | 2008-03-25 | 2016-10-06 | 호쿠에츠 기슈 세이시 가부시키가이샤 | 에어필터용 여과재 |
JP2022124201A (ja) * | 2021-02-15 | 2022-08-25 | 北越コーポレーション株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0559768B2 (ja) | 1993-08-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |