JPS6225243A - 欠陥検出方法 - Google Patents
欠陥検出方法Info
- Publication number
- JPS6225243A JPS6225243A JP16541385A JP16541385A JPS6225243A JP S6225243 A JPS6225243 A JP S6225243A JP 16541385 A JP16541385 A JP 16541385A JP 16541385 A JP16541385 A JP 16541385A JP S6225243 A JPS6225243 A JP S6225243A
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- Japan
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- inspected
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、被検査物の表面に発生する凹凸や異物混入あ
るいは傷などの欠陥を検出する方法に関する。
るいは傷などの欠陥を検出する方法に関する。
背景技術
従来からの欠陥検出方法では、被検査物の表面に光を照
射し、この光の反射光を撮像手段によって撮像して、こ
の撮像されたデジタル画像の各画素の輝度レベルを゛し
きい値処理して欠陥部の面積や欠陥部の周囲長さなどを
求めていた。このような先行技術では、欠陥部分のt′
f、さに関する情報はな(、その分だけ画像情報量が少
なく、高精度で欠陥部を検出することができ、ない、ま
た欠陥部の深さの程度を知ることができないため、ノイ
ズなどに影響される度合が大であるという問題があった
。
射し、この光の反射光を撮像手段によって撮像して、こ
の撮像されたデジタル画像の各画素の輝度レベルを゛し
きい値処理して欠陥部の面積や欠陥部の周囲長さなどを
求めていた。このような先行技術では、欠陥部分のt′
f、さに関する情報はな(、その分だけ画像情報量が少
なく、高精度で欠陥部を検出することができ、ない、ま
た欠陥部の深さの程度を知ることができないため、ノイ
ズなどに影響される度合が大であるという問題があった
。
目 的
本発明の目的は、上述の技術的S題を解決し、被検査物
の表面の欠陥部の深さに閃する情報を得ることかで慇、
これによって被検査物の欠陥を高精度で検出することが
できるとともにノイズの影響を低減することができるよ
うにした欠陥検出方法を提供することである。
の表面の欠陥部の深さに閃する情報を得ることかで慇、
これによって被検査物の欠陥を高精度で検出することが
できるとともにノイズの影響を低減することができるよ
うにした欠陥検出方法を提供することである。
実施例
第1図は本発明の一実施例のブロック図である。
被検査物1の表面は、光源2によって照射される。
この被検査物1の表面には、たとえば第2図(1)で示
されるように欠陥部20a、20bが発生している。光
源2の照射角度は被検査物1の表面が正反射しない角度
で照明される。被検査物1からの反射光は、工業用テレ
ビカメラなどの撮像手段3によって撮像される。撮像手
段3では、撮像されたアナログ画像信号をアナログ/デ
ジタル変換器4に導出する。アナログ/デジタル変換器
4で、デジタル画像された画像信号は、しきい値処理回
路5に与えられ、予め定めたしきい値でレベル弁別され
る。たとえば、デジタル画像の各画素の濃度値Aがしき
い値Bより小さい場合には、不良点としてこの画素のア
ドレスに対応する2値化画像メモリ6のメモリセルを論
理「1」とする。また、ii!ii素の濃度値Aがしき
い値Bより大きい場合には良品点としてこの画素のアド
レスに対応する2値化画像/モリ6のメモリセルを論理
「0」とする。
されるように欠陥部20a、20bが発生している。光
源2の照射角度は被検査物1の表面が正反射しない角度
で照明される。被検査物1からの反射光は、工業用テレ
ビカメラなどの撮像手段3によって撮像される。撮像手
段3では、撮像されたアナログ画像信号をアナログ/デ
ジタル変換器4に導出する。アナログ/デジタル変換器
4で、デジタル画像された画像信号は、しきい値処理回
路5に与えられ、予め定めたしきい値でレベル弁別され
る。たとえば、デジタル画像の各画素の濃度値Aがしき
い値Bより小さい場合には、不良点としてこの画素のア
ドレスに対応する2値化画像メモリ6のメモリセルを論
理「1」とする。また、ii!ii素の濃度値Aがしき
い値Bより大きい場合には良品点としてこの画素のアド
レスに対応する2値化画像/モリ6のメモリセルを論理
「0」とする。
こうして第2図(1)で示される原画像Kl:対して、
2値化画像メモリ6では、第2図(2)で示される2値
化画像が形成される。
2値化画像メモリ6では、第2図(2)で示される2値
化画像が形成される。
また画素の濃度値Aがしきい値Bより小さい場合には、
しきい値処理回路5は、画素の濃度値Aとしきい値Bと
を減算器回路7に導出する。減算器回路7では、第1式
の演算を行なって欠陥部の欠陥深さの絶対値を求める。
しきい値処理回路5は、画素の濃度値Aとしきい値Bと
を減算器回路7に導出する。減算器回路7では、第1式
の演算を行なって欠陥部の欠陥深さの絶対値を求める。
D=A−B ・・・(1)
これによって論理「1」である点すなわち不良点におけ
る画素の濃度値Aとしきい値Bとの差 Dが求められる
。この差りの絶対値は、欠陥部の欠陥深さに対応してい
る。
る画素の濃度値Aとしきい値Bとの差 Dが求められる
。この差りの絶対値は、欠陥部の欠陥深さに対応してい
る。
減算器回路7によって演算された絶対値IDIは、その
不良点のアドレスとともにデータメモリ7にストアされ
る。なお、しきい値処理回路5において、画素の濃度値
Aがしきい値B上り大きい場合には正常点であるため、
絶対値IDIの値はデータメモリ8にストアされない。
不良点のアドレスとともにデータメモリ7にストアされ
る。なお、しきい値処理回路5において、画素の濃度値
Aがしきい値B上り大きい場合には正常点であるため、
絶対値IDIの値はデータメモリ8にストアされない。
このような動作を17レ一ム分の原画像にのすべての画
素について行なう。
素について行なう。
次に2値化画像メモリ6の2値画像はラベル付は回路9
に与えられる。このラベル付は回路9は、欠陥120a
、20bごとにラベル付けを行ない、ラベルiil像メ
モリ10にストアする。これによって第2図(3)で示
されるようにラベル画像がラベル画像メモリ10に形成
される。
に与えられる。このラベル付は回路9は、欠陥120a
、20bごとにラベル付けを行ない、ラベルiil像メ
モリ10にストアする。これによって第2図(3)で示
されるようにラベル画像がラベル画像メモリ10に形成
される。
その後、中央処理回路(CPU)11によってレベル画
像メモリ10の同一ラベルが付された各領域ごとのメモ
リセルの個数が計数される。これによって欠陥部分20
a、201+の面積Sが求められる。
像メモリ10の同一ラベルが付された各領域ごとのメモ
リセルの個数が計数される。これによって欠陥部分20
a、201+の面積Sが求められる。
次に処理回路11は、ラベル画像メモリ10の同一ラベ
ルが付された領域内の各画素の7ドレス信号をデータメ
モリ8に導出する。これによってデータメモリ8では欠
陥部分20a+201+の澤さ情報である絶対値IDI
が順次処理回路11に読出される。処理回路11では、
同一ラベル領域についての絶対値IDIをすべて加算す
る。これによって欠陥部分20a、20bの体積Vが求
められる。
ルが付された領域内の各画素の7ドレス信号をデータメ
モリ8に導出する。これによってデータメモリ8では欠
陥部分20a+201+の澤さ情報である絶対値IDI
が順次処理回路11に読出される。処理回路11では、
同一ラベル領域についての絶対値IDIをすべて加算す
る。これによって欠陥部分20a、20bの体積Vが求
められる。
こうして欠陥検出のパラメータとして体積■および面積
Sが求められる。さらに必要な場合には、欠陥部分20
a、20bの牢均深さdは、d =V/Sとして求めら
れ、この平均WZdをもパラメータとして用いることが
できる。
Sが求められる。さらに必要な場合には、欠陥部分20
a、20bの牢均深さdは、d =V/Sとして求めら
れ、この平均WZdをもパラメータとして用いることが
できる。
このようにして本発明に従う欠陥検出方法では、欠陥部
分20a、20bの深さに関する情報を欠陥検出のパラ
/−夕として用いることができ、そのため従来上りも高
精度の欠陥検出を実現することができる。またこれによ
ってノイズに強い安定した検出が可能となる。
分20a、20bの深さに関する情報を欠陥検出のパラ
/−夕として用いることができ、そのため従来上りも高
精度の欠陥検出を実現することができる。またこれによ
ってノイズに強い安定した検出が可能となる。
なお、前述の実施例では欠陥部分20a*20bは周囲
の良品部分よりも濃度が小さい場合について説明したけ
れども、欠陥部分20a=20bが良品g分よりも濃度
が高い場合についても同様にして本発明に従う欠陥検出
方法を用いることがでさる。
の良品部分よりも濃度が小さい場合について説明したけ
れども、欠陥部分20a=20bが良品g分よりも濃度
が高い場合についても同様にして本発明に従う欠陥検出
方法を用いることがでさる。
効 果
以上のように本発明によれば、欠陥部分の深さ方向の情
報を得ることができる。そのため高精度の欠陥検出を行
なうことができるとともに、ノイズに強い安定した検出
を行なうことが可能となる。
報を得ることができる。そのため高精度の欠陥検出を行
なうことができるとともに、ノイズに強い安定した検出
を行なうことが可能となる。
第1図は本発明の一実施例のブロック図、第2図は原画
像とこの原画像の2値化画像とラベル画像を示す図であ
る。 1・・・被検査物、3・・・テレビカメラ、4・・・ア
ナログ/ヂノタル変換器、5・・・しきい値処理回路、
6・・・2値化画像メモリ、7・・・減算器回路、8・
・・データメモリ、9・・・ラベル付は回路、10・・
・ラベル画像メモリ、11・・・中央処理回路、A・・
・画素の濃度値、B・・・しきい値、ID+・・・欠陥
mさ代理人 弁理士 西教 圭一部 第2図
像とこの原画像の2値化画像とラベル画像を示す図であ
る。 1・・・被検査物、3・・・テレビカメラ、4・・・ア
ナログ/ヂノタル変換器、5・・・しきい値処理回路、
6・・・2値化画像メモリ、7・・・減算器回路、8・
・・データメモリ、9・・・ラベル付は回路、10・・
・ラベル画像メモリ、11・・・中央処理回路、A・・
・画素の濃度値、B・・・しきい値、ID+・・・欠陥
mさ代理人 弁理士 西教 圭一部 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被検査物を撮像してデジタル画像を形成し、このデジタ
ル画像は輝度を表わす信号を導出する複数の画素から成
り、 この被検査物の表面の欠陥に対応した画素の数と、その
欠陥に対応した画素からの電気信号のレベルとに基づい
て欠陥を検出することを特徴とする検出検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16541385A JPS6225243A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16541385A JPS6225243A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 欠陥検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6225243A true JPS6225243A (ja) | 1987-02-03 |
Family
ID=15811940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16541385A Pending JPS6225243A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 欠陥検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6225243A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01237441A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-09-21 | Hitachi Cable Ltd | 長尺体表面の異物検出及び寸法測定方法 |
CN103245666A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-08-14 | 杭州电子科技大学 | 一种蓄电池极板外观缺陷自动检测方法 |
-
1985
- 1985-07-25 JP JP16541385A patent/JPS6225243A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01237441A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-09-21 | Hitachi Cable Ltd | 長尺体表面の異物検出及び寸法測定方法 |
CN103245666A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-08-14 | 杭州电子科技大学 | 一种蓄电池极板外观缺陷自动检测方法 |
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