JP2500649B2 - Ｉｃ異物検査装置 - Google Patents
Ｉｃ異物検査装置Info
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- JP2500649B2 JP2500649B2 JP5275334A JP27533493A JP2500649B2 JP 2500649 B2 JP2500649 B2 JP 2500649B2 JP 5275334 A JP5275334 A JP 5275334A JP 27533493 A JP27533493 A JP 27533493A JP 2500649 B2 JP2500649 B2 JP 2500649B2
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- Japan
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、異物検査装置に関し、
特にＩＣのリード間に付着したモールドかすや繊維くず
等の異物を検出するＩＣ異物検査装置に関する。
特にＩＣのリード間に付着したモールドかすや繊維くず
等の異物を検出するＩＣ異物検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の検査装置は、例えば特開昭６１−
６６９０８公報に示す「ＩＣリード検出方法」がある。
６６９０８公報に示す「ＩＣリード検出方法」がある。
【０００３】この従来の検査装置について図面を参照し
て説明する。図３は従来例の検査装置の構成図である。
て説明する。図３は従来例の検査装置の構成図である。
【０００４】この従来例の検査装置は、検査対象部品の
画像を入力する撮像素子３１と、撮像素子３１から入力
した画像を記憶するフレームメモリ３２と、フレームメ
モリ３２からの画像データから演算処理を行いＩＣリジ
ェクト信号を出力する演算処理部３３とを含んで構成さ
れる。次に、従来の検査装置について特開昭６１−６６
９０８のうち、異物付着検出について図３を参照して説
明する。撮像素子３１から入力した画像は、フレームメ
モリ３２に記憶される。フレームメモリ３２から出力さ
れる画像データは、演算処理部３３に入力される。演算
処理部３３では、適当な二値化レベルにより二値化処理
された後、リード上の領域にリードの長手方向に二値化
データが“１”→“０”→“１”と変化した場合は、異
物付着と判定し、欠陥信号を発生する。
画像を入力する撮像素子３１と、撮像素子３１から入力
した画像を記憶するフレームメモリ３２と、フレームメ
モリ３２からの画像データから演算処理を行いＩＣリジ
ェクト信号を出力する演算処理部３３とを含んで構成さ
れる。次に、従来の検査装置について特開昭６１−６６
９０８のうち、異物付着検出について図３を参照して説
明する。撮像素子３１から入力した画像は、フレームメ
モリ３２に記憶される。フレームメモリ３２から出力さ
れる画像データは、演算処理部３３に入力される。演算
処理部３３では、適当な二値化レベルにより二値化処理
された後、リード上の領域にリードの長手方向に二値化
データが“１”→“０”→“１”と変化した場合は、異
物付着と判定し、欠陥信号を発生する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の検査装
置のリード上に付着した異物付着の検出方法において
は、リードに付着した繊維くず等の透過率の高い異物
は、リード部と異物部の濃淡値の差が少なく、濃淡値の
二値化データでは、異物部分のみ“０”にすることは困
難であり、異物の検出ができないという欠点があった。
置のリード上に付着した異物付着の検出方法において
は、リードに付着した繊維くず等の透過率の高い異物
は、リード部と異物部の濃淡値の差が少なく、濃淡値の
二値化データでは、異物部分のみ“０”にすることは困
難であり、異物の検出ができないという欠点があった。
【０００６】また、上述した従来の検査方法による検査
装置では、リード間に付着した異物を検出することはで
きないという欠点があった。
装置では、リード間に付着した異物を検出することはで
きないという欠点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣ異物検査装
置は、検査対象ＩＣのリード部分を撮像しアナログ画像
データを出力するカメラと、アナログ画像データを入力
しＡＤ変換を行い濃淡画像データを出力するＡＤ変換回
路と、濃淡画像データを入力し濃度の変化点が強調され
るように微分処理を行い微分画像データを出力する微分
回路と、複数のリードを含む検査対象領域を記憶させて
おく検査領域記憶回路と、検査対象領域内の微分画像デ
ータをあらかじめ設定した第一の二値化レベルにより二
値化画像データに変換し出力する第一の二値化回路と、
リードの長手方向と平行な方向の二値化画像データの１
の数を計測する投影回路と、投影結果をあらかじめ設定
した第二の二値化レベルで二値化を行い投影二値化デー
タを出力する第二の二値化回路と、投影二値化データの
０と１の全ての連続数をカウントしあらかじめ設定した
０と１の連続数のそれぞれの上限値と下限値の範囲外の
連続数が一つでもあれば異物付着と判定する判定回路と
を含むことを特徴としている。
置は、検査対象ＩＣのリード部分を撮像しアナログ画像
データを出力するカメラと、アナログ画像データを入力
しＡＤ変換を行い濃淡画像データを出力するＡＤ変換回
路と、濃淡画像データを入力し濃度の変化点が強調され
るように微分処理を行い微分画像データを出力する微分
回路と、複数のリードを含む検査対象領域を記憶させて
おく検査領域記憶回路と、検査対象領域内の微分画像デ
ータをあらかじめ設定した第一の二値化レベルにより二
値化画像データに変換し出力する第一の二値化回路と、
リードの長手方向と平行な方向の二値化画像データの１
の数を計測する投影回路と、投影結果をあらかじめ設定
した第二の二値化レベルで二値化を行い投影二値化デー
タを出力する第二の二値化回路と、投影二値化データの
０と１の全ての連続数をカウントしあらかじめ設定した
０と１の連続数のそれぞれの上限値と下限値の範囲外の
連続数が一つでもあれば異物付着と判定する判定回路と
を含むことを特徴としている。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００９】図１は本発明によるＩＣ異物検査装置の一
実施例を示すブロック図である。
実施例を示すブロック図である。
【００１０】この実施例のＩＣ異物検査装置において、
カメラ１は、検査対象ＩＣ２のリード部分を撮像しアナ
ログ画像データａを出力する。ＡＤ変換回路３は、アナ
ログ画像データａを入力しＡＤ変換を行い濃淡画像デー
タｂを出力する。尚、ＡＤ変換された濃淡画像データｂ
を一旦メモリ回路に記憶させた後、メモリ回路から記憶
データの読出しを行い後の処理回路へデータを流す構成
も考えられる。微分回路４は、濃淡画像データａを入力
し濃度の変化点が強調されるように微分処理を行い微分
画像データｃを出力する。検査領域記憶回路５は、複数
のリードを含む検査対象領域を記憶させておき検査対象
領域信号ｄを出力する。第一の二値化回路６は、検査対
象領域信号ｄによる領域内の微分画像データｃをあらか
じめ設定した第一の二値化レベルにより二値化画像デー
タｅに変換し出力する。投影回路７は、リードの長手方
向と平行な方向の二値化画像データの“１”の数を計測
し計測データｆを出力する。第二の二値化回路８は、計
測データｆを入力し計測データをあらかじめ設定した第
二の二値化レベルで二値化を行い投影二値化データｇを
出力する。判定回路９は、投影二値化データｇの“０”
と“１”の全ての連続数をカウントし、あらかじめ設定
した“０”と“１”の連続数のそれぞれの上限値と下限
値の範囲外の連続数が一つでもあれば、異物付着と判定
する。
カメラ１は、検査対象ＩＣ２のリード部分を撮像しアナ
ログ画像データａを出力する。ＡＤ変換回路３は、アナ
ログ画像データａを入力しＡＤ変換を行い濃淡画像デー
タｂを出力する。尚、ＡＤ変換された濃淡画像データｂ
を一旦メモリ回路に記憶させた後、メモリ回路から記憶
データの読出しを行い後の処理回路へデータを流す構成
も考えられる。微分回路４は、濃淡画像データａを入力
し濃度の変化点が強調されるように微分処理を行い微分
画像データｃを出力する。検査領域記憶回路５は、複数
のリードを含む検査対象領域を記憶させておき検査対象
領域信号ｄを出力する。第一の二値化回路６は、検査対
象領域信号ｄによる領域内の微分画像データｃをあらか
じめ設定した第一の二値化レベルにより二値化画像デー
タｅに変換し出力する。投影回路７は、リードの長手方
向と平行な方向の二値化画像データの“１”の数を計測
し計測データｆを出力する。第二の二値化回路８は、計
測データｆを入力し計測データをあらかじめ設定した第
二の二値化レベルで二値化を行い投影二値化データｇを
出力する。判定回路９は、投影二値化データｇの“０”
と“１”の全ての連続数をカウントし、あらかじめ設定
した“０”と“１”の連続数のそれぞれの上限値と下限
値の範囲外の連続数が一つでもあれば、異物付着と判定
する。
【００１１】次に、本発明のＩＣ異物検査装置の原理に
ついて図１、図２を参照して説明する。
ついて図１、図２を参照して説明する。
【００１２】図２は本発明のＩＣ異物検査装置の異物検
出の原理を説明するためのパターン図である。
出の原理を説明するためのパターン図である。
【００１３】図２（ａ）は、異物２２と異物２３がリー
ド２１に付着している濃淡画像データｂのパターン図
で、異物２２はリード２１間の片方のリード２１に付着
し、異物２３はリード２１間にまたがって付着してい
る。図２（ｂ）は、二値化画像信号ｅのパターン図で、
斜線部が二値化後の“１”の領域である。異物２２と異
物２３のエッジ部分が微分回路４で強調されるので、第
一の二値化回路６により、異物２２と異物２３のエッジ
部分２２’，２３’は“１”の領域となる。仮に濃淡画
像データｂのままで二値化処理を行うと、反射率の低い
異物部分や透過率の高い異物部分は、濃淡画像データｂ
のデジタル値が小さいために、図２（ｅ）に示すよう
に、異物部分が“１”の領域にならないために異物の検
出は困難である。 図２（ｃ）は、投影回路７から出力
される計測データｆのグラフであり、横軸は図２（ｂ）
と位置的に対応している。縦軸は計測度数を示してお
り、異物２２と異物２３のエッジに相当する領域２２''
と領域２３''には、異物の付着していないリード２１間
より大きい値が存在している。異物が付着していない場
合は、リード２１間に対応する計測データｆの値は
“０”または“０”に近い値となる。従って、第２の二
値化回路には異物の付着していないリード２１間の計測
データよりも少し大きい値を設定しておくと、第二の二
値化回路８から出力される投影二値化データｇの異物付
着部分は“１”となる。図２（ｄ）は、投影二値化デー
タｇのグラフを表しており、投影二値化データの“１”
の連続数Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３、“０”の連続数Ｌ１，Ｌ２
のうち、異物の付着していない、リード２１部分に相当
するＨ１の長さに対して異物の付着しているリード２１
部分に相当するＨ２，Ｈ３は付着している異物の大きさ
に対応して長くなる。また、リード２１間の長さに相当
するＬ２の長さに対して異物の付着しているリード２１
間に相当するＬ１は短くなる。従って、判定回路９で
は、投影二値化データの“１”と“０”の全ての連続数
をカウントし、あらかじめ設定した“０”と“１”の連
続数のそれぞれの上限値と下限値の範囲外の連続数があ
れば、異物付着と判定することができる。
ド２１に付着している濃淡画像データｂのパターン図
で、異物２２はリード２１間の片方のリード２１に付着
し、異物２３はリード２１間にまたがって付着してい
る。図２（ｂ）は、二値化画像信号ｅのパターン図で、
斜線部が二値化後の“１”の領域である。異物２２と異
物２３のエッジ部分が微分回路４で強調されるので、第
一の二値化回路６により、異物２２と異物２３のエッジ
部分２２’，２３’は“１”の領域となる。仮に濃淡画
像データｂのままで二値化処理を行うと、反射率の低い
異物部分や透過率の高い異物部分は、濃淡画像データｂ
のデジタル値が小さいために、図２（ｅ）に示すよう
に、異物部分が“１”の領域にならないために異物の検
出は困難である。 図２（ｃ）は、投影回路７から出力
される計測データｆのグラフであり、横軸は図２（ｂ）
と位置的に対応している。縦軸は計測度数を示してお
り、異物２２と異物２３のエッジに相当する領域２２''
と領域２３''には、異物の付着していないリード２１間
より大きい値が存在している。異物が付着していない場
合は、リード２１間に対応する計測データｆの値は
“０”または“０”に近い値となる。従って、第２の二
値化回路には異物の付着していないリード２１間の計測
データよりも少し大きい値を設定しておくと、第二の二
値化回路８から出力される投影二値化データｇの異物付
着部分は“１”となる。図２（ｄ）は、投影二値化デー
タｇのグラフを表しており、投影二値化データの“１”
の連続数Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３、“０”の連続数Ｌ１，Ｌ２
のうち、異物の付着していない、リード２１部分に相当
するＨ１の長さに対して異物の付着しているリード２１
部分に相当するＨ２，Ｈ３は付着している異物の大きさ
に対応して長くなる。また、リード２１間の長さに相当
するＬ２の長さに対して異物の付着しているリード２１
間に相当するＬ１は短くなる。従って、判定回路９で
は、投影二値化データの“１”と“０”の全ての連続数
をカウントし、あらかじめ設定した“０”と“１”の連
続数のそれぞれの上限値と下限値の範囲外の連続数があ
れば、異物付着と判定することができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＩＣ異物
検査装置では、濃淡画像を微分処理したあと二値化を行
い、異物領域のエッジを検出して異物検出を行うことに
より、透過率の高い異物やリード間に付着した反射率の
低い異物でも確実に検出することができるという効果が
ある。
検査装置では、濃淡画像を微分処理したあと二値化を行
い、異物領域のエッジを検出して異物検出を行うことに
より、透過率の高い異物やリード間に付着した反射率の
低い異物でも確実に検出することができるという効果が
ある。
【図１】本発明によるＩＣ異物検査装置の一実施例を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】本発明のＩＣ異物検査装置の異物検出の原理を
説明するためのパターン図である。図２（ａ），
（ｂ），（ｅ）は本発明の原理を説明するためのパター
ン図である。図２（ｃ），（ｄ）は本発明の原理を説明
するためのグラフである。
説明するためのパターン図である。図２（ａ），
（ｂ），（ｅ）は本発明の原理を説明するためのパター
ン図である。図２（ｃ），（ｄ）は本発明の原理を説明
するためのグラフである。
【図３】従来例の検査装置の構成図である。
１ カメラ ２ ＩＣ ３ ＡＤ変換回路 ４ 微分回路 ５ 検査領域記憶回路 ６ 第一の二値化回路 ７ 投影回路 ８ 第二の二値化回路 ９ 判定回路 ２１ リード ２２，２３ 異物 ２２’，２３’ エッジ部分 ２２''，２３'' 領域 ３１ 撮像素子 ３２ フレームメモリ ３３ 演算処理部 Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３，Ｌ１，Ｌ２ 連続数 ａ アナログ画像データ ｂ 濃淡画像データ ｃ 微分画像データ ｄ 検査対象領域信号 ｅ 二値化画像データ ｆ 計測データ ｇ 投影二値化データ
Claims (1)
- 【請求項１】 検査対象ＩＣのリード部分を撮像しアナ
ログ画像データを出力するカメラと、前記アナログ画像
データを入力しＡＤ変換を行い濃淡画像データを出力す
るＡＤ変換回路と、前記濃淡画像データを入力し濃度の
変化点が強調されるように微分処理を行い微分画像デー
タを出力する微分回路と、複数のリードを含む検査対象
領域を記憶させておく検査領域記憶回路と、前記検査対
象領域内の微分画像データをあらかじめ設定した第一の
二値化レベルにより二値化画像データに変換し出力する
第一の二値化回路と、前記リードの長手方向と平行な方
向の前記二値化画像データの１の数を計測する投影回路
と、前記投影結果をあらかじめ設定した第二の二値化レ
ベルで二値化を行い投影二値化データを出力する第二の
二値化回路と、前記投影二値化データの０と１の全ての
連続数をカウントしあらかじめ設定した０と１の連続数
のそれぞれの上限値と下限値の範囲外の連続数が一つで
もあれば異物付着と判定する判定回路とを備えることを
特徴とするＩＣ異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5275334A JP2500649B2 (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | Ｉｃ異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5275334A JP2500649B2 (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | Ｉｃ異物検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128249A JPH07128249A (ja) | 1995-05-19 |
| JP2500649B2 true JP2500649B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=17554024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5275334A Expired - Lifetime JP2500649B2 (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | Ｉｃ異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2500649B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6987894B2 (en) | 2000-04-28 | 2006-01-17 | Nec Electronics Corporation | Appearance inspection apparatus and method in which plural threads are processed in parallel |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4743805B2 (ja) | 2000-04-06 | 2011-08-10 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 外観検査方法および装置 |
| JP2001311693A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Nitto Kogyo Co Ltd | 検査装置 |
-
1993
- 1993-11-04 JP JP5275334A patent/JP2500649B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6987894B2 (en) | 2000-04-28 | 2006-01-17 | Nec Electronics Corporation | Appearance inspection apparatus and method in which plural threads are processed in parallel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07128249A (ja) | 1995-05-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960123 |
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