JPS62261569A - 半導体基板収納箱搬送装置 - Google Patents
半導体基板収納箱搬送装置Info
- Publication number
- JPS62261569A JPS62261569A JP10622586A JP10622586A JPS62261569A JP S62261569 A JPS62261569 A JP S62261569A JP 10622586 A JP10622586 A JP 10622586A JP 10622586 A JP10622586 A JP 10622586A JP S62261569 A JPS62261569 A JP S62261569A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rack
- semiconductor substrate
- rail
- transport vehicle
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 9
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は半導体製造工程における半導体基板収納箱の搬
送装置に関するものである。
送装置に関するものである。
［従来の技術］
従来、この種の搬送装置は第２図に示すように、平行な
鍔部１３ａ、１３ａを備えた溝型ラック１３を半導体基
板収納箱の搬送方向に沿って敷設し、搬送台車Ｍのガイ
ド車輪９，９を各鍔部１３ａ、１３ａに当接させ、駆動
車輪１０をラック１３の下端面に当接させることにより
搬送台車Ｍをラック１３に支持させ、駆動車輪１０の駆
動力により搬送台車Ｍをラック１３に沿って走行させで
いた。１，２はラック１３側の電極、３はラック１３側
の信号用電極、４，５は台車Ｍ側の電極、６は台車Ｍ側
の信号用゛電極である。
鍔部１３ａ、１３ａを備えた溝型ラック１３を半導体基
板収納箱の搬送方向に沿って敷設し、搬送台車Ｍのガイ
ド車輪９，９を各鍔部１３ａ、１３ａに当接させ、駆動
車輪１０をラック１３の下端面に当接させることにより
搬送台車Ｍをラック１３に支持させ、駆動車輪１０の駆
動力により搬送台車Ｍをラック１３に沿って走行させで
いた。１，２はラック１３側の電極、３はラック１３側
の信号用電極、４，５は台車Ｍ側の電極、６は台車Ｍ側
の信号用゛電極である。
７は駆動モータ、８は減速機である。
「発明が解決しようとする問題点］
上述した従来の技術ではラック１３平面上に小さな異物
が落下した場合にも、駆動車輪が異物につかえて停止し
てしまっていた。
が落下した場合にも、駆動車輪が異物につかえて停止し
てしまっていた。
本発明の目的は搬送台車の駆動車輪がラック上の異物に
つかえて停止されてしまうのを防止した搬送装置を提供
することにある。
つかえて停止されてしまうのを防止した搬送装置を提供
することにある。
［問題点を解決するための手段］
本発明はラックに沿って走行させる半導体基板収納箱の
搬送台車を（Ｉｉえた搬送装置において、ラックにレー
ルを敷設し、該レールの上面に曲面を形成し、レールの
曲面上に搬送台車を支持させたことを特徴とする半導体
基板収納箱搬送装置である。
搬送台車を（Ｉｉえた搬送装置において、ラックにレー
ルを敷設し、該レールの上面に曲面を形成し、レールの
曲面上に搬送台車を支持させたことを特徴とする半導体
基板収納箱搬送装置である。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図（ａ）、 （ｂ）において、半導体基板収納箱の
搬送方向に沿って敷設されるラック１３は下端面１３ｂ
と、下端面１３ｂに対向する平行な鍔部１３ａ。
搬送方向に沿って敷設されるラック１３は下端面１３ｂ
と、下端面１３ｂに対向する平行な鍔部１３ａ。
１３ａとを有する溝型構造になっている。ラック１３の
下端面１３ｂには駆動用電極１．２と信号用電極３とを
設置しである。
下端面１３ｂには駆動用電極１．２と信号用電極３とを
設置しである。
本発明はラック１３の下端面１３ｂにレール１２を敷設
し、レール１２の上面に曲面を形成し、レール１２の曲
面１２ａ上に搬送台車Ｍの駆動車輪９を支持させ、搬送
台車Ｍのガイド車輪９，９をラック１３の鍔部１３ａ、
１３ａに当接させて搬送台車Ｍをラック１３に沿って走
行可能に設置したものである。また搬送台車Ｍの駆動用
電極４，５はラック１３の電極１゜２に接触し、信号用
電極６はラック１３の電極３に接触しており、搬送台車
Ｍの駆動モータ７には電ｉ１．２，４．５を通して駆動
用電力が供給され、−力信号用電極３，６を通してモー
タ７の制御信号が供給される。駆動車輪１０には登板用
ギヤ１１が備えられており、第１図（ｂ）に示すように
水平方向から垂直に立ち上ったラック１３に敷設された
直線状歯車にギヤ１１が噛合し、モータ７によるギヤ１
１の駆動力により搬送台車Ｍを垂直なラック１３に沿っ
て登板させる。また、搬送台車Ｍには半導体基板収納箱
をセラ！・する保持部１４が設けられている。
し、レール１２の上面に曲面を形成し、レール１２の曲
面１２ａ上に搬送台車Ｍの駆動車輪９を支持させ、搬送
台車Ｍのガイド車輪９，９をラック１３の鍔部１３ａ、
１３ａに当接させて搬送台車Ｍをラック１３に沿って走
行可能に設置したものである。また搬送台車Ｍの駆動用
電極４，５はラック１３の電極１゜２に接触し、信号用
電極６はラック１３の電極３に接触しており、搬送台車
Ｍの駆動モータ７には電ｉ１．２，４．５を通して駆動
用電力が供給され、−力信号用電極３，６を通してモー
タ７の制御信号が供給される。駆動車輪１０には登板用
ギヤ１１が備えられており、第１図（ｂ）に示すように
水平方向から垂直に立ち上ったラック１３に敷設された
直線状歯車にギヤ１１が噛合し、モータ７によるギヤ１
１の駆動力により搬送台車Ｍを垂直なラック１３に沿っ
て登板させる。また、搬送台車Ｍには半導体基板収納箱
をセラ！・する保持部１４が設けられている。
したがって、電極１，２より直流電圧が搬送台車Ｍのモ
ータ７に加えられ、モータ７が回転する。
ータ７に加えられ、モータ７が回転する。
モータ７の駆動力により減速１８を通じて車輪１０が回
転し、レール１２上を走行する。
転し、レール１２上を走行する。
［発明の効果］
以上説明したように本発明はラック平面上にレールを設
けたため、小さな異物が落下してきてもレール幅を狭く
してその上部を曲面としたため、異物はレールより落下
して異物による搬送への影響をなくすことができる効果
を有するものである。
けたため、小さな異物が落下してきてもレール幅を狭く
してその上部を曲面としたため、異物はレールより落下
して異物による搬送への影響をなくすことができる効果
を有するものである。
第１図（ａ’）は本発明の一実施例を示す正面図、（ｂ
）は同側面図、第２図は従来装置の正面図で必る。 １．２・・・駆動用電極（ラック側） ３・・・信号用電極（ラック側） ４．５・・・駆動用電極（搬送台車側）６・・・信号用
電極（ｌＩＥｊ送台車側）７・・・駆動モータ
８・・・減速機９・・・ガイド車輪 １０・・・
駆動車輪１１・・・登板用ギＡ７１２・・・レール１３
・・・ラック 特許出願人 九州日本電気株式会社 第１図
）は同側面図、第２図は従来装置の正面図で必る。 １．２・・・駆動用電極（ラック側） ３・・・信号用電極（ラック側） ４．５・・・駆動用電極（搬送台車側）６・・・信号用
電極（ｌＩＥｊ送台車側）７・・・駆動モータ
８・・・減速機９・・・ガイド車輪 １０・・・
駆動車輪１１・・・登板用ギＡ７１２・・・レール１３
・・・ラック 特許出願人 九州日本電気株式会社 第１図
Claims (1)
- （１）ラックに沿って走行させる半導体基板収納箱の搬
送台車を備えた搬送装置において、ラックにレールを敷
設し、該レールの上面に曲面を形成し、レールの曲面上
に搬送台車を支持させたことを特徴とする半導体基板収
納箱搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10622586A JPS62261569A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 半導体基板収納箱搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10622586A JPS62261569A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 半導体基板収納箱搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62261569A true JPS62261569A (ja) | 1987-11-13 |
Family
ID=14428193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10622586A Pending JPS62261569A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 半導体基板収納箱搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62261569A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013523474A (ja) * | 2010-03-31 | 2013-06-17 | エーティーエス オートメーション ツーリング システムズ インコーポレイテッド | ウェットベンチ装置および方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52105482A (en) * | 1976-03-02 | 1977-09-03 | Tsubakimoto Chain Co | Truck driving system |
| JPS5315207B2 (ja) * | 1973-08-02 | 1978-05-23 |
-
1986
- 1986-05-09 JP JP10622586A patent/JPS62261569A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5315207B2 (ja) * | 1973-08-02 | 1978-05-23 | ||
| JPS52105482A (en) * | 1976-03-02 | 1977-09-03 | Tsubakimoto Chain Co | Truck driving system |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013523474A (ja) * | 2010-03-31 | 2013-06-17 | エーティーエス オートメーション ツーリング システムズ インコーポレイテッド | ウェットベンチ装置および方法 |
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