JPS6230388A - ガスレ−ザ電源装置 - Google Patents
ガスレ−ザ電源装置Info
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- JPS6230388A JPS6230388A JP16771385A JP16771385A JPS6230388A JP S6230388 A JPS6230388 A JP S6230388A JP 16771385 A JP16771385 A JP 16771385A JP 16771385 A JP16771385 A JP 16771385A JP S6230388 A JPS6230388 A JP S6230388A
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- discharge circuit
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、グロー放電を利用してレーザ出力を得るガス
レーザ装置の高効率な運転を実現出来るガスレーザ電源
装置に関するものでめる。
レーザ装置の高効率な運転を実現出来るガスレーザ電源
装置に関するものでめる。
比較的大形材料の切断、溶接及び組成変更熱処理などの
加工に用いられるレーザ装置は、発振効率が良く大出力
が得られることがらＣＯ，ガスを主媒質としたガスレー
ザ装置が主に用いられている。
加工に用いられるレーザ装置は、発振効率が良く大出力
が得られることがらＣＯ，ガスを主媒質としたガスレー
ザ装置が主に用いられている。
以下の説明においても大出力レーザの代表例としてＣ０
２ガスレーザ装置を取シ上げて説明する。
２ガスレーザ装置を取シ上げて説明する。
放電物理的なレーザの原理については公知であシ、かつ
ここでは議論の対象外であるため詳細説明を省略するが
、本発明の主旨に関する部分の概略を以下に述べる。
ここでは議論の対象外であるため詳細説明を省略するが
、本発明の主旨に関する部分の概略を以下に述べる。
ＣＯ，ガスレーザ装置は、００．ガスを主媒質とした混
合ガス中の電極に直流高電圧を印加してグロー放電を発
生させ、この放電によシ励起σれた００２分子の誘導放
射からレーザ光出力を得る装置である。
合ガス中の電極に直流高電圧を印加してグロー放電を発
生させ、この放電によシ励起σれた００２分子の誘導放
射からレーザ光出力を得る装置である。
従って、ガスレーザ装置が正常にしかも効率良く運転さ
れるためには、前記のグロー放電が均一、かつ安定に行
われることが重要な条件となる。特に、グロー放電開始
時、開始直後及びパルス出力運転時等において、アーク
放電に移行しないこと１、多極ピン構造でられば、全電
極ビンが均一に放電すること等が重要である。
れるためには、前記のグロー放電が均一、かつ安定に行
われることが重要な条件となる。特に、グロー放電開始
時、開始直後及びパルス出力運転時等において、アーク
放電に移行しないこと１、多極ピン構造でられば、全電
極ビンが均一に放電すること等が重要である。
そこで、レーザ電源装置は、一般に以下の様な利点があ
ることから、２つの直流電源回路を備えた構成となって
いる。
ることから、２つの直流電源回路を備えた構成となって
いる。
（１） 小電流を分担する補助放電回路に、運転開始
時に必要な絶縁破壊電圧以上の直電圧出力能力を持たせ
ることによって、混合ガス圧力操作を行なわずに低電力
損失すなわち必要最小限の電源容量にて運転停止、再起
動ができ、冗長時間をなくすることができる。
時に必要な絶縁破壊電圧以上の直電圧出力能力を持たせ
ることによって、混合ガス圧力操作を行なわずに低電力
損失すなわち必要最小限の電源容量にて運転停止、再起
動ができ、冗長時間をなくすることができる。
（２） 小電流を分担する補助放電回路に、主放電回
路に比べて高バラスト抵抗、高電圧出力を持たせること
によって、低電力損失、すなわち必要最小限の電源容量
にて隣接陽極ピン間電位差を大きくとシ非放電陽極ビン
の放電への誘導及び放電の安定化をはかることができる
。
路に比べて高バラスト抵抗、高電圧出力を持たせること
によって、低電力損失、すなわち必要最小限の電源容量
にて隣接陽極ピン間電位差を大きくとシ非放電陽極ビン
の放電への誘導及び放電の安定化をはかることができる
。
（３）補助放電回路を主放電回路とは別に設は独立に制
御することによって、パルス出力運転時における過渡的
な放電の不安定や放電が消えたシするのをなくすことが
できる。
御することによって、パルス出力運転時における過渡的
な放電の不安定や放電が消えたシするのをなくすことが
できる。
２つの直流電源回路を備えたレーザ電源装置の一般的な
溝戊図を第２図に示す。
溝戊図を第２図に示す。
直流高電圧電源１ａは、主としてレーザー光出力を得る
ための直流電力を供給する主放電回路（以下各符号にサ
フィックスｒＭＪをつけて表わす）と、主としてグロー
放電を維持するための直流電力を供給する補助放電回路
（以下、各符号にサフィックス「Ｓ」をつけて表わす）
を備え、直流電圧源ＶＤＯの電圧をトランジスタ等を用
いたインバータ２Ｍ、２８にて単相矩形波交淀電圧に変
換し、変圧器３Ｍ、３８で昇圧して、更に整流］４Ｍ、
４ｓにて再び直流電圧に変換し、平溝回路５Ｍ 、 ５
９を通して直流出力電圧ＶｎＮｔ、Ｖｎｓを得る構成と
なっている。得られた直流出力電圧ＶＤＭ、ＶＤ！３は
、陽極電圧に垂下特性を与えることと、各電極の電流を
バランスさせる目的のバラスト抵抗ｒｂＭ 、γｂｓを
介して、レーザー発温器内の放電部へ供給される。
ための直流電力を供給する主放電回路（以下各符号にサ
フィックスｒＭＪをつけて表わす）と、主としてグロー
放電を維持するための直流電力を供給する補助放電回路
（以下、各符号にサフィックス「Ｓ」をつけて表わす）
を備え、直流電圧源ＶＤＯの電圧をトランジスタ等を用
いたインバータ２Ｍ、２８にて単相矩形波交淀電圧に変
換し、変圧器３Ｍ、３８で昇圧して、更に整流］４Ｍ、
４ｓにて再び直流電圧に変換し、平溝回路５Ｍ 、 ５
９を通して直流出力電圧ＶｎＮｔ、Ｖｎｓを得る構成と
なっている。得られた直流出力電圧ＶＤＭ、ＶＤ！３は
、陽極電圧に垂下特性を与えることと、各電極の電流を
バランスさせる目的のバラスト抵抗ｒｂＭ 、γｂｓを
介して、レーザー発温器内の放電部へ供給される。
図中６は陽極、７は陰極、８はグロー放電を示す。
次に、出力電流制御方式について、従来方式を第３図に
示す。
示す。
主放電回路、補助放電回路共、電流検出器ＩＭＭＩＭｓ
によシ検出され九電流帰還信号ＩＦＢＫＭ ＩＦＢＫｇ
は、電流基準信号ＩＲＥＦＭ ＩＲＢＦ８と比較され、
その偏差が電流制御回路ｌ−０ＴＲで増幅され、位相制
御回路ＰＨＣにて点弧位相を制御することによシ直流出
力電流ＩＯＭ 、 ＩＤｓが制御される。
によシ検出され九電流帰還信号ＩＦＢＫＭ ＩＦＢＫｇ
は、電流基準信号ＩＲＥＦＭ ＩＲＢＦ８と比較され、
その偏差が電流制御回路ｌ−０ＴＲで増幅され、位相制
御回路ＰＨＣにて点弧位相を制御することによシ直流出
力電流ＩＯＭ 、 ＩＤｓが制御される。
無負荷運転時は補助放電回路にのみ放電電流ＬＤ８が流
れ、主放電回路には流れない。
れ、主放電回路には流れない。
負荷運転時は、補助放電回路には無負荷運転時と同じ放
電電流ＬＤＢが流れ、主放電回路を流れる放電電流ＬＤ
Ｍにより負荷制御を行う。
電電流ＬＤＢが流れ、主放電回路を流れる放電電流ＬＤ
Ｍにより負荷制御を行う。
従って、従来の制御方式では、補助放電回路、主放電回
路共、設定された電流基準信号ＩＲＥＦＭ。
路共、設定された電流基準信号ＩＲＥＦＭ。
Ｉｕｐｒｓで運転されており、必ずしもその運転状態が
最適運転とは限らない欠点がちった。
最適運転とは限らない欠点がちった。
本発明の目的は、常に最適な状態で、即ち、高効率で運
転可能なガスレーザ電源装置を提供することである。
転可能なガスレーザ電源装置を提供することである。
本発明によれば前述目的は常に損失電力最小の状態で運
転できる様に１放電電流置ＬＤを主放電回路、補助放電
回路に分担する電流分担制御回路を備えることはより、
上記の目的を達成することができる。
転できる様に１放電電流置ＬＤを主放電回路、補助放電
回路に分担する電流分担制御回路を備えることはより、
上記の目的を達成することができる。
本発明の詳細な説明に先立って、本発明の詳細な説明す
るために、レーザ出力時の損失電力を考える。補助放電
・主放電両回路に電流を流した場合の損失電力をＰＬｌ
、主放電回路のみに電流を流した場合の損失電力をＰＬ
２とし、陽極ピッ１本当たシの 補助放電側Ｎ電流・、′ ↓ＤＳ 主 ＬＤＭ補助放
電回路バラスト抵抗 γｌ）ｓ 主 γｂＭとする
と、損失電力ＰＬ、 、 ＰＬ、 は次のように６ら
れされる。
るために、レーザ出力時の損失電力を考える。補助放電
・主放電両回路に電流を流した場合の損失電力をＰＬｌ
、主放電回路のみに電流を流した場合の損失電力をＰＬ
２とし、陽極ピッ１本当たシの 補助放電側Ｎ電流・、′ ↓ＤＳ 主 ＬＤＭ補助放
電回路バラスト抵抗 γｌ）ｓ 主 γｂＭとする
と、損失電力ＰＬ、 、 ＰＬ、 は次のように６ら
れされる。
ＰＬ！＝ γｂｓ４Ｄ８２＋ ｒｌ）ＭＬＤＭ” −
（１）ＰＬ２：γＭ （Ｌｎｓ ＋ＡＤＭ）”
・・・（２）ここで、 ＬＤ＝ Ａｎｓ −１−ＬＤＭ・・−（３） ＬＤ
： ｃｏｎｓｔ補助放℃回路電流ＬＤ８と損失電力Ｐ
Ｌｒ 、 ＰＩ、、の関係をグラフに示したのが第４図
である。
（１）ＰＬ２：γＭ （Ｌｎｓ ＋ＡＤＭ）”
・・・（２）ここで、 ＬＤ＝ Ａｎｓ −１−ＬＤＭ・・−（３） ＬＤ
： ｃｏｎｓｔ補助放℃回路電流ＬＤ８と損失電力Ｐ
Ｌｒ 、 ＰＩ、、の関係をグラフに示したのが第４図
である。
図を見ればわかるように、バラスト抵抗ｒｂＭ。
γｂｓが一定であることからＬＤを一定とすれば、必ず
損失電力の最小値ＰＬ（ｍｉｎ）を与える電流値が求ま
る。その点は とな９、放電電流ＬＤをバラスト抵抗ｒｂＭ、γｂｓの
逆比でＡＤ！ｌ、ＬＤＭに分担すればよいことになる。
損失電力の最小値ＰＬ（ｍｉｎ）を与える電流値が求ま
る。その点は とな９、放電電流ＬＤをバラスト抵抗ｒｂＭ、γｂｓの
逆比でＡＤ！ｌ、ＬＤＭに分担すればよいことになる。
バラスト抵抗の本数をｎとすると、主放電回路直流出力
電流ＩＴＥＭ １補助放電回路直流出カ電流Ｉｎｓは、 ＩＤＭ ＝ ｎＬＤＭ ’ ＩＤＳ ＝ ｎ ＬＤｓ と表わされるから ＩＤＳ γｂＭ ＩＤＭ γｂ８ となシ、直流出力電流ＩＤ８．ＩＤＭをバラスト抵抗の
逆比に分担した値で制御すれば損失電力最小の状態で運
転できることになる。
電流ＩＴＥＭ １補助放電回路直流出カ電流Ｉｎｓは、 ＩＤＭ ＝ ｎＬＤＭ ’ ＩＤＳ ＝ ｎ ＬＤｓ と表わされるから ＩＤＳ γｂＭ ＩＤＭ γｂ８ となシ、直流出力電流ＩＤ８．ＩＤＭをバラスト抵抗の
逆比に分担した値で制御すれば損失電力最小の状態で運
転できることになる。
そこで、本発明の実施例の構成を第１図に示す。
無負荷運転時は従来通フ補助放電回路のみで運転を行い
、負荷運転時には電流分担制御回路によｐ以下の制御を
行う。
、負荷運転時には電流分担制御回路によｐ以下の制御を
行う。
主放電回路出力電流基準信号ＩａｈｐＭが入力されると
、補助放電回路電流基準信号ＩＲＢＦ８ラインのリレー
が作用し、補助放電回路電流基準信号Ｉ ＲＢＦ８は、
主放電回路電流基準信号ＩＲＥＦＭと加算され、電流制
御演算器ＣＣへ入力される。電流制御演算器ＣＣ内では
、あらかじめ設定されたバラスト抵抗値ｒｂＭ、γｂ８
と入力された主放電、補助放電回路電流基準信号の和１
ｎｗｖＭ＋ＩｎＢｖｓから以下の演算を行う。
、補助放電回路電流基準信号ＩＲＢＦ８ラインのリレー
が作用し、補助放電回路電流基準信号Ｉ ＲＢＦ８は、
主放電回路電流基準信号ＩＲＥＦＭと加算され、電流制
御演算器ＣＣへ入力される。電流制御演算器ＣＣ内では
、あらかじめ設定されたバラスト抵抗値ｒｂＭ、γｂ８
と入力された主放電、補助放電回路電流基準信号の和１
ｎｗｖＭ＋ＩｎＢｖｓから以下の演算を行う。
ＩＤＳ ＝−一−ｌ四１１−−− 〇Ｒ訂Ｍ＋Ｉ几ＥＦ
Ｓ）ｒｂＳ＋γｌ）Ｍ 演算結果は、主放電回路、補助放電回路へ各々電流分担
信号として送信される。主放電、補助放電回路ではこの
電流分担信号を基準信号として、電流検出器ＩＭｍ 、
ＩＭｓ よシ検出された電流帰還信号ＩＰＢＫＭ、
ＩＦＢＫ８との偏差を電流制御装置１Ｉ−ＣＴＲで堆幅
し、位相制御装置ＰＨＯにて点弧制御を行い、直流出力
電流ＩＤＭ 、 ＩＤＩＩ＋の制御を行う。
Ｓ）ｒｂＳ＋γｌ）Ｍ 演算結果は、主放電回路、補助放電回路へ各々電流分担
信号として送信される。主放電、補助放電回路ではこの
電流分担信号を基準信号として、電流検出器ＩＭｍ 、
ＩＭｓ よシ検出された電流帰還信号ＩＰＢＫＭ、
ＩＦＢＫ８との偏差を電流制御装置１Ｉ−ＣＴＲで堆幅
し、位相制御装置ＰＨＯにて点弧制御を行い、直流出力
電流ＩＤＭ 、 ＩＤＩＩ＋の制御を行う。
以上本実施例の構成、作用について述べたが、陽極、陰
極及び直流高電圧電源出力の極性が逆でめっでもかまわ
ないことは勿論でろυ、また、直 。
極及び直流高電圧電源出力の極性が逆でめっでもかまわ
ないことは勿論でろυ、また、直 。
流高冗圧電源の回路方式も前述の実施例に断定するもの
ではなく、例えば高電圧昇圧チョツノく回路方式やサイ
リスタの位相制御による交流−交流電圧制御を昇圧トラ
ンスを介して整流する方式等でらっでも本発明の主旨を
そこなうものではない。
ではなく、例えば高電圧昇圧チョツノく回路方式やサイ
リスタの位相制御による交流−交流電圧制御を昇圧トラ
ンスを介して整流する方式等でらっでも本発明の主旨を
そこなうものではない。
同、前述の実施例において、主放電回路のノくラスト抵
抗γｂ８に比べ、非常に小さな場合、主放電回路電流Ｉ
ＤＭと補助放電回路電流ＩＤ８の関係は、ＩＤＭ＞＞Ｉ
Ｄ８となシ、負荷電流の分担をＩＤＭ ＃ ：［ＲＩＦ
Ｍ＋ ＩＲＩＦ８ 、 ＩＤ８ ｂｇＯとしてもほぼ最
高効率にて運転できる場合がるる。このような調整は、
第１図の実施例において主放電回路のバラスト抵抗γｂ
Ｍの設定を０とすれば実現でき、その効果も、はぼ同程
度に得られることは明らかである。
抗γｂ８に比べ、非常に小さな場合、主放電回路電流Ｉ
ＤＭと補助放電回路電流ＩＤ８の関係は、ＩＤＭ＞＞Ｉ
Ｄ８となシ、負荷電流の分担をＩＤＭ ＃ ：［ＲＩＦ
Ｍ＋ ＩＲＩＦ８ 、 ＩＤ８ ｂｇＯとしてもほぼ最
高効率にて運転できる場合がるる。このような調整は、
第１図の実施例において主放電回路のバラスト抵抗γｂ
Ｍの設定を０とすれば実現でき、その効果も、はぼ同程
度に得られることは明らかである。
以上説明したように、本発明によれば、電流分担制御回
路を設けることによシ、電源装置はレーザ発振器負荷運
転中宮に損失電力最小の状態で高効率運転できる。
路を設けることによシ、電源装置はレーザ発振器負荷運
転中宮に損失電力最小の状態で高効率運転できる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は主放
電回路と補助放電回路を具備したレーザー電源装置の一
般的な構成図、第３図は従来装置の制御回路の構成図、
第４図は本発明の詳細な説明するための図でろる。 １ａ・・・直流高電圧電源、 ｌｂ・・・主放電回路、 ＩＣ・・・補助放電回路、 １ｄ・・・電流分担制御回路、 ２Ｍ、２８・・・インバータ、 ３Ｍ、３Ｂ・・・変圧器、 ４Ｍ 、 ４ Ｂ・・・整流器、 ５Ｍ、５８・・・平滑回路、 ６ ・・・陽極、 ７ ・・・陰極、 ８ ・・・グロー放電、 ９Ｍ、９８・・・サイリスタモジュール、１１．１２・
・・損失電力変動曲線、 ＶＤＯ・・・直流電圧源、 ＶＤＭ ・・・主放電回路直流出力電圧、ＶＤ８
・・・補助放電回路直流出力電圧、ＶＡＯ・・・商用文
？Ｍ電圧源、 ＩＤＭ ・・・主放電回路直流出力電流、ＩＤ８
・・・補助放電回路直流出力電流、ＩｎｎｙｒＭ・・・
主放電回路電流基準信号、工Ｒ１１Ｆ８・・・補助放電
回路電流基準信号。 ＩＦＢＫＭ・・・主放電回路電流帰還信号、ＩＦＢＫ８
・・・補助放電回路電流帰還信号、ＬＤＭ・・・主放電
回路数ｗ、電流（１陽極ピン当たり）、ＬＤ８・・・補
助放電回路数電電？Ｎ（１陽極ピン当たシ）、ＬＤ
・・・放′鑞電流（１陽極ピン当たシ）、γｂＭ・・・
主放電回路バラスト抵抗、ｒｂＳ・・・補助放電回路バ
ラスト抵抗、ｎ ・・・バラスト抵抗本数、 Ｌｎｓ（ｏｐｔ）・・損失電力最小［直を与えるＬＤＳ
。 ↓Ｄａ’・・損失曲線１１→１２となる変曲点でのｉＤ
ｓ 。 ＰＬ、ＰＬｌ、 ＰＩ、２・・・バラスト抵抗部損失電
力、ＰＬＴ・・ＩＤ８ ： ０時のバラスト抵抗部損失
電力、Ｐｔ、（ｍｉｎ）・・・損失電力最小値、１５Ｍ
、１５１１・・・位相制御装置（Ｐ ＨＯ）、１４Ｍ、
１４Ｓ−Ｎ流制御装置 （Ｉ−０’ｌ’Ｒ）、ＩＭＭ
、 ＩＭＡ・・・電流検出器、 ＣＣ・・・電流制御演算器。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 第４図
電回路と補助放電回路を具備したレーザー電源装置の一
般的な構成図、第３図は従来装置の制御回路の構成図、
第４図は本発明の詳細な説明するための図でろる。 １ａ・・・直流高電圧電源、 ｌｂ・・・主放電回路、 ＩＣ・・・補助放電回路、 １ｄ・・・電流分担制御回路、 ２Ｍ、２８・・・インバータ、 ３Ｍ、３Ｂ・・・変圧器、 ４Ｍ 、 ４ Ｂ・・・整流器、 ５Ｍ、５８・・・平滑回路、 ６ ・・・陽極、 ７ ・・・陰極、 ８ ・・・グロー放電、 ９Ｍ、９８・・・サイリスタモジュール、１１．１２・
・・損失電力変動曲線、 ＶＤＯ・・・直流電圧源、 ＶＤＭ ・・・主放電回路直流出力電圧、ＶＤ８
・・・補助放電回路直流出力電圧、ＶＡＯ・・・商用文
？Ｍ電圧源、 ＩＤＭ ・・・主放電回路直流出力電流、ＩＤ８
・・・補助放電回路直流出力電流、ＩｎｎｙｒＭ・・・
主放電回路電流基準信号、工Ｒ１１Ｆ８・・・補助放電
回路電流基準信号。 ＩＦＢＫＭ・・・主放電回路電流帰還信号、ＩＦＢＫ８
・・・補助放電回路電流帰還信号、ＬＤＭ・・・主放電
回路数ｗ、電流（１陽極ピン当たり）、ＬＤ８・・・補
助放電回路数電電？Ｎ（１陽極ピン当たシ）、ＬＤ
・・・放′鑞電流（１陽極ピン当たシ）、γｂＭ・・・
主放電回路バラスト抵抗、ｒｂＳ・・・補助放電回路バ
ラスト抵抗、ｎ ・・・バラスト抵抗本数、 Ｌｎｓ（ｏｐｔ）・・損失電力最小［直を与えるＬＤＳ
。 ↓Ｄａ’・・損失曲線１１→１２となる変曲点でのｉＤ
ｓ 。 ＰＬ、ＰＬｌ、 ＰＩ、２・・・バラスト抵抗部損失電
力、ＰＬＴ・・ＩＤ８ ： ０時のバラスト抵抗部損失
電力、Ｐｔ、（ｍｉｎ）・・・損失電力最小値、１５Ｍ
、１５１１・・・位相制御装置（Ｐ ＨＯ）、１４Ｍ、
１４Ｓ−Ｎ流制御装置 （Ｉ−０’ｌ’Ｒ）、ＩＭＭ
、 ＩＭＡ・・・電流検出器、 ＣＣ・・・電流制御演算器。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 第４図
Claims (2)
- （１）主放電回路及び補助放電回路を備えたガスレーザ
電源装置において、前記各放電回路のそれぞれの電流基
準設定器の出力信号を入力とし前記各放電回路の分担電
流の比が所定の値となるように前記各放電回路の実際の
電流基準信号を演算する電流分担制御回路を備えたガス
レーザ電源装置。 - （２）前記電流分担制御回路は演算された前記補助放電
回路の実際の電流基準信号が所定値以下の場合は前記主
放電回路のみで電流を負担するように主放電回路の実際
の電流基準信号のみ出力することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のガスレーザ電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16771385A JPS6230388A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | ガスレ−ザ電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16771385A JPS6230388A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | ガスレ−ザ電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6230388A true JPS6230388A (ja) | 1987-02-09 |
Family
ID=15854821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16771385A Pending JPS6230388A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | ガスレ−ザ電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6230388A (ja) |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP16771385A patent/JPS6230388A/ja active Pending
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