JPS62261915A - 寸法測定装置 - Google Patents

寸法測定装置

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JPS62261915A
JPS62261915A JP62109615A JP10961587A JPS62261915A JP S62261915 A JPS62261915 A JP S62261915A JP 62109615 A JP62109615 A JP 62109615A JP 10961587 A JP10961587 A JP 10961587A JP S62261915 A JPS62261915 A JP S62261915A
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    • GPHYSICS
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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、一つの平面を基準にして、この平面と直角を
なす測定軸に沿って、この平面に対して固定されてある
部品を測定することを目的とし、かつ以下のものを備え
た独立直線寸法測定装置用検知装置に関する。
一前記の平面上を移動できる測定装置の、測定軸方向を
向いた真直ぐな案内路に沿って変位するように取り付け
られたスライダ、 −このスライダの二つの固定支持物の間でキャリジを静
止位置に保持する2個のバネの拮抗力に対して、スライ
ダ上を前記と同じ方向に、並進的に変位可能なキャリジ
、 −スライダ上のキャリジの変位と3次元的に連結され、
かつ2個のバネのうち片方のバネの反発力に対するキャ
リジの変位によって被測定部品の要素を所定の検知力の
もとで測定する測定探針付センサ、 −スライダに対するキャリジの相対的な変位を検知して
、その変位方向と大きさならびに検知力の変化を示す信
号を送る検知器。
−この検知器に接続され、かつ被測定部品の軸または孔
の正反対の2点を検知する場合(こ、センサの復帰点を
検知し測定する所定の過程を、検知器からの信号の相対
的振幅の変イしくこ応じて制御し、かつその変化を表示
する。X6ネルをも含む電子回路。
〔従来の技術〕
このタイプの公知の検知装置は、測定台力く形成する測
定面に関連する測定装置に使用され、その案内路は、測
定台上の移動を容易にするためのエヤークッション付支
持装置に一体化された、平らな支持面を有する基台に、
取り付けられてG)る。
測定装置の案内路に沿った検知装置の垂直言回の変位は
、急速前進の場合はクランクを備えたきざみ付きホイー
ルを動かして行われ、微調整の場合はきざみ付きノブで
行われる。検知装置のセンサーはキャリッジに固定され
、検知器の信号変化を知らせるパネルは、検流計で構成
され、検流計の針が区分し目盛を付けたスケールの上を
動し)で、これらの変化が量的に可視化されている。こ
のパネルは、その他に、パイロットランプも有し、この
ランプによって、部品の検知要素の寸法が得られたこと
が確認でき、同時にその点灯によって、この寸法を得る
ために選ばれた検知力に達したか又はこれを越えたかが
示される。
測定台上に取り付けられ固定された一つの部品の軸また
は孔の直径を測定する過程に適用する場合、その直径の
正反対の2点の寸法を得るためには、その2点の測定垂
直面における正確な位置を、軸または孔の曲面上であら
かじめ求めておく必要がある。この予備探査を、たとえ
ば孔の直径の低点に対して行うには、先ず測定柱をエヤ
ークッションによって、測定台上を移動させ、次にきざ
み付きホイールによってスライドを素早く下げて、セン
サーの探針を肉眼で、問題の低点附近の孔の円筒面に対
して接触させる。そして、検流計の目盛付スケール上の
針の位置を肉眼で監視しながら、センサによって部品上
に充分な検知力を加える。
次に、オペレータは、案内路とその基台を測定台上で横
方向に動かし、検流計の針の動きをチェックしながら、
孔の直径の低点を求める。この検流計の針は、低点を探
針が通過すると同時に、孔の円筒面の低部上でのセンサ
の復帰に対応する復帰運動を開始するようになっている
。この時、目盛と区分を設けたスケール上での針の復帰
点の位置によって検知力がなお充分かどうかが示され、
必要であれば、オペレータは微調整ノブで調整する。最
後に、一旦、孔の低点の位置がセンサの復帰点を制御し
て決められたら、測定台上に固定した装置と部品は、測
定のための接触を解除するまで動かしてはならない。こ
の解除を行うには、微調整ノブをざらに動かして検知力
を所定の選択値まで大きくすればよい。所定値に到達し
たことは、パイロットランプで確認できる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
信号パネルの制御に基いて行われ、かつ検知装置のスラ
イダ上でのキャリジの変位を検知する検知器に接続され
た電子回路によって知らされるようになっているこの寸
法測定法は、簡単で信頼性がある。この測定法を用いれ
ば、センサの復帰点の位置、および測定軸方向における
スライダに対するセンサの相対位置を決める値を迅速か
つ簡単に検査できる。
この発明の目的は、軸または孔の直径両端の2点の測定
において、前記のタイプの検知装置を備えた独立測定装
置の性能を増大することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的のために、この発明の検知装置においては、キ
ャリジに取り付けられ、その上で並進運動で測定面と、
かつスライダに対するキャリジの変位方向に直角を成す
方向に変位する支持物に、センサを固定し、また支持物
にキャリジ上でのその変位と固定を制御する装置を具備
せしめた。
〔作用〕
センサの復帰点を求めるこの方法を用いると、オペレー
タは、その復帰点が一旦通過されかつ信号パネルの指示
によって検知力を調整できたら、あとは、信号パネルの
指示に基いて、キャリジ上でのセンサの支持物の変位を
制御する装置を動し、支持物を前記の求められた復帰点
の位置に固定するだけでよい。もちろん、その時案内路
の基台や被測定部品は、測定台上に固定したままにして
おく。
キャリジに対してセンナは横方向に補足的に動くことが
できるが(この運動は、キャリジの測定軸方向の変位に
対して直角をなす方向に向いている)、これは、測定軸
に沿って行う測定の精度に影響するものではない。また
、検知器に対しても影響しない。このことは、案内路や
その基台による影響がないのと全く同じである。
復帰点を求め制御する操作をより容易にするために、こ
の本発明では、以下のような構成を採用した。
一キャリジに取り付けられた支持物が、並進運動で、測
定面と、スライダに対するキャリジの変位方向と直角を
成す方向に、変位することができること。
−この支持物にはキャリジ上での自らの変位と固定を制
御する装置を設けること。
−前記センサを、この支持物上に固定すること。
−検知器から送られる信号の変化を表示する前記パネル
が、形状、方向および/または色によって識別される4
個の幾何学的記号を備えていること。
一検知器に接続された電子回路によって、それらの記号
の照明が制御されること。
−最初の2個の記号の照明が、測定軸方向におけるスラ
イダ上でのキャリジの変位方向を表示すること。
一第3の記号は、キャリジが変位して、静止位置に対す
る二つの変位方向のいずれの方向においても、所定の領
域に到着していることを表示すること。
−この領域の大きさは、復帰点を求めるために選んだ検
知力の値の範囲内に含まれること。
−第4の記号は、前記キャリジが変位して、その二つの
変位方向のいずれの方向においても、測定接触解除の所
定位置−この位置は前記領域の外にあり、かつ解除のた
めに選択された検知力に対応する−に来たことを表示す
るものであること。
さらに下記に説明するように、変位を制御しキャリジの
サポートを固定するための装置は、様々の方法で、構成
可能であり、それぞれ独自の効果と利点を持っている。
〔実施例〕
第1図に示す測定装置1は、測定台2に垂直な一つの測
定軸Zを有する型の独立直線寸法測定柱であり、この測
定台2には孔4と軸5を持つ被測定部品3が取り付けら
れている。
この測定柱は、測定軸Zの方向に向く直線状の案内路7
を設けた垂直枠6を有し、この枠は、案内路7と垂直な
平らな支持面と2つの側部室9とを持った基台8に取り
付けられている。この側部室内には、測定のために被測
定部品3に近づく予備測定において、測定台2上の測定
柱の移動を容易にするためのエヤークッション支持装置
が一体に設けられている。
この発明の検知装置10は案内路7に取り付けられてい
る。
第2図、第3図および第4図に示すこの検知装置は、第
1図においてのみ示されているハウジング12内に納め
られ、案内路7に沿って変位できるように取り付けられ
たスライダ11を有している。このスライダ11は、横
になったU字状の空洞部から成り、その2本の水平アー
ム13の間にはキャリジ14が装架され、このキャリジ
は、座標軸Zの垂直方向に、2本のアーム13に取り付
けられた2つの平行な円筒柱15に沿って、変位可能で
ある。
このキャリジ14は、その両側に対向して取り付けられ
、2本のアーム13に支えられている2個の圧縮ばね1
6の反禿力によって、スライダの2本のアーム13間で
、静止位置に保持されている。これら2個のばねのつり
合い位置は、ここでは、アーム13の穴に嵌合し、止め
ねじ18によって選定位置にロックできる可動支持物1
7によって成る程度まで調整可能である。
このつりあい装置には、2個のばねの間に存在する質量
の重性を補うために、釣合おもり(図示せず)を付加す
ることができるが、これは静止点での振動を避けるため
である。しかしこのような釣合おもりは、このためにな
くてはならないものではない。
このようにしてスライダ11に取り付けられたキャリジ
14は、平行六面体の空洞を有し、その中に、支持物1
9が取り付けられている。この支持物は、垂直測定面に
おいて、かつスライダに対するキャリジの移動方向と垂
直な方向X(第1図)、すなわち、実質上測定軸Zに垂
直な方向に、並進移動が可能である。
この目的のために、支持物19は、キャリジ14の両側
壁21に取り付けられた2つの水平円筒案内路20に沿
って、滑るように取り付けられている。この支持物19
は、案内路20に沿った、移動と固定を制御する装置を
有している。この装置は、ここでは2方向に回転するス
テッピングモータ22より成り、とのモータによって前
記支持物に螺合するねじ23が回される。また、このモ
ータはキャリジ14の側壁21に対して固定されている
支持物19の前部自由壁は、水平延伸アーム24を有し
、このアームには球状の測定探針27を持つ取りはずし
可能なセンサ26が、止めねじ25で固定されている。
スライダ11の後部、センサ26の反対側には、スライ
ダ11に対するキャリジ14の相対移動を検知する検知
器が設けられ、この検知器は、その移動の方向と大きさ
とを表わす信号を送ることができ、ここでは抵抗ピック
アップ28から構成されている。このピックアップ28
のワイパ29は、アーム31を介してキャリジ14に固
定され、トラックを有するピックアップの本体は、スラ
イダ11に固定されている。この検知器から送られる信
号は、さらに、センサの探針と、2個のばね16のうち
一方のばねの圧縮効果とによって被測定部品に加えられ
る検知力の、測定中の変化を表わすものでもある。
測定軸Z方向に、測定柱の垂直の案内路7に沿ってスラ
イダの移動を検知することについては、乙の発明とは直
接関係はないが、このような測定柱を用いた測定法を理
解しやすくするために、1つの例を示した。
この検知を確実に行うには、検知装置のスライダ11を
案内路7に沿ったこのスライダの変位に感応する部材を
有する直線形検知装置に連結させる。この部材は、在来
型のオプトエレクトロニク増分装置で構成するが、この
装置は、案内路7に平行にかつその内部に固定された目
盛付物差し32とオプトエレクトロニクピックアップ3
3とよりなっている。このピックアップは、この装置の
感知部材を構成するものであって、前記のスライダ11
に固定されている。この検知装置のスライダ゛11の、
測定柱の案内路7に沿った変位は、急速前進の場合は、
操作ホイール34(第1図)によって行われ、微調整の
場合は、ホイールのノブ35を徐々に動かして行われる
。これらの操作は、ホイール34によって作動する、エ
ンドレスベルト型の伝動装置(図示されていない)を介
して行われる。
前記の測定柱は、その他、枠6に固定した制御コンソー
ル36を有している。このコンソールは、検知装置の検
知器28.33に接続された電子回路を備えている。こ
の制御コンソールは、被測定部材3の軸5や孔4の正反
対の2点を検知する際、検知器28よりくる信号の相対
振幅の変化の関数として、センサの復帰点の検知と測定
の、所定の方法を制御するものである。
この電子回路は、その一実施例を第6図の機能図に示し
であるが、検知装置の抵抗ピックアップ2日に接続され
、このピックアップから発する信号のための増幅器38
を含み、増幅器のアナログ出力は、一方において接続4
0によって直接に、他方において復帰検知器41を介し
て、A/Dコンバータ39に接続される。コンバータ3
9はプロセッサ42ζこ接続され、このプロセッサは選
ばれた測定方法に応じてプログラムされ、かつコンバー
タ39から入る信号の処理より生じるデジタルタームて
計算機43から情報を受は取る。
この第1の電子制御分岐回路には、ピックアップ2日か
ら入る信号の変化の検知において、これらの信号がその
振幅の最小値または最大値を通過することを示す信号を
送る復帰検知器41が設けである。
一方においてモータ22、そして他方において信号パネ
ル37が、ラッチ44.45を介してプロセッサ42に
接続されている。
また、この図には、センサ26の測定探針27と、測定
軸Zと直角を成す2方向Xにおいて測定探針27の変位
を制御するモータ22との間の機械的接続、そして、こ
のモータが固定されたキャリジ14と、測定探針が孔4
の円筒面を探査中に測定軸2方向に押圧されている抵抗
ピックアップのワイパとの間の機械的接続を、点線によ
って示しである。
この電子回路は、パネル37の信号要素とステップモー
タ22との両方に給電を行っている。
モータ22については、電子回路は、抵抗ピックアップ
2日からの信号の変化に応じて、ボックス13上でのキ
ャリジ14の変位を案内する回路を構成するようにプロ
グラムされている。ために、上記の信号の相対振幅が、
軸5または孔4の直径両端の対向する2点の寸法を測定
する方法に従って最大値もしくは最小値を通り、かつこ
れらの値が探針の復帰点を示すような位置に、上記サポ
ートは運ばれそして固定される。また前記の値は、復帰
検知器41によって検知されるものである。
この発明に特定的であるこの電子回路に加えて、信号増
幅器46とハイローカウンタ47を介して、オプトエレ
クトロニク増分ピックアップ33とプロセッサ42の間
の接続が細線で示されている。
この回路はセンサの触針と、抵抗ピックアップ28によ
って与えられるオプトエレクトロニクピックアップとの
間の位置の違の計算において、被測定部品の要素の値Z
の積分による計算のために必要なデータを、計算機43
に提供する。
信号パネル37には4つの幾何学的記号48゜49.5
0.51が付けられており、これらは、その形状、方向
および色彩によって区別され、その照明は、プロセッサ
42で制御されて、それぞれについて検知力の変化に応
じた、測定プロセスの特定の局面を示している。また、
この検知力は、キャリジ14が静止位置の両側で変位す
る2方向において、ピックアップ28から入る信号の振
幅の変化に基づいている。
これらの記号のうち、反対方向を指す2つの矢印形の記
号48と49は、同じ色彩を持ち、そして別の色彩で矩
形の第3記号5oの上下にそれぞれ設けられている。こ
の第3の記号50の下側には、ポーリングのピンを横に
倒したような形の、また別の色彩の第4の記号があり、
センサの測定探針を表わしている。
最初の2つの矢印形の記号48.49の照明は、測定座
標Zの方向におけるキャリジ14のスライダ11上での
変位方向を示す。
矩形の第3の記号5oの照明は、キャリジが変位して、
静止位置1こ対する二つの変位方向のいずれの方向にお
いても、所定の領域シこ到着していδことを示すもので
ある。この領域の大きさは、測定接触を行なわずに復帰
点を求めるために、選択され用いられる検知力の値の範
囲の大きさに対応する。この探査頭載の幅は、第5図に
おいて、寸法とによって表わしである。このりは、測定
軸Z方向において、AO−AIおよびAO−A2という
測定探針の二つの点を隔てるものであり、Z軸に直角を
なすX方向においては、孔4の円筒面の低部を探査する
Il弁屯情g62 、!、閏の丁象金士のt (IL 
x +ス月沁・156測定探針を表わす第4の記号51
の照明は、キャリジが、静止位置に対する二つの変位方
向のいずれの方向においても、測定接触を解除する所定
の位置にきたことを示すものである。この位置は、前記
の検知力の値の範囲内において得られる検知力よりも大
きい検知力に対応するものである。
測定しようとする孔または軸の低部または上部点附近に
、センサの探針が与える検知力を調整する測定プロセス
の第一段階において、オペレータの注意をさらにうなが
すために、最初の2つの記号48.49は、キャリジの
位置が復帰点を求める領域の外にある場合は点滅によっ
て照明され、検知力が足りないか過剰であるかを示す。
この点滅の頻度は検知力のエラーの減少に比例する。こ
れらはすべてプロセッサー42のプログラミングによっ
て可能になる。
このようにして、普通に用いられる検流計のダイヤルの
目盛とは異なったコンセプトを用いたので、この信号パ
ネルは読み間違の危険をなくし、目盛上の針の動きを注
意深く見守る必要を省いてくれる。はっきりと識別でき
る4つの記号の照明効果によって、オペレータは、記号
によって示される現象の解釈について迷いがなくなり、
従ってこれを容易に制御することができる。
勿論、このことは、この発明の目的を達成するために、
目盛のあるダイヤルの使用を除外することを意味してい
ない。
上述した本発明の実施例は、センサの復帰点を求める最
後の段階を自動化するという利点を、この探査において
、キャリジ上の探針支持物だけを動かせばよいという利
点に加えるものてあ8゜実際、オペレータは検知力を調
整し、前記検知力が十分であることを確認するために復
帰点を通過した後は、例えば装置の制御コンソール上の
押しボタンを押して、前記復帰点の自動探査サイクルを
始動させ、かつ、センサが求められた点で静止している
ことを矩形記号50の点灯と矢印記号48゜49の消灯
によって知らせる信号パネル37をチェックするだけで
よい。だから、オペレータは、微調整ノブ35もしくは
操作ホイール34を操作して、測定開始値に達するまで
検知力を増大させさえすればよい。検知力が開始値に達
したことは、第4記号51の点灯によって知らされる。
ここで注意しなければならないことは、オペレータが測
定柱を測定台の上でセンサの探針27の復帰点AOに正
確に固定するという望ましからざる例外の場合を別とす
ると、この型の各測定工程の終了時には支持物19が最
早案内路20に沿ったその始動位置にはないということ
である。
それ故に、新たな測定工程を始める前には、次の自動探
査のためのコースが一方向または他の方向に制限されな
いように、支持物19を最初の位置、例えば第3図およ
び第4図で示すように、丁度真中に戻しておく必要があ
る。
最初の位置に戻すにはいろいろな方法があるが、特に、
始動位置から復帰点の検知位置までの、支持物19の変
位の記憶値をモータ22のザーボ回路において復元する
ことによって行ってもよい。
この復元は、例えば、この変位の一方向だけに関するス
テップモータのステップ数(第5図の寸法X)、あるい
は抵抗ピックアップ2日のトラック上でのワイパー29
の変位速度に基づいている。
図面には他の手段も示されている。それはホール効果ピ
ックアップ52から成り、そのピックアップの磁石は、
キャリジ14上で調整可能な位置に取り付けられた支持
物53に固定され、その感知要素54は支持物19に固
定されている。この磁石と感知要素は互に対向して設け
られている。
測定工程の終りにおいて、モータ22への通電が、この
ピックアップによって制御され、支持物19をその始動
位置−キャリジ14上での磁石の位置決めによって予め
調整されている位置に戻すわけである。
支持物19の変位または静止を制御する装置のヴアリエ
ーションでは(これは第7図に図式的に示している)、
モータ22を制御するのは電子回路ではなく、左右2つ
の制御ボタン56と57を持つ押しボタン装置55であ
る。この二つの制御ボタンをそれぞれ操作することによ
って、選定方向へ作動時間と比例した前進ステップが実
行され、これらのボタンを放すことによって停止する。
この簡単で経済的なヴアリエーションにおいては、オペ
レータ自身が押しボタン装置を作動させ、パネル37の
信号を見て、復帰点を捜さなければならない。この同じ
装置では、新たな測定工程を始める前に、オペレータは
、前記のホール効果ピックアップのような補助装置の援
けを昔りずに、肉眼で、支持物19をキャリジ14上の
その始動位置ζこ戻すことができ、また戻さねばならな
い。
もう一つのヴアリエーションにおいては、これは図示さ
れていないが容易に着想でき、より経済的で、はるかに
簡単であるが、ねじ23の駆動モータ22をオペレータ
が作動させるクランクに置き換える。実際、キャリジの
変位と静止を制御するシステムであれば、手動であれ動
力駆動であれ(たとえばギヤラック駆動)、この発明の
範囲を逸脱することなく、また探針の復帰点を求める最
後の段階において測定柱が測定台上で固定しているとい
う大切な効果を失うことなく、ここでは利用することが
できる。
〔効果〕
この発明はエヤークッション支持装置を備えていない、
高さ測定柱にも有利に利用することができる。
案内路7に沿った探針装置の変位のためのピックアップ
が、前記のオプトロエレクトロニク増分ピックアップ以
外の型のものであって、スライダ11以外の場所(こ取
り付けられているような高さ測定柱にも、本発明を利用
することができる。上記ピックアップは、厳密に言って
本発明の範囲内に入るものではない。
最後に、この発明は、例示した高さ測定柱でその基準面
が傾斜したもののほか、直線寸法測定のためのあらゆる
独立装置にも、明らかに利用し得るものである。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、一つの平面を基準面として、この平面に直角
な測定軸に沿って、この平面に対して固定しである部品
の測定を目的とする直線寸法測定装置用の検知装置に関
する。この測定装置は、以下のイ)〜ホ)を具備してい
る。 イ)、スライダ、このスライダは、測定装置の直線状の
案内路に沿って変位可能にとりつけられており、また前
記の測定軸の方向に向けられている。 測定装置は、前記平面の上を移動可能である。 口)、キャリジ、二つのバネにより、スライダの2本の
固定アームの間で静止位置に保持されているこのキャリ
ジは、これらのバネの拮抗力に対抗して、スライダ上を
測定方向に並進運動で変位可能である。 ハ)、測定探針付センサ、このセンサは、スライダ上を
変位するキャリジと3次元的に結ばれており、片方のバ
ネの反力に対抗してキャリジが変位することによって、
被測定部品の1要素を、所定の検知力のもので検知する
ものである。 二)、検知器、この検知器は、スライダに対するキャリ
ジの相対的な変位を検知し、その変位の方向と大きさお
よび検知力の変化を表示する信号を送るものである。 ホ)、電子回路。検知器に接続されたこの電子回路は被
測定部品の軸や孔の直径上の両端点を検知しようとする
時に、検知器の信号の相対的な大きさの変化に応じて、
寸法採取と復帰点検知の所定の工程を制御するものであ
り、信号の変化を表示する信号パネルを有する。 〔従来の技術〕 このタイプの公知の検知装置が使用されている測定装置
は、測定台が形成する測定平面を基準面とし、その案内
路は平らな支持面を有する基台上に設置されている。こ
の基台内部には、エアークッシテン支持装置が一体化さ
れており、そのため測定台上の移動が容易になっている
。測定装置の案内路に沿って、検知装置のスライダを垂
直に変位させる手段は二つあって、急速に動かす場合は
、クランクを備えたきざみ付のホイールを作動させ、微
調整を行なう場合は、キザミ付ノブを操作する。 検知装置のセンサはキャリジに固定されている。 検知器の信号の変化を表示する信号パネルは、検流計で
構成され、検流計の針が、区分され目盛の付いたスケー
ル上を動いて、信号の変化が知らされる。この信号パネ
ルには、また、パイロントランプが備えられており、こ
のランプによって、被測定部品の一要素が検知されその
寸法が採取されたことを確認できるだけでなく、同時に
、寸法採取に必要な所定の検知力に達したかもしくは越
えたかを知ることができる。 測定台の上に固定した部品の軸や孔の直径を測定する方
法を用いて、直径の両端の対向点間の寸法を採取するに
は、軸あるいは孔の曲面上にあるこれらの点の、測定垂
直面における正確な位置をあらかじめ探査しておく必要
がある。たとえば、孔の直径の低点についてこの探査を
実行するには、まずエアークッションで測定柱を測定台
上で移動させる、つぎに、きざみ付ホイールを操作して
スライダを素早く下げ、センサの探針を孔の円筒面上の
当の低点の近傍に、肉眼で見当をつけて、接触させる。 つづいて、検流計の針を注視しながら、微調整ノブを動
かして、部品がセンサから受ける検知力を正しく調節す
る。この後、オペレータは、案内路と基台を測定台上で
横に動かして、検流計の針をチェックしながら、孔の直
径の低点を探査する。センサの探針がその低点を通過す
るやいなや、検流計の針は、孔の円筒面の低部で探針が
復帰するのに対応して復帰する。この時、検流計の針の
、目盛上での位置によって、検知力が充分であるかどう
かを確かめ、充分でなければ微調整ノブにより、さらに
調整する。孔の低点の位置が、センサの復帰点を調整す
るこの調整手段により、一旦確定したら、寸法採取を開
始するまで、測定台の上で測定装置と被測定部品を固定
した状態におき、絶対に動かしてはならない0寸法を採
取するには、微調整ノブをさらに動かして、検知力を所
定の選択値まで増大させる。パイロットランプの点灯に
より、その値に達したことが示される。 〔発明が解決しようとする問題点〕 信号パネルの指示に基づいて制御されるこのような寸法
採取法は、簡単でかつ信頼性がある。なぜなら、信号パ
ネルに情報を与える電子回路が、スライダ上でのキャリ
ジの変位を検知する検知装置とつながっているからであ
る。この寸法採取法は、センサの復帰点の位置と、セン
サの測定軸方向でのスライダに対する相対位置とを決定
する値の、容易かつ迅速な検証を可能にしている。 本発明の目的は、前述したタイプの検知装置を備えた独
立装置の性能を、軸あるいは孔の直径両端の対向点間の
寸法採取に関して、高めようとするものである。 C問題点を解決するための手段〕 この目的を達成するために、本発明による検知装置は、
次のような構成を特徴とする。キャリジ上に取付けられ
た支持体が、測定面において、スライダに対してキャリ
ジが変位する方向と直角を成す方向に、並進運動で変位
可能であって、この支持体にセンサを固定したこと、お
よびキャリジ上での支持体の変位と固定を制御するため
に、支持体に制御装置を備えしめたこと。 〔作用〕 センサの復帰点を探査するこの方法を用いた場合、オペ
レータは、ひとたびセンサの探針が復帰点を通過し、場
合によっては、信号パネルの表示にしたがって検知力を
修正したあとは、センサの支持体の変位を制御する制御
装置を、信号パネルの表示をたよりに作動させて、その
支持体を探査点に固定するだけでよい。その時には、熱
論、測定台上で案内路の基台や被測定部品を動かしては
ならない。 センサは、キャリジに対して横方向に付加的な移動性を
有しているが、これは、測定軸方向におけるキャリジの
変位方向と直交する方向への運動であるから、測定軸に
沿って行なう測定の精度に何ら影響を及ぼすものではな
(、また案内路やその基台と同じく、測定を行なう際に
検知器に影響を与えることはない。 復帰点の探査と制御を一層容易にするために、本発明で
は、下記のような構成を採用した。 A)、キャリジに取付けた支持体が、測定面上で、スラ
イダに対するキャリジの変位方向と直角を成す方向に並
進運動し、この支持体に測定探針を固定する。 B)、支持体に制御装置を設け、これによりキャリジ上
での支持体の変位と固定を制御する。 C)、検知器から送られてくる信号の変化を表示する信
号パネルに設けた、形状、方向、および/あるいは色彩
の異なる四つの幾何学的記号の点滅を、検知器に接続さ
せた電子回路により制御πせしめ、第1と、第2の記号
を点灯させて、測定軸方向のどちらの方向にキャリジが
スライダ上で変位したかを表示し、第3の記号の点灯に
よって、キャリジが変位して二つの変位方向のうちの一
つの方向において、所定の領域(この領域の範囲は、復
帰点探査のために選定された検知力の値の上限と下限の
間に含まれる)に到達したことを表示し、第4の記号の
点灯により、キャリジが二つの変位方向の一つの方向に
おいて、寸法採取を開始する所定の位置(この位置は、
寸法採取開始のために選定した検知力に対応するもので
あって、前記の領域外にある。)に達したことを表示す
る。 後述するように、支持体のキャリジ上での変位と固定を
制御する制御装置は、種寿な仕方で構成してもよい、そ
れぞれの構成の仕方により、独特の効果や利点があるか
らである。 〔実施例〕 第1図に示す測定装置は、測定台2に対して垂直な一つ
の測定軸Zを有するタイプの独立寸法測定柱であり、測
定台2上には、孔4と軸5を持つ被測定部品3が取付け
られている。 この測定柱の垂直枠6によって、測定軸Zの方向に向い
た直線状の案内路7が支持されている。 この枠6は、案内路7に垂直な支持面を有する基台8上
に据えられている。基台8は二つの側部室を備えている
。これらの側部室には、エアークッション支持装置が一
体に設けられているので、寸法採取のために被測定部品
3に近づけようとする際、測定柱を測定台上で容易に移
動させることができる。 本発明による検知装置10は案内路7に取付けられてい
る。 第2図、第3図、第4図に、この検知装置を詳細に示し
た。この検知装置のスライダ11は、ハウジング12(
第1図のみに示す)に納められ、案内路7に沿って並進
運動で変位可能に取付けられている。このスライダ11
は、U字を横に倒した形状の中空体から成っており、そ
の2本の水平アーム13の間に装架されたキャリジ14
は、前記アーム13の間に設けられた2本の平行円筒柱
に沿って、測定軸Zの垂直方向に並進運動で変位可能で
ある。 2個の圧縮バネが、2本のアーム13に支持され、キャ
リジ14の両側に取付けられている。この2個のバネの
拮抗力によって、キャリジ14がスライダの2本のアー
ム13の間で静止位置に保持されている。これらのバネ
の釣り合い圧力は、アーム13の孔に嵌合し止めねじ1
8によって選定位置に固定されている可動支持体17に
より、ある程度まで調整が可能である。 図には示していないが、2個のバネの間に懸架されてい
る物体の慣性を補償するために、釣合おもりを一つ、こ
の釣合装置に付加してもよい、これは、静止点での振動
を回避するためであるが、釣合おもりを付加しなければ
、所期の目的を達成できないということではない。 スライダ11に取付けられたキャリジ14には、平行六
面体の空洞があり、その中に支持体19が取付けられて
いる。この支持体19は、測定垂直面で、並進運動によ
って、X方向(第1図)に変位することができる。X方
向とは、スライダに対するキャリジの変位の方向と垂直
な方向、つまりZ軸に対して垂直な方向のことである。 このため、キャリジ14の両側壁21には、水平な円筒
案内路20が2本取付けられており、この案内路に沿っ
て滑動するように、支持体19は取付けられている。こ
の支持体19は、制御装置を有しており、その制御作用
により、案内路に沿って変位させられたり、固定された
りする。この制御装置は、ここでは、2方向に回転する
ステンピングモータ22より成り、このモータにより支
持体を貫通するねじ孔に螺合しているねじ23が動かさ
れる。また、このモータは、キャリジ14の側壁に固定
されている。 支持体19の前部自由壁は、水平に伸びるアーム24を
有し、このアームに球状の測定探針27の付いたセンサ
26が、止めねじ25によって固定されている。このセ
ンサ26は、取り外しが可能である。 センサ26の反対側つまりスライダの後部に、検知器が
設けられている。この検知器は、スライダ11にたいす
るキャリジ14の変位を検知するものであって、変位の
方向と大きさを表示する信号を発信する。この検知器は
、ここでは、抵抗ピックアップ28によって構成されて
いる。この抵抗ピックアップのワイパ2Sは、アーム3
1を介してキャリジ14に固定され、トラックを有する
ピンクアンプの本体は、スライダに固定されている、ま
た、寸法採取の際に、片方のバネの圧縮作用やセンサの
探針によって被測定部品に加わる検知力、この検知力の
変化も、上記の検知器により表示される。 スライダ11は、測定柱の垂直の案内路7に沿って測定
軸Z方向に変位するわけだが、このスライダの変位を検
知する問題は、本発明の直接的な主題ではない、しかし
、測定柱を用いて行なう測定法を正しく理解するために
、−例を以下に挙げて説明する。 この検知を確実に行なうには、案内路7に沿ったスライ
ダの変位を感知する感知器を備えた直線検波装置に、ス
ライダ11を結合する。この直線検波装置を通常のタイ
プのオプトエレクトロニク増分システムで構成する。こ
のシステムは、目盛付物差し32とオプトエレクトロニ
クピックアップ33で構成するが、物差し32は、案内
路7の内部に、案内路と平行に固定し、ピックアップ3
3は、このシステムの感知器であるから、スライダ11
に固定する。 測定柱に沿ってスライダ11を素早く変位させる場合は
、操作ホイール34(第1図参照)を用い、スライダ1
1の変位を微調整する時には、操作ホイールのウオーム
駆動用ノブを用いる6図面には示していないが、操作ホ
イール34によって動かされるエンドレスベルトを用い
た伝動システムを介して、スライダを変位させる。 その他、測定柱には、制御卓36が備えられている。枠
6に固定された制御卓は、電子回路を内蔵しており、こ
の電子回路は、検知器(ピックアップ28.33)に接
続されている。この制御卓は、本発明の主題に直接関係
するものであり、被測定部品3の軸5や孔4の正反対の
2点を検知する時に、センサの復帰点を検知し寸法を採
取する所定の方法を、ピックアップ28が発する信号の
相対振幅の変化に応じて、制御するためのものである。 この電子回路(第6図に、その一実施例を示しである)
は、抵抗ピックアップ28に接続され、このピックアッ
プから送られてくる信号を増幅する増幅器38を備えて
0る。増幅器のアナログ出力は、A/Dコンバータ39
に、一方で接続40により直接に、他方で復帰検知器4
1を介して、接続されている。このコンバータ3Sが接
続しているプロセッサ42は、所定の測定方法に応じて
プログラムされており、計算機43から情報を受は取る
ときは、コンバータ39より送られる信号を処理したあ
とのデジタル値で受は取る。 電子制御211回路のこの第1分岐回路に復帰検知器4
1が設けられており、この検知器は、ピックアップ28
から送られてくる信号の変化を検知して、信号がその振
幅の最大値もしくは最小値を通ったことを表示する信号
を発する。 モータ22と信号パネル37は、ラッチ44.45を介
してプロセッサ42に接続されている。 この電子回路図上では、センサ26の測定探針と、モー
タ22との機械的接続、およびキャリジ14(このキャ
リジにモータ22が固定されている)と抵抗ピックアッ
プ28のワイパ29との機械的接続が、破線で示されて
いる。モータ22は、測定探針の変位を測定軸Zに直角
を成す2方向Xにおいて制御している。また、ピックア
ップ28は、測定探針が孔4の円筒面を探査している間
、測定軸2方向へ押圧されている。 この電子回路は、パネル37の信号要素およびステンピ
ングモータ22に給電している。 モータ22について言えば、電子回路が、検知器(抵抗
ピックアップ28)からの信号の変化に従って、ボック
ス(水平アーム13)上で支持体19の変位を案内する
案内回路を構成するようにプログラムされているので、
支持体をある位置へ移動させその位置で停止させること
ができる。ところで、この位置とは、上記信号の相対振
幅が最大値もしくは最小値を通過するときの位置であっ
て、探針の復帰点の位置を表すこの値は、直径両端の対
向する2点の寸法採取を軸5について行なうか、孔4に
ついて行なうかによって、最大値であったり、最小値で
あったりする。また、この値は、復帰検知器41により
検知する。 本発明に特有のこの電子回路の他に、信号増幅器46と
ハイローカウンタ47を介して、オプトエレクトロニク
増分ピックアップ33とプロセッサ42を接続しである
ことを細線で示した。この接続により、計算機43に必
要なデータが送られる。これらのデータは、抵抗ピック
アップ28によって得られる、測定探針と上記オブトエ
レクトロニクピックアップとの位置の隔たりの計算にあ
たって、被測定部品の一要素の寸法Zを積分法によって
計算するのに必要とされる。 次に信号パネル37について説明する。この信号パネル
は、形状、方向、色彩によって区別される4個の幾何学
的記号を備えている。これらの記号は、プロセッサ42
に制御されて点灯し、それぞれ、検知力の変化に応じた
、寸法採取の特定の段階を表示する。検知力はピックア
ップ28から送られてくる信号の大きさによって決めら
れるが、この大きさの変化は、キャリジの静止位置に対
する変位方向(二つの方向がある)にも対応するもので
ある。 これらの記号のうち二つ48.49は、色彩は同じで向
きが正反対の矢印の形状を呈しており、第3の記号50
を挾んで上下に位置している。第3の記号は矩形であっ
て、色彩も異なっている。 ボーリンクのビンを横に倒したような形状で、さらに別
の色彩の第4の記号は、センサの測定探針を表はしてお
り、第3の記号の下側に位置している。 スライダ11上をキャリジが測定軸Z方向のどちらの方
向に変位したかが、矢印形の記号48.4Sの点灯によ
り表示される。 キャリジが、静止位置に対するどちらの変位方向にも所
定の領域に到着していること、これが矩形の第3の記号
の点灯により表示される。この領域の範囲は、寸法採取
をはじめないで復帰点を探査するさいに選択され用いら
れる検知力の値の範囲に対応している。第5図において
、この探査領域の幅を、寸法2によって表した。この2
は、孔4の円筒面の低部を探査中に、測定探針が2点A
O−A1およびAO−A2間を変位したときのZ軸方向
の値を示し、それは、上記の各2点間を変位したときの
、Z軸と直角を成すX方向の値Xに対応している。 測定探針を表す第4の記号51の点灯により、キャリジ
が静止位置に対するどちらの変位方向にも寸法採取を開
始する所定の位置にきたことが示される。この所定位置
に対応する検知力は、前述した範囲内において得られる
検知力を上回っている。 この寸法採取法の第1段階でおこなうのは、測定しよう
とする軸もしくは孔の上部あるいは低部付近に測定探針
が加える検知力を調整することであるが、この第1段階
でオペレータの注意をより一層喚起するために、記号4
8.49が点滅し、キャリジが復帰点探査領域外にあり
、かつ検知力が不足していること、あるいは過剰である
ことを表示する。検知力のエラーが減るにつれて、点滅
の回数も少なくなる。これらすべてはプロセッサ42の
プログラミングによって行なう。 このように、従来の検流計を用いてそのダイヤル目盛り
を読み取ることとは異なるコンセプトを用いたこの信号
パネル37によって、目盛上を動く針の変化を注視する
必要がなくなり、読み誤りの危険が解消される。加えて
、点灯する四つの記号は全く異なっているから、オペレ
ータは迷わずに各記号が意味する現象を把握し、それら
をたやすく制御することができる。 熱論、このことは、本発明の目的を達成するのに目盛付
ダイヤルを用いてはならないということを意味しない。 上述したような本発明の実施例によって、センサの復帰
点を探査する最終の段階が自動化できるという新たな利
点が、探査中に探針支持体だけをキャリジ上で変位させ
ればよいという利点に付は加わる。事実、オペレータは
、検知力を調整し、復帰点を通過させ、検知力が充分で
あると確認した後は、たとえば制御卓上のボタンを押し
て、その復帰点の自動探査サイクルを始動させ、かつ信
号パネルをチェックし、探針が所要の地点で静止してい
ることを示す、矩形記号の点灯と矢印記号の消灯状態を
確認するだけでよい、その後、オベレータは、微調整ノ
ブ35もしくは操作ホイール34を操作して、検知力を
寸法採取の開始値まで上げさえすればよいのである。開
始値に達したことは、第4の記号51の点灯によって示
される。 ここで留意すべき点は、このタイプの測定工程が一回終
了すると、支持体19は、案内路20に沿って変位して
いるから、もはや、始動時と同じ位置にないという点で
ある。熱論、オペレータが測定探針27の復帰点AOに
測定柱を測定台上で固定するという、望ましからざる例
外の場合は、別であるが。 だから、新たに寸法測定を行なうときは、支持体19を
最初の位置、たとえば第3図および第4図で示されてい
るような丁度真ん中の位置に戻し、次の自動探査の工程
をどちらの方向にも制限しないようにしなければならな
い。 最初の位置に戻すには色々な方法があるが、中でも最初
の始動位置から復帰点の検知位置までの支持体19の変
位量を記憶させ、その記憶値をモータ22のサーボ回路
において復元するという方法をもちいてもよい。この場
合、この方法は、どちらか一方の変位方向のみに関する
ステップモータのステップ数(第5図の寸法X)か、ワ
イパー29が抵抗ピックアップ28上を変位する速度か
に基づかせればよい。 この他、図面上には、別の手段も示しである。 これは、ホール効果ピックアップ52を用いるものであ
る。このピックアップ52の磁石は、キャリジ14上に
調整可能に取付けられた支持体53上に固定し、感知要
素54は支持体19上に固定する。この磁石とこの感知
要素は、互いに対向して設ける0寸法測定が終わった時
点で、上記のピックアップにより、モータ22への給電
を制御して、支持体1Sをその始動開始位置に戻す、こ
の始動位置は、キャリジ上の磁石により前もって位置決
めしておく。 支持体19を制御して変位させ、固定させる制御装置の
一変形実施例(第7図に図式的に示す)では、モータ2
2は、電子回路に制御されるのではなく、押しボタン装
置55によって直接制御される。この装置は、二つの左
右方向制御ボタン56と57を有し、ボタンを押すと押
し時間に比例するステップ数だけの所定方向へ支持体1
9が前進し、ボタンを離すと支持体19は停止する。 このような簡単で経済的な変形実施例の場合、オペレー
タは、信号パネル37の表示を頼りに、押しボタン装置
を作動させながら復帰点を探査できる。また、オペレー
タは、同じ手段を用いて、寸法採取の新たな工程を開始
する前に1.支持体19をキャリジ上のその始動位置に
戻すことができ、かつ戻さねばならない、これは、前述
したようなホール効果ピックアップのような付加的装置
を用いずに、肉眼で行なうものである。 この他にも、より一層経済的で、はるかに簡単でかつ容
易に考え得る変形実施例もある。この実施例(図示せず
)では、ねじ23の駆動モータ22の代わりにオペレー
タにより作動されるクランクを用いである。実際、手動
であれ動力駆動(たとえばギヤラック駆動)であれ、キ
ャリジの変位と静止を制御する制御システムは、どんな
ものでも使用可能であって、そのために本発明の範囲か
ら逸脱することはないし、探針の復帰点を求める最後の
段階において、測定柱を測定台上に固定するという本発
明の重要な利点が失われるわけでもない。 本発明を、エアークッション支持装置を装備していない
高さ測定柱に適用すれば、一層の効果がもたらされる。 本発明は、また、案内路7に沿って変位する検知装置の
ためのピックアップとして、前記のオプトエレクトロニ
ク増分ピックアップ以外のタイプのものを有し、かつそ
れがスライダ11以外の場所に取付けられているような
高さ測定柱にも適用することができる。厳密に言えば、
このピックアップは本発明の・範囲に含まれていない。 本発明は、言うまでもなく、実施例で挙げた高さ測定柱
以外のあらゆる独立直線寸法測定装置であって、その基
準面が傾斜したものにも、同様に適用可能である。 4、図面の簡単な説明 添付図面は、この発明の目的を備えた測定装置、前記目
的の一実施例およびこの実施例の一要素のヴアリエーシ
ョンを例示している。 第1図は測定装置の全体図、第2図は検知装置の軸部の
一部縦断面図、第3図はこの装置の正面図、第4図は第
2図の線1−1に沿った断面を示す上面図、第5図は用
いた測定法の一測定段階を例示する図、第6図は電子制
御装置の機能図、第7図は電子制御装置の1変形実施例
を示す部分機能図である。 1・・・・・・測定装置、2・・・・・・測定台、7・
・・・・・案内路、10・・・・・・検知装置、11・
・・・・・スライダ、14・・・・・・キャリジ、19
・・・・・・支持体、26・・・・・・センサ、37・
・・・・・信号パネル、38・・・・・・増幅器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)一つの平面を基準にして、この平面と直角をなす測
    定軸に沿って、この平面に対して固定されてある部品を
    測定することを目的とし、かつ以下のものを備えた独立
    直線寸法測定装置用検知装置において、 −前記の平面上を移動できる測定装置の、測定軸方向を
    向いた真直ぐな案内路に沿って変位するように取り付け
    られたスライダ、 −このスライダの二つの固定支持物の間でキャリジを静
    止位置に保持する2個のバネの拮抗力に対して、スライ
    ダ上を前記と同じ方向に、並進的に変位可能なキャリジ
    、 −スライダ上のキャリジの変位と3次元的に連結され、
    かつ2個のバネのうち片方のバネの反発力に対するキャ
    リジの変位によって被測定部品の要素を所定の検知力の
    もとで測定する測定探針付センサ、 −スライダに対するキャリジの相対的な変位を検知して
    、その変位方向と大きさならびに検知力の変化を示す信
    号を送る検知器、 −この検知器に接続され、かつ被測定部品の軸または孔
    の正反対の2点を検知する場合に、センサの復帰点を検
    知し測定する所定の過程を、検知器からの信号の相対的
    振幅の変化に応じて制御し、かつその変化を表示するパ
    ネルをも含む電子回路、 前記キャリジに取り付けられた支持物19が、並進的に
    、測定面において、スライダ11に対するキャリジの変
    位方向と直角を成す方向(X)に変位することができ、
    かつこの支持物にはキャリジ上での自らの変位と固定を
    制御する装置22、23が設けられ、そしてこの支持物
    上にセンサが固定されていることを特徴とする独立直線
    寸法測定装置用検知装置。 2)キャリジ14上の支持物19の変位を制御する装置
    が、前記支持物をその変位の両方向に向けて駆動させる
    モータ22を有することを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の独立直線寸法測定装置用検知装置。 3)前記支持物の変位を制御する装置が、支持物の変位
    の両方向において、支持物の駆動モータ22の走行と停
    止を制御する押ボタン装置55を有することを特徴とす
    る特許請求の範囲第2項記載の独立直線寸法測定装置用
    検知装置。 4)前記支持物の駆動装置のモータが、検知器28から
    の信号の変化に従って前記支持物の変位を案内する回路
    によって付勢されており、ために、上記信号の相対振幅
    が、軸の寸法測定法か孔のそれかによって、最大値か最
    小値かを通り、かつこれらの値がセンサ28の探針27
    の復帰点を示すような位置に、前記支持物が変位しそこ
    で固定されることを特徴とする特許請求の範囲第2項記
    載の独立直線寸法測定装置用検知装置。 5)一つの平面を基準にして、この平面と直角をなす測
    定軸に沿って、この平面に対して固定されてある部品を
    測定することを目的とし、かつ、−前記の平面上を移動
    できる測定装置の、測定軸方向を向いた真直ぐな案内路
    に沿って変位するように取り付けられたスライダと、 −このスライダの二つの固定支持物の間でキャリジを静
    止位置に保持する2個のバネの拮抗力に対して、スライ
    ダ上を前記と同じ方向に、並進的に変位可能なキャリジ
    と、 −スライダ上のキャリジの変位と、3次元的に連結され
    、かつ2個のバネのうち片方のバネの反発力に対するキ
    ャリジの変位によって被測定部品の要素を所定の検知力
    のもとで測定する測定探針付センサと、 −スライダに対するキャリジの相対的な変位を検知して
    、その変位方向と大きさならびに検知力の変化を示す信
    号を送る検知器と、 −この検知器に接続され、かつ被測定部品の軸または孔
    の正反対の2点を検知する場合に、センサの復帰点を検
    知し測定する所定の過程を、検知器からの信号の相対的
    振幅の変化に応じて制御し、かつその変化を表示するパ
    ネルをも含む電子回路と、 を備えた独立直線寸法測定装置用検知装置において、−
    前記キャリジに取り付けられた支持物19が、並進的に
    、測定面において、スライダ11に対するキャリジの変
    位方向と直角を成す方向(X)に変位することができ、 −この支持物にはキャリジ上での自らの変位と固定を制
    御する装置22、23が設けられ、−前記センサーが、
    この支持物上に固定されており、 −検知器28から送られる信号の変化を表示する前記パ
    ネルが、形状、方向および/または色によって識別され
    る4個の幾何学的記号 48、49、50、51を備え、 −検知器に接続された電子回路によって、それらの記号
    の照明が制御され、 −最初の2個の記号48、49の照明は、測定軸方向に
    おけるスライダ11上でのキャリジ14の変位方向を表
    示するものであり、 −第3の記号50は、キャリジが変位して、静止位置に
    対する二つの変位方向のいずれの方向においても、所定
    の領域に到着していることを表示するものであり、 −この領域の大きさは、復帰点を求めるために選んだ検
    知力の値の範囲内に含まれるものであり、 −第4の記号51は、前記キャリジが変位して、その二
    つの変位方向のいずれの方向においても、測定接触解除
    の所定位置−この位置は前記領域の外にあり、かつ解除
    のために選択された検知力に対応する−に来たことを表
    示するものである ことを特徴とする独立直線寸法測定装置用検知装置。 6)最初の二つの記号が点滅して、キャリジ14が復帰
    点の探査領域外の位置にあり、かつ検知力が過剰もしく
    は不足していることを表示し、またこの点滅の頻度が検
    知力のエラーの減少に比例していることを特徴とする特
    許請求の範囲第5項記載の独立直線寸法測定装置用検知
    装置。
JP62109615A 1986-04-30 1987-04-30 寸法測定装置 Granted JPS62261915A (ja)

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JPH0557522B2 JPH0557522B2 (ja) 1993-08-24

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