DE3340909A1 - Steuereinrichtung fuer ein magnetlager - Google Patents

Steuereinrichtung fuer ein magnetlager

Info

Publication number
DE3340909A1
DE3340909A1 DE19833340909 DE3340909A DE3340909A1 DE 3340909 A1 DE3340909 A1 DE 3340909A1 DE 19833340909 DE19833340909 DE 19833340909 DE 3340909 A DE3340909 A DE 3340909A DE 3340909 A1 DE3340909 A1 DE 3340909A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
compensation device
compensation
unbalance
rotating body
dynamic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19833340909
Other languages
English (en)
Other versions
DE3340909C2 (de
Inventor
Toshiro Tokyo Higuchi
Takeshi Mizuno
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Publication of DE3340909A1 publication Critical patent/DE3340909A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3340909C2 publication Critical patent/DE3340909C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • F16C32/0451Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • F16C32/0451Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
    • F16C32/0453Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control for controlling two axes, i.e. combined control of x-axis and y-axis
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0474Active magnetic bearings for rotary movement
    • F16C32/0487Active magnetic bearings for rotary movement with active support of four degrees of freedom
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/05Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/056Bearings
    • F04D29/058Bearings magnetic; electromagnetic
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/662Balancing of rotors
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps

Description

F. ENDLICH, POSTFACH 13 26, D-8034 GERMERING
D-8034 GERMERING 11.Nov. 1983 E/AX Meine Akte: S-5139
Anmelderin: Seiko Instruments & Electronics Ltd., 31-1, Kameido 6-chome,
Koto-ku, TokiOjJapan
Steuereinrichtung für ein Magnetlager
Die Erfindung betrifft eine Steuereinrichtung für ein Magnetlager entsprechend dem Oberbegriff des Patentanspruchs.
Bei Magnetlagern werden bekanntlich magnetische Kräfte genutzt, um einen rotierenden Körper zu lagern. Derartige Magnetlager weisen den Vorteil auf, daß praktisch keine Abnutzungs- und Ermüdungserscheinungen auftreten. Magnetlager finden beispielsweise in Turbo-Moiekularpumpen, in Zentrifugalseparatoren oder für Spindeln von Werkzeugmaschinen Verwendung.
Wenn der in einem Magnetlager rotierende Körper eine Unwucht aufweist, werden dadurch starke Wirbelbewegungen verursacht, wodurch sich die folgenden Schwierigkeiten ergeben:
1. Verursachung von Schwingungen und Geräuschen,
2. Erhöhung elektrischer Leistungsverluste aufgrund der Erhöhung der Stromstärke, die der Erregerspule wegen der Erhöhung der Wirbelbewegung zugeführt werden muß. Als Folge davon sind entsprechend leistungsfähig ausgelegte elektrische Versorgungsschaltungen erforderlich.
3. Verschlechterung der Arbeitsweise der betreffenden Werkzeugmaschine, weil durch die Unwucht Ungenauigkeiten der Drehbewegung des Werkzeugs verursacht werden.
4. Für das Auswuchten ist ein verhältnismäßig großer Arbeitsaufwand erforder
BAD ORIGINAL
Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, eine Steuereinrichtung für ein Magnetlager mit mindestens zwei magnetischen Radiallagern derart zu verbessern, daß Wirbelbewegungen aufgrund der Unwucht des rotierenden Körpers unterdrückt werden können. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den Gegenstand des Patentanspruchs gelöst.
Gemäß der Erfindung wird deshalb für die Radiallagereinrichtung eine Kompensationseinrichtung für statische Unwucht und/oder eine Kompensationseinrichtung für dynamische Unwucht vorgesehen, um die durch die Unwucht bedingte Wirbelbewegungsenergie zu verringern.
Anhand der Zeichnung soll die Erfindung beispielsweise näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 eine spezifische Ansicht eines in einem schematisch dargestellten Magnetlager rotierenden Körpers,
Fig. 2 ein Schaltbild eines Ausführungsbeispiels einer Steuerschaltung für das Magnetlager in Fig. 1,
Fig. 3 ein detailliertes Schaltbild der Kompensationseinrichtungen in Fig. 2,
Fig. 4 ein Schaltbild eines gegenüber Fig. 2 abgewandelten Ausführungsbeispiels,
Fig. 5 ein detailliertes Schaltbild der einen Kreiseleffekt kompensierenden Einrichtung in Fig. 4, 3
Fig. 6 eine graphische Darstellung von Wirbelbewegungen entsprechenden
Wellenformen ; und
Fig. 7 eine zur Erläuterung der Erfindung dienende Lissajousfigur.
Fig. 1 zeigt die prinzipielle Konstruktion eines Magnetlagers. Es sind zwei
Spulen z1 und z2 zum Nachweis der Lage des rotierenden Körpers 1 in axialer Richtung vorgesehen. Durch eine nicht dargestellte Steuereinrichtung wird in Abhängigkeit von dem die axiale Lage kennzeichnenden Ausgangssignal der
Spulen z1, z2 ein Leistungsverstärker über eine Kompensationsschaltung angetrieben, um Erregerspulen C1 und C2 zu erregen, die den rotierenden Körper 1 in der vorherbestimmten Lagerposition in axialer Richtung lagern.
Die in Fig. 2 dargestellte Steuerschaltung enthält Addierer 2, die an Spulenpaare x1,x1' und x2, x2' beziehungsweise die Spulenpaare y1, y1' und y2, y2' in Fig. 1 angeschlossen sind, um die radiale Lage nachzuweisen. Ein Addierer 3 dient zum Addieren der Ausgangssignale der x-Addierer, um ein die Trans-
lationsbewegung in Richtung der X-Achse beinhaltendes Ausgangssignal zu erzeugen. Die Ausgangssignale der Addierer 3 werden einer Schaltung zur Kompensation des Phasenunterschieds beziehungsweise einer Proportional-Differenzier-Kompensationsschaltung 4 zugeführt, deren Ausgangssignale Leistungsverstärker 10 über Addierer 7,8 und 9 antreiben. Dadurch werden die Erregerspulen A1, A1' und A2, A21 erregt. Durch das Ausgangssignal der Addierer 6, denen über Inverter 5 das Ausgangssignal der Addierer 2 der Spulen x1 und x1' zugeführt wird, ergibt sich eine Komponente der Drehbewegung um die Y-Achse. Es ist eine breitbandige Kompensationsschaltung zur Kompensation der Phasenvoreilung oder Proportional-Differenzier-Kompensationsschaltung 11 vorgesehen, um Leistungsverstärker 10 über Addierer 8,10 anzugreifen, um die Erregerspule A1 oder A1' zu erregen. Das Ausgangssignal des Addierers 12 treibt die Leistungsverstärker 10 über einen Inverter 13 und den Addierer 9 an, um die Erregerspulen A2 und A21 zu erregen.
Dadurch wird die Translationsbewegung des rotierenden Körpers 1 in Richtung der X-Achse und die Rotationsbewegung um die Y-Achse begrenzt. Es ist ersichtlich, daß die Translationsbewegung in Richtung der Y-Achse und die Rotationsbewegung um die X-Achse ebenfalls in entsprechender Weise begrenzt werden.
Durch die Erfindung sollen statische Unwuchtschwingungen aufgrund der Exzentrizität des rotierenden Körpers 1 und/oder dynamische Unwuchtschwingungen aufgrund des Winkelunterschieds zwischen der Hauptträgheitsachse und der Drehachse unterdrückt werden. Dies wird bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung dadurch erreicht, daß eine Kompensationseinrichtung 14 für die statische Unwucht und/oder eine Kompensationseinrichtung 15 für die dynamische Unwucht vorgesehen sind, mit denen ein Drehzahldetektor 16 verbunden ist. Diese Einrichtungen sind in der Steuereinrichtung für die magnetischen Radiallager vorgesehen, um die beschriebene magnetische Abstützung zu stabilisieren.
Fig. 3 zeigt ein Schaltbild der statischen Kompensationseinrichtung 14 und der dynamischen Kompensationseinrichtung 15. Die Schaltung enthält Proportional-Kompensationseinrichtungen 17,18 und 19, eine Differenzier-Kompensätionseinrichtung 20, eine Integrierschaltung 21, einen Addierer 22, einen Multiplier 23, einen Addierer 24 sowie Inverter 25 und 26. In einer sich überkreuzenden geschlossenen Schleife, die durch die Integrierschaltung 21, den Addierer 22 , den Multiplier 23 und den Inverter 26 gebildet wird, wird ein elektrisches Signal erzeugt, das synchron mit der Drehbewegung des rotierenden Körpers
schwingt, und zwar in Abhängigkeit von der Winkelgeschwindigkeit w, die durch den Drehzahldetektor 16 ermittelt wird.
Die Amplitude und die Phase des elektrischen Signals können durch die Proportional-Kompensationseinrichtungen 17,18 und 19, die Differenzier-Kompensationseinrichtung 20 und den Inverter 25 eingestellt werden. Wenn die statische Kompensationseinrichtung 14 und die dynamische Kompensationseinrichtung 15 wie in Fig. 2 dargestellt angeschlossen sind, können die Amplituden- und Phasendifferenz zwischen den Synchronisationssignalen in diesen Unwucht-Kompensationseinrichtungen und die periodische Wirbelenergie aufgrund der Unwucht durch das Ausgangssignal des Positionsnachweissignals auf der Basis der Funktion der Korrektureinrichtung kompensiert werden, welche die Proportional-Kompensationseinrichtungen 17,18,19, die Differenzier-Kompensationseinrichtung 20 und den Inverter 25 enthält. Das Positionsnachweissignal bedeutet in diesem Zusammenhang das Ausgangssignal des Addierers 3, das Komponente der Translationsbewegung des rotierenden Körpers 1 im Falle der statische Kompensationseinrichtung 14 anzeigt, und das Ausgangssignal des Addieres 6, das die Komponente der Drehbewegung um die X-Achse und um die Y-Achse im Falle der dynamischen Kompensationseinrichtung 15 anzeigt. Wenn der Erregerstrom der Erregerspulen entsprechend den Ausgangssignalen dieser Kompensationseinrichtungen 14 und 15 gesteuert wird, kann eine durch eine Unwucht verursachte Wirbelbewegung des rotierenden Körpers 1 vermieden werden, weil eine dem Effekt der Unwucht entgegenwirkende Kraft auf den rotierenden Körper 1 ausgeübt wird.
Das Ausführungsbeispiel in Fig. 4 betrifft eine Steuereinrichtung für eine magnetische Radiallagereinrichtung mit einer überkreuzten Rückkopplungs-Kompensation, um eine sofortige Verringerung von Präzessions- und Nutationsbewegungen zu bewirken, die durch einen Kreiseleffekt verursacht werden, wenn die Drehbewegung des rotierenden Körpers 1 um die X-Achse und die Y-Achse gesteuert wird. In dieser Schaltung sind eine Proportional-Kompensationseinrichtung 27 und ein Inverter 28 als Kompensationseinrichtung mit überkreuzter Rückkopplung vorgesehen, um den Kreiseleffekt des rotierenden Körpers zu unterdrücken. Maßnahmen für eine derartige Rückkopplungs-Kompensation sind an sich bekannt (Japanische Patentanmeldung Nr. 180712/81). Die Schaltung einer dynamischen Unwucht-Kompensationseinrichtung 29 mit überkreuzter Rückkopplung ist in Fig. 5 dargestellt.
Die in Fig. 5 dargestellte Schaltung enthält eine Proportional-Kompensationseinrichtung 30 und einen Inverter 31, die überkreuzt mit der dynamischen Kompensationseinrichtung 15 in Fig. 3 in Abhängigkeit von der Rückkopplungs-Kompensation überkreuzt verbunden werden. Die Proportional-Kompensationseinrichtung 30 und der Inverter 31 arbeiten zusammen mit den Proportional-Kompensationseinrichtungen 17,18 und 19, der Differenzier-Kompensationseinrichtung 20 und dem Inverter 25 als Korrektureinrichtung, wie in Verbindung mit Fig. 3 beschrieben wurde. In der dynamischen Unwucht-Kompensationseinrichtung 29 schwingt ein Signal periodisch synchron mit der Drehbewegung des rotierenden Körpers, das durch das Ausgangssignal des Drehzahldetektors 16 erzeugt wird, mit Hilfe von zwei Integrierschaltungen 21, zwei Addierern 22, zwei Multipliern 23 und einem Inverter 26. Die Amplitude und Phase des Signals wird durch die Korrektureinrichtung korrigiert, so daß eine Koinzidenz mit Signalen entsprechend der periodischen momentanen Kraft auftritt, die auf den rotierenden Körper aufgrund der dynamischen Unwucht einwirkt.
Das Korrektursignal wird durch die Proportional-Kompensationseinrichtungen 17,18,19 und 30, die Differenzier-Kompensationseinrichtung 20 und die Inverter 25,31 erzeugt, aufgrund des Ausgangssignals des Addierers 6, also des die Position nachweisenden Signals. Wenn der Erregerstrom der Erregerspule in Abhängigkeit von dem Ausgangssignal der dynamischen Kompensationseinrichtung 29 gesteuert wird, wird ein Moment auf den rotierenden Körper 1 ausgeübt, um dessen Wirbelbewegung aufgrund seiner Unwucht zu unterdrücken.
Mit Hilfe von Fig. 6 und 7 sollen die Vorteile der beschriebenen Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. Dabei ist Qx der Drehwinkel um die X-Achse, und Gy der Drehwinkel um die Y-Achse. Die Kurve 32 in Fig. 6 zeigt eine Wellenform der Wirbelbewegung, falls die dynamische Kompensationseinrichtung 29 nicht vorgesehen ist. Wenn die dynamische Kompensationseinrichtung jedoch vorgesehen ist, ergibt sich eine Kurve 33, die schnell abklingt und gegen Null konvergiert. Fig. 7 zeigt eine Fig. 6 entsprechende Wellenform in Form einer Lissajousfigur. Wenn die Kompensationseinrichtung 29 nicht vorgesehen ist, ergibt sich ein in gestrichelten Linien dargestellter Kreis 34 entsprechend der Rotation im Gegenuhrzeigersinn. Beim Einschalten der Kompensationseinrichtung 29 im Punkt P wird die Amplitude der Wirbelbewegung entsprechend der Kurve 35 verringert.
Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen ermöglicht deshalb die Verwendung einer statischen Kompensationseinrichtung und/oder einer dynamischen Kompen-
sationseinrichtung eine Unterdrückung der Wirbelbewegung , die durch eine Unwucht des rotierenden Körpers verursacht wird, so daß eine erhöhte Genauigkeit der Drehbewegung des rotierenden Körpers erzielt werden kann, der elektrische Leistungsverbrauch verringert und ebenfalls Vibrationen und Geräusche verringert werden können.

Claims (11)

  1. . . ■: 3340903
  2. DfPL-PHYS. RENDLiCH
  3. PATENTANWALT
  4. EUROPEAN PATENT ATTORNEY
  5. F. ENDLICH. POSTFACH 13 26, D-B034 GERMERING
  6. TELEFON: (089)84 36 38
  7. TELEX: 52 1730 pate d
  8. CABLES: PATENDLICH GERMERING
  9. BLUMENSTRASSE 8
  10. D-8034 GERMERING
  11. 11. November 1983 E/AX
    Meine Akte: S-5139
    Anmelderin: Seiko Instruments & Electronics Ltd., 31-1, Kameido 6-chome,
    Koto-ku, TokiOjJapan
    Patentanspruch
    Steuereinrichtung für ein Magnetlager, das mindestens zwei magnetische Radiallager aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kompensationseinrichtung (14) für eine statische Unwucht und/oder eine Kompensationseinrichtung (15) für eine dynamische Unwucht vorgesehen ist, um durch statische Unwucht und/oder dynamische Unwucht verursachte Wirbelbewegungen zu unterdrücken.
DE3340909A 1982-11-11 1983-11-11 Steuereinrichtung für ein Magnetlager Expired - Fee Related DE3340909C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57197968A JPS5989821A (ja) 1982-11-11 1982-11-11 制御形磁気軸受装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3340909A1 true DE3340909A1 (de) 1984-05-17
DE3340909C2 DE3340909C2 (de) 1996-02-15

Family

ID=16383314

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3340909A Expired - Fee Related DE3340909C2 (de) 1982-11-11 1983-11-11 Steuereinrichtung für ein Magnetlager

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4839550A (de)
JP (1) JPS5989821A (de)
DE (1) DE3340909C2 (de)
FR (1) FR2536138B1 (de)
GB (1) GB2129582B (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3819205A1 (de) * 1987-12-12 1989-06-22 Teldix Gmbh Lager zur radialen und axialen lagerung eines rotors mit grosser radialer ausdehnung
DE4127693A1 (de) * 1991-08-21 1993-02-25 Huels Chemische Werke Ag Verfahren zum herstellen eines formkoerpers aus graphit
DE4227014A1 (de) * 1992-08-14 1994-02-17 Budig Peter Klaus Prof Dr Sc T Verfahren und Anordnung zum Auswuchten eines Rotors
DE4227015A1 (de) * 1992-08-14 1994-02-17 Budig Peter Klaus Prof Dr Sc T Anordnung zum Stellen des Stromes der Magnetlager für Rotoren
DE19619997A1 (de) * 1996-05-17 1997-11-20 Karlsruhe Forschzent Verfahren zum Bestimmen der Unwucht und zum Auswuchten eines supraleitend magnetgelagerten Rotors
EP3244067A1 (de) * 2016-05-10 2017-11-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe und verfahren zum verringern einer restunwucht in einer vakuumpumpe

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6040820A (ja) * 1983-08-17 1985-03-04 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 磁気軸受装置の制御方法
FR2572141A1 (fr) * 1984-10-23 1986-04-25 Europ Propulsion Dispositif de decrassage automatique d'un organe tournant
JPS61262225A (ja) * 1985-05-13 1986-11-20 Hitachi Ltd 電磁軸受制御装置
FR2606694B1 (fr) * 1986-11-13 1989-03-24 Europ Propulsion Procede et dispositif d'usinage ultra-precis applique a l'execution de surfaces atypiques de revolution et aux usinages asservis
JPS63285321A (ja) * 1987-05-18 1988-11-22 Ebara Corp 不釣り合い振動及び同期妨害振動の防止制御方式
JPS63303217A (ja) * 1987-06-01 1988-12-09 Shinko Electric Co Ltd 磁気軸受の制御装置
JPH0610485B2 (ja) * 1987-06-22 1994-02-09 神鋼電機株式会社 磁気軸受の制御装置
JPH01116318A (ja) * 1987-10-28 1989-05-09 Natl Aerospace Lab 能動形磁気軸受
JP3068834B2 (ja) * 1988-06-06 2000-07-24 テルデイクス ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 大きい半径を有する回転子をラジアル及びアキシヤル軸受する軸受
FR2635292B1 (fr) * 1988-08-12 1990-11-16 Henkel France Procede de traitement de bouchons en liege
US5216308A (en) * 1989-05-25 1993-06-01 Avcon-Advanced Controls Technology, Inc. Magnetic bearing structure providing radial, axial and moment load bearing support for a rotatable shaft
ATE97471T1 (de) * 1989-07-10 1993-12-15 Siemens Ag Verfahren und einrichtung zur elimination des einflusses von periodischen stoergroessen mit bekannter, veraenderlicher frequenz.
US5013987A (en) * 1989-07-18 1991-05-07 Seiko Instruments Inc. Control system for magnetic bearing
US4999534A (en) * 1990-01-19 1991-03-12 Contraves Goerz Corporation Active vibration reduction in apparatus with cross-coupling between control axes
JPH0720359B2 (ja) * 1990-03-16 1995-03-06 株式会社荏原製作所 回転体のアンバランス修正装置
US5059845A (en) * 1990-05-07 1991-10-22 Mechanical Technology Incorporated Active magnetic bearing device for controlling rotor vibrations
EP0527846B1 (de) * 1990-05-08 1994-08-31 Teldix GmbH Vibrationsisolation eines magnetisch gelagerten körpers
JPH04185368A (ja) * 1990-11-16 1992-07-02 Tokyo Electric Co Ltd 用紙送り装置
US5084643A (en) * 1991-01-16 1992-01-28 Mechanical Technology Incorporated Virtual rotor balancing in magnetic bearings
JPH0510326A (ja) * 1991-06-27 1993-01-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気軸受の制御装置
EP0526903B1 (de) * 1991-08-06 1996-02-28 Koyo Seiko Co., Ltd. Lagervorrichtung
DE69319004T2 (de) * 1992-03-09 1998-12-24 Hitachi Ltd Verfahren und Gerät zur Steuerung eines Magnetlagers
US5315197A (en) * 1992-04-30 1994-05-24 Avcon - Advance Controls Technology, Inc. Electromagnetic thrust bearing using passive and active magnets, for coupling a rotatable member to a stationary member
US5514924A (en) * 1992-04-30 1996-05-07 AVCON--Advanced Control Technology, Inc. Magnetic bearing providing radial and axial load support for a shaft
US5666013A (en) * 1992-12-07 1997-09-09 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Magnetic bearing
FR2706549B1 (fr) * 1993-06-18 1995-09-01 Mecanique Magnetique Sa Réseau de correction de circuit d'asservissement de paliers magnétiques actifs.
JPH08275444A (ja) * 1995-03-29 1996-10-18 Tadashi Fukao エネルギー蓄積用フライホイール駆動システム
JP3114089B2 (ja) * 1996-07-18 2000-12-04 セイコー精機株式会社 磁気軸受装置
EP0974763A1 (de) * 1998-07-20 2000-01-26 Sulzer Electronics AG Verfahren zur Regelung der Position eines magnetisch gelagerten Rotors und Vorrichtung mit einem magnetisch gelagerten Rotor
JP4036567B2 (ja) 1999-01-27 2008-01-23 株式会社荏原製作所 制御形磁気軸受装置
WO2002016792A1 (en) * 2000-08-21 2002-02-28 Michigan State University Adaptive compensation of sensor run-out and mass unbalance in magnetic bearing systems without changing rotor speed
FR2829200B1 (fr) * 2001-09-06 2004-12-31 Mecanique Magnetique Sa Dispositif et procede de compensation automatique de perturbations synchrones
JP2005020800A (ja) * 2003-06-23 2005-01-20 Yokohama Tlo Co Ltd 回転体の軸ぶれ制御方法、及びフライホイール装置
BRPI0511385A (pt) * 2004-06-15 2007-12-04 Aly El-Shafei métodos para controlar a instabilidade em rolamentos de pelìcula de fluido
CZ2013205A3 (cs) * 2013-03-22 2014-10-22 Rieter Cz S.R.O. Zařízení pro snímání polohy otáčejícího se pracovního prostředku v aktivním magnetickém ložisku
CN109139691B (zh) * 2018-09-13 2020-10-02 哈尔滨电气股份有限公司 一种适用于立式电磁轴承转子跌落恢复的控制方法
CN108999888B (zh) * 2018-09-13 2020-10-23 哈尔滨电气股份有限公司 一种适用于卧式电磁轴承转子跌落恢复的控制方法
CN113513488A (zh) * 2020-04-10 2021-10-19 开利公司 离心式压缩机及其操作方法
CN112953344B (zh) * 2021-03-26 2022-07-22 国网江苏省电力有限公司如皋市供电分公司 一种无轴承异步电机转子不平衡振动补偿控制方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2263096A1 (de) * 1972-12-22 1974-07-04 France Etat Vorrichtung mit einem von magnetlagern gehaltenen rotationskoerper
GB1458687A (en) * 1974-09-30 1976-12-15 Rnier Gmbh D Control circuit for lateral guidance for example a centrifuge rotor
DE3241507A1 (de) * 1981-11-11 1983-05-19 Kabushiki Kaisha Daini Seikosha, Tokyo Steuersystem fuer eine magnetische lagereinrichtung

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3508444A (en) * 1967-03-27 1970-04-28 Massachusetts Inst Technology Time sharing pulsed rebalancing system
US3473852A (en) * 1967-12-18 1969-10-21 Cambridge Thermionic Corp Magnetic suspension apparatus
GB1410219A (en) * 1972-12-22 1975-10-15 France Armed Forces Devices including rotatiing members supported by magnetic bearings
GB1485290A (en) * 1974-01-14 1977-09-08 Sperry Rand Corp Magnetic bearing apparatus
US3937533A (en) * 1974-02-08 1976-02-10 The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration Office Of General Counsel-Code Gp Axially and radially controllable magnetic bearing
DE2420814C3 (de) * 1974-04-30 1980-10-16 Padana Ag, Zug (Schweiz) Magnetlager mit einem Lagerelement zur Festlegung eines translatorischen Freiheitsgrades
FR2336603A1 (fr) * 1975-12-24 1977-07-22 Europ Propulsion Dispositif d'amortissement des frequences critiques d'un rotor suspendu magnetiquement
FR2336550A1 (fr) * 1975-12-24 1977-07-22 Europ Propulsion Montage d'arbre long, notamment pour turbomachine
FR2446472A1 (fr) * 1978-06-12 1980-08-08 Aerospatiale Procede et dispositif d'equilibrage des corps tournants a suspension magnetique radiale passive et axiale active et d'orientation de leur axe de rotation
JPS5797916A (en) * 1980-12-08 1982-06-17 Nippon Seiko Kk Controlled magnetic bearing
US4417772A (en) * 1981-04-10 1983-11-29 Agence Spatiale Europeenne Method and apparatus for controlling the energization of the electrical coils which control a magnetic bearing

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2263096A1 (de) * 1972-12-22 1974-07-04 France Etat Vorrichtung mit einem von magnetlagern gehaltenen rotationskoerper
GB1458687A (en) * 1974-09-30 1976-12-15 Rnier Gmbh D Control circuit for lateral guidance for example a centrifuge rotor
DE3241507A1 (de) * 1981-11-11 1983-05-19 Kabushiki Kaisha Daini Seikosha, Tokyo Steuersystem fuer eine magnetische lagereinrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 57-97 916 A mit Patents Abstracts of Japan, M-159, Sept. 29, 182 Vol. 6/No. 190 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3819205A1 (de) * 1987-12-12 1989-06-22 Teldix Gmbh Lager zur radialen und axialen lagerung eines rotors mit grosser radialer ausdehnung
DE3819205C2 (de) * 1987-12-12 1999-07-15 Teldix Gmbh Lagerung eines Rotors mit großer radialer Ausdehnung
DE4127693A1 (de) * 1991-08-21 1993-02-25 Huels Chemische Werke Ag Verfahren zum herstellen eines formkoerpers aus graphit
DE4227014A1 (de) * 1992-08-14 1994-02-17 Budig Peter Klaus Prof Dr Sc T Verfahren und Anordnung zum Auswuchten eines Rotors
DE4227015A1 (de) * 1992-08-14 1994-02-17 Budig Peter Klaus Prof Dr Sc T Anordnung zum Stellen des Stromes der Magnetlager für Rotoren
DE19619997A1 (de) * 1996-05-17 1997-11-20 Karlsruhe Forschzent Verfahren zum Bestimmen der Unwucht und zum Auswuchten eines supraleitend magnetgelagerten Rotors
EP3244067A1 (de) * 2016-05-10 2017-11-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe und verfahren zum verringern einer restunwucht in einer vakuumpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
US4839550A (en) 1989-06-13
GB2129582A (en) 1984-05-16
FR2536138B1 (fr) 1991-04-19
FR2536138A1 (fr) 1984-05-18
DE3340909C2 (de) 1996-02-15
JPS5989821A (ja) 1984-05-24
GB2129582B (en) 1986-12-31
JPS6233451B2 (de) 1987-07-21
GB8329682D0 (en) 1983-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3340909A1 (de) Steuereinrichtung fuer ein magnetlager
DE2658668C2 (de) Vorrichtung zur magnetischen Aufhängung eines Läufers
DE69630986T2 (de) Elektromagnetische rotierende Maschine
DE2658692C2 (de) Vorrichtung zur Dämpfung kritischer Frequenzen eines magnetisch gelagerten Läufers
EP0845083B1 (de) Magnetische lagervorrichtung und verfahren zum betrieb derselben
CH693694A5 (de) Magnetisches Lager, rotierende Maschine mit einem solchen magnetischen Lager und Verfahren zum Antrieb einer rotierenden Maschine.
DE2923800C2 (de) Vorrichtung zur magnetischen Lagerung eines Rotors mit an den axialen Enden des Rotors vorgesehenen magnetischen Lagern
DE2457783A1 (de) Magnetische anordnung
JPS60245443A (ja) 制御式ラジアル磁気軸受装置
DE2525530A1 (de) Universalgelenk und verfahren zu seiner herstellung
EP2047585B1 (de) Synchronmotor, geberloses motorsystem, sowie ein verfahren zum betreiben eines geberlosen motorsystems mit einem synchronmotor
DE10034017B4 (de) Steuerung für ein magnetisches Lager
EP0027856A1 (de) Schaltungsanordnung zur Regelung von Drehzahl und Phasenlage bei Synchronmotoren
DE102006042539B4 (de) Arbeitsspindel und Verfahren zum Betreiben einer Arbeitsspindel
WO2021121474A1 (de) Verfahren zum aktiven auswuchten eines rotors sowie vorrichtung mit einem rotor und einem dem rotor zugeordneten mechanismus zum aktiven auswuchten
EP2817526A1 (de) Magnetische lagerung mit kraftkompensation
DE3243641C2 (de) Kippbare Lagerung eines Rotors
DE2263096C3 (de) Regelschaltung einer magnetischen Lagerung eines Rotors mit zwei magnetischen Lagern
DE2406790A1 (de) Radiales aktives magnetisches lager mit drehantrieb
DE3248085A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum auswuchten rotierender systeme waehrend des betriebes
WO1995020260A1 (de) Induktionsmaschine mit spezialwicklung zur kombinierten erzeugung eines drehmoments und einer querkraft in derselben
EP0965395A2 (de) Windungsleger für Draht
WO1984000198A1 (en) Magnetic bearing for a rotor
DE2544726C2 (de) Störkomponentenunterdrückung bei der magnetischen Radiallagerung eines Rotors
DE2841256A1 (de) Vorrichtung mit einem ringfoermigen rotor

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee