JPS62259742A - 基板加工機用のワ−クガイド駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、基板加工機のテーブル上に傾動自在に支承さ
れて、該加工機に対して基板を搬入・搬出するリクライ
ニング形のワークガイドを駆動する装置に関するもので
ある。

〔従来技術〕

第５図はこの種リクライニング形ワークガイドの従来例
の平面図で、そのＶＩ−ＶＩ断面を第６図に示す。

加工機のテーブル１上にリクライニングアーム２が設け
られていて、このリクライニングアーム３に取シ付けら
れたリクライニングガイド３によって基板１１（第６図
）が支承される。

前記のリクライニングアーム２はリクライニングシャフ
ト４によって矢印Ａ−Ｂ方向の傾動自在江支承され、矢
印Ａ−Ｂ方向に駆動されて基板１１を加工機のテーブル
１上に搬入したり、搬出したシする。

一方、加工機のペース６に対してシリンダ７が軸支され
ている。１０は枢支軸である。

上記シリンダ７のピストンロッド８の先端は、リクライ
ニングアーム２に固着されたブラケット９にピン結合さ
れていて、該シリンダ７の伸縮作動によってリクライニ
ングアーム２を矢印Ａ−Ｂ方向に駆動する。

、〔発明が解決しよりとする問題点〕 前記の構成よりなる基板搬入、出用のワークガイド（第
５図、第６図）を備えだ基板加工機において、テーブル
１上にセットされた基板を加工する際、ベース６に対し
てテーブルｌを水平面内で移動させる必要が有る。そし
て、該テーブル１を移動させる為には、第７図に示すよ
うにピストンロッド８とブラケット９とを切シ離さなけ
ればならない。

ピストンロッドとブラケットとの係着は、従来技術にお
いては通常、手作業で行−”つれるが、基板加工の１サ
イクル毎にビン結合を係脱することは煩に堪えない。

しかし乍ら、上記の係脱操作を従来技術によって自動的
に行わしめようとすると、係脱用の駆動手段を設けると
共に該駆動手段の制御手段、並びに駆動用動力の供給手
段を設けなければならず、装置全体を大形、大重量、複
雑ならしめ、当然にコスト高となシ、整備点検の所要工
数も多大になる。

本発明は上記の事情に鑑みて為されたものであって、そ
の目的とするところは、簡単な構成で、別設の係脱用駆
動手段や制御手段を設ける必要なく、自動的にピストン
ロッドとブラケットとの係脱作動を行わしめ得る、リク
ライニング形のワークガイド駆動装置を提供しようとす
るものである。

〔問題点を解決するだめの手段〕

上記の目的を達成するだめ、本発明の駆動装置は、リク
ライニング形ワークガイドに設けたブラケットに円弧状
の底部を有するＵ字形受溝を設けると共に、上記円弧状
の底部に係合するヒンジローラをシリンダのピストンロ
ッド先端に取υつけ、かつ、上記ヒンジローラに近接せ
しめて係合−ンをピストンロッドに固着するとともに、
該係合ピンに係合する切欠を前記のブラケットのＵ字形
受溝に設け、上記の切欠は前記円弧状の溝底部と同心の
円弧に沿った緑を有するものであることを特徴とする。

〔作用〕゛ 以上のように構成した駆動装置において、ピストンロッ
ドを若干伸長させるとヒンジローラがブラケットのＵ字
形受溝に係合し、更に伸長させるとリクライニング形ワ
ークガイドが押し上げられて傾動し、更に伸長させると
上記の傾動によって係合ピンが切欠に対して自動的に確
実に係合する。

また、ピストンロッドを収縮させると、前記と逆の作動
によシ自動的に係合が解除される。

〔発明の実施例〕

第３図及び第４図は本発明の１実施例を示し、前記従来
例における第７図、第６図に対応する説明図である。

従来例におけると同一の図面参照番号を付した部材は前
記従来例と同様乃至は類似の構成部材である。

ブラケット９′は本発明を適用して、Ｕ字形の受溝９ａ
を設けると共に切欠９ｂを設けである。

第１図（Ｃ）は前記ブラケット９′付近の拡大図である
。

Ｕ字状溝９ｍの底部（図において上端部）は円弧状をな
しており、これに係合するヒンジローラ１４が連結具１
２に皐り付けられている。

本第１図（Ｃ）を矢印■方向に見たところを第２図に示
す。

本実施例の連結具１２は、第２図に示すように二叉状に
構成してピストンロッド８の先端に固着しである。

ヒンジローラ１４に近接せしめて係合ピン１３を連結具
１２に固定する。

一方、ブラケット９′には前記係合ビン１３に対応する
切欠９ｂを設ける。この切欠９ｂは、ビン・ゾローラ１
４と同心状の縁を有している。ヒンジローラ１４と同心
状とは、Ｕ字状受溝９ａの底部円弧と同心状であること
を意味する。

ピストンロッド８の伸長に伴ってヒンジローラ１４がブ
ラケット９′を押し上げ、第１図（Ｃ）→同（Ｂ）→同
（Ａ）の如く変化し、係合ピン１３が自動的に切欠９ｂ
に係合する。これによって連結具１２とブラケット９′
とは強固に固定される。

ピストンロッド８を伸縮させると、第１図（Ａ）→同（
Ｂ）→同（Ｃ）の如く変化し、自動的に結合が解除され
る。

上述の作用、効果から明らかなように、前記の係合−ン
１３は管状部材を外嵌した部材であっても同州に作用し
、同様の効果を奏する。

上記の管状部材が肉厚のものであれば、ローラと呼ばれ
る部材と類似したものになる。

また、前記の係合ピンは突起状の構成とすることも出来
る。

従って、本発明において係合ピンとは、機構学的にピン
と等価なる係合部材を総称する意である。

すなわち、第１図（Ａ）、　（Ｂ）、　（Ｃ）に示すよ
うにして、円弧状部を有する切欠９ｂと係脱する機能を
発揮し得る部材の総称であって、ピン、軸、突起、突条
。

ローラなど、呼称の如何を問わない。

〔発明の効果〕

以上に詳述した如く、本発明の駆動装置によれば、別設
の係脱用駆動手段や制御手段を設けない簡単な構成で、
ピストンロッドとブラケットとを自動的に係脱せしめる
ことが出来るという優れた実用的効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例の作動説明図であり、第２図
はその矢印■方向の側面図である。 第３図及び第４図は上記実施例の一部を断面して描いた
正面図である。 第５図は従来例の平面図、第６図は同正面図、第７図は
同じく不具合の説明図である。 １・・・テーブル、２・・・リクライニングアーム、３
・・・リクライニングガイド、４・・・リクライニング
アームト、７・・・シリンダ、８・・・ピストンロッド
、９・・・ブラケット、９ａ・・Ｕ字状の受溝、９ｂ・
・切欠、１１・・・基板、１２・・・連結具、１３・・
・係合ピン、１４・・・ヒンノローラ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板加工機のテーブル上に傾動自在に支承され、基
   板加工機に対して基板を搬入・搬出するリクライニング
   形ワークガイドの駆動装置において、リクライニング形
   ワークガイドに設けたブラケットに円弧状の底部を有す
   るＵ字形受溝を設けると共に、上記円弧状の底部に係合
   するヒンジローラをシリンダのピストンロッド先端に取
   りつけ、かつ、上記ヒンジローラに近接せしめて係合ピ
   ンをピストンロッドに固着するとともに、該係合ピンに
   係合する切欠を前記のブラケットのＵ字形受溝に設け、
   上記の切欠は前記円弧状の溝底部と同心の円弧に沿った
   縁を有するものであることを特徴とする、基板加工機用
   のリクライニング形ワークガイドの駆動装置