JPH11218130A - ディスク型無軸受回転機械 - Google Patents

ディスク型無軸受回転機械

Info

Publication number
JPH11218130A
JPH11218130A JP3205598A JP3205598A JPH11218130A JP H11218130 A JPH11218130 A JP H11218130A JP 3205598 A JP3205598 A JP 3205598A JP 3205598 A JP3205598 A JP 3205598A JP H11218130 A JPH11218130 A JP H11218130A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
radial
stator
disk
axial
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3205598A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3712519B2 (ja
Inventor
Tadashi Fukao
正 深尾
Tsutomu Michioka
力 道岡
Akira Chiba
明 千葉
Susumu Osawa
将 大沢
Satoshi Mori
敏 森
Tadashi Sato
忠 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP03205598A priority Critical patent/JP3712519B2/ja
Publication of JPH11218130A publication Critical patent/JPH11218130A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3712519B2 publication Critical patent/JP3712519B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0474Active magnetic bearings for rotary movement
    • F16C32/0493Active magnetic bearings for rotary movement integrated in an electrodynamic machine, e.g. self-bearing motor
    • F16C32/0495Active magnetic bearings for rotary movement integrated in an electrodynamic machine, e.g. self-bearing motor generating torque and axial force

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスク型の回転子を無軸受で回転駆動する
と共に浮上位置制御して、且つ回転子の半径方向の振動
に対して減衰力を付与することができる、ディスク型無
軸受回転機械を提供する。 【解決手段】 固定子磁極面に対向してディスク型回転
子16を配置し、固定子15,17に設けた電磁コイル
に与える電流を制御することにより、回転子を非接触で
磁気浮上支持すると共に回転駆動を行うディスク型無軸
受回転機械において、回転軸中心からの回転子の半径方
向変位に応じて、固定子の電磁コイルに与える電流を調
節することにより、回転子にその半径方向変位及び速度
に応じた半径方向力を作用させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク型無軸受
回転機械に係り、特に円筒状の固定子に回転駆動用と制
御用の電磁コイルを備え、その固定子の磁極面に対向し
て配置したディスク型の回転子を、固定子の磁極面に対
して非接触で浮上支持すると共に回転駆動する無軸受回
転機械に関する。
【0002】
【従来の技術】円筒型固定子内にディスク型回転子を組
み込み、固定子に極数の異なる回転駆動用と制御用の電
磁コイルを備え、ここで回転子に回転力を与えると同時
に所定位置に浮上保持する位置制御力を作用させる無軸
受回転機械が知られている。これは、固定子に備えた回
転駆動用の電磁コイルと浮上姿勢制御用の電磁コイルに
より、それぞれに三相又は二相の交流電流を流すことに
より、例えば4極と2極等の極数の異なる回転磁界を形
成し、ディスク型回転子の回転軸垂直断面に磁気的作用
を及ぼすものである。これにより、回転子に磁束を偏配
させて、その浮上位置と姿勢を制御して、固定子に対し
て非接触支持が可能な浮上位置決めの機能を有すると共
に、回転子にモータとしての回転駆動力を付与すること
ができる。
【0003】ディスク型の回転子を非接触で浮上支持す
るとともに、回転子を回転駆動する作用を合わせ持つ以
下のような無軸受回転機械が既に提案されている。これ
は、上面に4極の永久磁石を貼り付け、下面に4極の突
極を設けたディスク型回転子と、その回転子上側の固定
子には4極の電動機巻線を施し、永久磁石同期機として
トルクを発生するとともに回転子へ上向きの磁気吸引力
を発生する。その回転子下側の固定子には4極の電動機
巻線に加えて2極の傾き制御巻線を施し、これらの巻線
電流によってリラクタンスモータとしてトルクを発生す
ると同時に円周方向に調整可能な下向きの磁気吸引力を
発生し、傾きの制御力を発生することができる。この形
式の無軸受回転機械では、非接触で回転駆動すると共
に、回転軸方向の浮上位置制御と回転子の傾き制御が可
能であることが既に実証されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この形
式の無軸受回転機械では、軸方向の浮上位置制御と回転
子の傾き制御は可能であるが、半径方向の位置制御は行
なえないので、同方向の支持機構はバネ系と同じであ
り、減衰作用が無いために回転子に振動が発生すると、
その振動が収束しにくい。従って、浮上回転中に半径方
向の外乱が作用すると、振動が収まらなくなるといった
問題がある。
【0005】本発明は、上述した事情に鑑みて為された
もので、ディスク型の回転子を無軸受で回転駆動すると
共に浮上位置制御して、且つ回転子の半径方向の振動に
対して減衰力を付与することができる、ディスク型無軸
受回転機械を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の態様のデ
ィスク型無軸受回転機械は、固定子磁極面に対向してデ
ィスク型回転子を配置し、前記固定子に設けた電磁コイ
ルに与える電流を制御することにより、前記回転子を非
接触で磁気浮上支持すると共に回転駆動を行うディスク
型無軸受回転機械において、回転軸中心からの前記回転
子の半径方向変位に応じて、前記固定子の電磁コイルに
与える電流を調節することにより、前記回転子に半径方
向変位と速度に応じた半径方向力を作用させることを特
徴とする。
【0007】これにより、回転子が半径方向に振動した
ような場合に、その回転子の半径方向変位と速度に対し
てこれを減衰させるような半径方向力を作用させること
で、この振動に対して減衰力を付与することができる。
従って、ディスク型の無軸受回転機械において、浮上回
転中に半径方向の外乱が生じても、これに減衰力を作用
させることで、その半径方向の振動を収束させることが
できる。
【0008】前記回転子の半径方向変位を入力とした制
御器出力を軸方向位置制御器への目標位置信号として入
力し、前記回転子を軸方向に変位させることにより、回
転子に半径方向の減衰力を作用させることが好ましい。
これにより、回転子の半径方向変位に対して、まず電磁
コイルに与える電流を制御することで、回転子を軸方向
に変位させる。軸方向の変位により回転子に作用する半
径方向力が異なることから、回転子の半径方向変位と速
度に応じて、その速度が減少するように軸方向に変位さ
せることで、回転子に半径方向の減衰力を作用させるこ
とができる。
【0009】又、前記軸方向位置制御器への目標位置信
号に応じて、前記固定子の電磁コイルに供給するトルク
分電流を調整することが好ましい。上述の無軸受回転機
械では、回転子の軸方向の変位に対応して作用する磁気
力が異なるので、トルク分電流を固定していたのでは、
回転子を軸方向に変位させることにより回転子に作用す
るトルクが変動する。従って、回転子の軸方向変位に対
応してトルク分電流を調整することにより、回転子に作
用する回転トルクを一定としたまま、半径方向力のみを
制御することが可能となる。
【0010】本発明の第2の態様のディスク型無軸受回
転機械は、ディスク型回転子の軸方向の両側に、相対面
するように固定子磁極面を配置し、前記固定子に設けた
電磁コイルに与える電流を制御することにより、前記回
転子を非接触で磁気浮上支持すると共に回転駆動を行う
ディスク型無軸受回転機械において、回転軸中心からの
前記回転子の半径方向変位に応じて、前記固定子の電磁
コイルに与える電流を調節することにより、前記回転子
の軸方向位置を保持したまま、前記回転子にその半径方
向変位及び速度に応じた半径方向力を作用させることを
特徴とする。
【0011】これにより、ディスク型回転子を両側の固
定子で挟持するように保持して、回転子の軸方向位置を
保持したまま、回転子の半径方向変位と速度に応じて、
その速度を減速させるようにすることができる。即ち、
半径方向変位と速度に対応して電磁コイルの電流を調節
することで、軸方向の磁束を調節し、回転子の半径方向
速度を減速するように軸方向の磁束を調節することで、
回転子に対して半径方向の減衰力を付与することができ
る。
【0012】又、前記回転子は、前記回転子の半径方向
変位を入力とした制御器出力を前記両側の固定子の軸方
向位置制御器の出力に加算し、前記回転子に作用する軸
方向磁束を前記回転子の両側から等しく変化させること
により、前記回転子の軸方向位置を保持したまま、前記
回転子に半径方向の減衰力を作用させることが好まし
い。これにより、両側の固定子が、ディスク型回転子に
及ぼす軸方向磁気吸引力が等しくなり、従って両側の固
定子が、ディスク型回転子の半径方向変位に対応した制
御器出力により軸方向磁束を等しく変化させることで、
ディスク型回転子の軸方向位置を変化させることなく、
半径方向変位に対して減衰力を付与することができる。
【0013】総じて本発明によれば、ディスク型無軸受
回転機械での半径方向の支持機構がバネ系と同じであ
り、減衰作用がないために回転子の振動が収束しにくい
という従来技術の問題点を改善でき、従って浮上回転中
に半径方向の外乱が作用しても、その振動を安定に収束
させることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。
【0015】図1は、本発明の実施の対象となるディス
ク型無軸受回転機械の一例を示す。このディスク型無軸
受回転機械は、上部が無制御の永久磁石型同期機11で
あり、下部は傾き制御が可能なリラクタンス型の同期機
12である。
【0016】回転子16の固定子15の磁極面に対向す
る上面には、4極を形成するように永久磁石16aが貼
付されている。円筒形の固定子15の下端面が磁極面と
なっており、固定子15の内部にはその磁極面に例えば
4極の回転駆動磁界を形成するように電磁コイルが配置
されている。従って、固定子の電磁コイルに励磁電流を
供給することで、その磁極面に回転駆動磁界を形成する
ことにより、永久磁石が貼付された回転子16が回転駆
動される。このように、上側の永久磁石同期機11で
は、永久磁石によって回転子に上向きの吸引力FPMが発
生する。z軸方向には回転子の重力Mgが働くが、希土
類磁石などの残留磁束の大きな永久磁石を用いれば大き
な吸引力が得られ、負荷機械と一体化した回転子の自重
を支えることができる。
【0017】下部のリラクタンス型の同期機12は、4
極の回転駆動磁界を形成する電磁コイルと、2極の傾き
制御磁界を形成する電磁コイルとを備えている。回転子
16の下面には磁性材の突極16bが形成されており、
これにより回転子を回転駆動すると共に、回転子16の
軸方向浮上位置及び浮上姿勢の制御を行う。ここで上側
固定子15が回転子16を引き上げる力FPMに対して、
下側固定子17が回転子16を下側に吸引する力FR
作用する。この磁気吸引力FRは、固定子17内の電磁
コイルの電動機励磁電流によって調節可能であり、回転
子16が上下に一定の間隔を保ったまま、浮上するよう
に制御することができる。
【0018】即ち、この実施形態においては、回転子に
作用する磁気吸引力FPM,FRと、回転子に作用する重
力Mgとの総和が等しい状態、即ち回転子16は定常時
には上側及び下側の固定子15,17が及ぼす磁気力が
バランスする位置に配置されている。ここで符号Z
Dは、上側固定子15の下側磁極面と回転子16の上側
磁極面との間隔であり、符号ZRは、回転子16の下側
磁極面と下側固定子17の上側磁極面との間隔である。
【0019】回転子16が固定子17に対して平行であ
れば、電動機電流による磁束は均一であるため回転子を
傾かせる傾きトルクは発生しない。しかし回転子が傾く
と、ギャップが不均一になり、ギャップが狭くなって磁
束密度が大きくなった部分の吸引力が大きくなり、傾き
を増加させる方向に不平衡傾きトルクが働く。そこで、
リラクタンスモータの4極の回転駆動磁束に2極の傾き
制御磁束を重ね合わせることで、回転子が傾いてギャッ
プが狭くなった部分の磁束密度を減少させ、反対側の磁
束密度を増加させることができる。即ち、不平衡傾きト
ルクに対抗して回転子を固定子に対して水平に戻すため
の傾き制御トルクを発生させることができる。尚、一般
にはリラクタンスモータの回転駆動巻線n極に対して、
傾き制御巻線がn±2極であれば傾き制御トルクを発生
できる。
【0020】次に、半径方向力の生成機構について説明
する。図2は、回転子16に作用する磁束の分布を示
す。上側固定子15の磁極面と回転子16の間、及び下
側固定子17の磁極面と回転子16の間には、電磁コイ
ルの電流により図示するように軸方向磁束Φ0が形成さ
れる。しかしながら、回転子16の磁極の端部において
は、エッジ効果とでもいうべき半径方向成分を有する磁
束Φaが発生する。そして、回転子16が回転軸方向位
置は変わらず、中心軸cから半径方向に変位すると、回
転子磁極端部の磁束Φaの分布が変形し、これにより復
原剛性(復原力)Fが発生する。
【0021】この復原力Fは、半径方向変位に対して軸
中心cに向かう半径方向力であり、半径方向変位(r)
が大きい程大きくなる。また、間隔ZD,ZRの大きさに
反比例して軸方向の磁気吸引力が変化することから、半
径方向の復原力Fもその大きさがこれに対応して変化す
る。この力は回転子の半径方向変位が小さい範囲では変
位に比例して増加する力であり、バネと同様に減衰の要
素は持っていない。しかし、回転子の半径方向の変位に
応じて回転子の回転軸方向の磁束を変化させ、ギャップ
中の磁束の大きさを能動的に変化させることにより減衰
要素を持たせることができる。
【0022】図3は、回転子の半径方向変位に対応し
て、半径方向に発生する力Fの関係を示す。この図は横
軸に半径方向変位rを取り、縦軸に半径方向力Fを取
り、軸方向の回転子と固定子間の間隔ZRをパラメータ
としている。即ち、回転子がその軸中心cから半径方向
に変位すると、その変位rに対応した軸中心に戻す半径
方向力Fが回転子に作用する。この半径方向力Fは、半
径方向変位が大きければ大きいほど大きくなり、また、
軸方向の変位ZRが大きくなると、上側固定子との間隔
Dが小さくなるため、半径方向位置rが同じであるな
らば、半径方向力Fが大きくなるという傾向がある。
【0023】次に、図4を参照して本発明の第1の実施
の形態の制御装置の構成について説明する。この実施の
形態の無軸受回転機械においては、回転軸中心からの回
転子の半径方向変位に応じて、固定子の電磁コイルに与
える電流を比例微分(PD)制御器39により調節する
ことにより、その半径方向変位及び速度に応じた半径方
向力を作用させる。これは、回転子の半径方向変位を入
力とした比例微分(PD)制御器39出力を、軸方向位
置制御器29への目標位置信号として入力し、回転子を
軸方向に変位させることにより、回転子に半径方向の減
衰力を能動的に作用させる。
【0024】この制御装置においては、インバータ兼姿
勢検出器32で、回転子16の軸方向位置Z及び回転子
の姿勢信号α,βが出力される。そして回転子の軸方向
位置Zは、目標値Z*と比較器47で比較され、この差
分信号がアキシャル位置制御器29に入力され、比例積
分(PI)制御等により、制御信号FZ *が形成される。
一方で、回転子の回転速度がセンサ26で検出され、目
標回転速度ω*と比較器47ωで比較される。そしてそ
の差分が速度制御器29ωに入力され、比例積分(P
I)制御等により、制御信号T*が形成される。アキシ
ャル位置制御器29と速度制御器29ωの出力信号は、
それぞれ目標値と実際値との差分をゼロとするような制
御力指令信号を発生する。これらの制御信号はアキシャ
ル力・トルク非干渉化補償器30に入力され、d軸電流
成分Id *及びq軸電流成分Iq *を生成する。更に回転座
標変換器、2相3相変換器31により信号変換され、イ
ンバータ装置32から励磁電流として固定子17の電磁
コイルに入力される。
【0025】一方で姿勢検出器32で検出された姿勢信
号α,βは、それぞれ比較器47α,47βで目標姿勢
信号α*,β*と比較され、その差分信号が傾き制御器2
8α,28βに入力され、その差分がゼロとなるように
比例積分(PI)制御により制御信号Fα*,Fβ*が形
成される。この制御信号は電動機傾き制御・非干渉化補
償器33に入力され、制御信号Fα*',Fβ*'が形成さ
れる。更に回転座標変換、及び2相3相変換が変換器3
4で施されインバータ35を介して下側固定子17の2
極巻線の電磁コイルに供給される。
【0026】この制御装置においては、回転子の半径方
向の振動を検出して、これに減衰力を付与するため、半
径方向変位センサ40、及び絶対値の演算器41、比例
微分制御器42,43、比較器46等からなるPD制御
器39を備える。そして、振動を減衰させるためのPD
制御器39(比較器46)の出力信号線は、軸方向位置
制御器であるアキシャル位置制御器29の前段の比較器
47に目標位置信号として入力される。
【0027】このPD制御器39の動作は、次の通りで
ある。半径方向変位センサ40の出力は、演算器41に
より変位信号rの絶対値が取られる。次に、微分器42
で微分処理がなされ、半径方向の速度信号が取り出され
る。そして変位信号rと速度信号dr/dtの信号は、
それぞれ係数KP,Kdが乗算器43により乗算され、加
算器44で加算される。そしてリミッタ45で上下限の
処理がなされ、比較器46で変位信号r及び速度信号d
r/dtに対応した制御信号が基準位置信号ZROと比較
され、軸方向位置信号ZR *が出力される。
【0028】軸方向に変換された回転子の半径方向変位
に対する減衰力を与える制御信号ZR *は、回転子の軸方
向位置を制御する制御装置の比較器47に入力される。
即ち、比較器47で軸方向目標位置Z*と加算され、更
に軸方向の実際位置Zと比較される。そしてこの差分信
号がアキシャル位置制御器29に入力され、PID制御
等の制御器29の信号により、固定子17の電磁コイル
に軸方向磁束を発生する励磁電流が供給されることは上
述したとおりである。
【0029】即ち、回転子の半径方向変位rを比例微分
(PD)制御器42,43を通して、半径方向の変位と
速度成分を演算し、これを軸方向の変位に変えて半径方
向速度が減少するように半径方向力を変えるものであ
る。尚、演算器40で半径方向変位の絶対値を取るの
は、半径方向については、変位0の点を中心にして対称
であるからである。
【0030】尚、上述した実施の形態においては、上側
の固定子15の電磁コイルには、4極の回転駆動巻線の
みを備え、回転駆動電流のみが供給され、2極の制御巻
線は備えていない。従って、回転子16は主として上側
の固定子15の励磁電流による磁束で回転駆動され、
又、回転子上面に貼設された永久磁石の磁気吸引力によ
り浮上支持される。そして、下側の固定子17の励磁電
流による磁束で軸方向の浮上位置制御と、α,β方向の
傾き姿勢の制御が行われる。
【0031】回転子16が軸方向に変位すると、これに
より固定子との間隔ZD,ZRが変化し、電磁コイルへの
供給電流が変わらなければ、軸方向位置が変化した分だ
けトルクが増減する。この問題を防止するために、アキ
シャル力・トルク非干渉化補償器30において、軸方向
の変位によるトルクの変化分を補償するように電磁コイ
ルに供給する電流を制御する。これにより、軸方向位置
制御器への目標位置信号に応じて、固定子の電磁コイル
に供給するトルク分電流Iq *を調整することで、軸方向
の変位があっても、トルクを一定に保つことができる。
【0032】図5及び図6は、回転子の半径方向位置と
軸方向位置の振動の実験結果を示す。即ち、半径方向変
位rは、回転子を中心軸から1.5mm離れた位置か
ら、自由振動させたものである。図5は、上述した半径
方向の振動の減衰用の制御装置を使用しない場合であ
り、図6は上述した半径方向の振動の減衰用の制御装置
を使用した場合である。図示するように図5において
は、半径方向の振動が生じると、これがなかなか減衰せ
ず、収束するのに時間を要する。しかしながら、軸方向
の変位は軸方向位置を一定に保つ制御系により制御され
ているため、一定位置に保たれている。
【0033】これに対して、図4に示した半径方向の振
動を減衰させる制御装置を使用した場合には、半径方向
の振動は速やかに減衰する。又、この減衰のために回転
子の軸方向位置Zが半径方向振動の周期に対応して変化
していることがわかる。このように、上述した制御装置
を用いることで、今まで不可能であったディスク型無軸
受回転機械における半径方向の振動に対して減衰を与え
ることが可能であることが実証された。
【0034】図7は、本発明の第2の実施の形態の制御
装置の構成を示す。この実施の形態においては、ディス
ク型回転子の軸方向の両側にそれぞれ対面するように固
定子の磁極面を配置して、回転子は両側の固定子が及ぼ
す磁気力の影響が等しくなる位置に配置する。そして回
転子の半径方向変位を入力とした制御器出力を、両側の
固定子の軸方向位置制御器の制御器出力に加算し、回転
子に作用する軸方向磁束を変化させる。
【0035】これにより、ディスク型回転子を挟持した
両側の固定子の電磁コイルに与える電流を調節すること
により、回転子の軸方向位置を保持したまま、軸方向の
磁束を変化させることができる。従って、回転子にその
半径方向変位及び速度に応じた半径方向力を作用させる
ことで、回転子の半径方向の振動に対して、これに減衰
力を付与することができる。
【0036】この実施の形態においては、回転子の半径
方向変位を検出する変位センサ51と、この変位センサ
出力信号を入力として振動に減衰を付与する制御信号Δ
Fを形成するPD制御器53と、この絶対値を取り軸方
向位置制御器56の出力に加算する加算器55とを備え
る。又、上側固定子61と下側固定子63の両方にそれ
ぞれアキシャル力・トルク非干渉化補償器57、回転座
標変換器・2相3相変換器58、電力増幅器59を備
え、半径方向変位センサ51で検出された回転子の半径
方向変位の制御信号に対して、上側と下側の固定子間で
等しく磁束を増減できるようになっている。
【0037】即ち、半径方向変位センサ51で回転子の
半径方向変位rを検出し、これを比較器52で半径方向
目標位置r*と比較する。そしてこれをPD制御器53
に入力し、比例微分(PD)制御器により半径方向変位
と速度に応じて、これを減少させる制御信号ΔFを生成
する。そしてこれを演算器54で絶対値を取る処理を行
い、軸方向磁束に相当する制御信号ΔFZを得る。そし
てこの信号を上側の固定子15の軸方向位置制御装置及
び下側の固定子17の軸方向位置制御装置に比較器55
を介してそれぞれ入力する。
【0038】この制御信号は軸方向位置制御器56の出
力信号FZU *とFZL *に加算器55でそれぞれ加算され
て、アキシャル力・トルク非干渉化補償器57に入力さ
れる。また、回転速度制御器58から出力されるトルク
制御信号T*も同様に入力され、アキシャル力・トルク
非干渉化補償器57でそれぞれd軸電流IdU *とIdL *
びq軸電流IqU *とIqL *とに分離され、座標変換及び2
相3相変換を行い、電力増幅器(インバータ)59を介
して上側固定子61及び下側固定子63の電磁コイルに
それぞれ供給される。
【0039】係る構成の制御装置によれば、PD制御器
53の出力信号が、演算器54を介して、等しく上側及
び下側固定子の軸方向位置制御器56の出力信号に加え
られるので、回転子の軸方向位置を変化させることな
く、回転子の半径方向の振動に対して減衰力を与えるこ
とができる。
【0040】尚、この図では傾き制御系を図示してない
が、図4に示す第1の実施の形態の制御装置と同様に設
ける。又、上述した実施の形態の電動機の形式は、永久
磁石型同期機とリアクタンス型同期機とを組み合わせた
もの或いはリアクタンス型同期機同士の組み合わせとし
てもよい。又、第1の実施の形態においては、固定子は
回転子を両側から挟みこまないで、片側のみで支持する
ようにしてもよい。
【0041】又、上記の実施の形態においては上側及び
下側の回転子の双方に電動機として機能するようにトル
ク電流を供給するようにしているが、片方又は両方とも
にトルク電流を供給しないようにしてもよい。このよう
に本発明の趣旨を逸脱することなく、種々の変形実施例
が可能である。
【0042】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
ディスク型の回転子を浮上位置を制御すると共に回転駆
動しつつ、且つ半径方向に生じる振動を減衰させること
ができる。これにより、ディスク型無軸受回転機械での
半径方向の支持機構がバネ系と同じであり、減衰作用が
ないために回転子の振動が収束しにくいという従来技術
の問題点を改善でき、浮上回転中に半径方向の外乱が作
用しても、その振動を安定に収束させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の対象となるディスク型無軸受回
転機械の構成例を示す説明図。
【図2】ディスク型回転子における半径方向力が由来す
る磁束分布の説明図。
【図3】ディスク型回転子の半径方向位置と半径方向力
の大きさの関係を示す説明図。
【図4】本発明の第1の実施の形態の制御装置の説明
図。
【図5】図4に示す制御装置を用いない場合の半径方向
の振動の状態を示すグラフ。
【図6】図4に示す制御装置を用いた場合の半径方向の
振動の減衰を示すグラフ。
【図7】本発明の第2の実施の形態の制御装置の説明
図。
【符号の説明】
15,17,61,63 固定子 16 回転子 26 回転角速度検出器 29 アキシャル位置制御器 29ω 速度制御器 30,57 アキシャル力・トルク非干渉化補償器 31,58 回転座標/2相3相変換器 32 インバータ/アキシャル位置・姿勢検出
器 39 比例微分(PD)制御器 40,51 半径方向変位センサ 41,54 演算器 42 微分器 43 係数乗算器 44,55 加算器 45 リミッタ 46,47,52 比較器 51z 軸方向位置検出器 53 半径方向制御器(PD制御器) 58 電力増幅器(インバータ)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000000239 株式会社荏原製作所 東京都大田区羽田旭町11番1号 (72)発明者 深尾 正 神奈川県横浜市青葉区松風台24−45 (72)発明者 道岡 力 東京都品川区旗の台2−8−21ハイツ旗の 台909 (72)発明者 千葉 明 東京都新宿区下落合1−8−14落合マンシ ョン707 (72)発明者 大沢 将 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 森 敏 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 佐藤 忠 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株 式会社荏原総合研究所内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固定子磁極面に対向してディスク型回転
    子を配置し、前記固定子に設けた電磁コイルに与える電
    流を制御することにより、前記回転子を非接触で磁気浮
    上支持すると共に回転駆動を行うディスク型無軸受回転
    機械において、 回転軸中心からの前記回転子の半径方向変位に応じて、
    前記固定子の電磁コイルに与える電流を調節することに
    より、前記回転子にその半径方向変位及び速度に応じた
    半径方向力を作用させることを特徴とするディスク型無
    軸受回転機械。
  2. 【請求項2】 前記回転子の半径方向変位を入力とした
    制御器出力を軸方向位置制御器への目標位置信号として
    入力し、前記回転子を軸方向に変位させることにより、
    回転子に半径方向の減衰力を作用させることを特徴とす
    る請求項1に記載のディスク型無軸受回転機械。
  3. 【請求項3】 前記軸方向位置制御器への目標位置信号
    に応じて、前記固定子の電磁コイルに供給するトルク分
    電流を調整することを特徴とする請求項2に記載のディ
    スク型無軸受回転機械。
  4. 【請求項4】 ディスク型回転子の軸方向の両側に、相
    対面するように固定子磁極面を配置し、前記固定子に設
    けた電磁コイルに与える電流を制御することにより、前
    記回転子を非接触で磁気浮上支持すると共に回転駆動を
    行うディスク型無軸受回転機械において、 回転軸中心からの前記回転子の半径方向変位に応じて、
    前記固定子の電磁コイルに与える電流を調節することに
    より、前記回転子の軸方向位置を保持したまま、前記回
    転子にその半径方向変位及び速度に応じた半径方向力を
    作用させることを特徴とするディスク型無軸受回転機
    械。
  5. 【請求項5】 前記回転子の半径方向変位を入力とした
    制御器出力を前記両側の固定子の軸方向位置制御器の制
    御器出力に加算し、前記回転子に作用する軸方向磁束を
    前記回転子の両側から等しく変化させることにより、前
    記回転子の軸方向位置を保持したまま、前記回転子に半
    径方向の減衰力を作用させることを特徴とする請求項4
    に記載のディスク型無軸受回転機械。
JP03205598A 1998-01-29 1998-01-29 ディスク型無軸受回転機械 Expired - Fee Related JP3712519B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03205598A JP3712519B2 (ja) 1998-01-29 1998-01-29 ディスク型無軸受回転機械

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03205598A JP3712519B2 (ja) 1998-01-29 1998-01-29 ディスク型無軸受回転機械

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11218130A true JPH11218130A (ja) 1999-08-10
JP3712519B2 JP3712519B2 (ja) 2005-11-02

Family

ID=12348197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03205598A Expired - Fee Related JP3712519B2 (ja) 1998-01-29 1998-01-29 ディスク型無軸受回転機械

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3712519B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008018167A1 (fr) * 2006-08-08 2008-02-14 Ntn Corporation Dispositif palier magnétique du type à moteur intégré
JP2010180974A (ja) * 2009-02-06 2010-08-19 Meidensha Corp ベアリングレスモータのパラメータ設定方法
KR101029187B1 (ko) 2009-06-04 2011-04-12 연세대학교 산학협력단 비접촉 강자성체 회전장치 및 그 제어방법
JP2011259638A (ja) * 2010-06-10 2011-12-22 National Univ Corp Shizuoka Univ ベアリングレスモータ
WO2015178052A1 (ja) * 2014-05-19 2015-11-26 国立大学法人 埼玉大学 磁気浮上装置とその制御方法
CN105114457A (zh) * 2015-08-24 2015-12-02 南京邮电大学 一种轴向径向电励磁磁轴承
CN113029027A (zh) * 2021-03-11 2021-06-25 鹰普航空科技有限公司 磁悬浮全景3d激光扫描检测装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008018167A1 (fr) * 2006-08-08 2008-02-14 Ntn Corporation Dispositif palier magnétique du type à moteur intégré
JP2010180974A (ja) * 2009-02-06 2010-08-19 Meidensha Corp ベアリングレスモータのパラメータ設定方法
KR101029187B1 (ko) 2009-06-04 2011-04-12 연세대학교 산학협력단 비접촉 강자성체 회전장치 및 그 제어방법
JP2011259638A (ja) * 2010-06-10 2011-12-22 National Univ Corp Shizuoka Univ ベアリングレスモータ
WO2015178052A1 (ja) * 2014-05-19 2015-11-26 国立大学法人 埼玉大学 磁気浮上装置とその制御方法
JPWO2015178052A1 (ja) * 2014-05-19 2017-04-20 国立大学法人埼玉大学 磁気浮上装置とその制御方法
EP3148070A4 (en) * 2014-05-19 2018-01-24 National University Corporation Saitama University Magnetic levitation device and method for controlling same
US10644618B2 (en) 2014-05-19 2020-05-05 National University Corporation Saitama University Magnetic levitation device and method for controlling same
CN105114457A (zh) * 2015-08-24 2015-12-02 南京邮电大学 一种轴向径向电励磁磁轴承
CN105114457B (zh) * 2015-08-24 2017-06-09 南京邮电大学 一种轴向径向电励磁磁轴承
CN113029027A (zh) * 2021-03-11 2021-06-25 鹰普航空科技有限公司 磁悬浮全景3d激光扫描检测装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3712519B2 (ja) 2005-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3550584B2 (ja) 電磁回転機械
JP7119312B2 (ja) 磁気軸受制御装置および真空ポンプ
JP3678517B2 (ja) 半径方向力発生装置、巻線付き回転機、および回転装置
Asama et al. Suspension performance of a two-axis actively regulated consequent-pole bearingless motor
Tsunoda et al. Vibration control for a rotor supported by oil-film bearings using a bearingless motor
JP2001268981A (ja) ディスク型無軸受回転機械
JPH11218130A (ja) ディスク型無軸受回転機械
JP4198866B2 (ja) ベアリングレスモータの制御装置
JP2000184655A (ja) 磁気浮上電動機
Asama et al. Suspension force investigation for consequent-pole and surface-mounted permanent magnet bearingless motors with concentrated winding
JP3259404B2 (ja) 振動抑制装置
Asama et al. A novel concept of a single-drive bearingless motor
JP2860398B2 (ja) アキシャル磁気浮上回転モータ及びこれを用いた回転機器
JP6695554B2 (ja) 磁気軸受装置および真空ポンプ
JP3710547B2 (ja) ディスク型磁気浮上回転機械
Lee et al. Rotor unbalance compensation without angular position sensor for active magnetic bearing
CN112096738B (zh) 一种应用于磁悬浮轴承的电流振动抑制方法和系统
JP6628388B2 (ja) ベアリングレスモータ
Ueno et al. Improvement of stability of an tilt-controlling axial gap self-bearing motor with single stator
JPH1080113A (ja) ディスク型無軸受モータ
Ueno et al. Development of an axial-flux self-bearing motor using two permanent magnet attractive type passive magnetic bearings
Ishikawa et al. 5-DOF controlled self-bearing motor
JPH10201300A (ja) 軸受兼用モータ
US20240088747A1 (en) Bearingless Rotating Electric Machine with Field Weakening
Tsunoda et al. Combination of Oil Film Bearing and Bearingless Motor for High Load Capacity and Stable Rotation

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041220

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050105

A521 Written amendment

Effective date: 20050224

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20050816

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20050817

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080826

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090826

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090826

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100826

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees