JPS62262213A - 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツド - Google Patents
垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPS62262213A JPS62262213A JP10449986A JP10449986A JPS62262213A JP S62262213 A JPS62262213 A JP S62262213A JP 10449986 A JP10449986 A JP 10449986A JP 10449986 A JP10449986 A JP 10449986A JP S62262213 A JPS62262213 A JP S62262213A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「技術分野」
本発明は、垂直電気記録用溝＋１！２ 磁気ヘッドに関
し、特に記録は薄１！２乍磁極型ヘットて、再生は磁気
抵抗効果素子で行なうタイプの薄ｆｆ２磁気ヘッドに関
する。
し、特に記録は薄１！２乍磁極型ヘットて、再生は磁気
抵抗効果素子で行なうタイプの薄ｆｆ２磁気ヘッドに関
する。
「従来技術およびその間層点」
高密度記録ができる垂直磁気記録方式は、記録再生を行
なう主磁極の他に、記録媒体を挟んで、コイルを巻回す
る補助磁極を要する補助磁極型と、補助磁極を用いるこ
となく、主磁極にコイルを巻回する単磁極型（主磁極励
磁型）とに分けることができる。
なう主磁極の他に、記録媒体を挟んで、コイルを巻回す
る補助磁極を要する補助磁極型と、補助磁極を用いるこ
となく、主磁極にコイルを巻回する単磁極型（主磁極励
磁型）とに分けることができる。
ところでこの単磁極型を含め、垂直磁気記録ヘッドの最
も重要な欠点は、再生出力の低さであり、特にＮ膜単磁
極型ヘッドではこの欠点が顕著である。この欠点を解消
するため従来、記録はコイルを巻回した単磁極（主ｍＶ
ｉ＞で行なうが、再生にはこの主磁極を利用せず、磁気
抵抗効果素子（マグネチック・レジステイブ素子、以下
ＭＲ素子という）を用いる複合型の薄膜磁気ヘットが提
案されている。つまり再生時には、主磁極のコイルの電
流変化を取り出すのではなく、Ｍｒｌ素子による抵抗変
化を取り出して、再生するのである。
も重要な欠点は、再生出力の低さであり、特にＮ膜単磁
極型ヘッドではこの欠点が顕著である。この欠点を解消
するため従来、記録はコイルを巻回した単磁極（主ｍＶ
ｉ＞で行なうが、再生にはこの主磁極を利用せず、磁気
抵抗効果素子（マグネチック・レジステイブ素子、以下
ＭＲ素子という）を用いる複合型の薄膜磁気ヘットが提
案されている。つまり再生時には、主磁極のコイルの電
流変化を取り出すのではなく、Ｍｒｌ素子による抵抗変
化を取り出して、再生するのである。
ところがこのＭＲ素子を有する薄ｌ！２Ｍｉ気ヘッドは
従来、記録再生用の主磁極と、再生用のＭＲ素子とを別
個に形成するコンビネーションタイプであって、主磁極
とＭＲ素子との位置調整等が非常に難しく、製造工程が
複雑になるという問題があった。
従来、記録再生用の主磁極と、再生用のＭＲ素子とを別
個に形成するコンビネーションタイプであって、主磁極
とＭＲ素子との位置調整等が非常に難しく、製造工程が
複雑になるという問題があった。
第５図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ） 、 （ｄ）は
その従来例である。これらの各図において、１１がＭＲ
素子であり、主磁極１２とは別個に設けられている。１
３は補助磁極であって、主磁極１２と補助磁極１３の間
に、主磁極１２の後方に中心を持つ記録用コイル１４が
形成されている。ＭＲ素子１１は、主磁極１２と磁性Ｉ
Ｉ！２１５の間（（ａ）の場合）、主磁極１２の磁性基
板１６の間（（ｂ） 、 （ｃ）の場合）、あるいは主
ｉｆｉ極！２と補助磁極１３の間（（ｄ）の場合）に挟
まれてそれぞれシールドされている。１７は非磁性基板
、１８は絶縁膜、１９は保護膜である。磁性基板１６ま
たは非磁性基板１７上の要素は、すべて周知の薄膜形成
技術によって形成される。主磁極１２は磁気記録媒体２
ｏに直交し、記録用コイル１４に記録電流を流すことに
より、磁気記録媒体２０に磁気記録が行なわれる。再生
は、磁気記録媒体２０の表面磁気記録をＭＲ素子１１の
抵抗値の変化として取り出すことで行なわれる。
その従来例である。これらの各図において、１１がＭＲ
素子であり、主磁極１２とは別個に設けられている。１
３は補助磁極であって、主磁極１２と補助磁極１３の間
に、主磁極１２の後方に中心を持つ記録用コイル１４が
形成されている。ＭＲ素子１１は、主磁極１２と磁性Ｉ
Ｉ！２１５の間（（ａ）の場合）、主磁極１２の磁性基
板１６の間（（ｂ） 、 （ｃ）の場合）、あるいは主
ｉｆｉ極！２と補助磁極１３の間（（ｄ）の場合）に挟
まれてそれぞれシールドされている。１７は非磁性基板
、１８は絶縁膜、１９は保護膜である。磁性基板１６ま
たは非磁性基板１７上の要素は、すべて周知の薄膜形成
技術によって形成される。主磁極１２は磁気記録媒体２
ｏに直交し、記録用コイル１４に記録電流を流すことに
より、磁気記録媒体２０に磁気記録が行なわれる。再生
は、磁気記録媒体２０の表面磁気記録をＭＲ素子１１の
抵抗値の変化として取り出すことで行なわれる。
これらの従来品は、その構造上明らかなよっに、ＭＲ素
子１１を主磁極１２とは別個に設けているため製造工程
が複雑であり、しかも記録と再生のトラック位置調整が
難しいという欠点があった。またＭＲ素子１１による再
生分解能は、ＭＲＪ子１１の両側に位置するシールド層
の間隔１に依存するが、従来構造ではこれを小さくする
ことが困難である。
子１１を主磁極１２とは別個に設けているため製造工程
が複雑であり、しかも記録と再生のトラック位置調整が
難しいという欠点があった。またＭＲ素子１１による再
生分解能は、ＭＲＪ子１１の両側に位置するシールド層
の間隔１に依存するが、従来構造ではこれを小さくする
ことが困難である。
「発明の目的」
本発明は、以上の従来の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド
の問題点を解消し、ＭＲ素子を主！ｆ！極との位置を構
造上に合致させることができ、しかも製造工程の複雑化
を招くことのない薄膜磁気ヘッドを得ることを目的とす
る。
の問題点を解消し、ＭＲ素子を主！ｆ！極との位置を構
造上に合致させることができ、しかも製造工程の複雑化
を招くことのない薄膜磁気ヘッドを得ることを目的とす
る。
「発明の概要」
本発明は、薄膜単磁極型ヘッドを有する垂直磁気記録用
薄膜磁気ヘッドにおいては最近、高周波数帯域に対応す
るため、主磁極用を多層膜磁性体から形成することが提
案されていることに着目し、この多層膜磁性体のうちの
一層をＭＲ素子として利用することが可能であるという
発見に基づいてなされたものである。すなわち本発明は
、薄Ｊｌｉ単磁極型ヘッドの主磁極を多層膜磁性体から
形成し、この多層ｐｆ２＠性体中の一層を磁気抵抗効果
素子として用いることを特徴とするものである。磁気抵
抗効果素子として用いる膜は、多層ｒＡＭｉ性体中の中
間層とし、再生時には、この磁気抵抗効果素子として用
いる磁性体層の表裏の磁性体層が、シールド機能を果す
ようにすることが望ましい。
薄膜磁気ヘッドにおいては最近、高周波数帯域に対応す
るため、主磁極用を多層膜磁性体から形成することが提
案されていることに着目し、この多層膜磁性体のうちの
一層をＭＲ素子として利用することが可能であるという
発見に基づいてなされたものである。すなわち本発明は
、薄Ｊｌｉ単磁極型ヘッドの主磁極を多層膜磁性体から
形成し、この多層ｐｆ２＠性体中の一層を磁気抵抗効果
素子として用いることを特徴とするものである。磁気抵
抗効果素子として用いる膜は、多層ｒＡＭｉ性体中の中
間層とし、再生時には、この磁気抵抗効果素子として用
いる磁性体層の表裏の磁性体層が、シールド機能を果す
ようにすることが望ましい。
「発明の実施例」
以下図示実施例について本発明を説明する。第１図ない
し第４図は本発明の実施例を示すもので、非磁性基板２
１上には、主磁極２２）補助磁極１３、記録用コイル１
４、絶縁膜１８および保護膜１９が形成されている。こ
れらの７．４末的配置は、第５図の従来例と同じである
。また補助磁極１３かないタイプにも本発明は勿論適用
できる。
し第４図は本発明の実施例を示すもので、非磁性基板２
１上には、主磁極２２）補助磁極１３、記録用コイル１
４、絶縁膜１８および保護膜１９が形成されている。こ
れらの７．４末的配置は、第５図の従来例と同じである
。また補助磁極１３かないタイプにも本発明は勿論適用
できる。
記録用コイル１４は渦巻状あるいは螺旋状をしていて、
その両端か記録用コイル端子２３．２４に導通している
。
その両端か記録用コイル端子２３．２４に導通している
。
本発明は例えば以上の基本構造を持つ垂直磁気記録用薄
膜磁気ヘッドにおいて、主磁極２２を、第１図に示すよ
うに、多層膜磁性体（この実施例では磁性膜２２ａない
し磁性膜２２ｅの５層）とし、その中間磁性Ｈ２２ｃを
再生時の＆ｌＲ素子として利用する点を要旨とするもの
である。２２ｆは、各磁性膜の間に介在させた絶縁層を
示す。
膜磁気ヘッドにおいて、主磁極２２を、第１図に示すよ
うに、多層膜磁性体（この実施例では磁性膜２２ａない
し磁性膜２２ｅの５層）とし、その中間磁性Ｈ２２ｃを
再生時の＆ｌＲ素子として利用する点を要旨とするもの
である。２２ｆは、各磁性膜の間に介在させた絶縁層を
示す。
中間磁性１１Ｑ ２２ ｃの両端には、ＭＲリード端子
２５．２６が接続されている。主磁極２２の多層膜磁性
体構造は、第２図の上部にも及ぼすことが望ましく実際
的である。多層１摸磁性体によると、高周波帯域におけ
る渦電流損を少なくし、記録時の磁壁の移動を抑え、記
録磁界を強くして、高周波帯域に対応できる。しかし、
第１図に示す部分だけを多層膜磁性体から形成しても、
本発明の基本構成が得られる。
２５．２６が接続されている。主磁極２２の多層膜磁性
体構造は、第２図の上部にも及ぼすことが望ましく実際
的である。多層１摸磁性体によると、高周波帯域におけ
る渦電流損を少なくし、記録時の磁壁の移動を抑え、記
録磁界を強くして、高周波帯域に対応できる。しかし、
第１図に示す部分だけを多層膜磁性体から形成しても、
本発明の基本構成が得られる。
上記構成の本薄膜磁気ヘットは、記録時には、記録用コ
イル端子２３．２４を介して記３Ｊ用コイル１４に流す
記録電流により主磁極２２の全体を使って記録磁界を発
生させる。すなわち再生時にはＭＲ素子として利用する
中間磁性ＩＱ ２２ ｃも記録時には記録用の主磁極の
一部として機能する。これに対し再生時には、磁気記録
媒体２０の磁気変化を中間磁性１１Ｑ ２２ ｃの抵抗
値の変化として、ＭＲリード喘子２５．２６を介して取
り出す。この再生時には、中間磁性膜２２ｃの両側の磁
性膜２２ｂ、２２ｄが磁気シールドの役割を果す。
イル端子２３．２４を介して記３Ｊ用コイル１４に流す
記録電流により主磁極２２の全体を使って記録磁界を発
生させる。すなわち再生時にはＭＲ素子として利用する
中間磁性ＩＱ ２２ ｃも記録時には記録用の主磁極の
一部として機能する。これに対し再生時には、磁気記録
媒体２０の磁気変化を中間磁性１１Ｑ ２２ ｃの抵抗
値の変化として、ＭＲリード喘子２５．２６を介して取
り出す。この再生時には、中間磁性膜２２ｃの両側の磁
性膜２２ｂ、２２ｄが磁気シールドの役割を果す。
前述のように再生分解能は、中間磁性１１！２２２ｃの
両側の磁性１１Ｑ ２２ ｂ、２２ｄ間の距離２によっ
て定まる。この距離λは、多層膜磁性体構造によって十
分小さくすることが可能であり、したがって本発明によ
ると、中間磁性膜２２ｃ（ＭＲ素子）の再生分解能の高
い薄１１ｉ磁気ヘッドが得られる。また主磁極２２全体
と中間磁性膜２２ｃとは位置的にずれることがないので
、トラック位置ずれ、あるいはその位置調整の心配はな
い。
両側の磁性１１Ｑ ２２ ｂ、２２ｄ間の距離２によっ
て定まる。この距離λは、多層膜磁性体構造によって十
分小さくすることが可能であり、したがって本発明によ
ると、中間磁性膜２２ｃ（ＭＲ素子）の再生分解能の高
い薄１１ｉ磁気ヘッドが得られる。また主磁極２２全体
と中間磁性膜２２ｃとは位置的にずれることがないので
、トラック位置ずれ、あるいはその位置調整の心配はな
い。
他方主磁極２２全体の厚ざＤは、中間磁性膜２２ｃによ
る再生分解能には関係がないので、より層数を増やし、
十分な強さの記録磁界を得ることが可能である。
る再生分解能には関係がないので、より層数を増やし、
十分な強さの記録磁界を得ることが可能である。
なお主磁極２２を構成する多層膜磁性体は、磁気抵抗効
果を示す材料であればよい。具体的には、Ｎｉ−Ｆｅ系
、（：ｏ−Ｎｉ系合金等を使用することができる。また
絶縁層２２ｆとしては、５ｉｎ２． Ａｌ２Ｏ３等の絶
縁薄膜材料を用いることができる。
果を示す材料であればよい。具体的には、Ｎｉ−Ｆｅ系
、（：ｏ−Ｎｉ系合金等を使用することができる。また
絶縁層２２ｆとしては、５ｉｎ２． Ａｌ２Ｏ３等の絶
縁薄膜材料を用いることができる。
「発明の効果」
以上のように本発明は、薄１１ｑ単磁極型ヘッドの主磁
極を多層膜磁性体から形成し、この多層膜磁性体中の一
層を磁気抵抗効果素子として用いるようにしたので、記
録時の主磁極とＭＲ素子との間の位置ずれは構造上生じ
ない。よ）てトラック位置調整は不要である。また多層
Ｉｌｑ磁性体の中間層をＭＲ素子とすれば、再生時には
微小距離で対向するＭＲ素子の両側の磁性膜がシールド
の役割を果すため、再生分解能を高めることかできる。
極を多層膜磁性体から形成し、この多層膜磁性体中の一
層を磁気抵抗効果素子として用いるようにしたので、記
録時の主磁極とＭＲ素子との間の位置ずれは構造上生じ
ない。よ）てトラック位置調整は不要である。また多層
Ｉｌｑ磁性体の中間層をＭＲ素子とすれば、再生時には
微小距離で対向するＭＲ素子の両側の磁性膜がシールド
の役割を果すため、再生分解能を高めることかできる。
よって高密度記録を実現でき、信頼性を高めることがで
きる。また記録時には、ＭＲ素子として利用する層を含
めた多層膜磁性体の全体が主磁極として働くため、記録
特性に影響を与えることがなく、多層膜の特性により高
周波帯域に対応することができ、記録の而からも高密度
記録、高速データ転送が実現できる。
きる。また記録時には、ＭＲ素子として利用する層を含
めた多層膜磁性体の全体が主磁極として働くため、記録
特性に影響を与えることがなく、多層膜の特性により高
周波帯域に対応することができ、記録の而からも高密度
記録、高速データ転送が実現できる。
第１図は本発明の垂直磁気記録用薄膜磁極ヘッドの実施
例を示す要部の断面図で、第２図の工部拡大図、第２図
は全体の断面図、第３図は動要部の正面図、′ｆＪ４図
は第３図の■部拡大図、第５図（ａ） 、 （ｂ） 、
（ｃ） 、 （ｄ）はそれぞれ従来のこの種ＡＵ Ｉ
ＩＭ 磁気ヘッドの例を示す断面図である。 １３・・・補助磁極、１４・・・記録用コイル、１８・
・・絶縁膜、１９・・・保護膜、２０・・・磁気記録媒
体、２１・・・非磁性基板、２２・・・主電極、２２ａ
〜２２ｅ・・・磁性膜、２２ｃ・・・中間磁性膜（Ｍｌ
ｌ素了）、２２ｆ・・・絶縁層、２３．２４・・・記録
用コイル端子、２５．２６・・・Ｍｌリート端子。 ｗＳ１因 第２図
例を示す要部の断面図で、第２図の工部拡大図、第２図
は全体の断面図、第３図は動要部の正面図、′ｆＪ４図
は第３図の■部拡大図、第５図（ａ） 、 （ｂ） 、
（ｃ） 、 （ｄ）はそれぞれ従来のこの種ＡＵ Ｉ
ＩＭ 磁気ヘッドの例を示す断面図である。 １３・・・補助磁極、１４・・・記録用コイル、１８・
・・絶縁膜、１９・・・保護膜、２０・・・磁気記録媒
体、２１・・・非磁性基板、２２・・・主電極、２２ａ
〜２２ｅ・・・磁性膜、２２ｃ・・・中間磁性膜（Ｍｌ
ｌ素了）、２２ｆ・・・絶縁層、２３．２４・・・記録
用コイル端子、２５．２６・・・Ｍｌリート端子。 ｗＳ１因 第２図
Claims (2)
- （１）記録用の薄膜単磁極型ヘッドと、再生用の磁気抵
抗効果素子とを備えた垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドに
おいて、上記薄膜単磁極型ヘッドの主磁極を多層膜磁性
体から形成し、この多層膜磁性体中の一層を磁気抵抗効
果素子として用いることを特徴とする垂直磁気記録用薄
膜磁気ヘッド。 - （２）特許請求の範囲第１項において、磁気抵抗効果素
子として用いる一層は、多層膜磁性体中の中間層で、再
生時には、この磁気抵抗効果素子として用いる磁性体層
の表裏の磁性体層がシールドの役割を果す垂直磁気記録
用薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61104499A JPH06101100B2 (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61104499A JPH06101100B2 (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62262213A true JPS62262213A (ja) | 1987-11-14 |
| JPH06101100B2 JPH06101100B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=14382207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61104499A Expired - Lifetime JPH06101100B2 (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101100B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7070698B2 (en) | 2004-06-30 | 2006-07-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Methods of fabricating magnetic write heads with side and trailing shield structures |
| US7120988B2 (en) | 2003-09-26 | 2006-10-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for forming a write head having air bearing surface (ABS) |
| US7159302B2 (en) | 2004-03-31 | 2007-01-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for manufacturing a perpendicular write head |
| US7251878B2 (en) | 2004-06-30 | 2007-08-07 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for defining leading edge taper of a write pole tip |
| US7343667B2 (en) | 2004-09-30 | 2008-03-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Methods of making a side-by-side read/write head with a self-aligned trailing shield structure |
| US7377024B2 (en) | 2005-03-25 | 2008-05-27 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method of making a magnetic write head with trailing shield throat pad |
| US7588884B2 (en) | 2004-05-28 | 2009-09-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for enhancing wafer alignment marks |
| US7969691B2 (en) | 2007-01-17 | 2011-06-28 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head and magnetic disk system having a read sensor and a sensing current |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059517A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-05 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録用記録再生複合ヘッド |
-
1986
- 1986-05-07 JP JP61104499A patent/JPH06101100B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059517A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-05 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録用記録再生複合ヘッド |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7120988B2 (en) | 2003-09-26 | 2006-10-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for forming a write head having air bearing surface (ABS) |
| US7159302B2 (en) | 2004-03-31 | 2007-01-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for manufacturing a perpendicular write head |
| US7588884B2 (en) | 2004-05-28 | 2009-09-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for enhancing wafer alignment marks |
| US7070698B2 (en) | 2004-06-30 | 2006-07-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Methods of fabricating magnetic write heads with side and trailing shield structures |
| US7251878B2 (en) | 2004-06-30 | 2007-08-07 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for defining leading edge taper of a write pole tip |
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| US7377024B2 (en) | 2005-03-25 | 2008-05-27 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method of making a magnetic write head with trailing shield throat pad |
| US7969691B2 (en) | 2007-01-17 | 2011-06-28 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head and magnetic disk system having a read sensor and a sensing current |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06101100B2 (ja) | 1994-12-12 |
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