JPH03228274A - 磁気ヘツド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コンタクトスタート／ストップ方式の磁気デ
ィスク装置のごとき磁気記録再生装置用の磁気ヘッド及
びその製造方法に係り、特に、磁気ディスクのごとき磁
気記録媒体と磁気ヘッドのスライダとの吸着を防止した
磁気ヘッド及びその製造方法に関する。

〔従来の技術〕

第６図（ａ）　　（ｂ）は、従来のコンタクトスタート
／ストップ方式（以下ｒｃｓｓ方式」という）磁気ディ
スク装置用の磁気ディスクと磁気ヘッドの関係を示して
いる。第６図（ａ）は磁気ディスク２０と磁気ヘッド（
コアスライダ）１が相対運動を行なわない時の状態であ
り、磁気ディスク２０と磁気ヘッド１が接触している。

なお、２２は支持用の板ばね、２３はジンバル支持部で
ある。第６図（ｂ）はディスクとヘッドが高速で（矢示
はディスクの回転方向）相対運動を行なっている状態で
あり、ヘッド１はディスク２０の面より０．２〜０．３
μｍで浮上している。

このような磁気ディスク装置において、高記録密度化を
図るため、低浮上量化（０，２μｍ以下）、及び磁気デ
ィスク記録媒体の高保磁力化すなわちＣｏ系金属を用い
たスパッタ媒体やメツキ媒体等の薄膜化が図られている
。

そしてこのような薄膜媒体とヘッドを装置に搭載すると
、ディスク媒体面とヘッドスライダ面が密着（吸着）さ
れ、ディスクの回転不能や、ヘッドのバネが破損するを
いう重大な問題が生ずることになる。この問題を解決す
る手段として、特開昭５６−１５３５５８号公報には、
第７図に示すように、ヘッド１のスライダ浮上面にクラ
ウン高さ２１を付けることにより、ヘッド１とディスク
２０の媒体面の密着力を防止又は著しく軽減する方法が
示されている。しかし、クラウン高さ２１は製造方法が
難しいため、ばらつきも大きく、よって浮上量制御が非
常に難しい。またクラウン高さ２１を付けることにより
、磁気ギャップ部の加工ダレによる電磁変換特性の劣化
等まだ問題が多く残っているのが実情である。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、浮上量が比較的大きい０．２μｍ以上
のヘッドにおいては、クラウン加工量のばらつきによる
浮上量ばらつきを吸収できて対処可能であった。しかし
、最近の高記録密度による低浮上化に伴い、浮上量が０
．１〜０．１５μｍのように狭くなってきている。この
ため、クラウン加工量の加工ばらつきを更に小さくして
高精度の加工を行なう必要があるが、現状の技術で加工
ばらつきを低減することは難しく、浮上量のばらつきの
低減も厳しいものであり、実際は浮上量ばらつきの改良
は極めて難しく歩留りの大幅な低下をきたしているとい
う問題がある。

従って、本発明の目的は、磁気ディスク媒体と磁気ヘッ
ド間の密着力（吸着力）を低減すると共に、浮上量ばら
つきが少なく、更に、高歩留りで容易に製造することの
できる磁気ヘッド及びその製造方法を提供することにあ
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明の磁気ヘッドは、（従
来のようなりラウンを形成することなく、スライダのレ
ール部浮上面の一部に凹み部を形成したことを特徴とす
る。

凹み部の深さは、極く浅く、０．００５〜０．０３μｍ
の範囲が適当である。凹み部は、格子状ないし千鳥状、
または、スライダの長平方向に並列に連続したストライ
プ状に配列される。

その製造方法では、予め複数個のヘッドスライダが一体
とされた単一ブロックを準備し、この−体の状態のまま
でブロックの各スライダの所定位置に一度に凹み部を形
成し、しかる後にブロックを個々のスライダに分割する
。

〔作用〕

上記構成に基づく作用を説明する。

本発明によれば、スライダの浮上面に凹み部を設けたの
で、スライダ浮上面と磁気媒体（磁気ディスク）との接
触部は浮上面（レール部）のうち） の一部分のみ（凹み部を除いた部分）となるために、粘
着力の低減作用が得られる。また、凹み部の深さは極め
て浅く、浮上面の一部にしか設けられていないため、凹
み部を設けたことの浮上特性への影響はほとんどなく、
浮上特性にばらつきが生ずることなく、安定に浮上する
。特に、凹み部がレール部の流入端面及び流出端面の少
なくとも一部を残して形成される場合、この残された流
入／流出端面が磁気ディスクとの接触対向面となるが、
この対向面（流入／流出端面）の面粗さはごく微細であ
って従来の浮上面を維持しているため、低浮上における
Ｃ８Ｓに対してもヘッド／ディスクが損傷するという問
題が生ずることはない。

〔実施例〕

以下に、本発明の実施例を図面第１図〜第５図により説
明する。

第１図は本発明による磁気ヘッドの双胴型コアスライダ
ｌを示している。コアスライダ１には、磁気ギャップを
有しＲ／Ｗ（リード／ライト）動作を行なうＲ／Ｗ素子
（磁性コア部）２と、デイスフの回転により浮上刃を発
生し適正浮上量に制御する一対のスライダ浮上面（レー
ル部）３とで構成されている。４はスライダ浮上面３の
流入端面、５は同しく流出端面、９は両スライダ浮上面
３．３間に形成された溝、１０は浮上面３の流入端面に
形成されたテーバ部である。６は、本発明の特徴として
浮上面３の一部に形成した凹部である。本実施例の場合
、スライダ１の全長（第１１図で左右の長さ）は３〜４
ｍｍ、両浮上面３の幅はそれぞれ０．３〜０．４　ｍ　
ｍ、溝９の幅は１．８〜２．０ｍｍ、凹部６の長さはほ
ぼ２．４　ｍ　ｍ、流入端面４（テーパ部１０を除く）
及び流出端面（凹部６は形成されていない）の長さはそ
れぞれ０．０５〜０．１ｍｍ、溝９の深さは６０〜１０
０μｍである。凹部６の深さ（凹み量）７は、深い程吸
着防止効果が得られるが、あまり深くし過ぎると浮上安
定性などの点で問題が生ずる。好適な凹み量７の値は、
０．００５〜０．０３μｍである。本発明はスライダ浮
上面３の流入端面４及び流出端面５を正規なラップ面の
まま残すため、第３図に示すように、マスキングテープ
（ポリイミド等）８で、複数個のスライダが横方向に繋
がったままのブロックの両側縁部（流入端面４及び流出
端面５に相当）をマスクし、イオンミーリング等の薄膜
形成技術の加工設備によって０．００５〜０．０３μｍ
の凹部６を形成する。その後、テープ８を除き、線１１
に沿ってブロックを切断し、複数個のヘッドスライダ１
を得る。流入端４、流出端５の正規なラップ面は、適正
浮上量が測定可能な範囲を残し、（正規なラップ面を残
しておかないと、浮上量測定ができない）、あとはスラ
イダ面とディスク面の必要粘着力により凹部６の範囲を
限定すれば良い。凹み量７は浮上特性に影響を与えない
こと及び必要粘着力を考慮して決定すれば良くその値は
前述した０、００５〜０．０３μｍが適正である。

第２図はそのような観点よりスライダ浮上面３に凹み部
６を４個所設けた図を示している。よって凹み部６は必
要な粘着力により複数個を設けることが可能である。

第２図の実施例でも、第１図の実施例と同様に、凹部６
の形成は前述したイオンミーリング等の手法（第３図）
により形成する（もう−本のマスキングテープ８をブロ
ックの中央に貼る。）。この手法によれば、第３図に示
すように多数個のスライダ（図では５個を示す）が一体
となったブロックの状態でマスキングテープ８を貼るの
で製法が簡単であり、かつバッチ処理（−括処理）でミ
ーリング加工を行ない凹部６を一度に形成してから、個
々のコアスライダ１に線１１で切断するので、−括して
多数のスライダーが生産可能である。

第４図は本発明の他の実施例によるヘッドコアスライダ
を示し、第３図のマスキング法と異なり、マスキングテ
ープを用いることなく、その代りに例えばガラスマスク
により多数の凹部６を作成する手法を示している。凹部
の形成は、前述のように多数個のスライダが配置されて
いるブロックの状態で行なわれ、しかる後個々のスライ
ダに分割される。凹部６の配列状態及び個数は必要とさ
れる密着力に応じて決定する。その状態を第４図及び第
５図に示す。第５図（ａ）（ｂ）には、凹部６を格子状
及び千鳥状に配列した場合を示し、凹部と凸部との個数
は必要密着力に応じて適当な比率となるように配分され
る。この方法は、第３図よりもやや製法が複雑となるが
、精度の点で第３図よりも更に有利である。なお、格子
の１ますの辺の大きさは数〜数１０μｍの程度である。

第５図（ｃ）には、凹部６を塵埃たまり防止と兼用する
ため、スライダの長平方向に平行にかつ浮上面３の流入
端から流出端まで連続して配列した場合を示す。すなわ
ち、凹部６はストライプ状に形成される。

このように凹部６が形成されたスライダ１を磁気ヘッド
に構成してテストした結果、スライダとディスク間の密
着力を十分に低減することができ、かつ、凹部に起因す
るヘッド／ディスクの損傷は見られず、更に、凹み量７
が０．００５　μｍ−０，０３μｍの範囲では浮上特性
に影響を与えることは全くない。

〔発明の効果〕

以上詳しく説明したように、本発明によれば、磁気ヘッ
ドのスライダのレール浮上面に凹み部を形成したことに
より、良好な浮上特性を維持し、浮上特性にばらつきを
生じることなく、磁気ディスク媒体の媒体面との接触時
における粘着力を低減するとともに、磁気ヘッド及び磁
気ディスク媒体の損傷を防止することができるという効
果を奏する。また、凹み部の形成も、簡単な製法で多数
のヘッドスライダに対して度に行なえるので、量産性が
高いという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気ヘッドスライダの一実施例の構成
図、第２図は本発明の磁気ヘッドスライダの他の実施例
の構成図、第３図は本発明の製造プロセスを示す図、第
４図は本発明の更に他の実施例の構成図、第５図は第４
図の拡大平面図、第６図及び第７図は従来の磁気ディス
ク装置における磁気ヘッドの状態図である。 １・・・・・・・・・コアスライダ、２・・・・・・・
・・Ｒ／Ｗ素子部（磁性コア部）、３・・・・・・・・
・スライダ浮上面（レール部）、４・・・・・・・・・
流入端面、５・・・・・・・・・流出端面、６・・・・
・・・・・凹み部、７・・・・・・・・・凹み量（深さ
）、８・・・・・・・・・マスキングテープ、９・・・
・・・・・・溝、１０・・・・・・・・・テーバ部、１
１・・・・・・・・・切断線、２０・・・・・・・・・
磁気ディスク、２１・・・・・・・・・クラウン高さ、
２２・・・・・・・・・板ばね、２３・・・・・・・・
・ジンバルばね。 第 コ 図 １１２図 第３図 第４ 図 （Ｃ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気記録媒体の媒体面に対向し、該磁気記録媒体が
   回転することにより浮上する双胴スライダ型磁気ヘッド
   において、スライダのレール部浮上面に凹み部を設けた
   ことを特徴とする磁気ヘッド。 ２、前記凹み部は、深さを０．００５〜０．０３μｍと
   したことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 ３、前記凹み部は、複数個が格子状、千鳥状、またはス
   ライダ長手方向に並列に連続して、配列されたことを特
   徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッド。 ４、複数個の磁気ヘッドスライダを一体とした単一のブ
   ロックを準備し、一体のままの状態で前記凹み部を形成
   し、しかる後、前記ブロックを個々のスライダに分割す
   ることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１記載
   の磁気ヘッドの製造方法。