JPS62293537A - 光磁気デイスク用記録媒体 - Google Patents

光磁気デイスク用記録媒体

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JPS62293537A
JPS62293537A JP13590286A JP13590286A JPS62293537A JP S62293537 A JPS62293537 A JP S62293537A JP 13590286 A JP13590286 A JP 13590286A JP 13590286 A JP13590286 A JP 13590286A JP S62293537 A JPS62293537 A JP S62293537A
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JP
Japan
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over time
change
added
reflectance
magneto
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Application number
JP13590286A
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English (en)
Inventor
Fumiyoshi Kirino
文良 桐野
Shinji Takayama
高山 新司
Ken Sugita
杉田 愃
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の詳細な説明 〔発明の利用分野〕 本発明は、光磁気ディスクに係り、特にディスクの長寿
命化に好適な記録媒体に関する。
〔発明の背景〕
近年、高密度かつ大容量の情報の任意読み出し。
書換え可能な光磁気記録が注目されている。この光磁気
記録媒体として希土類−鉄族系非晶質薄膜が研究の中心
にあり、その中でも特にTb−Fb−Coを基体とした
材料は、最も有望視されてし)る。しかしながら、この
材料は、大気中の酸素や水分と反応して酸化物或いは水
酸化物を形成する。
この反応は記録媒体の表面から時間の経過と共に内部へ
進行してゆく、その結果として、記録媒体の磁気特性例
えば、カー回転角や保磁力が低下していた。そこで従来
の光磁気ディスクは、光磁気記録材料の変質を防止する
ために、記録材料に防食効果を有する元素を添加して高
耐食性を持たせるという手段が考えられる。その例とし
て、特公昭60−21217、特公昭60−26825
等が挙げられる。
しかし、これらの公知例は、遷移金属−非金属系合金に
ついてであり、T b −F b −G o系のように
化学的活性な希土類−鉄族系合金に対して有効な添加元
素は今だ見出されていない。そこで。
光磁気ディスクの長寿命化を目指すには、耐環境性を有
する磁気記録媒体を見出すことが重要な課題であった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、光磁気特性の低下を防ぐために、大気
中の酸素や水分と反応せず化学的に安定な光磁気記録媒
体を提供することにある。
〔発明の概要〕
先にも述べたように、Tb−Fb−Co系のような希土
類−鉄族系合金は、環境に対して化学的に活性で大気中
の酸素や水分と反応して酸化物や水酸化物を形成する。
その結果、記録膜の磁気特性を著しく低下していた。こ
の時性の低下を防ぐには、記録膜上に保護膜を形成し記
録膜を大気から遮断する方法と、磁気記録媒体に元素を
添加して記録膜自身に耐食性をもたせる方法の2つが考
えられる。本発明は、後者の手段について検討した結果
見出したものである。
希土類−鉄族を基体とする光磁気ディスク用記録材料に
、膜表面に化学的に安定な不動態被膜を形成する金属元
素或いは半金属元素、さらに貴金属元素を添加すると耐
食性が向上することを見い出した。これらの元素を添加
する場合、磁気特性を低下させることなく耐食性を耐食
性を向上させる元素を探索しなければならない。その結
果、この要求を満たす元素として、V、Ta、Y、Sn
Au、Ag、Pd、Ptが有効であることを見出した。
ここで重要なことは、元素の添加量である。
添加量が多すぎると耐食性は増大するが磁気特性を著し
く低下させてしまい、また逆に添加量が少なすぎると磁
気特性の低下はみられない反面、高耐食性を有していな
かった。そこで耐食性試験を行うのに先立ち、まず’J
 + Ta t Y y S n v A u tAg
、Pd、Ptを磁気記録材料に添加(Tb3□FeG 
I C07) L −X XX ; x=V t T 
a r Y t S n tAu、Ag、Pd、Pt、
O<x<0.25)L/たときのXの添加量と磁気特性
(カー回転角及び保磁力)の関係について検討した。そ
の結果、V。
Ta、Y、及びSnを添加した場合、光磁気ディスクの
記録材料として用いることができる組成範囲として、0
.01<x<0.15であるとの知見を得た。そして、
A u * A g * p d及びPしを記録材料に
添加するとカー回転角は著しく大きくなるが、保磁力は
逆に小さくなった。そこで、光磁気ディスク特性が低下
しない組成範囲として、0.005〜0.05の範囲が
有効であることを見出した。そして次に、磁気特性を低
下しない範囲で組成を変えて磁気薄膜を作成し、耐食性
試験を行なった。試験は、2N−NaCQ溶液に浸せき
させた時の反射率の変化及び耐湿性試験を行なったとこ
ろ、この組成範囲では添加しないサンプルに比較して著
しく劣化速度も低下した。
希土類−鉄族系非晶質薄膜は、希土類(Re)として、
、Td、Gd、Ha、Dyを、鉄族元素としてFeおよ
びCoを用いた、Re −F e −G 。
合金についていずれも同様に効果を奏することが出来る
。すなわち、上述の添加元素を所定の組成範囲で添加す
ることにより、磁気特性を低下させることなく、耐環境
性を向上させることができる。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の詳細を実施例1〜3を用いて詳細に説明
する。
〔実施例1〕 テストセルの断面構造は、図1に示すとおりである。洗
浄したガラス或いは樹脂基板(1)上に磁気記録膜(2
)をスパッタ法により形成し、これをテストセルとした
。磁気記録膜の作成は、ターゲットに(T b3□F 
e6tc ot)t−xXx (X=Sn、Y、V、T
a、x=0.05,0.10゜0’、15のそれぞれ3
点)を、放電ガスにArをそれぞれ用い、放電ガス圧5
 X 10= (Torr)、RF電力IW/Cm”に
25分間スパッタして行なった。このようにして作成し
たテストセルのカー回転角(Ok)は0.37’〜0.
33°、保磁力(He)は1 、7〜2 、0 K O
eであった。このテストセルを用いて次に、耐食性試験
を次の2つの方法で行なった。まず最初に、作成したテ
ストセルを2 N −N a CQ水溶液に10分、3
0分、60分、90分と浸せきさせた時の反射率の経時
変化を測定した。そして次に、先の検討より最も特性の
良いテストセルを温度60℃、湿度90%に保存したと
きのOk、Haの経時変化を測定した。
各々の結果を図2、図3に示す。まず図2は、テストセ
ルを2N−NaCQ水溶液に浸せきした時の反射率の経
時変化を示す。図中の3は添加元素を含まない場合で、
4.4’ 、4’はSn、5゜5’ 、5’はY、6.
6’ 、6’はV、ソシテ7.7’ 、7’はTaをそ
れぞれ添加した場合である。また、また、プライムなし
は各元素を5%添加した場合、シングルのプライムは1
0%添加した場合、ダブルプライムは15%添加した場
合である。その結果、反射率は添加元素がない場合、浸
せきしてから最初の10分間で急激に減少し、初期の反
射率の50%になり、そして60分後には反射しなくな
った。これに対して、添加元素を加えた場合、反射率の
低下は著しく小さくなった。
減少率を最も抑制効果のある添加元素はTaで、次いで
Ni、Cuが同じ位の反射率の変化がみられ、次にVで
この順であった。また、同一元素について着目してみる
と、添加量の増加と共に記録膜の耐食性は向上すること
がわかる。図3は、これらのテストセルについて温度6
0℃、湿度90%の条件にて高速劣化試験を行なったと
きの、Ok及びHaの経時変化を示す。まず、添加元素
を含まない場合、θや及びトIcともにスターhから1
日位までは除々に減少し、その後急激に低下し、約2日
目で磁気特性を示さなくなった。これに対し、第4元素
を添加した記録膜では、θえ及びHaとも時間の経過と
ともに除々に減少してゆく。その結果、減少率は、先の
N a CQ溶液に浸せきした場合と同じく、最も磁気
特性の低下の小さいのはTa (12,12’ )で、
以下Sn (9゜9’ )、Y (10,10’ )、
V (11,11’ )の順であった。 以上の検討よ
り、Ta、Sn。
Y、Vを添加すると希土類−鉄族系記8膜の耐食性を大
幅に改善できることを見出した。
〔実施例2〕 テストセルの構造は、実施例1と同様、図1に示すとお
りである。洗浄したガラス或いは樹脂基板(1)上に磁
気記録膜(2)をスパッタ法により形成し、テストセル
とした。磁気記録膜の作成は、ターゲットに(T b 
32 F e 61 Co t)x−xXx(X=Au
、Ag、Pt、Pd、x=o、O05+0.02,0.
05の各3点)を、放電ガスにArをそれぞれ用い、放
電ガス圧5 X I O= (Torr)、RF?ll
t力IW/cm”に25分間スパッタして行なった。こ
のようにして作成したテストセルのカー回転角(Ok)
は、0.37’〜0.33°、保磁力(Hc)は1 、
7〜2 、0 K Oeであった。このテストセルを用
いて、耐食性試作験を次の2つの方法で行なった。まず
最初に、作成したテストセルを2 N −N a CQ
水溶液に10分、30分。
60分、90分と浸せきせた時の反射率の経時変化を測
定した。そして次に、先の検討より最も特性の良いテス
トセルを温度60℃、湿度90%の環境に保存したとき
の04.Heの経時変化を測定した。各々の結果を図4
、図5に示す。ます図4は、テストセルを2N−NaC
Q水溶液に浸せきした時の反射率の経時変化を示す。図
中の3は添加元素を含まない場合、13.13’ 、1
3’はAg、14.14’ 、14’はPd、15゜1
5’ 、15’はpt、16.16’ 、16’はAu
をそれぞれ添加した場合である。また、プライムなしは
各元素を0.5%添加した場合、シングルプライムは2
%添加した場合、そしてダブルプライムは5%添加した
場合である。その結果、反射率は、添加元素がない場合
、浸せきしてから最初の10分間で急激に減少し、初期
の反射率の50%になり、そして60分後には反射しな
くなった。これに対して、添加元素を加えた場合、反射
率の低下を著しく抑制することができた。減少率の抑制
に最も効果のあった元素は、Au、Pt。
Pdでほぼ同程度、次いでAgであった。また、添加量
の増大とともに、記録膜の11食性は向上することがわ
かる。図5は、これらテストセルを温度60℃、湿度9
0%の条件にて高速劣化試験を行なったときのOk及び
Hcの経時変化を示す。
まず、添加元素を含まない場合(曲線8)、Ok及びH
cともにスタートから1日目位までは除々に減少し、そ
の後、急激に低下し、約2日目で磁気特性を示さなくな
った。これに対し1元素を添加した磁気記録膜のθえ及
びHcの減少速度は著しく低下した。ここで17.17
’はAgを。
18.18’ はPdを、19.19’ はptを、2
0.20’はAuをそれぞれ添加した場合である。この
図より、添加する元素により多少差があるものの、記録
媒体に元素を添加しない場合と比較して媒体の寿命を約
2倍に伸すことができた。
また、耐食性の向上が最も大きいのはAuを添加した場
合で、次いでptを加えた場合で以下Pd。
Ag、の順であった。
以上の検討より、貴金属元素の中でAu、Pt。
Pd、Agを添加すると、希土類−鉄族系磁気記録膜の
耐食性を大幅に改善できることができた。
〔実施例3〕 洗浄したエッチピットを切ったガラスまたは樹脂のディ
スクの基板(21)上に、スパッタ法により膜厚0.1
μmの磁気記録膜(22)を形成した。磁気記録膜(2
2)の作成は、ターゲットに(T b32F eglc
 o7)0.g、)T ao、1Q或いは(T b3□
F estC07)0.911P do、o2を、放電
ガスにArをそれぞれ用い、放電ガス圧5X10−3(
T orr)、RF電力IW/cm”にて25分間スパ
ッタして行なった。このようにして作成した光磁気ディ
スクのカー回転角(θk)は0.35〜0.37、保磁
力2 、0〜2 、5 K Oeであった。
この光磁気ディスクを用いて耐食性試験を次の方法で行
なった。すなわち、作成した光磁ディスクを温度60℃
、湿度90%の環境に保存したときのθえ、Hcの経時
変化を測定した。その結果と、比較のためにTa、Pd
等の添加元素を含有しない場合の01及びHcの経時変
化を合わせて図7に示す。まず、添加元素を含まない場
合のθつの変化は1曲線(23)に示すように1日目ま
では。
ゆるやかに減少してゆき、その後急激に低下して2日経
過後では光磁気特性を示さなくなった。これに対して、
Taを記録材料に対して10%添加した場合のθ、の経
時変化は曲A! (24)に示すようにゆるやかに減少
し、5日経過後でも記録膜(22)の変色は多少みられ
るが、光磁気効果を示した。またPtを添加した場合の
01の経時変化は、Taを添加した場合のそれよりもθ
えの減少は著しく小さいことがわかった。また、保磁力
Hcの経時変化もθえと同様の変化を示し添加元素を含
まない場合が曲線(23’ )、Taを含む場合が曲線
(24’)、ptを含む場合が(25’)のように変化
した。このように、実施例1、実施例2で示したテスト
セルによる耐食性試験の結果は、光磁気ディスクを作成
した場合の耐食性を十分返映していることがわかる。こ
のことから、V。
Ta、Y、Sn、Au、Ag、Pd、Pt等の元素を1
種類以上含ませることにより、光磁気ディスクの磁気特
性を低下させることなく、耐環境性を向上させることが
できた。
希土類−鉄族系非晶質薄膜は、希土類として、Tb、G
d、Ho、Dyを、鉄族元素としてFeおよびCoを用
したものについて、いずれも同様の効果を奏することが
出来た。
〔発明の効果〕
本発明によれば、希土類−鉄族を基体とする光磁気ディ
スク用記録媒体中に、表面不動態形成元素及び貴金属元
素を添加することにより耐食性を大きく向上させること
ができた。その結果、記録媒体の寿命を従来の2倍以上
に向上できた。
【図面の簡単な説明】
第1図はテストセルの断面図、第2及び4図は2N−N
aCfl水溶液中に光磁気記録媒体を浸せきさせた時の
反射率の経時変化を示す図、第3及び5図は温度60’
C1湿度90%の環境中に記録媒体を保存した時のカー
回転角(θk)及び保磁力(He)の経時変化を示す図
、第6図は光磁気ディスクの断面図、第7図は温度60
℃、湿度90%の環境中に光磁気ディスクを保存したと
きのθえ、Hcの経時変化を示す図である。 1・・・・・・基板、2・・・・・・磁気記録膜3・・
・・・・Tb3□FeglCot)の反射率の経時変化
4 ・・’・’ (T t)+s+F eglc 07
)0.9SS no、05の反射率の経時変化 4 ’ ・・・(T b32 F e64 C07)0
.gS no、 iの反射率の経時変化 4 ’ −(T b32F e61c 07)O,FI
SS no、t5の反射率の経時変化 5 ・・・・・・(T b3□F estc 07)0
.95Y0.05の反射率の経時変化 5 ’ −(T b32F e6tc 07)0.BY
o、1の反射率の経時変化 5 ’ ・= (T b3zF e、、tC07)O,
[16Y0.15の反射率の経時変化 6−− (T b3□F ealc 07)0.96V
0.05の反射率の経時変化 6 ’ −(T b3s+F 8GICot)o、sV
o、toの反射率の経時変化 6″’ ・= (T b3z F eglc O?)0
.86V0.15の反射率の経時変化 7−・・・(T b3zF 8111C07)0.96
T ao、05の反射率の経時変化 7 ’ −(T b:+□F eetc o7)o、l
lT ao、iの反射率の経時変化 7 ’ ・・・(T b3zF ealc 07)0.
85T ao、zsの反射率の経時変化 8・・・・・・Tb32FeHc07のθえの経時変化
8’ −Tb32Fe6tc07のHcの経時変化9−
・・・(T b3□F ectc 07)O,l]6S
 no、tsのOkの経時変化 9  ’  °゛ (T  b32F  estc  
07)0.85S  no、xsのHcの経時変化 10=・・・・(T b32 F e61 C07)0
.85Y0.15のθえの経時変 10’ ・・・(T b32F easC07)0.8
5y0.15のHcの経時変化 11−− (T b3□F er、□c 07)0.9
5v0.15のOkの経時変化 11’ ・= (T b3□F et−xc 07)O
,B6V0.15のHcの経時変化 1:”=・= (T b3□F 8GIC07)O,B
5T ao□sのOkの経時変化 12’ −(T b32F eGlc 07)0.86
T ao、15のHCの経時変化 13・・・・= (T b3□F eHC07)0.9
95A go、oosの反射率の経時変化 13’ ”’ (T b3□F eHC07)0.99
A go、o2の反射率の経時変化 13’ −(T b3□F estc 07)O,B5
A go、osの反射率の経時変化 14・・== (T b3zF e、、c 07)Q、
995P do、ao5の反射率の経時変化 14’ −(T b3□F eaxc 07)0.98
P do、o2の反射率の経時変化 14’ ・・’ (T b32F 8etC07)0.
95P do、osの反射率の経時変化 15−− (T b3□F eGlc 07)0.99
SP to、ao5の反射率の経時変化 15’ −(T b32F e61C07)0.911
(P to、os+の反射率の経時変化 15’ −(T b3□F eexc 07)0.9S
P to、oaの反射率の経時変化 16−・= (T b3zF eHC07)0.995
A uo、ao5の反射率の経時変化 16’ −(T b3□F e61C07)0.98A
 ua、o2の反射率の経時変化 16’ ・= (T b:+2F e61C07)0.
96A uo、05の反射率の経時変化 1’7’・== (T b3□F eglc 07)0
.95A go、osのOkの経時変化 17’ −(T b3zF estc 07)0.95
A go、osのHCの経時変化 18・−・・(T b32F e6□c 07)0.9
5P do、osのOkの経時変化 18’ ・・・(T b3zF eGlc 07)0.
95P do、osのHeの経時変化 19”””  (T b3□F eGlc 07)0.
95P to、osのOkの経時変化 19’ ・・・(T b32F eglc 07)O9
5P do、osのHcの経時変化 2(1=・・(T b32F ealc 07)0.9
5A uo、osのOkの経時変化 20’ −(T b32F e61C0f)0.95A
 uO,05のHcの経時変化 21・・・・・・ディスク基板、22・・・・記録膜2
3・=−(T b3zF e6tc 07)の05の経
時変化23’ −(T b32F e6.Co7)のH
eの経時変化24−− (T b32F eGlc 0
7)0.90Tao 10のOkの経時変化 24’ −(T b32 F ealC07)0.90
T ao、1oのHeの経時変化 25−− (T b3□F e61c 07)0.98
P do、o2のθつの経時変化 25’ ・= (T b32F esxc 07)0.
98P do、o2のHeの経時変化

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、希土類(Re)としてTb、Gd、Ho、Dyのう
    ちから選ばれる少なくとも1種類の元素と、Fe及びC
    oを基体とする光磁気ディスク用記録媒体(Re−Fe
    −Co)_1_−_xX_xであって、XとしてV、T
    a、Y、Snのうちから選ばれる少なくとも1種類の元
    素を0.01≦x≦0.15の範囲で添加した、又は、
    XとしてAu、Ag、Pd、Ptのうちから選ばれる少
    なくとも1種類の元素を0.005≦x≦0.05の範
    囲で添加したことを特徴とする光磁気ディスク用記録媒
    体。
JP13590286A 1986-06-13 1986-06-13 光磁気デイスク用記録媒体 Pending JPS62293537A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63253555A (ja) * 1987-01-14 1988-10-20 ミネソタ マイニング アンド マニユフアクチユアリング カンパニー 安定な磁気光記録媒体
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