JPS6231049A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 辣Ｊじ九塁 本発明はＥ　−Ｄ　ＲＡ　Ｗ　（Ｅｒａｓａｂｌｅ−Ｄ
ｉｒｅｃｔ　ＲｅａｄＡｆｔｅｒ　　Ｗｒｉｔｅ）型光
ディスクに関し、特に希土類金属元素と遷移金属元素と
を主成分とするアモルファス合金を磁気記録膜材料とし
て薄膜形成した光磁気記録媒体に関する。

１且且韮 かかる従来の光磁気記録媒体の構造の一例を第２図の拡
大部分断面図にて示す。光透過性に優れているガラス、
合成樹脂等からなる円板を基板１とし、該基板の主面上
に、磁気記録膜から反射するレーザ光が通過する際に生
じるファラデー効果によってレーザ光のカー回転角を大
きくする薄膜であるカー効果エンハンス膜２、磁気記録
膜としてのＧｄＦｅ、Ｔｂｌ：ｅ、ＴｂＦｅＣｏ等の希
土類金属と遷移金属を主成分とするアモルファス合金膜
３、ＳｉＯ２，ＡＩＮ等の保護膜４を順に積層して従来
の光磁気記録媒体は形成される。この従来の光磁気記録
媒体は基板１上に真空蒸着、スパッタリング等の方法に
より直接カー効果エンハンス膜、アモルファス合金膜を
設け、その上にアモルファス合金を保護する物質からな
る保護膜を真空蒸着、スパッタリング、スピンコード法
等により設けている。

また、かかる光磁気記録媒体においては基板１上に直接
アモルファス合金１１０３を設ける構造のものも提案さ
れている。一定の条件下で成膜される希土類金属と遷移
金属との合金膜はアモルファス構造をとり、その膜面に
垂直な一軸磁気異方性を有することが知られている。更
に従来から、この性質を利用し多層膜からなる光磁気記
録媒体が種々開発されている。

かかる光磁気記録媒体の情報の記録再生は次のように行
われる。先ず、光磁気記録層であるアモルファス合金膜
３上にレーザービームを焦光することによってアモルフ
ァス合金をそのキューリ一温度又は補償温度付近の温度
まで局部的に加熱せしめる。この時、アモルファス合金
膜の胃温部分に記録すべき情報に対応して膜面垂直方向
に一様に磁界を印加し熱消磁又は磁極の反転の熱的効果
を利用して、一方向に一様に磁化された膜面内に小さな
反転磁区を任意に形成する。次に、この反転磁区に偏光
レーザ光を入射して、アモルファス合金膜３上のカー効
果及びカー効果エンハンス膜２中のファラデー効果よる
反射光の偏光楕円体の主軸の回転と楕円率との変化から
、反転磁区の有無を信号として検出できる。このように
して光磁気記録媒体において反転磁区の有無を“１″、
′“Ｏ１１に対応させることによって記録情報の記録再
生が可能となる。

従来からの希土類金属と遷移金属とのアモルファス合金
例えばＴｂＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＣ
ｏ等は、比較的キューリ一点、補償温度が低くかつ保磁
力があり光磁気効果及び磁気特性が光磁気記録材料とし
て適しているため光磁気記録媒体の記録膜材として注目
されその実用化が進んでいる。

しかしながら、これらアモルファス合金は酸化され易い
故に高温、高湿の環境中では経時変化が生じて特性が劣
化するので長期の信頼性に欠は安定性に問題を有してい
た。

また、この酸化は、アモルファス合金膜を直接大気に晒
した場合はもちろんのこと、例えば、合成樹脂製の基板
に含まれる腐蝕性物質あるいは大気中から基板やカー効
果エンハンス膜を透過してきた腐蝕性物質によっても起
きる。

ｌ匪五且１ 本発明の目的は、再生時のカー回転角を維持しつつ経時
変化の少ない長期保存性に優れた光記録媒体を提供する
ことである。

本発明の光記録媒体は、透明基板の主面上に、光透過性
を有する第１保護膜と、カー効果エンハンス膜と、希土
類金属−遷移金属の合金からなり膜面に垂直な方向に一
軸の磁気異方性を有するアモルファス合金膜と、第２保
護膜とを順に積層してなることを特徴とする。

笈−五一１ 以下、本発明の一実施例を添附図面に基づいて説明する
。

第１図は本実施例の光磁気記録媒体の構造を示す拡大部
分断面図である。該光磁気記録媒体は次のように作成さ
れる。

先ず、合成樹脂であるＰＭＭＡ　（Ｐｏｌｙｍｅｔｈｙ
ｌ　ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ　）等からなる透明な円
盤の主面上に複数の同心円状案内溝を担持したものを基
板１１として用意する。

次に、基板１１の主面上の案内溝を担持した面に弗化カ
ルシウムＣａＦ２の薄膜を膜厚１０００人にして成膜し
第１保護膜１２を形成する。

次に、第１保護膜１２上に二酸化珪素Ｓ　＋　０２の薄
膜を成膜し、カー効果エンハンス膜１３を形成する。

次に、カー効果エンハンス膜１３上に希土類金属及び遷
移金属を主成分とする合金、例えばＧｄＴｂＦｅ、Ｔｂ
ＦｅＣｏ等のアモルファス合金膜からなる記録膜１４を
成膜する。本実施例ではＴｂ２０．ｏ（Ｆｅ　　　Ｃｏ
　　　）　　　（７）７−Ｅ／Ｌ、７７ス８０．０　　
　２０．０　８０．０ 合金膜１４を磁気記録層としている。

次に、アモルファス合金膜１４の上に従来から用いられ
ているような５ｉ０２．ＡＩＮ？’７がらなる第２保護
膜１５を積層して本実施例の光磁気記録媒体を得る。

これら基板１１上に順に成膜する際には、それぞれ臭突
蒸着、スパッタリング等の方法により行っている。

第３図は、信号を記録済の本実施例の光磁気記録媒体及
び従来のものについて、室温４５°Ｃ１９０％Ｒ，Ｈ，
の環境下に各々を放置し、波長６３３ｎｍのレーザ光に
て検出した場合における各々のカー回転角の経時変化を
調べた結果を示すグラフである。第３図において、縦軸
にカー回転角を示し、横軸に経過時間を示し、曲線Ａは
本実施例の光磁気記録媒体の経時変化を示し、曲線Ｂは
従来の光磁気記録媒体の経時変化を示している。第３図
のグラフに示す如く本実施例の光磁気記録媒体は従来の
ものよりカー回転角の減少が少ないことが分る。

本実施例にて成膜されている第１保護膜を形成する弗化
カルシウムＣａＦ２は、天然では蛍石として産出される
ものである。このＣａＦ２．は光透過性が良いので紫外
線赤外線の分光用プリズム材料として用いられ、水に侵
されないために水溶液の赤外線吸収を測定する際のセル
の窓として用いられている。

上記実施例ではＰＭＭＡ基板とカー効果エンハンス膜及
びアモルファス合金膜との間に一層だけの弗化カルシウ
ムＣａＦ２の薄膜による第１保護膜を設けた構造を示し
たが、二酸化珪素による薄膜をＣａＦ２簿膜上に積層し
て二層の第１保護層として設けたものでも上記実施例同
様の効果が得られる。こうすることにより、更にアモル
ファス合金膜の経時変化を抑えることが出来る。

更に、これら単層又は二層の第１保護膜と、従来からの
第２保護膜との膜厚をそれぞれ１００Å以上２０００Å
以下の範囲で形成した場合、その光磁気記録媒体のカー
回転角の減少を抑えアモルファス合金膜の経時変化を少
なくする効果があることも確認されている。

１匪立み】 以上のように本発明によれば、透明基板と、カー効果エ
ンハンス膜及び希土類金属−遷移金属ののアモルファス
合金膜との間に、光透過性を有する第１保護膜を設ける
ことにより、酸化等によるカー回転角の減少等の経時変
化を少なくし長期に亘って初期特性を維持する優れた光
磁気記録媒体が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光磁気記録媒体の構造を示す拡大
部分断面図であり、第２図は従来の光磁気記録媒体の構
造を示す拡大部分断面図であり、第３図は従来の光磁気
記録媒体と本発明による光磁気記録媒体の室温４５℃、
９０％Ｒ，Ｈ，におけるカー回転角の経時変化を示すグ
ラフである。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・透明基板 ２・・・・・・アモルファス合金膜 ３・・・・・・保護膜 １１・・・・・・ＰＭＭΔ基板 １２・・・・・・弗化カルシウムの第１侃護膜１３・・
・・・・アモルファス合金膜 １４・・・・・・第２保護膜

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明基板の主面上に、光透過性を有する第１保護
   膜と、カー効果エンハンス膜と、希土類金属−遷移金属
   の合金からなり膜面に垂直な方向に一軸の磁気異方性を
   有するアモルファス合金膜と、第２保護膜とを順に積層
   してなることを特徴とする光磁気記録媒体。
2. （２）前記第１保護膜は弗化カルシウムによる薄膜及び
   二酸化珪素による薄膜から選ばれる単層又は二層の保護
   膜からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の光磁気記録媒体。
3. （３）前記第１保護膜及び第２保護膜の膜厚がそれぞれ
   １００Å以上２０００Å以下であることを特徴とする特
   許請求の範囲第２項記載の光磁気記録媒体。