JPS6347642A - 表面探傷における欠陥種類弁別方法 - Google Patents
表面探傷における欠陥種類弁別方法Info
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- JPS6347642A JPS6347642A JP19102686A JP19102686A JPS6347642A JP S6347642 A JPS6347642 A JP S6347642A JP 19102686 A JP19102686 A JP 19102686A JP 19102686 A JP19102686 A JP 19102686A JP S6347642 A JPS6347642 A JP S6347642A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、表面探傷における欠陥種類弁別方法に係り、
特に、熱間金属材料の表面探傷を光学的に行う除用いる
のに好適な、被探傷材の表面を撮像し、撮像して得られ
た画像信号を２値化処即して該表面の欠陥を画像表示手
段に表示し、表示された欠陥の２値画像から欠陥の種類
を弁別する表面探（カにおける欠陥種類弁別方法の改良
に関する。
特に、熱間金属材料の表面探傷を光学的に行う除用いる
のに好適な、被探傷材の表面を撮像し、撮像して得られ
た画像信号を２値化処即して該表面の欠陥を画像表示手
段に表示し、表示された欠陥の２値画像から欠陥の種類
を弁別する表面探（カにおける欠陥種類弁別方法の改良
に関する。
【従来の技術］
被探傷材の表面に生ずる欠陥は、その種類によっては、
同じ大きさにも拘わらず製品にとり有害であったり無害
であったりする。従って、探（葛するにあたっては、ま
ず、前記欠陥の種類を弁別する必要がある。 かかる必要性から従来より、被探閂材例えば、ライン上
を流れる熱間金属材料の表面を光学的に探傷する際には
、検出された欠陥の種類をパターンマツチング法で弁別
している。このパターンマツチング法で前記熱間金属材
料の表面の欠陥を弁別する際には、前記熱間金属材料等
の被探傷材の表面を撮像し、４１７１像して得られた画
像信号を２（直化処理してブラウン官に表示し、表示さ
れた前記被検（画材の欠陥の２値画像と予め用意された
欠陥種類毎の画像パターンとの槙を演算し、演障された
積に基づき欠陥を弁別する。 【発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、前記パターンマツチング法においては、
形状の異なる欠陥が発生した場合、該欠陥の２値画像と
欠陥種類毎の画像パターンとの梢が必ずしも前記欠陥種
類と対応しないため、同一種類の欠陥であっても異なる
種類の欠陥と判断して検出すべき欠陥を見逃してしまい
、欠陥の有害、無害の判断がｔＩ度良く行えない恐れが
あるという問題点があった。 （′Ｒ明の目的１ 本発明は、前記従来の問題点に鑑みてなさたれものであ
って、欠陥の種類をその形状にとられれずほぼ完全に弁
別することができる表面探傷における欠陥！［弁別方法
を提供することを目的とする。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明は、被探傷材の表面を画像し、Ｖ？ｉ像して得ら
れた画像信号を２値化処理して該表面の欠陥を画像表示
手段に表示し、表示された欠陥の２値画像から欠陥の種
類を弁別する表面探傷における欠陥種類弁別方法におい
て、前記欠陥の２１４両像の形状のＸ＠投影長さ、Ｙ＠
投影長さ、幅、良さ、面積、及び周囲の長さを検出し、
検出された６値を予め欠陥種類毎に定められた判定条件
に従って処理し、処理された６値に基づき、前記被検（
筒材の欠陥の種類を弁別することにより、前記目的を達
成したものである。 （作用１ 本発明においては、被探傷材の表面に存在する欠陥を弁
別するために、従来方法の如く欠陥種類毎に画像パター
ンを用意するのではなく、必要最小限のパラメータを欠
陥種類毎に用意し、前記欠陥形状にとられれず欠陥種類
を弁別プることを可能とする。 即ち、前記パラメータが、前記欠陥の２１＠画像の形状
のＸ４１！ｊ投影長さ、Ｙ軸投影長さ、幅、長さ、面積
、及び周囲の長さを処理した値であり、欠陥種類毎に前
記パラメータに基づく判定条件を種々定めておく。そし
て、欠陥の２値画像から前記パラメータに対応する値を
検出し、検出された６値を前記判定条件に従って処理し
、処理された値に基づき前記被探傷材の表面の欠陥種類
を弁別する。 従って、前記欠陥を前記パラメータに曇づき弁別できる
ため、欠陥種類を形状にとられれずほぼ完全に弁別する
ことができ、欠陥種類の見逃しや誤検出をなくザことが
できる。又、上記のように欠陥種類が弁別されたときに
欠陥種類毎に欠陥の大きさの閾値を設定ずれば、該欠陥
が有害であるか無害であるかを欠陥の種類毎に判定する
ことができる。即ち、本発明は、光学的に表面探傷した
際検出される欠陥が有害、無害のいずれであるか最終判
断する１段階手前の処理を提供するものである。 ［実施例］ 以下、本発明の実施例について詳細に説明する。 この実施例は、第１図に示されるような熱間金凪拐料１
０例えば連続鋳造鋳片を光学的に表面探傷する装置に本
発明を採用したものである。 この表面探傷装置は、ローラテーブル（図示省略）で搬
送される前記熱間金属材Ｆ！１１０に投光するための照
明装置１２と、投光された熱間金屈材料１０の表面を緻
也するためのカメラ１４と、該カメラ１４から出力され
る画像１３号（実施例の場′合アナログ信号）をデジタ
ル信号に変換するアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器
１６と、変換されたデジタル信号を２値化処理する２値
化９Ｂ理装置１８と、２値化処理された２値化信号を順
次記憶するイメージメモリ２ｏと、記憶されたデータを
順次読出してブラウン管に表示し、表示される欠陥の２
（直画像の形状を下記の項目について測定する画像処理
装置２２と、測定された各測定ｊ直を予め定めた判定条
件に暴づき処理して欠陥種類の弁別を行う欠陥種類弁別
装置２４とを備える。 前記画順処理装ｆＦ？ ２２に表示された欠陥の２１直
画像の形状測定の項目は、該２値ｉｉ！′ｉｉ像のＸ句
投影長さ、Ｙ＠投影長さ、幅、長さ、面積、及び周囲の
長さとされる。 前記欠陥種類弁別装置２４は、半導体素子（例えばＩＣ
）等を用いたハードウェアでもよく、又、いわゆるマイ
クロコンピュータを用いその内部に記憶されるソフトウ
ェアにより処理を行うものでもよい。 以下、実施例の作用について説明する。 ローラテーブルにより搬送されてくる、探傷すべき熱間
金属材料１０の表面を、まず、照朗装麗１２で投光する
。そして、該熱間金属材料１０の表面像をカメ、う１４
で撮像する。該カメラ１４から出力された画像信号をＡ
／Ｄ変換器１６でデジタル信号に変換し、更に、２ｆｌ
Ｉ化処理装＠１８で該デジタル信号を２値化処理して、
２値化処理された２値化信号をイメージメモリ２０に順
次記憶する。そして、記憶された２値化信号を順次読出
し、画像処Ｆｌ！装置２２内のブラウン管に欠陥の２値
画像を表示し、表示画像から欠陥の形状測定を行う。こ
の欠陥の形状測定は、次の項目（パラメータ）について
行う。 （Ｉ）Ｘ軸反影長さ、 （ＩＩ）Ｙ’ｌ＊投影長さ、 （ＩＩＩ）幅、 （ＴＶ）長さ、 （Ｖ）面積、 （Ｖｌ）周囲の長さ。 前記画像処理装置２２は、これら（Ｉ）〜（Ｖｌ ）の
項目のデータを前記欠陥種類弁別装が２４に出力して記
憶させる。この場合、１つの画像内に複ｖ１＠の欠陥が
存在するときは欠陥毎に番号を付す。 そして、前記欠陥種類弁別装ｇ！２４は、詳細に後述す
るように、予め定めた条件（後記×１〜Ｘ５）に従って
前記欠陥から（ｑられた上記（Ｉ）〜（ＶＴ）の項目の
データを処理し、どの欠陥処理の判定条件を満足するか
否かを判定する。 ここで、前記画像処理装置２２に表示される欠陥の２値
画像の例（アバタ、ブローホール）を第２図に示す。又
、前記＜Ｉ）〜（ＶＴ）の項目の（１αを組み合せてプ
ロットすると第３図〜第５図のように欠陥（アバタ、ヘ
ゲ、ブローホール）及びオシレーションマークが表され
る。即ち、第３図は、幅／長さと面積／（Ｘ軸投影長さ
×Ｙ！ｌ１ｔｈ投影長さ）の関係から面状欠陥を、第４
図は面積と周囲の長さの関係から点状欠陥を、第５図は
、Ｘ軸投影長さとＹ＠投影長さの関係から面状あるいは
点状欠陥を表す。この場合、Ｙ軸投影長さとＸ軸投影長
さは第６図に、長さと幅は第７図に、面積と周囲の長さ
は第８図に示すように測定した。 第３図〜第５図の如く測定された各項目＜Ｉ）〜（Ｖｌ
）に基づき、欠陥種類を弁別するための条件×１〜×５
は、次の如く定められる。 条件×１；幅／長さく Ａ Ｎ 条件×２；面積／（Ｘ軸投影長さｘｙ軸投影長さ）〈Ｂ
１ 条件Ｘ３二面積くＣ１且つ、周囲の長さくＤ、条件Ｘ４
：Ｙ軸投影長さくＥＸＸｌｄｌ投影長さ−Ｆ。 条件Ｘ５：Ｙ軸投影長さ＞ＥＸＸＸＸ形長さ十Ｆ０ 但し、Ａ、ＢＳＣ，ＤｌＥ、Ｆは、定数である。 そして、欠陥８ｉ類の弁別は、以下のロジックで表わさ
れる判定条件により行う。この場合、弁別される欠陥の
Ｐ！！類はアバタ、ヘゲ、横割れ、縦割れ、ブローホー
ルである。 アバタ；Ｘ１且つＸ２且つＸ３且つＸ４且つ×５、 ヘゲ；ｘ１旦つＸ２且つＸ３且つＸ４且つ×５、横割れ
；Ｘ１且つ×４、 縦割れ：ｘ１且つ×５、 ブローホール：Ｘ３且つＸ４且つ×５゜なお、条件Ｘｎ
はその条件を満足しないことを意味する（ｎ−１〜５）
。 なお、前記実施例においては、被探傷材として熱間金属
材料である連続ｖｒ造鋳片を例示したが、被探傷材はこ
れのみに限定されるものでなく、他の例えば冷間金５材
料の表面探傷を行うのに本発明を実施することもできる
。 又、前記実施例においては、第１図に示されるような構
成の光学式表面探（ｎ装置に本発明を実施した場合につ
いて例示したが、本発明が実施される装置はこのような
溝底のものに限定されるものでなく他の装■で本発明を
実施できることは明らかである。 【発明の効果】 以上説明した通り、本発明によれば、欠陥種別を欠陥の
形状に捕われずほぼ完全に弁別することができる。従っ
て、探傷された欠陥が有害であるか無害であるかの判定
を欠陥の種類毎に行うことができ、欠陥の誤検出を減少
させることができるという優れた効果を何する。
同じ大きさにも拘わらず製品にとり有害であったり無害
であったりする。従って、探（葛するにあたっては、ま
ず、前記欠陥の種類を弁別する必要がある。 かかる必要性から従来より、被探閂材例えば、ライン上
を流れる熱間金属材料の表面を光学的に探傷する際には
、検出された欠陥の種類をパターンマツチング法で弁別
している。このパターンマツチング法で前記熱間金属材
料の表面の欠陥を弁別する際には、前記熱間金属材料等
の被探傷材の表面を撮像し、４１７１像して得られた画
像信号を２（直化処理してブラウン官に表示し、表示さ
れた前記被検（画材の欠陥の２値画像と予め用意された
欠陥種類毎の画像パターンとの槙を演算し、演障された
積に基づき欠陥を弁別する。 【発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、前記パターンマツチング法においては、
形状の異なる欠陥が発生した場合、該欠陥の２値画像と
欠陥種類毎の画像パターンとの梢が必ずしも前記欠陥種
類と対応しないため、同一種類の欠陥であっても異なる
種類の欠陥と判断して検出すべき欠陥を見逃してしまい
、欠陥の有害、無害の判断がｔＩ度良く行えない恐れが
あるという問題点があった。 （′Ｒ明の目的１ 本発明は、前記従来の問題点に鑑みてなさたれものであ
って、欠陥の種類をその形状にとられれずほぼ完全に弁
別することができる表面探傷における欠陥！［弁別方法
を提供することを目的とする。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明は、被探傷材の表面を画像し、Ｖ？ｉ像して得ら
れた画像信号を２値化処理して該表面の欠陥を画像表示
手段に表示し、表示された欠陥の２値画像から欠陥の種
類を弁別する表面探傷における欠陥種類弁別方法におい
て、前記欠陥の２１４両像の形状のＸ＠投影長さ、Ｙ＠
投影長さ、幅、良さ、面積、及び周囲の長さを検出し、
検出された６値を予め欠陥種類毎に定められた判定条件
に従って処理し、処理された６値に基づき、前記被検（
筒材の欠陥の種類を弁別することにより、前記目的を達
成したものである。 （作用１ 本発明においては、被探傷材の表面に存在する欠陥を弁
別するために、従来方法の如く欠陥種類毎に画像パター
ンを用意するのではなく、必要最小限のパラメータを欠
陥種類毎に用意し、前記欠陥形状にとられれず欠陥種類
を弁別プることを可能とする。 即ち、前記パラメータが、前記欠陥の２１＠画像の形状
のＸ４１！ｊ投影長さ、Ｙ軸投影長さ、幅、長さ、面積
、及び周囲の長さを処理した値であり、欠陥種類毎に前
記パラメータに基づく判定条件を種々定めておく。そし
て、欠陥の２値画像から前記パラメータに対応する値を
検出し、検出された６値を前記判定条件に従って処理し
、処理された値に基づき前記被探傷材の表面の欠陥種類
を弁別する。 従って、前記欠陥を前記パラメータに曇づき弁別できる
ため、欠陥種類を形状にとられれずほぼ完全に弁別する
ことができ、欠陥種類の見逃しや誤検出をなくザことが
できる。又、上記のように欠陥種類が弁別されたときに
欠陥種類毎に欠陥の大きさの閾値を設定ずれば、該欠陥
が有害であるか無害であるかを欠陥の種類毎に判定する
ことができる。即ち、本発明は、光学的に表面探傷した
際検出される欠陥が有害、無害のいずれであるか最終判
断する１段階手前の処理を提供するものである。 ［実施例］ 以下、本発明の実施例について詳細に説明する。 この実施例は、第１図に示されるような熱間金凪拐料１
０例えば連続鋳造鋳片を光学的に表面探傷する装置に本
発明を採用したものである。 この表面探傷装置は、ローラテーブル（図示省略）で搬
送される前記熱間金属材Ｆ！１１０に投光するための照
明装置１２と、投光された熱間金屈材料１０の表面を緻
也するためのカメラ１４と、該カメラ１４から出力され
る画像１３号（実施例の場′合アナログ信号）をデジタ
ル信号に変換するアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器
１６と、変換されたデジタル信号を２値化処理する２値
化９Ｂ理装置１８と、２値化処理された２値化信号を順
次記憶するイメージメモリ２ｏと、記憶されたデータを
順次読出してブラウン管に表示し、表示される欠陥の２
（直画像の形状を下記の項目について測定する画像処理
装置２２と、測定された各測定ｊ直を予め定めた判定条
件に暴づき処理して欠陥種類の弁別を行う欠陥種類弁別
装置２４とを備える。 前記画順処理装ｆＦ？ ２２に表示された欠陥の２１直
画像の形状測定の項目は、該２値ｉｉ！′ｉｉ像のＸ句
投影長さ、Ｙ＠投影長さ、幅、長さ、面積、及び周囲の
長さとされる。 前記欠陥種類弁別装置２４は、半導体素子（例えばＩＣ
）等を用いたハードウェアでもよく、又、いわゆるマイ
クロコンピュータを用いその内部に記憶されるソフトウ
ェアにより処理を行うものでもよい。 以下、実施例の作用について説明する。 ローラテーブルにより搬送されてくる、探傷すべき熱間
金属材料１０の表面を、まず、照朗装麗１２で投光する
。そして、該熱間金属材料１０の表面像をカメ、う１４
で撮像する。該カメラ１４から出力された画像信号をＡ
／Ｄ変換器１６でデジタル信号に変換し、更に、２ｆｌ
Ｉ化処理装＠１８で該デジタル信号を２値化処理して、
２値化処理された２値化信号をイメージメモリ２０に順
次記憶する。そして、記憶された２値化信号を順次読出
し、画像処Ｆｌ！装置２２内のブラウン管に欠陥の２値
画像を表示し、表示画像から欠陥の形状測定を行う。こ
の欠陥の形状測定は、次の項目（パラメータ）について
行う。 （Ｉ）Ｘ軸反影長さ、 （ＩＩ）Ｙ’ｌ＊投影長さ、 （ＩＩＩ）幅、 （ＴＶ）長さ、 （Ｖ）面積、 （Ｖｌ）周囲の長さ。 前記画像処理装置２２は、これら（Ｉ）〜（Ｖｌ ）の
項目のデータを前記欠陥種類弁別装が２４に出力して記
憶させる。この場合、１つの画像内に複ｖ１＠の欠陥が
存在するときは欠陥毎に番号を付す。 そして、前記欠陥種類弁別装ｇ！２４は、詳細に後述す
るように、予め定めた条件（後記×１〜Ｘ５）に従って
前記欠陥から（ｑられた上記（Ｉ）〜（ＶＴ）の項目の
データを処理し、どの欠陥処理の判定条件を満足するか
否かを判定する。 ここで、前記画像処理装置２２に表示される欠陥の２値
画像の例（アバタ、ブローホール）を第２図に示す。又
、前記＜Ｉ）〜（ＶＴ）の項目の（１αを組み合せてプ
ロットすると第３図〜第５図のように欠陥（アバタ、ヘ
ゲ、ブローホール）及びオシレーションマークが表され
る。即ち、第３図は、幅／長さと面積／（Ｘ軸投影長さ
×Ｙ！ｌ１ｔｈ投影長さ）の関係から面状欠陥を、第４
図は面積と周囲の長さの関係から点状欠陥を、第５図は
、Ｘ軸投影長さとＹ＠投影長さの関係から面状あるいは
点状欠陥を表す。この場合、Ｙ軸投影長さとＸ軸投影長
さは第６図に、長さと幅は第７図に、面積と周囲の長さ
は第８図に示すように測定した。 第３図〜第５図の如く測定された各項目＜Ｉ）〜（Ｖｌ
）に基づき、欠陥種類を弁別するための条件×１〜×５
は、次の如く定められる。 条件×１；幅／長さく Ａ Ｎ 条件×２；面積／（Ｘ軸投影長さｘｙ軸投影長さ）〈Ｂ
１ 条件Ｘ３二面積くＣ１且つ、周囲の長さくＤ、条件Ｘ４
：Ｙ軸投影長さくＥＸＸｌｄｌ投影長さ−Ｆ。 条件Ｘ５：Ｙ軸投影長さ＞ＥＸＸＸＸ形長さ十Ｆ０ 但し、Ａ、ＢＳＣ，ＤｌＥ、Ｆは、定数である。 そして、欠陥８ｉ類の弁別は、以下のロジックで表わさ
れる判定条件により行う。この場合、弁別される欠陥の
Ｐ！！類はアバタ、ヘゲ、横割れ、縦割れ、ブローホー
ルである。 アバタ；Ｘ１且つＸ２且つＸ３且つＸ４且つ×５、 ヘゲ；ｘ１旦つＸ２且つＸ３且つＸ４且つ×５、横割れ
；Ｘ１且つ×４、 縦割れ：ｘ１且つ×５、 ブローホール：Ｘ３且つＸ４且つ×５゜なお、条件Ｘｎ
はその条件を満足しないことを意味する（ｎ−１〜５）
。 なお、前記実施例においては、被探傷材として熱間金属
材料である連続ｖｒ造鋳片を例示したが、被探傷材はこ
れのみに限定されるものでなく、他の例えば冷間金５材
料の表面探傷を行うのに本発明を実施することもできる
。 又、前記実施例においては、第１図に示されるような構
成の光学式表面探（ｎ装置に本発明を実施した場合につ
いて例示したが、本発明が実施される装置はこのような
溝底のものに限定されるものでなく他の装■で本発明を
実施できることは明らかである。 【発明の効果】 以上説明した通り、本発明によれば、欠陥種別を欠陥の
形状に捕われずほぼ完全に弁別することができる。従っ
て、探傷された欠陥が有害であるか無害であるかの判定
を欠陥の種類毎に行うことができ、欠陥の誤検出を減少
させることができるという優れた効果を何する。
第１図は、本発明が実施される光学的表面探傷装置の構
成を示す、一部所面図を含むブロック線図、第２図は、
前記実施例の作用を説明するための欠陥の２１ｔ！！画
像の例を示す線図、第３図乃至第影？６測定例を示プ線
図、第７図は欠陥の幅と長１０・・・熱間金属材料、 １２・・・照明装置、 １４・・・カメラ、 １６・・・Ａ／Ｄ変換器、 １８・・・２１ｉｉ化処理装置、 ２０・・・イメージメモリ、 ２２・・・画像処理装置、 ２４・・・欠陥嫂熾弁別装置。
成を示す、一部所面図を含むブロック線図、第２図は、
前記実施例の作用を説明するための欠陥の２１ｔ！！画
像の例を示す線図、第３図乃至第影？６測定例を示プ線
図、第７図は欠陥の幅と長１０・・・熱間金属材料、 １２・・・照明装置、 １４・・・カメラ、 １６・・・Ａ／Ｄ変換器、 １８・・・２１ｉｉ化処理装置、 ２０・・・イメージメモリ、 ２２・・・画像処理装置、 ２４・・・欠陥嫂熾弁別装置。
Claims (1)
- （１）被探傷材の表面を撮像し、撮像して得られた画像
信号を２値化処理して該表面の欠陥を画像表示手段に表
示し、表示された欠陥の２値画像から欠陥の種類を弁別
する表面探傷における欠陥種類弁別方法において、 前記欠陥の２値画像の形状のＸ軸投影長さ、Ｙ軸投影長
さ、幅、長さ、面積、及び周囲の長さを検出し、 検出された各値を予め欠陥種類毎に定められた判定条件
に従つて処理し、 処理された各値に基づき、前記被探傷材の欠陥の種類を
弁別することを特徴とする表面探傷における欠陥種類弁
別方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19102686A JPS6347642A (ja) | 1986-08-14 | 1986-08-14 | 表面探傷における欠陥種類弁別方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19102686A JPS6347642A (ja) | 1986-08-14 | 1986-08-14 | 表面探傷における欠陥種類弁別方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6347642A true JPS6347642A (ja) | 1988-02-29 |
Family
ID=16267656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19102686A Pending JPS6347642A (ja) | 1986-08-14 | 1986-08-14 | 表面探傷における欠陥種類弁別方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6347642A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010117282A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Jfe Steel Corp | スラブの表面欠陥検出方法およびスラブ表面欠陥検出装置 |
| JP2010117281A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Jfe Steel Corp | スラブの表面欠陥検出方法およびスラブ表面欠陥検出装置 |
| JP2010117280A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Jfe Steel Corp | スラブ表面欠陥検出方法およびスラブ表面欠陥検出装置 |
| JP2010117279A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Jfe Steel Corp | スラブの表面欠陥検出方法およびスラブ表面欠陥検出装置 |
| JP2010217117A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Hitachi Chem Co Ltd | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
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1986
- 1986-08-14 JP JP19102686A patent/JPS6347642A/ja active Pending
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