JPS62271208A

JPS62271208A - 磁気ヘツドの製造方法

Info

Publication number: JPS62271208A
Application number: JP11506886A
Authority: JP
Inventors: Fumio Kameoka; 史男亀岡
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1986-05-20
Filing date: 1986-05-20
Publication date: 1987-11-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】３、発明の詳細な説明（イ）産業上の利用分野本発明は、磁気ディスク用の記録再生装置に用いられる
磁気ヘッドの製造方法に関する。

（ロ）従来の技術磁気ディスクの小型化、高密度記録化に伴い、記傍装置
に用いられる磁気ヘッドとして、隣接するトラックから
のクロストークを防止し、高密度記録を可能にし九磁気
ヘッドが種々提案されている。例えば、特開昭５７−４
４２１９号公報に詳しい。

この磁気ヘッドは第１０図および第１１図に示すように
、磁気ヘッドｆｉｌけ２つのヘッド素子部（２）（３）
から成っている。第１のヘッド素子部すなわち、記録再
生用ヘッド（２）は、第１のコア（４）と第２のコア（
６）とが、これらの間に所定の！己録再生用ギャップ（
６）が形成されるように、互に接合されて構成されてい
る。そして、これら第１のコア（４）と填２のコア（６
）との間には所定の巻線溝（７）が形成されている。記
録再生用ギャップ（６）の長さ１１は、この第１のヘッ
ド素子部（２）の両側面に設けられた一対の溝部［８）
［９１に依り規定されている。一方、第２のヘッド素子
部すなわち、消去用ヘッド（３）は、第３のコア′１０
）と第４のコア（１１）とが互に接合されて構成されて
いるが、その際、図示の如く、これらの間の接合面の中
央部に設けられた穴部（１２に依って互に分割された一
対の消去用ギャップ（１１（１４）が夫々形成されるよ
う忙なっている。そして、この第２のヘッド素子部（３
）の両側面にも一対の溝部α嚇αｄが夫々設けられ、上
記各消去用ギャップＱ：Ｊ（１４１の長さ１２は、これ
らの溝部ａａａφと上記穴部す■とに依り規定されてい
る。又、これらｖ、３のコアｊ１０）と填４のコア（１
１）との間には、前述し六と同様、所定の巻線苛αカが
形成されている。第１のヘッド素子部（２）と第２のヘ
ッド素子部（３）とは、第２のコア（５）と第３のコア
：！ωとの間で互に接合され、これに依って、第１のコ
ア（４）、第２のコア（６）、第３のコアａＯ＋及び第
４のコア（川が直列に配列されるようになっている。

そして、記録再生用ギャップ（６）と一対の消去用ギャ
ップ０３Ｎとけ互江平行に配され、上記記録再生用ギャ
ップ（６）に依って形成される記録トラックの両側縁部
近傍を上記一対の消去用ギャップＩＪ３　Ｎが走査する
ようＫなされている。即ち、両消去用ギャップｌｌ３１
ｔ１４間の間隔６３は記録再生用ギャップ（６）の長さ
ｔｌに等しいか或いは若干小さくなされており、この消
去用ギャップ０１４間の間隔ｔ３が実質的な記録トラッ
ク巾となる。

従って、前記磁気ヘッド＋１＋を用いると、記録トラッ
クの両側がほぼ完全な無信号状態のガートバンドになる
ので、記録密度を高めるためにトラック間隔を挾めても
、再生時に隣接するトラックからクロストークを生じる
ことがなくなり、１００トラツク／インチ以上の高トラ
ツク密度にも比較的容易に対応することができる。

ところで、前述した磁気ヘッドにおいては、巻線溝ｆ７
１ｆｌ力として幅３〜４■、深さ１醜の切溝がコアブロ
ックの内側あるいは両側に必要である。

そのため、磁気ヘッドは次のようにして製造されている
。

まず、磁気ヘッドの記録媒体轟接部を構成するのに適す
る材料、例えばＭｎ−Ｚｎフェライト材を所定形状に仕
上げたウェハ（イ）に、ダイヤモンド粒度＃４ｏｏａ度
のブレードを使用し、周速度１５００Ｖ分前後で、第１
２図（（）に示すように切溝ｆｆ１ｌ）の粗加工と図中
斜線で示す位置で磁気ヘッドのコアブロック伐Ｑの切出
しを行なう。このとき、ギャップ深さ規制用のエツジｃ
以下、デプスエンドというコ（社）に最大５０ＩＬｒＩ
Ｘ穆度のカケが発生する。そのため、コアブロック（２
鶴を切出した後、第１２１９（ロ）Ｋ示すように、ブロ
ック四を傾斜させ、カップ砥石で所定のデプス長になる
ように、カケの発生し六デプスエンド部分を鏡面に仕上
げる。その後第１２図に）に示すようにトラック規制用
の溝（イ））の加工を行なう。然る後第１１図忙示すよ
うに、２つのプロックル翰をギャップを形成しつつ互い
に接合して、所定形状の記録再生用コアブロック（７）
消去用コアブロック１３１１が形成される。

（ハ）発明が解決しようとする問題点しかしながら従来の磁気ヘッドの製造方法では巻線溝等
の切溝を大きな切溝の研削である重研削加工で行なうた
め、切溝の加工後、デプスエンドには前述のように、最
大５０−程度のカケが発生する。そこで、カケの除去、
磁気ヘッドのデプスエンドの相対位置精度を出すために
、ウェハから切出したコアブロックを４５度稠度傾け、
ヘッドのフロント部となる面を基準にして、カップ砥石
で所定のデプス長に鏡面仕上げを行なう必要がある。

ところが、このような一度切溝加工し念ものを４５度ｔ
／ｃ傾斜させて、磁気ヘッドのデプスエンド加工を行な
うことは主意性が悪く、慎重であつ念、さらに、トラッ
ク幅規制用の溝をブロックの先端にのみ、１０度前後ブ
ロックを傾斜させて施す場合には、切溝加工では平面、
デプスエンドの清面仕上げではシ４５度、トラック幅規
制用の溝加工では１０変と、３通りの加工角度が必要に
なり、夫々の角度を持つ高精度の治具及びブロックの整
列工種が必要となる。

に）問題点を解決する六めの手段本発明は、ダイヤモンド粒度の荒い第１のブレードに、
ギャップ深さ規制用のエツジのエツジ角度に対応した研
削面を有し、且つダイヤモンド粒ｈ＼度の細い第２のブレードを組合せ、巻線溝等を構△ 成する切溝を第１のブレードで、エツジを第２のブレー
ドで、夫々ブレードの周速度３０００ｍ／分以上で切削
加工することを特徴とする。

（ホ）作　用本発明によれば、ギャップ深さ規制用のエツジの加工を
、ダイヤモンド粒度の細いブレードで周速度３０００ｍ
Ａ＋以上で切削加工することにより、エツジ部分のカケ
をなくすことができる。そのため、ブロックを傾けて行
なうエツジ部分の鏡面仕上げを省略することができる。

（へ）実施例以下、本発明を第１図ないし填９図を参照して説明する
。

本発明に用いられる切削加工用ブレードは、ダイヤモン
ド粒度＃３００〜＃６００の荒いメタルレジ。

ブレード（５５１を組み合わしている。

第１のブレード＋５１１は巻線用の切溝り１）に対応し
た幅を有しており、まえ、第２のブレード＄けデプスエ
ンド（穴のエツジ角度に対応した切削面□□□を有して
いる。そして、との筆１のブレードうＵと第２のブレー
ド・９とを、第１１’ζ知示すよって、溝加工のピッチ
ロの倍のピッチ（２Ｐ）　Ｋなるように、スペーサ団を
介して組合せて、切溝加工とデプスエンド加工を交互に
行なうようにする。

次に、上述した第１ブレード１′５Ｄと第２ブレード（
至）とを、組合せた複合ブレード馳を用いた本発明の磁
気ヘッドの製造方法につき説明する。

壕ず、磁気ヘッドのうち、配録再生用ヘッドにつき説明
する。磁気ヘッドの媒体当接部を構成するのに適する磁
性材料たとえば高密度Ｍｎ、７エライト材を所定形状に
仕上げた２枚のウェハ郊（４１を用意し、その各表面を
鏡面に研榔する。次に一方のウェハ頒に、前述した複合
ブレード）臓にて、周速度３０００ｍ１５）以上で加工
速度３０ｍ１５＋にて第１１閾に示すように、切溝（２
１）の重切削加工と、デプスエンド圀のエツジ加工を交
互に行なう。この切削加工だより、複数の互いに平行か
つ等ピッチの切溝シ１）とデプスエンドにカケを生じる
ことなくギャップ深さ規制用のエツジυが形成される。

続いて、第２図および第３困に示すように１２枚のウェ
ハ・ｚ（４Ｇにトラック幅を規定する複数の互いに平行
かつ等ピッチの条溝−（４３を前記切溝鴫）と直交する
方向に夫々形成する。各ブロックの先端に１０度前後の
傾斜を設けて、条溝−（４３を形成する場合江は、各ウ
ェハｍ　ｊ４Ｇを夫々頌研させて切削加工を行なえば良
い。

その後、再４図に示すように、２枚のウェハ箭（４０を
トラック幅が一致するように衝き合わせ、両ウェハＪ　
ｆｌｌに所定のギャップを有するように、溶融ガラスに
て接合して、複数の磁気ヘッドブロック１傾が一体化さ
れたブロック卿を得る。一方、消去用ヘッドも前述と同
様に、２枚のウエノ・Δ１４■を用意し、前述と同様に
して切溝嬶）とデプスエンド１２ｉとを複合ブレード舅
にて周速度３０００ｍＡ以上で切削加工する。

次いで、この切溝防）と直交する方向に、ＩＥＩＯ図の
穴部（１２）及び溝部ＩＪ６１Ｑ６１に対応する消去用
ギヤツブ巾規制用の条溝ｉ２３＋　（４３を形成する。

その後、２枚のウェハ２＋１ｆｆｉ　ｆ４（Ｉｔを前述
と同様に互いに接合して、複数の磁気ヘンドブロックク
Ｄが一体化したブロック（４６１を得る。

ところで、消去用磁気ヘッドコアのデプス長は、記録再
生用磁気へラドコアのデプス長より３０μｍ程度深く設
定されており、この記録再生用ヘッドコアが後工程のデ
プス長とする。

上述のように、本発明によｈば、ウェハ状態でデプスエ
ンドが仕上がる走め、記録再生用磁気へラドコアと消去
用磁気へラドコアのデプスエンド相対位置の精度出しは
、加工機の割出し精寒で決まり、相対位置精度を±５μ
ｍ１変江規制できる。

その場合、ウェハの一辺を基準とする。

前述のよってして形成し九ブロック’４Ｓ１と１幅を非
磁性体（４りを介して接合した接合ウェハブロック（４
＆を第５　ｐ閃の＠線部で切断し、所定形状の磁気ヘッ
ドブロック弱を切出し、その後、チップスライスを行な
って、第７１１２１で示す磁気ヘッドチップ（１）を得
る。この磁気へッドチノブ１１）をスライダ１１す、で
挾持して筆８図で示す磁気ヘッドが得られる。

第９図は、本発明の他の実施例を示すもので、この実施
例のブレードは重研削切溝π使用する第１のブレード１
５１１のダイヤモンド層をデプスエンド加工に使用する
瀉２のブレード（至）側に延出させて、ｇｌ、２２のブ
レードｆ５１１（至）を組合せている。そして、この組
合せた複合ブレード輸は第９図で示すように、各切溝防
）とデプスエンド座に対応している。ま六第１のブレー
ド−’５１１のダイヤモンド石の延出部ωの量は０．２
　ｍ糧変である。このように組合せた複合ブレード［株
］を用いて、切溝仰とデプスエンド（ｎとの切削加工を
３ｏｏｏ％以上の周速度で同時に加工して切溝防）とデ
プスエンド＋２２とをウェハ四又け＋Ａｌ）に形成する
。このように第１のブレードδＢのダイヤモンド層を第
２のブレード部側へ延出させろことばより、填１、第２
のブレード（５１Ｊ樋の接合面に対応する箇所のウェハ
頒又は’、’ＩＫパリが生じることはない。ま走、スペ
ーサ部材（支）を省略することができる。

（ト）発明の効果この様に、本発明によればギャップ深さ規制用のエツジ
を、切溝加工と同時てブレードに！：る加工でカケを生
じることなく行なえる。従って、ウェハ状態でギャップ
深さ規制用のエツジ加工が行なえるためウェハ単位で、
後の加工が行なえるので主意性が大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図々いし第９図は本発明の製造方法の各工程を示す
もので、第１図およびｆ＄、９図は切削加工状態の夫々
異なる実施例を示す正面図、第２図は切溝およびトラッ
ク規制用の条溝を形成したウェハを示す斜視図、第３図
はトラック規制用の条溝を形成し六ウェハを示す斜視図
、第４図は両ウェハを接合したコアブロックを示す斜視
図、第５図は記録再生用コアブロックと消去用コアブロ
ックを接合した接合ウェハプロツクを示す側面図、第６
図は磁気ヘッドブロックを示す斜視図、筑７図は磁気ヘ
ッドチップを示す斜視喝、第８図は磁気ヘッドを示す斜
視図である。′！４１０図は典型的な磁気ヘッドを示す
斜視図、屓１１図は同ヘッド対接面を示す平面図である
。第１２図（イ）ないし填１２図に）は従来の磁気ヘッ
ドの製造方法を示す工程間である。１・・・磁気ヘッド、２・・・記録再生用ヘッド、３・
・・消去用ヘッド、２０．４０・・・ウェハ、２１・・
・切溝、２２・・・デプスエンド、５０・・・複合ブレ
ード、５１・・・第１のブレード、５５・・・第２のブ
レード。出頭大　三＃−を機株式会社代理人弁理士西野卓嗣（外１名）第１図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）磁気ヘッドの記録媒体当接部を構成するのに適す
る磁性材料からなるウェハに、トラック幅を規制する条
溝と直交する方向に、巻線溝等を構成する切溝とギャッ
プ深さ規制用のエッジを切削加工により形成する磁気ヘ
ッドの製造方法であって、ダイヤモンド粒度の荒い第１
のブレードと前記エッジのエッジ角度に対応した研削面
を有し、且つダイヤモンド粒度の細かい第２のブレード
とを組合せ、前記切溝の切削には第１のブレードを、前
記エッジの切削には第２のブレードを用いると共に、前
記切溝およびエッヂを各ブレードの周速度が３０００ｍ
／分以上で切削加工することを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。