JPS6366704A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ）産業上の利用分野 本発明は磁気ヘッドの製造方法に関し、より特定的には
へラドチップを磁性板ウェハ又はブロックの接合および
切り出しを経て形成するビデオ用磁気ヘッドの製造方法
に関する。

−）従来の技術 第６図に示すように一定の厚みで両面を鏡面研摩した一
対の磁性板（例えばＭｎ−Ｚｎ）ウェハ（１）（２）に
所定の厚さのギャップスペーサ（例えば３ｉ０２膜）を
蒸着若しくはスパッタ法によって膜付けする。その後、
例えばダイシングソーのような外周刃切削の加工機を用
いてダイヤモンド砥粒とバインダー（ボンド材）よりな
る薄刃によって第１ウエハ（１１にトラック幅規定用の
溝（３）を形成し、第２ウエハ（２）に巻線溝（４）と
ガラス充填溝（５）を加工形成する。しかる後、第１、
第２ウエハ（１バ２）を対接すると共にガラス棒（６）
をガラス充填溝（５）に挿入し、該ガラス棒を溶融して
第１、第２ウエハ（１バ２ｊを結合する。次に、この結
合ウェハをブロック単位に切り出し、第°７図に示す一
点鎖線（７）に従ってスライスすることによって第８図
に示す形のヘッドチップ（８）を得、更に、このヘッド
チップ（８）の先端を第８図５点鎖線（９）に示す形に
Ｒ付は加工する。

（／１　発明が解決しようとする問題点前述した工程で
の問題点として３点が挙げられる。その１点はトラック
幅精度である。

トラック幅寸法は高記録密度化が進む中で年々狭小化さ
れ、そのことにより寸法誤差許容値も±１μｍ或いはサ
ブミクロンという非常に高精度が要求されており、従来
方法では非常に困難である。

第２点は従来技術では補強用ガラス（６）を第８図に示
す如（トラック幅規制溝（３）に均一に且つ完全に充填
することは困難で、時として第９図のα■に示す如く補
強用ガラス（６）が充分に充填されないため歩留り低下
並びにギャップ突き合せ面の強度不足が生じ、結果とし
て摺動ノイズが増加しＳ／Ｎが悪化する。

第３点はトラック幅規定溝加工において所定位置で回転
砥石を回転させ、この砥石にウェハ（１）を作用させな
がら第５図のＸ方向に移動させてトラック幅規定溝（３
）を形成しているが、砥石が第５図のＸ方向に力を受け
ることによる誤差、或いは砥石の剛性不足の為に砥石が
塑性変形、若しくは弾性変形し、溝（３）をミクロンオ
ーダーでＸ方向に直線加工できないことによる誤差であ
る。このうち、砥石剛性による誤差は砥石のボンド材（
ダイヤモンド砥粒を固める結合材）を硬（するという方
法により、ある程度緩和されるが、ボンド材を硬くする
ことの弊害としてトラック幅規定溝のエツジ、つまりト
ラック幅のエツジにチッピング（カケ）を生じ易（なる
。エツジのチッピングはトラック幅精度に直接影響する
ので、チクピングを防ぐことは重要である。このチッピ
ングは溝加工方向Ｘと溝方向が同一の場合、砥石移動の
際のはね上げ等によるものが主たる原因である。

に）問題点を解決するための手段 そこで本発明では、互いに対向接合されるべき一対の磁
性板の少くとも１つの磁性板に該磁性板の表面に対し垂
直に複数の溝入れを行なって溝を波溝の中心部から端部
に至るに従い先細りとなる形状で且つその溝縁が曲線状
になるように形成し、前記溝に補強用ガラスを充填した
後に他方の磁性板を対向接合し、前記溝の中心部と隣接
する溝の中心部との間に作動ギャップが存在するように
スライスしてヘッドチップを形成することによって上述
の問題を解決する。

（ホ）作用 これによれば、砥石移動と溝加工方向を垂直方向２（第
５図）にした加工においてはチッピング発生の割合は非
常に低減される。また、トラック幅規定溝は上述の形状
にすることにより、その体積が小さく、且つガラス溶融
時に溝全体にガラスが浸透しやすくなる。

（へ）実施例 第１図において、Ｍｎ　　Ｚｎｎフッイトよりなる第１
、第２ウエハαυ■に対し、鏡面研磨を施した後に非磁
性のギャップスペーサ（例えばＳｉｏ２膜）を形成し、
更に第１ウニ八αＤには第１ウエハの面αＪに垂直な方
向から回転砥石αのを作用させて第２図の拡大図に示す
如きトラック幅規定溝叩を形成する。その際、溝（至）
の中心部−にまず深く砥石α勾を作用させてから−たん
砥石を引き上げてウェハＱｌｌから離脱し、次いでウェ
ハαＤを少許移動して停め、再び砥石（絢を垂直方向に
作用させる。このとき、前回の中心部（１５りでの深さ
よりも浅く研Ｔα句を作用させる。しかる後、再び砥石
圓の引き上げ→ウェハαυの移動→砥石−のより浅い作
用、という操作を順次繰り返して１つのトラック幅規定
溝■を形成する。これによって形成されるトラック幅規
定溝０９は中心部から端部（１５２Ｘ１５ｂ）に至るに
従い浅く且つ狭く（先端先細り）なる。そして、その縁
は非平行な曲線となる。第１図の第２ウエハ凹には巻線
溝αｅを加工形成する以外に第１ウエハ■と同様のトラ
ック幅規定溝（ＩＳ）を形状してもよい。このように加
工された第１、第２ウエハαυ■は対接され巻線溝α６
）に挿入したガラス棒の溶融によって結合される。その
ウェハ結合体をスライスして第３図に示すヘッドチップ
側を多数個得る。このヘッドチップ匝は＠３図の一点鎖
線叩に示す如き形に先端がＲ付は研摩される。上述の実
施例において、ガラスを充填する場合に従来と同様に予
め第２ウエハ■にガラス棒挿入用の溝を形成し、この溝
にガラス棒を挿入してガラスを溶融充填させるという方
法を採ってもよいが、このような特別なガラス棒挿入用
を設けずに第４図の如く巻線溝α■を代用してガラス棒
を挿入してもバックギャップ部側のガラス充填スペース
が小さいので、ガラスαのは同図ｆｂｌの如くトラック
幅規定溝霞に充分に充填される。

（ト）発明の効果 本発明によれば、トラック幅規定溝は垂直方向に加工し
ているので、従来方法ｊニルべて体積も小さく且つガラ
ス溶融時にガラスが浸透し易い形状となっているため、
トラック幅規定溝にガラスが十分に充填されるという効
果がある。また砥石剛性による誤差を除くべ（砥石のボ
ンド材を硬くしてもトラック幅規定溝のエツジにチッピ
ングが生じないという長所を有する等、本発明は極めて
有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を示す図であり、第２図はその一部
の拡大図である。第３因は本発明方法により得られるヘ
ッドチップを示す図である。第４図および８５図は前記
本発明方法を説ＲＡ′ｒる図である。第６図、第７図、
第８図および第９図は従来例を示す図である。 αＤ・・・第１ウエハ（磁性板）、■・・・Ｍ２ウェハ
（磁性板）、叩・・・トラック幅規定溝、Ｃｌω・・・
ヘッドチップ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）互いに対向接合されるべき一対の磁性板の少くと
   も１つの磁性板に該磁性板の表面に対し垂直に複数の溝
   入れを行なつて溝を該溝の中心部から端部に至るに従い
   先細りとなる形状で且つその溝縁が曲線状になるように
   形成し、前記溝に補強用ガラスを充填した後に他方の磁
   性板を対向接合し、前記溝の中心部と隣接する溝の中心
   部との間に作動ギャップが存在するようにスライスして
   ヘッドチップを形成することを特徴とする磁気ヘッドの
   製造方法。