JPS5837985A - レ−ザ−装置 - Google Patents
レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS5837985A JPS5837985A JP13661581A JP13661581A JPS5837985A JP S5837985 A JPS5837985 A JP S5837985A JP 13661581 A JP13661581 A JP 13661581A JP 13661581 A JP13661581 A JP 13661581A JP S5837985 A JPS5837985 A JP S5837985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- power source
- output
- electrodes
- supplied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は炭酸ガスレーザー装置に係り、特にレーザー
媒質ガス励起用の電源の改良に関するものである。
媒質ガス励起用の電源の改良に関するものである。
従来、この種の装置として第１図、第２図に示すものが
あった、 図において、（１）は交流電源で、この交流電源（１）
の出力は整流装置（２）によって直流に変換される。
あった、 図において、（１）は交流電源で、この交流電源（１）
の出力は整流装置（２）によって直流に変換される。
（３）は第１電極で、この電極（３）は複数の陰極（４
）、及びこの陰極（４）七それぞれ直列に接続された複
数のバラスト抵抗（５）と、上記陰極（４）に対向して
配設された■極（６）とから構成さね、上記交流電源（
１）からの出力が直流変換されて供給される、（７ム）
（７Ｂ）は表面が誘電体で覆われた一対の第２電極で、
この電極（７ム）（７Ｂ ）には高周波電源（８）から
の出力が供給される。
）、及びこの陰極（４）七それぞれ直列に接続された複
数のバラスト抵抗（５）と、上記陰極（４）に対向して
配設された■極（６）とから構成さね、上記交流電源（
１）からの出力が直流変換されて供給される、（７ム）
（７Ｂ）は表面が誘電体で覆われた一対の第２電極で、
この電極（７ム）（７Ｂ ）には高周波電源（８）から
の出力が供給される。
（９）は全反射鏡、α０はこの全反射値と対向して配設
された部分透過鏡で、レーザー光（至）はこの部分透過
鏡α１力・ら発振器α尋の外部に取り出される、発振器
α養の内部ｔζはレーザー媒質ガス（至）が満たされて
おり、このガス（至）は上記第゛ｌ電極（３）、第２電
極（７ム）（７Ｂ）と熱交換器＠との間を送風器（ロ）
によって循環される、このとき、上記レーザー媒質ガス
（至）は送風機αυから送風され、無声放電αηを発生
させる第２電極（７ム）（７Ｂ）からグロー放電αηを
発生させる第１電極（３）を経て熱交換器υに至るよう
循環されており、第１電極（３）の風りで無声放電が発
生されているのでグロー放電の発生が容易になるととも
に安定して発生されるようになっている（第２図参照）
。
された部分透過鏡で、レーザー光（至）はこの部分透過
鏡α１力・ら発振器α尋の外部に取り出される、発振器
α養の内部ｔζはレーザー媒質ガス（至）が満たされて
おり、このガス（至）は上記第゛ｌ電極（３）、第２電
極（７ム）（７Ｂ）と熱交換器＠との間を送風器（ロ）
によって循環される、このとき、上記レーザー媒質ガス
（至）は送風機αυから送風され、無声放電αηを発生
させる第２電極（７ム）（７Ｂ）からグロー放電αηを
発生させる第１電極（３）を経て熱交換器υに至るよう
循環されており、第１電極（３）の風りで無声放電が発
生されているのでグロー放電の発生が容易になるととも
に安定して発生されるようになっている（第２図参照）
。
とこ夕で上記装置は、第１電極および第２電極にそれぞ
れその出力を供給するための交流電源（１）と高周波電
源（８）とを備えており、そねだけ装置が複雑になると
セも（ζ高価なものとなっていた。
れその出力を供給するための交流電源（１）と高周波電
源（８）とを備えており、そねだけ装置が複雑になると
セも（ζ高価なものとなっていた。
この発明は上記のような従来の欠点を除去するためにな
さねたもので、交流電源の出方を利用覆・、これを直接
または抵抗やリアウトルなどのインビーク′シスを介し
て第２電極に供給することによって高周波電源を省略し
た簡単かつ安価なレーザー装置を提供することを目的と
している 以下、この発明の一実施例を第８図〜第５図について説
明す７Ｎ−これらの図において、第１図、第２図と同一
符号は同一または相当部分を示【、てい不ので説明を省
略する。
さねたもので、交流電源の出方を利用覆・、これを直接
または抵抗やリアウトルなどのインビーク′シスを介し
て第２電極に供給することによって高周波電源を省略し
た簡単かつ安価なレーザー装置を提供することを目的と
している 以下、この発明の一実施例を第８図〜第５図について説
明す７Ｎ−これらの図において、第１図、第２図と同一
符号は同一または相当部分を示【、てい不ので説明を省
略する。
（１８Ａ） （１８Ｂ）は抵抗またはりアクドルなどで
構成さｔ′！１−インピーダンスで、それぞれ交流電源
（１）と第２電極（７Ａ）（７Ｂ）との間に接続されて
いる、一般に、交流電源（１）の出力電圧はトランジス
タやサイリスタなどの電気的なスイッチング作用ｌこよ
って得ら１］るので、第５図（ａ）に示すような矩形波
０呻である場合が多い、そ（５てこ（７’ｌ矩形波四の
立上り部（１９Ａ／）、立下り部（１９Ｂ）は周波数成
分か高く、第２Ｗｌ極（７Ａ）（７Ｂ）の誂電体の静電
容量ル通し７て上記第２電極（７−Ａ）（７Ｊ３）間で
無声放電ａ乃を発生させる、この状態を第５図ｒｂ）に
示１・でおり、交流電源（１）のスイッチング作用ち矩
形波α罎のＳＴ上（１部（１９ｆ）、立下ｆ〕部（１９
Ｂ）だけで無声放電０７）が発生−ｒるーこの無声放電
αηの強さはイノビーダンス（１８Ａ）（１８Ｂ）によ
り制限される、 まｔ：、第１電極（３）ｉこは交流ｌｉｔ ｍ （１）
の出力か整流装置（２）により旧派ｆこ変換さｊて供給
さＩ・る、Ｐこめ直流６）グロー放電Ｏｏが発生する、
なお、送風機Ｑｌ）ｌこよ−て送らね、るレーザー媒質
ガスｃＬ！１９＋、ｉ第２電極（７Ａ）（７Ｂ）＋ｕτ
第１電極（３）カら熱交換器ａ：ａ −＼と循環するよ
うになっているので、第５図（ｂ）に示したような無声
放電αηが第２電極（７Ａ）（７１３）に発生１２、こ
の間、第２電極（７ム）（７Ｂ）の間を通るレーザー媒
質ガス（至）がイオン化されて、その風下に位置する第
１電極（３）のグロー放電α・の発生を容易かつ安定ｆ
こ［７τいる− 交流電源（１）がサイリスタなどの位相制御ｌとよ−で
構成されている場合には第５図（ｅ）に示すようなのこ
ぎり刃状の波形（ホ）が出力されるが、この波形（ホ）
の立上り部（２ＯＡ）は第５図（ａ）で示したスイッチ
ング波形による矩形波Ｑｌと同様Ｉこ周波数成分が高く
、この矩形波α呻のときと同様第５図〔ｂ〕に示【、た
ような無声放電ａηを生じさせることができる、 第６図はこの考案の他の実施例を示したもので、２つの
昇圧トランスに）（財）が配設されている、そ【。
構成さｔ′！１−インピーダンスで、それぞれ交流電源
（１）と第２電極（７Ａ）（７Ｂ）との間に接続されて
いる、一般に、交流電源（１）の出力電圧はトランジス
タやサイリスタなどの電気的なスイッチング作用ｌこよ
って得ら１］るので、第５図（ａ）に示すような矩形波
０呻である場合が多い、そ（５てこ（７’ｌ矩形波四の
立上り部（１９Ａ／）、立下り部（１９Ｂ）は周波数成
分か高く、第２Ｗｌ極（７Ａ）（７Ｂ）の誂電体の静電
容量ル通し７て上記第２電極（７−Ａ）（７Ｊ３）間で
無声放電ａ乃を発生させる、この状態を第５図ｒｂ）に
示１・でおり、交流電源（１）のスイッチング作用ち矩
形波α罎のＳＴ上（１部（１９ｆ）、立下ｆ〕部（１９
Ｂ）だけで無声放電０７）が発生−ｒるーこの無声放電
αηの強さはイノビーダンス（１８Ａ）（１８Ｂ）によ
り制限される、 まｔ：、第１電極（３）ｉこは交流ｌｉｔ ｍ （１）
の出力か整流装置（２）により旧派ｆこ変換さｊて供給
さＩ・る、Ｐこめ直流６）グロー放電Ｏｏが発生する、
なお、送風機Ｑｌ）ｌこよ−て送らね、るレーザー媒質
ガスｃＬ！１９＋、ｉ第２電極（７Ａ）（７Ｂ）＋ｕτ
第１電極（３）カら熱交換器ａ：ａ −＼と循環するよ
うになっているので、第５図（ｂ）に示したような無声
放電αηが第２電極（７Ａ）（７１３）に発生１２、こ
の間、第２電極（７ム）（７Ｂ）の間を通るレーザー媒
質ガス（至）がイオン化されて、その風下に位置する第
１電極（３）のグロー放電α・の発生を容易かつ安定ｆ
こ［７τいる− 交流電源（１）がサイリスタなどの位相制御ｌとよ−で
構成されている場合には第５図（ｅ）に示すようなのこ
ぎり刃状の波形（ホ）が出力されるが、この波形（ホ）
の立上り部（２ＯＡ）は第５図（ａ）で示したスイッチ
ング波形による矩形波Ｑｌと同様Ｉこ周波数成分が高く
、この矩形波α呻のときと同様第５図〔ｂ〕に示【、た
ような無声放電ａηを生じさせることができる、 第６図はこの考案の他の実施例を示したもので、２つの
昇圧トランスに）（財）が配設されている、そ【。
てこの昇圧トランス（２）は交流電源（１）の出力を高
圧に昇圧【７た後、整流装置（２）によって直流に変換
【・、これを第１電極（３）に供給１・でいる、また、
昇圧トランス員はインピーダンス勾を介し、て交流電源
（１）の出力を受け、これを高圧に昇圧１・て第２電極
（７人）（７Ｂ）に供給【、でいる。これにより、無声
放電及びグロー放電に要求さｔする高電圧に対【、τ交
流電源（１）の出力電圧は低いものであ−でもよく、ま
たこのときインピーダンス（２）の値も小さなものでよ
い、 以上のようにこの発明は、交流電源の出力を第１電極お
よび第２電極に供給するように１・だので、第２電極に
供給【７ていた高周波電源を省略することができ、それ
だけ装置が簡単になるとともに安価にすることかできる
効果かある。
圧に昇圧【７た後、整流装置（２）によって直流に変換
【・、これを第１電極（３）に供給１・でいる、また、
昇圧トランス員はインピーダンス勾を介し、て交流電源
（１）の出力を受け、これを高圧に昇圧１・て第２電極
（７人）（７Ｂ）に供給【、でいる。これにより、無声
放電及びグロー放電に要求さｔする高電圧に対【、τ交
流電源（１）の出力電圧は低いものであ−でもよく、ま
たこのときインピーダンス（２）の値も小さなものでよ
い、 以上のようにこの発明は、交流電源の出力を第１電極お
よび第２電極に供給するように１・だので、第２電極に
供給【７ていた高周波電源を省略することができ、それ
だけ装置が簡単になるとともに安価にすることかできる
効果かある。
第１図、第２図は従来のレーザー装置の構成を示（、た
もので、第１図はその正面図、第２図は断面側面図、第
８図〜第５図はそれぞれこの発明の一実施例を説明する
ためのもので、第８図はレーザー装置の構成を示す正面
図、第４図は断面側面図、第５図は動作を示すタイムチ
ャート図、第６図はこの発明の他の実施例によるレーザ
ー装置の構成を示す正面図である、 図において、同一符号は同一または相当部分を示し、（
１）は交流電源、（２）は整流装置、（３）は第１電極
、（７Ａ ）（７Ｂ ）は第２電極、（９）は全反射鏡
、Ｑｌは部分透過鏡、α３はレーザー光、０４は発振器
、（至）はレーザー媒質ガス、（１＆Ａ）（１８Ｂ）
＠はインピーダンス、＠（財）は昇圧トうンスである。 代理人 葛 野 信 − 第１図
もので、第１図はその正面図、第２図は断面側面図、第
８図〜第５図はそれぞれこの発明の一実施例を説明する
ためのもので、第８図はレーザー装置の構成を示す正面
図、第４図は断面側面図、第５図は動作を示すタイムチ
ャート図、第６図はこの発明の他の実施例によるレーザ
ー装置の構成を示す正面図である、 図において、同一符号は同一または相当部分を示し、（
１）は交流電源、（２）は整流装置、（３）は第１電極
、（７Ａ ）（７Ｂ ）は第２電極、（９）は全反射鏡
、Ｑｌは部分透過鏡、α３はレーザー光、０４は発振器
、（至）はレーザー媒質ガス、（１＆Ａ）（１８Ｂ）
＠はインピーダンス、＠（財）は昇圧トうンスである。 代理人 葛 野 信 − 第１図
Claims (2)
- （１） グロー放電を発生させる第１の電極と、無声
放電を発生させる第２の電極と、上記第１の電極には整
流装置によりその出力を直流に変換して供給するととも
に第２の電極にはその出力を直接またはインピーダンス
を介して供給する交流電源とを備えたレーザー装置。 - （２）交流電源の出力は昇圧ト２ンスにより昇圧して第
１および第２の電極に供給みれることを特徴とする特許
請求の範囲第１項に記載のレーザー装置、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13661581A JPS5837985A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13661581A JPS5837985A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | レ−ザ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5837985A true JPS5837985A (ja) | 1983-03-05 |
Family
ID=15179439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13661581A Pending JPS5837985A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5837985A (ja) |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP13661581A patent/JPS5837985A/ja active Pending
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