JPH06101100B2 - 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツド - Google Patents
垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPH06101100B2 JPH06101100B2 JP61104499A JP10449986A JPH06101100B2 JP H06101100 B2 JPH06101100 B2 JP H06101100B2 JP 61104499 A JP61104499 A JP 61104499A JP 10449986 A JP10449986 A JP 10449986A JP H06101100 B2 JPH06101100 B2 JP H06101100B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording
- thin film
- film
- magnetic pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Description
【発明の詳細な説明】 「技術分野」 本発明は、垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドに関し、特に
記録は薄膜単磁極型ヘッドで、再生は磁気抵抗効果素子
で行なうタイプの薄膜磁気ヘッドに関する。
記録は薄膜単磁極型ヘッドで、再生は磁気抵抗効果素子
で行なうタイプの薄膜磁気ヘッドに関する。
「従来技術およびその問題点」 高密度記録ができる垂直磁気記録方式は、記録再生を行
なう主磁極の他に、記録媒体を挟んで、コイルを巻回す
る補助磁極を要する補助磁極型と、補助磁極を用いるこ
となく、主磁極にコイルを巻回する単磁極型（主磁極励
磁型）とに分けることできる。
なう主磁極の他に、記録媒体を挟んで、コイルを巻回す
る補助磁極を要する補助磁極型と、補助磁極を用いるこ
となく、主磁極にコイルを巻回する単磁極型（主磁極励
磁型）とに分けることできる。
ところでこの単磁極型を含め、垂直磁気記録ヘッドの最
も重要な欠点は、再生出力の低さであり、特に薄膜単磁
極型ヘッドではこの欠点が顕著である。この欠点を解消
するため従来、記録はコイルを巻回した単磁極（主磁
極）で行なうが、再生にはこの主磁極を利用せず、磁気
抵抗効果素子（マグネチック・レジスティブ素子、以下
MR素子という）を用いる複合型の薄膜磁気ヘッドが提案
されている。つまり再生時には、主磁極のコイルの電流
変化を取り出すのではなく、MR素子による抵抗変化を取
り出して、再生するのである。
も重要な欠点は、再生出力の低さであり、特に薄膜単磁
極型ヘッドではこの欠点が顕著である。この欠点を解消
するため従来、記録はコイルを巻回した単磁極（主磁
極）で行なうが、再生にはこの主磁極を利用せず、磁気
抵抗効果素子（マグネチック・レジスティブ素子、以下
MR素子という）を用いる複合型の薄膜磁気ヘッドが提案
されている。つまり再生時には、主磁極のコイルの電流
変化を取り出すのではなく、MR素子による抵抗変化を取
り出して、再生するのである。
ところがこのMR素子を有する薄膜磁気ヘッドは従来、記
録再生用の主磁極と、再生用のMR素子とを別個に形成す
るコンビネーションタイプであって、主磁極とMR素子と
の位置調整等が非常に難しく、製造工程が複雑になると
いう問題があった。第５図（ａ），（ｂ），（ｃ），
（ｄ）はその従来例である。これらの各図において、11
はMR素子であり、主磁極12とは別個に設けられている。
13は補助磁極であって、主磁極12と補助磁極13の間に、
主磁極12の後方に中心を持つ記録用コイル14が形成され
ている。MR素子11は、主磁極12と磁性膜15の間（（ａ）
の場合）、主磁極12の磁性基板16の間（（ｂ），（ｃ）
の場合）、あるいは主磁極12と補助磁極13の間（（ｄ）
の場合）に挟まれてそれぞれシールドされている。17は
非磁性基板、18は絶縁膜、19は保護膜である。磁性基板
16または非磁性基板17上の要素は、すべて周知の薄膜形
成技術によって形成される。主磁極12は磁気記録媒体20
に直交し、記録用コイル14に記録電流を流すことによ
り、磁気記録媒体20に磁気記録が行なわれる。再生は、
磁気記録媒体20の表面磁気記録をMR素子11の抵抗値の変
化として取り出すことで行なわれる。
録再生用の主磁極と、再生用のMR素子とを別個に形成す
るコンビネーションタイプであって、主磁極とMR素子と
の位置調整等が非常に難しく、製造工程が複雑になると
いう問題があった。第５図（ａ），（ｂ），（ｃ），
（ｄ）はその従来例である。これらの各図において、11
はMR素子であり、主磁極12とは別個に設けられている。
13は補助磁極であって、主磁極12と補助磁極13の間に、
主磁極12の後方に中心を持つ記録用コイル14が形成され
ている。MR素子11は、主磁極12と磁性膜15の間（（ａ）
の場合）、主磁極12の磁性基板16の間（（ｂ），（ｃ）
の場合）、あるいは主磁極12と補助磁極13の間（（ｄ）
の場合）に挟まれてそれぞれシールドされている。17は
非磁性基板、18は絶縁膜、19は保護膜である。磁性基板
16または非磁性基板17上の要素は、すべて周知の薄膜形
成技術によって形成される。主磁極12は磁気記録媒体20
に直交し、記録用コイル14に記録電流を流すことによ
り、磁気記録媒体20に磁気記録が行なわれる。再生は、
磁気記録媒体20の表面磁気記録をMR素子11の抵抗値の変
化として取り出すことで行なわれる。
これらの従来品は、その構造上明らかなように、MR素子
11を主磁極12とは別個に設けているため製造工程が複雑
であり、しかも記録と再生のトラック位置調整が難しい
という欠点があった。またMR素子11による再生分解能
は、MR素子11の両側に位置するシールド層の間隔ｌに依
存するが、従来構造ではこれを小さくすることが困難で
ある。
11を主磁極12とは別個に設けているため製造工程が複雑
であり、しかも記録と再生のトラック位置調整が難しい
という欠点があった。またMR素子11による再生分解能
は、MR素子11の両側に位置するシールド層の間隔ｌに依
存するが、従来構造ではこれを小さくすることが困難で
ある。
「発明の目的」 本発明は、以上の従来の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッド
の問題点を解消し、MR素子と主磁極との位置精度を容易
に高めることができ、再生時のMR素子のシールドを容易
に行うことができ、しかも製造工程の複雑化を招くこと
のない薄膜磁気ヘッドを得ることを目的とする。
の問題点を解消し、MR素子と主磁極との位置精度を容易
に高めることができ、再生時のMR素子のシールドを容易
に行うことができ、しかも製造工程の複雑化を招くこと
のない薄膜磁気ヘッドを得ることを目的とする。
「発明の概要」 本発明は、薄膜単磁極型ヘッドを有する垂直磁気記録用
薄膜磁気ヘッドにおいては最近、高周波数帯域に対応す
るため、主磁極を多層膜磁性体から形成することが提案
されていることに着目し、この多層膜磁性体のうちの一
層、特に中間層をMR素子として利用することに着目して
なされたものである。
薄膜磁気ヘッドにおいては最近、高周波数帯域に対応す
るため、主磁極を多層膜磁性体から形成することが提案
されていることに着目し、この多層膜磁性体のうちの一
層、特に中間層をMR素子として利用することに着目して
なされたものである。
すなわち本発明は、薄膜単磁極型ヘッドの主磁極を少な
くとも三層の磁性体層を有する多層膜磁性体から形成
し、この多層膜磁性体中の中間層を磁気抵抗効果素子と
して用い、この中間層の表裏の磁性体層により再生時の
シールド機能を得ることを特徴としている。
くとも三層の磁性体層を有する多層膜磁性体から形成
し、この多層膜磁性体中の中間層を磁気抵抗効果素子と
して用い、この中間層の表裏の磁性体層により再生時の
シールド機能を得ることを特徴としている。
この構成によると、主磁極とMR素子との位置ずれは生じ
ることがなく、かつ再生時には、この磁気抵抗効果素子
として用いる磁性体層の表裏の磁性体層が、シールド機
能を果すため、より良好な再生特性が得られる。
ることがなく、かつ再生時には、この磁気抵抗効果素子
として用いる磁性体層の表裏の磁性体層が、シールド機
能を果すため、より良好な再生特性が得られる。
「発明の実施例」 以下図示実施例について本発明を説明する。第１図ない
し第４図は本発明の実施例を示すもので、非磁性基板21
上には、主磁極22、補助磁極13、記録用コイル14、絶縁
膜18および保護膜19が形成されている。これらの基本的
配置は、第５図の従来例と同じである。また補助磁極13
がないタイプにも本発明は勿論適用できる。記録用コイ
ル14は渦巻状あるいは螺旋状をしていて、その両端が記
録用コイル端子23、24に導通している。
し第４図は本発明の実施例を示すもので、非磁性基板21
上には、主磁極22、補助磁極13、記録用コイル14、絶縁
膜18および保護膜19が形成されている。これらの基本的
配置は、第５図の従来例と同じである。また補助磁極13
がないタイプにも本発明は勿論適用できる。記録用コイ
ル14は渦巻状あるいは螺旋状をしていて、その両端が記
録用コイル端子23、24に導通している。
本発明は例えば以上の基本構造を持つ垂直磁気記録用薄
膜磁気ヘッドにおいて、主磁極22を、第１図に示すよう
に、多層膜磁性体（この実施例では磁性膜22aないし磁
性膜22eの５層）とし、その中間磁性膜22cを再生時のMR
素子として利用する点を要旨とするものである。22f
は、各磁性膜の間に介在させた絶縁層を示す。
膜磁気ヘッドにおいて、主磁極22を、第１図に示すよう
に、多層膜磁性体（この実施例では磁性膜22aないし磁
性膜22eの５層）とし、その中間磁性膜22cを再生時のMR
素子として利用する点を要旨とするものである。22f
は、各磁性膜の間に介在させた絶縁層を示す。
中間磁性膜22cの両端には、MRリード端子25、26が接続
されている。主磁極22の多層膜磁性体構造は、第２図の
上部にも及ぼすことが望ましく実際的である。多層膜磁
性体によると、高周波帯域における渦電流損を少なく
し、記録時の磁壁の移動を抑え、記録磁界を強くして、
高周波帯域に対応できる。しかし、第１図に示す部分だ
けを多層膜磁性体から形成しても、本発明の基本構成が
得られる。
されている。主磁極22の多層膜磁性体構造は、第２図の
上部にも及ぼすことが望ましく実際的である。多層膜磁
性体によると、高周波帯域における渦電流損を少なく
し、記録時の磁壁の移動を抑え、記録磁界を強くして、
高周波帯域に対応できる。しかし、第１図に示す部分だ
けを多層膜磁性体から形成しても、本発明の基本構成が
得られる。
上記構成の本薄膜磁気ヘッドは、記録時には、記録用コ
イル端子23、24を介して記録用コイル14に流す記録電流
により主磁極22の全体を使って記録磁界を発生させる。
すなわち再生時にはMR素子として利用する中間磁性膜22
cも記録時には記録用の主磁極の一部として機能する。
これに対し再生時には、磁気記録媒体20の磁気変化を中
間磁性膜22cの抵抗値の変化として、MRリード端子25、2
6を介して取り出す。この再生時には、中間磁性膜22cの
両側の磁性膜22b、22dが磁気シールドの役割を果す。
イル端子23、24を介して記録用コイル14に流す記録電流
により主磁極22の全体を使って記録磁界を発生させる。
すなわち再生時にはMR素子として利用する中間磁性膜22
cも記録時には記録用の主磁極の一部として機能する。
これに対し再生時には、磁気記録媒体20の磁気変化を中
間磁性膜22cの抵抗値の変化として、MRリード端子25、2
6を介して取り出す。この再生時には、中間磁性膜22cの
両側の磁性膜22b、22dが磁気シールドの役割を果す。
前述のように再生分解能は、中間磁性膜22cの両側の磁
性膜22b、22d間の距離ｌによって定まる。この距離ｌ
は、多層膜磁性体構造によって十分小さくすることが可
能であり、したがって本発明によると、中間磁性膜22c
（MR素子）の再生分解能の高い薄膜磁気ヘッドが得られ
る。また主磁極22全体と中間磁性膜22cとは位置的にず
れることがないので、トラック位置ずれ、あるいはその
位置調整の心配はない。
性膜22b、22d間の距離ｌによって定まる。この距離ｌ
は、多層膜磁性体構造によって十分小さくすることが可
能であり、したがって本発明によると、中間磁性膜22c
（MR素子）の再生分解能の高い薄膜磁気ヘッドが得られ
る。また主磁極22全体と中間磁性膜22cとは位置的にず
れることがないので、トラック位置ずれ、あるいはその
位置調整の心配はない。
他方主磁極22全体の厚さＤは、中間磁性膜22cによる再
生分解能には関係がないので、より層数を増やし、十分
な強さの記録磁界を得ることが可能である。
生分解能には関係がないので、より層数を増やし、十分
な強さの記録磁界を得ることが可能である。
なお主磁極22を構成する多層膜磁性体は、磁気抵抗効果
を示す材料であればよい。具体的には、Ni−Fe系、Co−
Ni系合金等を使用するとができる。また絶縁層22fとし
ては、SiO2,Al2O3等の絶縁薄膜材料を用いることができ
る。
を示す材料であればよい。具体的には、Ni−Fe系、Co−
Ni系合金等を使用するとができる。また絶縁層22fとし
ては、SiO2,Al2O3等の絶縁薄膜材料を用いることができ
る。
「発明の効果」 以上のように本発明は、薄膜単磁極型ヘッドの主磁極を
多層膜磁性体から形成し、この多層膜磁性体中の一層を
磁気抵抗効果素子として用いるようにしたので、記録時
の主磁極とMR素子との間の位置ずれは構造上生じない。
よってトラック位置調整は不要である。また多層膜磁性
体の中間層をMR素子としたので、再生時には微小距離で
対向するMR素子の両側の磁性膜がシールドの役割を果す
ため、再生分解能を高めることができる。よって高密度
記録を実現でき、信頼性を高めることができる。また記
録時には、MR素子として利用する層を含めた多層膜磁性
体の全体が主磁極として働くため、記録特性に影響を与
えることがなく、多層膜の特性により高周波帯域に対応
することができ、記録の面からも高密度記録、高速デー
タ転送が実現できる。
多層膜磁性体から形成し、この多層膜磁性体中の一層を
磁気抵抗効果素子として用いるようにしたので、記録時
の主磁極とMR素子との間の位置ずれは構造上生じない。
よってトラック位置調整は不要である。また多層膜磁性
体の中間層をMR素子としたので、再生時には微小距離で
対向するMR素子の両側の磁性膜がシールドの役割を果す
ため、再生分解能を高めることができる。よって高密度
記録を実現でき、信頼性を高めることができる。また記
録時には、MR素子として利用する層を含めた多層膜磁性
体の全体が主磁極として働くため、記録特性に影響を与
えることがなく、多層膜の特性により高周波帯域に対応
することができ、記録の面からも高密度記録、高速デー
タ転送が実現できる。
第１図は本発明の垂直磁気記録用薄膜磁極ヘッドの実施
例を示す要部の断面図で、第２図のＩ部拡大図、第２図
は全体の断面図、第３図は動要部の正面図、第４図は第
３図のIV部拡大図、第５図（ａ），（ｂ），（ｃ），
（ｄ）はそれぞれ従来のこの種薄膜磁気ヘッドの例を示
す断面図である。 13…補助磁極、14…記録用コイル、18…絶縁膜、19…保
護膜、20…磁気記録媒体、21…非磁性基板、22…主磁
極、22a〜22e…磁性膜、22c…中間磁性膜（MR素子）、2
2f…絶縁層、23、24…記録用コイル端子、25、26…MRリ
ード端子。
例を示す要部の断面図で、第２図のＩ部拡大図、第２図
は全体の断面図、第３図は動要部の正面図、第４図は第
３図のIV部拡大図、第５図（ａ），（ｂ），（ｃ），
（ｄ）はそれぞれ従来のこの種薄膜磁気ヘッドの例を示
す断面図である。 13…補助磁極、14…記録用コイル、18…絶縁膜、19…保
護膜、20…磁気記録媒体、21…非磁性基板、22…主磁
極、22a〜22e…磁性膜、22c…中間磁性膜（MR素子）、2
2f…絶縁層、23、24…記録用コイル端子、25、26…MRリ
ード端子。
Claims (1)
- 【請求項１】記録用の薄膜単磁極型ヘッドと、再生用の
磁気抵抗効果素子とを備えた垂直磁気記録用薄膜磁気ヘ
ッドにおいて、 上記薄膜単磁極型ヘッドの主磁極を、少なくとも三層の
磁性体層を有する多層膜磁性体から形成し、 この多層膜磁性体中の中間層を磁気抵抗効果素子として
用い、この中間層の表裏の磁性体層により再生時のシー
ルド機能を得ることを特徴とする垂直磁気記録用薄膜磁
気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61104499A JPH06101100B2 (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61104499A JPH06101100B2 (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62262213A JPS62262213A (ja) | 1987-11-14 |
| JPH06101100B2 true JPH06101100B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=14382207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61104499A Expired - Lifetime JPH06101100B2 (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 垂直磁気記録用薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101100B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7120988B2 (en) | 2003-09-26 | 2006-10-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for forming a write head having air bearing surface (ABS) |
| US7159302B2 (en) | 2004-03-31 | 2007-01-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for manufacturing a perpendicular write head |
| US7588884B2 (en) | 2004-05-28 | 2009-09-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for enhancing wafer alignment marks |
| US7251878B2 (en) | 2004-06-30 | 2007-08-07 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for defining leading edge taper of a write pole tip |
| US7070698B2 (en) | 2004-06-30 | 2006-07-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Methods of fabricating magnetic write heads with side and trailing shield structures |
| US7343667B2 (en) | 2004-09-30 | 2008-03-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Methods of making a side-by-side read/write head with a self-aligned trailing shield structure |
| US7377024B2 (en) | 2005-03-25 | 2008-05-27 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method of making a magnetic write head with trailing shield throat pad |
| US7969691B2 (en) | 2007-01-17 | 2011-06-28 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head and magnetic disk system having a read sensor and a sensing current |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059517A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-05 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録用記録再生複合ヘッド |
-
1986
- 1986-05-07 JP JP61104499A patent/JPH06101100B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62262213A (ja) | 1987-11-14 |
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