JPS6233451B2 - - Google Patents

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JPS6233451B2
JPS6233451B2 JP57197968A JP19796882A JPS6233451B2 JP S6233451 B2 JPS6233451 B2 JP S6233451B2 JP 57197968 A JP57197968 A JP 57197968A JP 19796882 A JP19796882 A JP 19796882A JP S6233451 B2 JPS6233451 B2 JP S6233451B2
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、回転体の不つり合いを抑制する制御
形磁気軸受装置に関する。
磁気軸受とは、回転体を磁気力を利用して支持
する軸受である。この軸受は摩耗・疲労が無い等
の卓越した特徴を有するため近年盛んに研究が行
なわれている。この軸受の用途には、例えばター
ボ分子ポンプ、遠心分離機、工作機械用スピンド
ル等がある。
この磁気軸受は回転体を構成要素に有する為、
回転体に不つり合いが存在すると、過大な振れ廻
りを引き起こしてしまい、下記のような欠点を持
つていた。
(1) 振動・駆音が増加する。
(2) 振れ廻りの増加により、電磁石コイルに流れ
る電流が多くなる為、電力損失が増大する。
したがつて制御形磁気軸受装置内の電力回路
が大型化する。
(3) 磁気軸受を工作機械用スピンドルに用いてい
る場合では、工具装着のため生ずる不つり合い
で回転精度不良となり、以つて加工性能の低下
を招く。
(4) 不つり合いを修正するバランス作業に時間が
かかる。
本発明の目的は、制御形磁気軸受で支持された
回転体の不つり合いに原因する振れ廻りを抑制す
る制御形磁気軸受装置の構成を提供することにあ
る。その内容は、不つり合いに基づく加振力を打
ち消すための静不つり合い補償装置および動不つ
り合い補償装置の両者あるいはそのいずれか一方
を半径方向磁気軸受制御装置内に設けたことを特
徴とするものである。
本発明を図示の実施例に基づいて以下詳細に説
明する。
制御形磁気軸受の原理構造を説明する斜視図を
第１図に示す。Z1，Z2は回転体１の軸方向位置を
検出するための軸方向位置検出コイルのペアであ
り、制御装置は省略しているが、Z1，Z2で検出し
た軸方向位置の電気信号は補償回路を通つて電力
増幅器を駆動して、軸方向電磁石巻線コイル
C1，C2を励磁し、回転体１を軸方向所定の位置
に磁気支持せしめる。
第２図において、２は半径方向位置検出コイル
のペアx1，x′1とx2，x′2に対する加算器、３は加
算器２の出力を加算する加算器でその信号はｘ軸
方向の並進運動を表わす信号となる。加算器３の
出力は、位相進み補償回路あるいは比例微分補償
回路４に導かれ、加算器７，８，９を通つて電力
増幅器１０を駆動し、電磁石巻線コイルA1，A′1
及びA2，A′2を励磁している。インバータ５の出
力とx1，x′1に対する加算器２の出力を加算器６
で加算すると、ｙ軸周りの回転運動成分となり、
広帯域位相進み補償回路あるいは比例微分補償回
路１１に導かれ、加算器１２，８を通つて電力増
幅器１０を駆動し電磁石巻線コイルA1あるいは
A′1を励磁する。又、加算器１２の出力はインバ
ータ１３、加算器９を通つて電力増幅器１０を駆
動し電磁石巻線コイルA2あるいはA′2励磁する。
このようにして、回転体１のｘ軸方向並進運動
とｙ軸周り回転運動が拘束される。上述で説明し
たと同様に、ｙ軸方向並進運動とｘ軸周りの回転
運動も拘束されていることは容易にわかるであろ
う。
本発明の目的は、回転体１の偏心量に基づく静
不つり合い振動および慣性主軸と回転軸の角度不
一致に基づく動不つり合い振動の両者あるいはい
ずれか一方を抑制することで、その内容は上述で
説明した磁気支持の安定化装置である半径方向磁
気軸受制御装置内に、発振器を含む静不つり合い
補償器１４と動不つり合い補償器１５の両者ある
いはそのいずれか一方と、１４，１５に接続され
る回転速度検出器１６を新たに設け、補償器から
の出力が回転体と同期し、かつ入力信号に基づい
て振幅と位相が調整されることが特徴となつてい
る。
静不つり合い補償器１４と動不つり合い補償器
１５の構成を第３図に示す。図において、１７，
１８，１９の比例補償器と２５のインバータで合
成器をなし、２０は微分補償器、２１は積分器、
２２は加算器、２３は掛算器、２４は加算器、２
５，２６はインバータである。積分器２１、加算
器２２、掛算器２３、インバータ２６で構成され
る交差閉ループでは、回転速度検出器１６の出力
である角速度ｗから回転体の回転運動に同期して
振動する電気信号が作り出さる発振器を形成して
いる。
この電気信号は、比例補償器１７，１８，１
９、インバータ２５よりなる合成器と、微分補償
器２０により振幅と位相が調整されるようになつ
ている。すなわち、静不つり合い補償器１４と動
不つり合い補償器１５を第２図に示すように接続
すれば、これら不つり合い補償器内部の周期信号
と不つり合いに基づく周期的加振力との間の振幅
及び位相差の大きさの違いを、比例補償器１７，
１８，１９とインバータ２５よりなる合成器と、
微分補償器２０とで構成される補正機構の機能に
より、位置検出信号の出力で補正することができ
るのである。ここで、位置検出信号の出力とは、
静不つり合い補償器１４の場合は回転体１の並進
運動成分を示す加算器３の出力であり、動不つり
合い補償器１５の場合はｘ及びｙ軸まわりの回転
運動成分を示す加算器６の出力であることは云う
までもない。これら不つり合い補償器１４，１５
の出力に従つて、電磁石巻線コイルの励磁電流を
制御すると、不つり合い力の影響を打ち消す力が
回転体１に作用し、不つり合いのために生ずる回
転体１の振れ廻り運動を抑制することができる。
第４図は、回転体１のｘ及びｙ軸まわりの回転
運動を制御するときにジヤイロ効果のために発生
する歳差運動や章動をすみやかに減衰させるため
交差フイードバツク補償を用いた場合において、
不つり合い補償を行なわせたときの半径方向磁気
軸受制御装置を示している。図に於いて、比例補
償器２７とインバータ２８は、回転体のジヤイロ
効果を考慮した結果挿入される交差フイードバツ
ク補償である。この交差フイードバツク補償の考
え方及び効果は、特許出願番号56−180712に詳し
い。交差フイードバツク補償が施された為、動不
つり合い補償器２９の構成は第５図となる。
すなわち、交差フイードバツク補償に対応し
て、第３図に示す動不つり合い補償器１５に、比
例補償器３０とインバータ３１を交差接続する構
成としている。比例補償器３０とインバータ３１
は、比例補償器１７，１８，１９とインバータ２
５で合成器をなし、微分補償器２０とともに第３
図で説明したような補正機構として働く。動不つ
り合い補償器２９では、２個の積分器２１と、２
個の加算器２２と、２個の掛算器２３と、１個の
インバータ２６を用いて発振器を形成し、回転検
出器１６の出力から回転体の回転運動に同期して
周期的に振動する信号を補償器内で自ら発振して
作り出す。その周期的に振動する信号の振幅及び
位相は、動不つり合いのため回転体に作用する周
期的なモーメント力の振幅及び位相と一致するよ
うに、上記の補正機構の働きによつて補正され
る。
すなわち、補正のための信号は、位置検出信号
の出力すなわち、加算器６の出力から比例補償器
１７，１８，１９，３０、微分補償器２０、イン
バータ２５，３１によつて生成される。この動不
つり合い補償器２９の出力信号に応じて、電磁石
巻線コイルの励磁電流を制御すると、動不つり合
いによつて回転体１に作用するモーメントを打ち
消すモーメントが作用し、動不つり合いのために
生ずる回転体の振れ廻り運動は抑制される。
本発明の有効性は、第６図及び第７図で明白と
なる。図中、θｘはｘ軸周りの角変位の大きさ、
θｙはｙ軸周りの角変位の大きさを表わす。第６
図に於いて、３２は動不つり合い補償器２９を用
いないときの振れ廻り波形であるが、本発明に係
る動不つり合い補償器２９を用いると、波形３３
の如く時間とともに減衰し零へ収束するようにな
るのである。第７図は、時間領域の振動波形であ
る第６図をリサジユ図形で示したものである。動
不つり合い補償器２９を用いないときの振れ廻り
運動が反時計まわりに回転しているリサジユ３４
であるとき、Ｐ点で動不つり合い補償器２９を挿
入すると波形３５のように振れ廻り振幅が消滅す
る。
以上、本発明によれば半径方向磁気軸受制御装
置内に、静不つり合い補償器および動不つり合い
補償器の両方あるいはそのいずれか一方を設ける
ことで、回転体に不つり合いが存在するために生
ずる振れ廻り運動を抑制することが可能となり、
回転体の回転精度向上、電力回路の負担軽減、振
動・騒音の低下がはかれる。
【図面の簡単な説明】
第１図は制御形磁気軸受の原理構造を説明する
斜視図、第２図は制御形磁気軸受装置の回路図、
第３図の静・動不つり合い補償器の回路図、第４
図はジヤイロ効果を考慮した場合の制御形磁気軸
受装置の回路図、第５図はジヤイロ効果を考慮し
た場合の動不つり合い補償器の回路図、第６図は
振れ回り振動波形の比較を表わした説明図、第７
図はリサジユ図形の比較を表わした説明図であ
る。 １４……静不つり合い補償器、１５……動不つ
り合い補償器、１６……回転速度検出器、１７，
１８，１９，３０……比較補償器、２０……微分
補償器、２１……積分器、２２，２４……加算
器、２３……掛算器、２５，２６，３１……イン
バータ、２９……動不つり合い補償器。イ……発
振器、ロ……合成器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも２個の半径方向磁気軸受を備え
    た、制御形磁気軸受で回転体を軸受制御する半径
    方向磁気軸受制御装置おいて、 回転体の並進運動成分を表わす信号を入力と
    し、静不つり合いにより生ずる振れ回りを抑制す
    る信号を出力する静不つり合い補償器、および 回転体の回転運動成分を表わす信号を入力と
    し、動不つり合いにより生ずる振れ回りを抑制す
    る信号を出力する動不つり合い補償器の両方ある
    いはいずれか一方を設け、 前記補償器は、外部からの入力信号に基づき補
    正信号を出力する微分補償器と、外部からの入力
    信号に基づき複数の合成信号を出力する合成器
    と、該合成器からの信号と外部に設けた回転速度
    検出器からの信号を入力とし、前記回転体に同期
    して振動する電気信号を作り出して出力する発振
    器と、該電気信号と前記補正信号を合成し外部へ
    の出力とする加算器と、からなり、 前記発振器からの電気信号は、前記微分補償器
    と、前記合成器により振幅と位相が調整されるこ
    とを特徴とする制御形磁気軸受装置。
JP57197968A 1982-11-11 1982-11-11 制御形磁気軸受装置 Granted JPS5989821A (ja)

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GB08329682A GB2129582B (en) 1982-11-11 1983-11-07 Controlled magnetic bearing device
FR838317711A FR2536138B1 (fr) 1982-11-11 1983-11-08 Dispositif a palier magnetique du type commande
DE3340909A DE3340909C2 (de) 1982-11-11 1983-11-11 Steuereinrichtung für ein Magnetlager
US06/808,237 US4839550A (en) 1982-11-11 1985-12-13 Controlled type magnetic bearing device

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04185368A (ja) * 1990-11-16 1992-07-02 Tokyo Electric Co Ltd 用紙送り装置

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6040820A (ja) * 1983-08-17 1985-03-04 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 磁気軸受装置の制御方法
FR2572141A1 (fr) * 1984-10-23 1986-04-25 Europ Propulsion Dispositif de decrassage automatique d'un organe tournant
JPS61262225A (ja) * 1985-05-13 1986-11-20 Hitachi Ltd 電磁軸受制御装置
FR2606694B1 (fr) * 1986-11-13 1989-03-24 Europ Propulsion Procede et dispositif d'usinage ultra-precis applique a l'execution de surfaces atypiques de revolution et aux usinages asservis
JPS63285321A (ja) * 1987-05-18 1988-11-22 Ebara Corp 不釣り合い振動及び同期妨害振動の防止制御方式
JPS63303217A (ja) * 1987-06-01 1988-12-09 Shinko Electric Co Ltd 磁気軸受の制御装置
JPH0610485B2 (ja) * 1987-06-22 1994-02-09 神鋼電機株式会社 磁気軸受の制御装置
JPH01116318A (ja) * 1987-10-28 1989-05-09 Natl Aerospace Lab 能動形磁気軸受
DE3819205C2 (de) * 1987-12-12 1999-07-15 Teldix Gmbh Lagerung eines Rotors mit großer radialer Ausdehnung
EP0419476B1 (de) * 1988-06-06 1992-06-03 TELDIX GmbH Lager zur radialen und axialen lagerung eines rotors mit grosser radialer ausdehnung
FR2635292B1 (fr) * 1988-08-12 1990-11-16 Henkel France Procede de traitement de bouchons en liege
US5216308A (en) * 1989-05-25 1993-06-01 Avcon-Advanced Controls Technology, Inc. Magnetic bearing structure providing radial, axial and moment load bearing support for a rotatable shaft
DE58906215D1 (de) * 1989-07-10 1993-12-23 Siemens Ag Verfahren und Einrichtung zur Elimination des Einflusses von periodischen Störgrössen mit bekannter, veränderlicher Frequenz.
US5013987A (en) * 1989-07-18 1991-05-07 Seiko Instruments Inc. Control system for magnetic bearing
US4999534A (en) * 1990-01-19 1991-03-12 Contraves Goerz Corporation Active vibration reduction in apparatus with cross-coupling between control axes
JPH0720359B2 (ja) * 1990-03-16 1995-03-06 株式会社荏原製作所 回転体のアンバランス修正装置
US5059845A (en) * 1990-05-07 1991-10-22 Mechanical Technology Incorporated Active magnetic bearing device for controlling rotor vibrations
DE59102756D1 (de) * 1990-05-08 1994-10-06 Teldix Gmbh Vibrationsisolation eines magnetisch gelagerten körpers.
US5084643A (en) * 1991-01-16 1992-01-28 Mechanical Technology Incorporated Virtual rotor balancing in magnetic bearings
JPH0510326A (ja) * 1991-06-27 1993-01-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気軸受の制御装置
EP0526903B1 (en) * 1991-08-06 1996-02-28 Koyo Seiko Co., Ltd. Bearing device
DE4127693A1 (de) * 1991-08-21 1993-02-25 Huels Chemische Werke Ag Verfahren zum herstellen eines formkoerpers aus graphit
DE69319004T2 (de) * 1992-03-09 1998-12-24 Hitachi Ltd Verfahren und Gerät zur Steuerung eines Magnetlagers
US5315197A (en) * 1992-04-30 1994-05-24 Avcon - Advance Controls Technology, Inc. Electromagnetic thrust bearing using passive and active magnets, for coupling a rotatable member to a stationary member
US5514924A (en) * 1992-04-30 1996-05-07 AVCON--Advanced Control Technology, Inc. Magnetic bearing providing radial and axial load support for a shaft
DE4227015A1 (de) * 1992-08-14 1994-02-17 Budig Peter Klaus Prof Dr Sc T Anordnung zum Stellen des Stromes der Magnetlager für Rotoren
DE4227014A1 (de) * 1992-08-14 1994-02-17 Budig Peter Klaus Prof Dr Sc T Verfahren und Anordnung zum Auswuchten eines Rotors
US5666013A (en) * 1992-12-07 1997-09-09 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Magnetic bearing
FR2706549B1 (fr) * 1993-06-18 1995-09-01 Mecanique Magnetique Sa Réseau de correction de circuit d'asservissement de paliers magnétiques actifs.
JPH08275444A (ja) * 1995-03-29 1996-10-18 Tadashi Fukao エネルギー蓄積用フライホイール駆動システム
DE19619997A1 (de) * 1996-05-17 1997-11-20 Karlsruhe Forschzent Verfahren zum Bestimmen der Unwucht und zum Auswuchten eines supraleitend magnetgelagerten Rotors
JP3114089B2 (ja) * 1996-07-18 2000-12-04 セイコー精機株式会社 磁気軸受装置
EP0974763A1 (de) * 1998-07-20 2000-01-26 Sulzer Electronics AG Verfahren zur Regelung der Position eines magnetisch gelagerten Rotors und Vorrichtung mit einem magnetisch gelagerten Rotor
JP4036567B2 (ja) 1999-01-27 2008-01-23 株式会社荏原製作所 制御形磁気軸受装置
AU2001285457A1 (en) * 2000-08-21 2002-03-04 Michigan State University Adaptive compensation of sensor run-out and mass unbalance in magnetic bearing systems without changing rotor speed
FR2829200B1 (fr) * 2001-09-06 2004-12-31 Mecanique Magnetique Sa Dispositif et procede de compensation automatique de perturbations synchrones
JP2005020800A (ja) * 2003-06-23 2005-01-20 Yokohama Tlo Co Ltd 回転体の軸ぶれ制御方法、及びフライホイール装置
RU2399803C2 (ru) * 2004-06-15 2010-09-20 Али ЭЛЬ-ШАФЕИ Способы управления неустойчивостью в гидродинамических подшипниках
CZ2013205A3 (cs) * 2013-03-22 2014-10-22 Rieter Cz S.R.O. Zařízení pro snímání polohy otáčejícího se pracovního prostředku v aktivním magnetickém ložisku
EP3244067B1 (de) * 2016-05-10 2020-07-22 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe und verfahren zum verringern einer restunwucht in einer vakuumpumpe
CN109139691B (zh) * 2018-09-13 2020-10-02 哈尔滨电气股份有限公司 一种适用于立式电磁轴承转子跌落恢复的控制方法
CN108999888B (zh) * 2018-09-13 2020-10-23 哈尔滨电气股份有限公司 一种适用于卧式电磁轴承转子跌落恢复的控制方法
CN113513488A (zh) * 2020-04-10 2021-10-19 开利公司 离心式压缩机及其操作方法
CN112953344B (zh) * 2021-03-26 2022-07-22 国网江苏省电力有限公司如皋市供电分公司 一种无轴承异步电机转子不平衡振动补偿控制方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5293853A (en) * 1975-12-24 1977-08-06 Europ Propulsion Critical frequency attenuator for rotor suspended with electromagnetic bearing

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3508444A (en) * 1967-03-27 1970-04-28 Massachusetts Inst Technology Time sharing pulsed rebalancing system
US3473852A (en) * 1967-12-18 1969-10-21 Cambridge Thermionic Corp Magnetic suspension apparatus
GB1410219A (en) * 1972-12-22 1975-10-15 France Armed Forces Devices including rotatiing members supported by magnetic bearings
DE2263096C3 (de) * 1972-12-22 1982-07-08 Société Européenne de Propulsion, 92800 Puteaux, Hauts-de-Seine Regelschaltung einer magnetischen Lagerung eines Rotors mit zwei magnetischen Lagern
GB1485290A (en) * 1974-01-14 1977-09-08 Sperry Rand Corp Magnetic bearing apparatus
US3937533A (en) * 1974-02-08 1976-02-10 The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration Office Of General Counsel-Code Gp Axially and radially controllable magnetic bearing
DE2420814C3 (de) * 1974-04-30 1980-10-16 Padana Ag, Zug (Schweiz) Magnetlager mit einem Lagerelement zur Festlegung eines translatorischen Freiheitsgrades
GB1458687A (en) * 1974-09-30 1976-12-15 Rnier Gmbh D Control circuit for lateral guidance for example a centrifuge rotor
FR2336550A1 (fr) * 1975-12-24 1977-07-22 Europ Propulsion Montage d'arbre long, notamment pour turbomachine
FR2446472A1 (fr) * 1978-06-12 1980-08-08 Aerospatiale Procede et dispositif d'equilibrage des corps tournants a suspension magnetique radiale passive et axiale active et d'orientation de leur axe de rotation
JPS5797916A (en) * 1980-12-08 1982-06-17 Nippon Seiko Kk Controlled magnetic bearing
US4417772A (en) * 1981-04-10 1983-11-29 Agence Spatiale Europeenne Method and apparatus for controlling the energization of the electrical coils which control a magnetic bearing
JPS5881217A (ja) * 1981-11-11 1983-05-16 Seiko Instr & Electronics Ltd ５自由度制御形磁気軸受装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5293853A (en) * 1975-12-24 1977-08-06 Europ Propulsion Critical frequency attenuator for rotor suspended with electromagnetic bearing

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04185368A (ja) * 1990-11-16 1992-07-02 Tokyo Electric Co Ltd 用紙送り装置

Also Published As

Publication number Publication date
GB2129582A (en) 1984-05-16
JPS5989821A (ja) 1984-05-24
GB8329682D0 (en) 1983-12-07
DE3340909C2 (de) 1996-02-15
DE3340909A1 (de) 1984-05-17
US4839550A (en) 1989-06-13
FR2536138A1 (fr) 1984-05-18
GB2129582B (en) 1986-12-31
FR2536138B1 (fr) 1991-04-19

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