JPH0423283A

JPH0423283A - 浮上型磁気ヘッド用スライダー

Info

Publication number: JPH0423283A
Application number: JP12718290A
Authority: JP
Inventors: Keiichi Kondo; 近藤　啓一; Masanobu Yamazaki; 山崎　昌信
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1990-05-17
Filing date: 1990-05-17
Publication date: 1992-01-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は、コンピューター用磁気ディスク（以下、「デ
ィスク」と称することがある。）等に用いられる浮上型
磁気ヘッド（以下、「磁気ヘッド」と称することがある
。）に、安定した浮上刃を与える浮上型磁気ヘッド用ス
ライダーに関するものである。

［従来の技術］近年、コンピューターに用いられる磁気ディスクは、高
記録密度化、小型化が一段と進展し、それに伴って、浮
上型磁気ヘッドも小型、軽量化への要求が強くなってき
ている。そして、高密度化したディスクへの記録、ディ
スクからの読み取りの信頼性を高めるために、低浮上で
、且つ、ディスクの半径方向の内外周における浮上量が
一定で安定した浮上特性を有するものが望まれている。

磁気ディスクの回転によって磁気ヘッドが浮上するとき
、磁気ディスクの中心からの半径が大きい外周側は内周
側よりも周速が速い。そのために。

従来のスライダーのようにスライドレールや溝が同じ幅
で、ストレートな形状の磁気ヘッドでは、ディスクの外
周側位置にある時の磁気ヘッドの浮上量は、中心からの
半径が小さい内周側位置にある時の磁気ヘッドの浮上量
より大きくなる。このようなディスクの内外周位置での
磁気ヘッドの浮上量に差があると、小型で高密度記録に
必要なディスクとヘッドの分離長を、外周側でも維持す
ることが難しく、高密度化への障害となる。

すなわち、線記録密度が高密度化された磁気ディスクで
は、高周波信号のための狭ギャップ長が必要であり、従
来のスライダーを用いた磁気ヘッドでは、このような高
密度化されたデータの読み取り、書き込みの信頼性に問
題がでてきている。

しかし、近年、上記課題を解決し低浮上で、安定した浮
上特性を有するものとして、磁気ディスク対向面側のス
ライドレールの幅を流出部側より流入部側を広く、そし
て、スライドレール間の溝の幅を流入部側より流出部側
を広くして、途中に勾配をつけて結ぶというように、ス
トレートなものとは異なる形状（異形状）にしたものが
、特開昭５９−１３２４１６号公報、特公昭６３−５６
６３５号公報等に開示されている。

［発明が解決しようとする課題］上記スライダーは、一体加工により形成しであるので、
特にディスク対向面側の形状が異形状のスライドレール
や溝の加工は、研削砥石による機械加工や、イオンミリ
ング（反応性イオンエツチング）等による加工では、溝
の底面に乱流防止のための平滑度を上げるラップ加工を
施すことが不可能で、面粗さとしては５〜１０Ｓが限界
である。

更に、第７図に示すように溝１ｂからスライドレール１
ａへの立ち上がり面となる溝側面１ｇが溝１ｂの底部に
対し直角ではなく、±２＠程度の勾配がついたり、双方
が交差する角部に半径１０〜２０μｍの円弧状のＲがつ
いたりして、本来の異形状スライドレールを有するスラ
イダーの特徴であるディスクの内外周の位置で、略、一
定した分離長を得る事が難しい。

また、上記一体型のスライダーの磁気ディスク対向面側
の加工は、イオンミリグ法による溝の形成は多くの時間
を要し生産能率が低いという問題点がある。更に、ブラ
スト加工やし・−ザー加工を応用することも考えられる
が、ブラスト加工は加工面が粗くて、チッピングが発生
しやすく、レザー加工はクラックが発生しやすい等、ス
ライダーの製作上でも問題がある。

本発明は、スライドレール形状が異形状のスライダーが
１本来有しているディスクの内外周の位置での浮上が一
定で、且つ、安定した浮上特性、及びヘッド特性を、更
に一層向上させるために優れた寸法精度、表面粗さ、形
状を有する磁気ヘッド用スライダーを提供するものであ
る。また、製作時における問題点を解消し、能率的に生
産できる磁気ヘッド用スライダーを提供するものである
。

［課題を解決するための手段］上記問題点を解決するために、本発明は、コンピュータ
ー用磁気ディスク等に用いられる浮」二型磁気ヘッド用
スライダーにおいて、（ａ）前記スライダーは、磁気ディスク対向面側の形状
を包含する部材と、前記部材を保持する保持部材とが、
鏡面状態の面同志を介して、相互に接着されたスライダ
ーであって、（ｂ）前記部材は、磁気ディスク対向面側に、流入部と
流出部、及び、一対の側辺部と、部材の厚さ方向に貫通
し、且つ、部材の幅方向に沿って、部材の流出部側が開
口した、すくなくともひとつ以上の溝と、部材の流入部へとのびるクロスレールと、前記溝と１対
の側辺部とにより構成され、そのクロスレールへと続く
複数のスライドレールとを有し、（ｃ）そのスライドレールの幅は、流出部側より流入部
側が広く、前記溝の幅は、流入部側より流出部側が広く
、（ｄ）溝からスライドレールへの立上りとなる溝側面は
、保持部材が構成する溝底面とほぼ直角をなし、且つ、
溝底面と溝側面、または、溝底面と接着剤、及び、溝側
面とがなす角部が、溝底面と溝側面とに内接する半径２
μｍの円弧よりも小さいことを特徴とする浮上型磁気ヘ
ッド用スライダーを提供するものであり、更に、本発明は、前記溝からスライドレールへの立ち上
がりとなる溝側面と溝底面とのなす角度が、９０゜±１
．０゜の範囲である浮上型磁気ヘッド用スライダーを、
また、前記保持部材が構成する溝底面の面粗さが、３０
００Å以下の実質的に鏡面状態である浮上型磁気ヘッド
用スライダーを提供するものである。

［作用コ本発明のスライダーは、正圧を発生させる流入部側のス
ライドレールの幅を流出部側よりも広くし、負圧を発生
する溝の幅を流入部側よりも流出部側を広くすることに
より、磁気ディスクの内外周の位置での浮上高さの変動
が少なく、低浮上で、且つ、所定の浮上高さを維持する
良好な浮上特性を得ることができる。

更に、溝側面は溝底面と、略直角に、また、双方が交差
する角部を微小にし、溝底部の面粗さを鏡面状態にする
ことにより、異形上スライダーの有する良好な浮上特性
を一段と向上できる。

尚、溝側面と溝側面とがなす角度を９０±１゜の範囲、
双方が交差する角部を半径２μｍの円弧より小さく、溝
底部の面粗さを３０００Å以下の鏡面状態に限定した理
由は、上記諸元であれば異形上スライダーの有する良好
な浮上特性を、更に一層向上できるからである。

［実施例］第１図に示す浮上型磁気ヘッド用スライダー１を製作す
るに当たっては、第２図（、）に示すように、材質がセ
ラミックス等の非磁性体からなる幅Ｗ　＝　６　ｔｍ、
厚さＴ　＝　１　ｒｍ、長さＬ＝２５＋ｎ＋ｏの板材を
２個準備し、その内の１個を部材ブロックとして、第１
図に示すスライダー１の溝１ｂの平面形状と同一の側面
形状を有する溝２ａを砥石（図示せず）により研削して
、第２図（ａ）における幅Ｗの方向に上方から下方に向
かって形成する。

次に、前記板材２個の内の他の１個を保持部材ブロック
３とし、前記溝入れ加工を施した部材ブロック２と、互
いの対向面（接着面）をそれぞれラップ加工して鏡面仕
上げを施してスパッタ法によりガラスで接着して、第２
図（ｂ）に示すスライダー母材４を形成する。なお、こ
の接合はガラス流入法あるいは拡散接合等材質に応じて
、適当な方法により行なうことができる。

次に、上下方向の幅寸法を規定の寸法（４ｍｍ　）に、
左右方向の厚さ寸法を規定の寸法（０，８ｍｍ）に近い
寸法まで加工し、更に、第２図（ｂ）に示すようにスラ
イダー母材４をスライダー１の幅（３，２ｍｍ）に近い
寸法になるように所定の位置Ｓユ〜Ｓ６の位置で切断し
て規定の各部寸法、形状に近いスライダー１の素材単体
を形成する。

以後、公知の技術によってこの素材単体を、所定の形状
に形成するとともに、ラップ加工等によって表面を鏡面
状態にし、且つ、規定の寸法に仕上げて、第１図に示す
ような浮上型磁気ヘッド用スライダーを完成する。

第１図に示す本実施例の浮上型磁気ヘッド用スライダー
（以下、スライダーという）１は長さＱ＝４．０ｍｍ、
幅ｗ＝３．２ａｗｎ、厚さｔ＝０．８ｍｍであり、磁気
ディスク対向面側に、一対のスライドレール１ａとその
間に一対の溝１ｂを有している。このスライドレール１
ａの流出部１ｃ側の幅ｗ４が０．３５ｍｍ、流入部１ｄ
側の幅Ｗ、が０゜５０　ｍ　ｍで、溝１ｂの流出部ＩＣ
側の幅Ｗ２が１゜１２ｍｍ、流入部ｌｄ側の幅Ｗ１が０
．８５ｍｍで、途中が勾配Ｉｆでつながっている。溝の
深さはｄ＝０．１ｍｍで、且つ、流入部ｌｄ側には１°
以下の浮上角を持つクロスレール１ｅが形成されている
。

尚、このスライダー１には、図示していないが。

２本のうち少なくとも１本のスライドレール１ａの流出
部側にチップ挿入用スリットが設けられる。

次に、Ｍｎ○：２８モル％、ＺｎＯ：１９モル％、残部
実質的にＦｅ２Ｏ，であるＭ　ｎ　−Ｚ　ｎフェライト
の単結晶で一対のコアを作成し、一方のコアにスパッタ
法によりＦｅ−Ａｌ−３ｉ系の金属磁性薄膜を成膜し、
一対のコアをガラスで接合してチップを作成した。

次に、長さ４ｍｍ、幅３．２ｍｍ、厚さ０．８ｍｍで、
溝深さ０．１ｍｍのスライダーのスライドレールの流出
部側のスリットに、前記チップを挿入し、ガラスにより
固定して巻線を施し、磁気ディスク装置に取付けて浮上
の性能試験を行なった。性能試験に用いたディスクは３
．５インチのディスクで、ディスク表面粗さは４００〜
６００人、回転速度は３６００ｐｐｍである。尚、本発
明のスライダーと従来のスライダーとの浮上特性の違い
を把握するために、スライダーの長さ等の基本寸法は前
記とおなしものを用い、スライドレールと溝の形状１寸
法、溝底面と溝側面部の角部、角度の諸元及び、溝底面
の面粗さを変えて評価を行なった。第１表、第２表にそ
の諸元を示す。

第　　１　　表（注）１１ａ、ｌｌｃ、ｌｉｄのスライダーは、接着方
式により、ｌｌｂはイオンミリング法により製作。

（注）寸法は基本寸法で単位はｍｍＷ１〜Ｗ４第１図に示す部位である６第５図は上記第１表、第２表に示す諸元の各スライダー
の浮上特性を表したものである。横軸は第４図に示す磁
気ディスクの使用領域の最外周部を基準となる○にとり
、内周部へ磁気ヘッドが移動した位置での振れ角を表し
、縦軸はその振れ角の位置における流出端部の浮上量の
減衰率を、減衰率＝（最外周部の浮上量一各振れ角位置での浮上量）／最外周部の浮上量で表し
たものである。

第５図からも判るように、ｌｌｃ、ｌｉｄのスライダー
は角部、角度、面粗さ共に、本発明のスライダーに近い
諸元を有しているが、スライダー及び５溝の形状が一定
なために浮上特性は劣る。

また、ｌｌｂのイオンミリングによるスライダーは、異
形状のスライドレール、及び、溝を有しているので、角
部、角度、面粗さが前記ｌｉｃ、１１ｄのスライダーよ
りも劣るがその浮上特性は良好である。

更に、異形状のスライドレールと溝を有し、角部、角度
、面粗さの良好な本発明のスライダーはイオンミリング
による異形上スライダーが有している良好な浮上特性を
更に、−層内上させることが判る。

なお、上記実施例は本発明の一部であり、本発明のスラ
イダーの各部の寸法、ディスク対向面側の形状、寸法等
の諸元は上記実施例に限定されるものではない。

［発明の効果コ本発明の効果は以下の通りである。

（１）本発明のスライダーは、溝からスライドレールへ
の立ち上がり面は、溝の底面とほぼ直角であり、且つ、
角部は２μｍの円弧より小さいので、安定した浮上浮上
特性を有し、また、溝の底面がラップ加工により鏡面に
仕上げられているので、乱流が防止され、これを用いた
磁気ヘッドは、信頼性の高いものとなる。

（２）イオンミリング法等、多くの工程と工数を要する
特殊な加工方法によることなく、従来の研削加工や接合
方法を用いるだけで、ディスク対向面の形状（スライド
レールの形状を含めて）を異形状に形成できるので、浮
上型磁気ヘッド用スライダーを容易に、且つ、高能率に
得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のスライダーの一例を示す図で（ａ）は
平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は流出部側の後面図で
ある。第２図（ａ）〜（ｂ）は各製造工程を示す斜視図
、第３図は第１図（ｃ）のＦ内の拡大図である。第４図
は磁気ヘッドの内外周の振れ角を示す図、第５図は各ス
ライダーの浮上特性を示す図である。第６図（ａ）、（
ｂ）はスライドレール、溝の形状が一定のスライダーの
平面図、第７図はイオンミリング法による異形状のスラ
イドレールの断面図である。１　、、、、、スライダー　　１　ａ　、、、スライド
レールｌｂ、、、溝　　　　　　１ｃ、、、流出部ｌｄ
、、、流入部　　　　１．ｅ、、、クロスレールｉｆ、
、、溝勾配　　　　１ｇ、、、溝壁面２゜６６１０部材
ブロック　２ａ、、、溝３　、、、、、保持部材ブロッ
ク４　、、、、、スライダー母材５　、、、、、磁気ディスクの回転中心６　、、、、、
磁気ヘッドの回転中心７　、、、、、磁気ディスク　８　、、、、、磁気ヘッ
ド９　、、、、、振れ角（θ）１０、、、磁気ディスク使用領域１１ａ、、本発明のスライダ１１ｂ、、イオンミリング法によるスライダー１１ｃ、
、溝幅１．１２ｍｍのスライダーｌｉｄ、、溝幅０．８
５ｍｍのスライダーＬ、Ｗ、Ｔ、、、、、スライダー母
材の長さ、幅および厚さ第図（ａ）第図第図外周からの振れ角（θ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）コンピューター用磁気ディスク等に用いられる浮
上型磁気ヘッド用スライダーにおいて、（ａ）前記スラ
イダーは、磁気ディスク対向面側の形状を包含する部材
と、前記部材を保持する保持部材とが、鏡面状態の面同
志を介して、相互に接着されたスライダーであって、（ｂ）前記部材は、磁気ディスク対向面側に、流入部と
流出部、及び、一対の側辺部と、部材の厚さ方向に貫通し、且つ、部材の幅方向に沿って
、部材の流出部側が開口した、すくなくともひとつ以上
の溝と、部材の流入部へとのびるクロスレールと、前記溝と１対の側辺部とにより構成され、そのクロスレ
ールへと続く複数のスライドレールとを有し、（ｃ）そのスライドレールの幅は流出部側より流入部側
が広く、前記溝の幅は、流入部側より流出部側が広く、（ｄ）溝からスライドレールへの立上りとなる溝側面は
、保持部材が構成する溝底面と略直角をなし、且つ、溝
底面と溝側面、または、溝底面と接着剤、及び、溝側面
とがなす角部が、溝底面と溝側面とに内接する半径２μ
ｍの円弧よりも小さいことを特徴とする浮上型磁気ヘッ
ド用スライダー。
（２）前記溝からスライドレールへの立ち上がりとなる
溝側面と保持部材の底面とのなす角度が、９０゜±１．
０゜の範囲である特許請求の範囲第１項記載の浮上型磁
気ヘッド用スライダー。
（３）前記保持部材が構成する溝底面の面粗さが、３０
００Å以下の実質的に鏡面状態である特許請求の範囲第
１項、または、第２項記載の浮上型磁気ヘッド用スライ
ダー。