JP2001242163A - シャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法 - Google Patents
シャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法Info
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Landscapes
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- Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被検面の水滴等の測定外乱を簡単且つ確実に除
去して高精度の非金属介在物を検出するシャドーマスク
用熱延材の清浄度測定方法を提供する。 【解決手段】熱延材（２０）の所定箇所より清浄度測定
用試料を採取し、前記試料を鏡面研磨し、該研磨面を倍
率を上げた金属顕微鏡（６）を通してカメラ（７）で撮
影してテレビモニタ（８）に表示すると共に、該モニタ
（８）に表示した画像から画像処理により前記試料の非
金属介在物（１）の数量、粒径または／及び占有面積を
演算するシャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法にお
いて、非金属介在物（１）のみを選択指定して演算対象
とするか、または逆に水滴（２）、ゴミ（３）、研磨疵
（４）、及びしみ（５）等を選択指定して演算対象から
除外することにより、前記試料の非金属介在物（１）の
数量、粒径または占有面積のうち少なくとも１つ以上を
演算測定する。
去して高精度の非金属介在物を検出するシャドーマスク
用熱延材の清浄度測定方法を提供する。 【解決手段】熱延材（２０）の所定箇所より清浄度測定
用試料を採取し、前記試料を鏡面研磨し、該研磨面を倍
率を上げた金属顕微鏡（６）を通してカメラ（７）で撮
影してテレビモニタ（８）に表示すると共に、該モニタ
（８）に表示した画像から画像処理により前記試料の非
金属介在物（１）の数量、粒径または／及び占有面積を
演算するシャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法にお
いて、非金属介在物（１）のみを選択指定して演算対象
とするか、または逆に水滴（２）、ゴミ（３）、研磨疵
（４）、及びしみ（５）等を選択指定して演算対象から
除外することにより、前記試料の非金属介在物（１）の
数量、粒径または占有面積のうち少なくとも１つ以上を
演算測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、画像処理技術を
用いたシャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法、特に
前記熱延材中の非金属介在物を簡単且つ精度良く検出測
定するシャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法に関す
るものである。
用いたシャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法、特に
前記熱延材中の非金属介在物を簡単且つ精度良く検出測
定するシャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】シャドーマスクは清浄性の高い熱延鋼板
を冷間圧延して薄板とした板材にエッチングによって規
則的な配列の孔を開けたものである。この孔配列は直径
が０．９ｍｍの孔を０．４ｍｍピッチで穿孔したもので
あり、孔部外周に非金属介在物が存在すると、エッチン
グ穿孔しても該非金属介在物の溶け残りが孔部外周に残
り、テレビモニタに色ずれが発生する。そのため、シャ
ドーマスク用熱延材の出荷に当たっては、非金属介在物
の有無程度を確実に検査する必要があり、熱延材の清浄
度が測定される。
を冷間圧延して薄板とした板材にエッチングによって規
則的な配列の孔を開けたものである。この孔配列は直径
が０．９ｍｍの孔を０．４ｍｍピッチで穿孔したもので
あり、孔部外周に非金属介在物が存在すると、エッチン
グ穿孔しても該非金属介在物の溶け残りが孔部外周に残
り、テレビモニタに色ずれが発生する。そのため、シャ
ドーマスク用熱延材の出荷に当たっては、非金属介在物
の有無程度を確実に検査する必要があり、熱延材の清浄
度が測定される。
【０００３】従来よりこれら清浄度測定は、金属顕微鏡
にテレビカメラを接続し、撮像された画像から測定対象
の鋼材中の非金属介在物を測定することが行われてい
る。これらはＪＩＳ−Ｇ−０５５５やＡＳＴＭ−Ｅ４５
・１２４５等の規格によって行われ、撮像した画像から
２値画像を作成し、粒子の大きさや形状、所定の間隔以
内での連続する個数等を測定し、非金属介在物を検出す
る。
にテレビカメラを接続し、撮像された画像から測定対象
の鋼材中の非金属介在物を測定することが行われてい
る。これらはＪＩＳ−Ｇ−０５５５やＡＳＴＭ−Ｅ４５
・１２４５等の規格によって行われ、撮像した画像から
２値画像を作成し、粒子の大きさや形状、所定の間隔以
内での連続する個数等を測定し、非金属介在物を検出す
る。
【０００４】例えば、ＪＩＳ−Ｇ−０５５５での方法
は、金属顕微鏡の接眼鏡に縦横各々２０本の格子線を持
つ硝子板を挿入して、該格子点にかかる非金属介在物の
数量を測定するもので、被検面の寸法が幅１５ｍｍ、高
さ２０ｍｍの供試材で、視野数が６０、倍率が４００倍
ならば、その清浄度は次のように表わす。 ｄＢ６０×４００（％）＝ｎ／（ｐ×ｆ）×１００ １式 ここで、ｐ：視野内の硝子板上の総格子点数 ｆ：視野数 ｎ：ｆ個の視野における全介在物によって占められる格
子点中心の数 また、供試材の表面は、研磨機により十分研磨して鏡面
仕上に仕上げ、水洗い後熱風乾燥して使用される。
は、金属顕微鏡の接眼鏡に縦横各々２０本の格子線を持
つ硝子板を挿入して、該格子点にかかる非金属介在物の
数量を測定するもので、被検面の寸法が幅１５ｍｍ、高
さ２０ｍｍの供試材で、視野数が６０、倍率が４００倍
ならば、その清浄度は次のように表わす。 ｄＢ６０×４００（％）＝ｎ／（ｐ×ｆ）×１００ １式 ここで、ｐ：視野内の硝子板上の総格子点数 ｆ：視野数 ｎ：ｆ個の視野における全介在物によって占められる格
子点中心の数 また、供試材の表面は、研磨機により十分研磨して鏡面
仕上に仕上げ、水洗い後熱風乾燥して使用される。
【０００５】しかしながら、これら供試材表面には、研
磨疵、水滴、水滴が乾燥した後に水滴中に浮かんでいた
ゴミや拭き取り時のゴミが付着する場合があり、清浄度
測定精度の低下原因となっていた。 そのため、例えば、測定対象物を撮像して濃淡画像を生
成し、この濃淡画像中の丸みを帯びた異物の中央部を通
るライン上の濃度プロフィールを求め、異物の濃度形状
から、ゴミ、疵及びしみを判定する画像処理による異物
検出方法なども特開平８−６８７６５号公報に紹介され
ている。
磨疵、水滴、水滴が乾燥した後に水滴中に浮かんでいた
ゴミや拭き取り時のゴミが付着する場合があり、清浄度
測定精度の低下原因となっていた。 そのため、例えば、測定対象物を撮像して濃淡画像を生
成し、この濃淡画像中の丸みを帯びた異物の中央部を通
るライン上の濃度プロフィールを求め、異物の濃度形状
から、ゴミ、疵及びしみを判定する画像処理による異物
検出方法なども特開平８−６８７６５号公報に紹介され
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＪＩＳ−Ｇ−０５５５による清浄度測定方法は、縦横各
々２０本の格子線を基準として該格子点にかかる非金属
介在物数を測定する方法となっており、シャドーマスク
用熱延材では、非金属介在物の粒径は小さく且つ数量も
少ないため、その検出識別には熟練技能が必要とされ、
熱延材の良否判定は容易ではなかった。
ＪＩＳ−Ｇ−０５５５による清浄度測定方法は、縦横各
々２０本の格子線を基準として該格子点にかかる非金属
介在物数を測定する方法となっており、シャドーマスク
用熱延材では、非金属介在物の粒径は小さく且つ数量も
少ないため、その検出識別には熟練技能が必要とされ、
熱延材の良否判定は容易ではなかった。
【０００７】また、微細で非常に少ない非金属介在物の
清浄性が要求されるシャドーマスク材にあっては、非金
属介在物の測定を画像処理技術を用いて測定すると共
に、前述の特開平８−６８７６５号公報に記載された画
像処理による異物検出方法もある。しかし、異物には多
種多様なものがあり、異物検出のための閾値条件決定も
複雑なことから、十分満足のいく清浄度測定方法とする
ためには、供試材表面に付着した水滴、ゴミ、疵、しみ
等を容易に演算対象から除去することに課題が残されて
いた。
清浄性が要求されるシャドーマスク材にあっては、非金
属介在物の測定を画像処理技術を用いて測定すると共
に、前述の特開平８−６８７６５号公報に記載された画
像処理による異物検出方法もある。しかし、異物には多
種多様なものがあり、異物検出のための閾値条件決定も
複雑なことから、十分満足のいく清浄度測定方法とする
ためには、供試材表面に付着した水滴、ゴミ、疵、しみ
等を容易に演算対象から除去することに課題が残されて
いた。
【０００８】本発明は、上述の問題点に鑑みなされたも
ので、ＪＩＳ−Ｇ−０５５５では測定が困難であった微
細非金属介在物を正確に検出測定すると共に、前述の水
滴等の測定外乱を簡単且つ確実に除去して高精度に非金
属介在物を検出する清浄度測定方法を提供することを目
的とする。
ので、ＪＩＳ−Ｇ−０５５５では測定が困難であった微
細非金属介在物を正確に検出測定すると共に、前述の水
滴等の測定外乱を簡単且つ確実に除去して高精度に非金
属介在物を検出する清浄度測定方法を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、熱延材の所定箇所より清浄度測定用試
料を採取し、前記試料を鏡面研磨し、該研磨面を倍率を
上げた金属顕微鏡を通してカメラで撮影してテレビモニ
タに表示すると共に、該モニタに表示した画像から画像
処理により前記試料の非金属介在物の数量、粒径または
／及び占有面積を演算するシャドーマスク用熱延材の清
浄度測定方法において、非金属介在物のみを選択指定し
て演算対象とするか、または逆に水滴、ゴミ、研磨疵、
及びしみ等を選択指定して演算対象から除外することに
より、前記試料の非金属介在物の数量、粒径または占有
面積のうち少なくとも１つ以上の清浄性を演算測定する
ようにしたものである。
めに、本発明は、熱延材の所定箇所より清浄度測定用試
料を採取し、前記試料を鏡面研磨し、該研磨面を倍率を
上げた金属顕微鏡を通してカメラで撮影してテレビモニ
タに表示すると共に、該モニタに表示した画像から画像
処理により前記試料の非金属介在物の数量、粒径または
／及び占有面積を演算するシャドーマスク用熱延材の清
浄度測定方法において、非金属介在物のみを選択指定し
て演算対象とするか、または逆に水滴、ゴミ、研磨疵、
及びしみ等を選択指定して演算対象から除外することに
より、前記試料の非金属介在物の数量、粒径または占有
面積のうち少なくとも１つ以上の清浄性を演算測定する
ようにしたものである。
【００１０】本発明に従えば、清浄度測定試料の拡大画
像より、非金属介在物以外の水滴等を測定者が観察して
選別する構成となっており、測定外乱を確実に除去でき
清浄度測定精度を向上させると共に、顕微鏡倍率を上げ
れば更に微細な非金属介在物も検出測定できるため清浄
性が更に厳しく要求されても対応できるという効果があ
る。
像より、非金属介在物以外の水滴等を測定者が観察して
選別する構成となっており、測定外乱を確実に除去でき
清浄度測定精度を向上させると共に、顕微鏡倍率を上げ
れば更に微細な非金属介在物も検出測定できるため清浄
性が更に厳しく要求されても対応できるという効果があ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態につい
て、以下説明する。図１は本発明の清浄度測定方法の処
理流れ図であり、図２は本発明を説明するための機器構
成図で、図３は金属顕微鏡６の１視野を摸式的に表わし
た画面説明図である。また、図４は本発明で測定する供
試材を採取する熱延材内の採取位置を示し、図５は図４
の採取試料内で顕微鏡６で測定する６３視野の測定位置
を示すものである。
て、以下説明する。図１は本発明の清浄度測定方法の処
理流れ図であり、図２は本発明を説明するための機器構
成図で、図３は金属顕微鏡６の１視野を摸式的に表わし
た画面説明図である。また、図４は本発明で測定する供
試材を採取する熱延材内の採取位置を示し、図５は図４
の採取試料内で顕微鏡６で測定する６３視野の測定位置
を示すものである。
【００１２】シャドウマスク用熱延材２０の清浄度測定
試料には、熱延鋼帯のトップとボトム部の両端２個所に
対して、図４に示す如く熱延材２０の幅方向に対して各
３個所の測定面２１を熱延板厚×２５ｍｍ以上で採取
し、合計６箇所の試料を用いる。測定面２１は、圧延方
向に平行な面を被検面とし、該被検面は研磨紙及びバフ
研磨で鏡面に仕上げ、研磨汚れを水洗して乾燥させる。
この際、粗雑な研磨、乾燥、汚れの拭き取りは、非金属
介在物１の脱落、隠蔽、ピット、かき疵４の生成、及び
錆、しみ５等を発生させないように十分注意する。
試料には、熱延鋼帯のトップとボトム部の両端２個所に
対して、図４に示す如く熱延材２０の幅方向に対して各
３個所の測定面２１を熱延板厚×２５ｍｍ以上で採取
し、合計６箇所の試料を用いる。測定面２１は、圧延方
向に平行な面を被検面とし、該被検面は研磨紙及びバフ
研磨で鏡面に仕上げ、研磨汚れを水洗して乾燥させる。
この際、粗雑な研磨、乾燥、汚れの拭き取りは、非金属
介在物１の脱落、隠蔽、ピット、かき疵４の生成、及び
錆、しみ５等を発生させないように十分注意する。
【００１３】清浄度測定対象とする総測定面積は、図５
に示す０．０６ｍｍ2の測定視野２２を１試料当たり６
３箇所とした面積和の３．７８ｍｍ2とし、１熱延材２
０の清浄度測定結果は前記１試料当たりの３．７８ｍｍ
2を６試料分について測定して得られたデータの平均値
とする。尚、６３個所の測定位置は、特に規定するもの
では無いが、図に示すように板厚方向に３〜４箇所で圧
延方向に１６〜２１個所で重なりがないようランダムに
移動させ、金属顕微鏡６で撮影測定する。
に示す０．０６ｍｍ2の測定視野２２を１試料当たり６
３箇所とした面積和の３．７８ｍｍ2とし、１熱延材２
０の清浄度測定結果は前記１試料当たりの３．７８ｍｍ
2を６試料分について測定して得られたデータの平均値
とする。尚、６３個所の測定位置は、特に規定するもの
では無いが、図に示すように板厚方向に３〜４箇所で圧
延方向に１６〜２１個所で重なりがないようランダムに
移動させ、金属顕微鏡６で撮影測定する。
【００１４】次いで、前記熱延材試料を金属顕微鏡６で
撮影し清浄度を演算測定する方法について説明する。本
発明は、図２に示すように、金属顕微鏡６、カメラ７、
Ａ／Ｄ変換器１２、画像処理装置９、モニタ８、キーボ
ード１１、マウス１０等により構成される。測定試料は
金属顕微鏡６にかけられ、金属顕微鏡６に取付けられた
テレビカメラ７により測定視野２２の撮影画像はアナロ
グからデジタルに変換するＡ／Ｄ変換器１２を通して画
像処理装置９に入力される。画像処理装置９に入力され
た画像は周知の倍率変換や２値化信号処理により白黒変
換されてテレビモニタ８に表示される。図３は、この１
視野当たりのモニタ８画面を表わしたもので、符号１は
非金属介在物で一般に圧延方向に延びた形状となり、符
号２は水滴でドーナツ状、符号３はゴミ、符号４は研磨
疵、符号５はしみを模式的に表わしている。
撮影し清浄度を演算測定する方法について説明する。本
発明は、図２に示すように、金属顕微鏡６、カメラ７、
Ａ／Ｄ変換器１２、画像処理装置９、モニタ８、キーボ
ード１１、マウス１０等により構成される。測定試料は
金属顕微鏡６にかけられ、金属顕微鏡６に取付けられた
テレビカメラ７により測定視野２２の撮影画像はアナロ
グからデジタルに変換するＡ／Ｄ変換器１２を通して画
像処理装置９に入力される。画像処理装置９に入力され
た画像は周知の倍率変換や２値化信号処理により白黒変
換されてテレビモニタ８に表示される。図３は、この１
視野当たりのモニタ８画面を表わしたもので、符号１は
非金属介在物で一般に圧延方向に延びた形状となり、符
号２は水滴でドーナツ状、符号３はゴミ、符号４は研磨
疵、符号５はしみを模式的に表わしている。
【００１５】測定者は前記モニタ８画面を目視判断し
て、非金属介在物１の画像のみをマウス１０にて選択指
定して演算対象とするか、または逆に水滴２、ゴミ３、
研磨疵４、及びしみ５等をマウス１０にて選択指定して
演算対象から除外することにより、前記試料の非金属介
在物１の数量、粒径または占有面積を画像処理装置９に
て演算処理させる。
て、非金属介在物１の画像のみをマウス１０にて選択指
定して演算対象とするか、または逆に水滴２、ゴミ３、
研磨疵４、及びしみ５等をマウス１０にて選択指定して
演算対象から除外することにより、前記試料の非金属介
在物１の数量、粒径または占有面積を画像処理装置９に
て演算処理させる。
【００１６】次に、本発明の清浄度測定方法について、
図１の処理流れ図を用いて詳しく説明する。上述の如く
ステップＳ１では、鏡面研磨後洗浄乾燥させた試料を６
個分準備する。ステップＳ２では、準備された試料の一
個分を金属顕微鏡６にセットし、次いでステップＳ３に
て図５の６３箇所の測定視野２２を以下順次測定するた
め該当測定視野２２に試料を移動させて金属顕微鏡６の
焦点をあわせる。ステップＳ４では、金属顕微鏡６から
カメラ７で測定した画像をモニタ８に表示するための倍
率、例えば１０００倍を画像処理装置９に設定し、ステ
ップＳ５にて金属顕微鏡６で撮影した画像を画像処理装
置９にて２値化処理してモニタ８画面に白黒表示する。
ステップＳ６では、演算から除外する水滴等の異物箇所
指定か、または演算対象の非金属介在物箇所を指定する
かの選択種別をキーボード１１又はマウス１０の入力装
置より設定決定する。
図１の処理流れ図を用いて詳しく説明する。上述の如く
ステップＳ１では、鏡面研磨後洗浄乾燥させた試料を６
個分準備する。ステップＳ２では、準備された試料の一
個分を金属顕微鏡６にセットし、次いでステップＳ３に
て図５の６３箇所の測定視野２２を以下順次測定するた
め該当測定視野２２に試料を移動させて金属顕微鏡６の
焦点をあわせる。ステップＳ４では、金属顕微鏡６から
カメラ７で測定した画像をモニタ８に表示するための倍
率、例えば１０００倍を画像処理装置９に設定し、ステ
ップＳ５にて金属顕微鏡６で撮影した画像を画像処理装
置９にて２値化処理してモニタ８画面に白黒表示する。
ステップＳ６では、演算から除外する水滴等の異物箇所
指定か、または演算対象の非金属介在物箇所を指定する
かの選択種別をキーボード１１又はマウス１０の入力装
置より設定決定する。
【００１７】次いで、ステップＳ７では、前記選択種別
（以下水滴等の演算対象から除外する異物箇所指定とし
たものと仮定する。）に基づき、測定者はモニタ８画面
の水滴２、ゴミ３、研磨疵４等を目視判断できる箇所に
マウス１０にてカーソルを移動して該当画素部分をクリ
ック選択し、画像処理装置９にてクリックされた画素と
連続する黒色表示画素を例えば赤色に色替えする。ここ
では、非金属介在物１以外の清浄度演算から除外する全
ての異物表示箇所を繰り返し色替え除外指定するが、ク
リック間違いもあるため再度クリックすると元の黒色に
変えるようにしておくことが好ましい。
（以下水滴等の演算対象から除外する異物箇所指定とし
たものと仮定する。）に基づき、測定者はモニタ８画面
の水滴２、ゴミ３、研磨疵４等を目視判断できる箇所に
マウス１０にてカーソルを移動して該当画素部分をクリ
ック選択し、画像処理装置９にてクリックされた画素と
連続する黒色表示画素を例えば赤色に色替えする。ここ
では、非金属介在物１以外の清浄度演算から除外する全
ての異物表示箇所を繰り返し色替え除外指定するが、ク
リック間違いもあるため再度クリックすると元の黒色に
変えるようにしておくことが好ましい。
【００１８】除外画素の全ての色替えが終了すると、次
のステップＳ８に移り、画像処理装置９にて色替え部分
を除いたモニタ８画面の非金属介在物１に相当する画素
を検索して、非金属介在物１の個数、面積、最長長さを
演算する。この演算は例えば白黒に２値化された画素の
連続性を判別して、個数や最長長さを求め、面積は画素
数総和にて求めることができるし、他の周知技術で行っ
てもよい。また、演算検出された非金属介在物１の個
数、面積、最長長さは、画像処理装置９の図示しない記
憶装置に記憶され、次のステップＳ９に移る。
のステップＳ８に移り、画像処理装置９にて色替え部分
を除いたモニタ８画面の非金属介在物１に相当する画素
を検索して、非金属介在物１の個数、面積、最長長さを
演算する。この演算は例えば白黒に２値化された画素の
連続性を判別して、個数や最長長さを求め、面積は画素
数総和にて求めることができるし、他の周知技術で行っ
てもよい。また、演算検出された非金属介在物１の個
数、面積、最長長さは、画像処理装置９の図示しない記
憶装置に記憶され、次のステップＳ９に移る。
【００１９】ステップＳ９では、１試料あたりの６３箇
所の測定視野２２全てについてＳ３からＳ８の処理が完
了したか否かを判別し、完了していないときはステップ
Ｓ３の試料移動を行い、全てが完了するとステップＳ１
０に進む。ステップＳ１０では、１熱延材２０の清浄度
測定用に６個用意した試料が全て測定終了したか否かを
判別し、終了していない場合はステップＳ２に移って次
の試料を金属顕微鏡６にセットし、全て終了したならば
ステップＳ１１に進む。ステップＳ１１では、ステップ
Ｓ８にて記憶された個数、面積、最長長さと１測定視野
面積、例えば前述の０．０６ｍｍ2と対応画素数に基づ
き総合清浄度演算を行う。尚、本総合清浄度演算は、個
数については任意の格子線間隔に対して前述の１式を用
いて行い、面積については、非金属介在物総和面積を全
総和視野面積で割ることにより、シャドーマスク用熱延
材２０の清浄度を測定することができる。
所の測定視野２２全てについてＳ３からＳ８の処理が完
了したか否かを判別し、完了していないときはステップ
Ｓ３の試料移動を行い、全てが完了するとステップＳ１
０に進む。ステップＳ１０では、１熱延材２０の清浄度
測定用に６個用意した試料が全て測定終了したか否かを
判別し、終了していない場合はステップＳ２に移って次
の試料を金属顕微鏡６にセットし、全て終了したならば
ステップＳ１１に進む。ステップＳ１１では、ステップ
Ｓ８にて記憶された個数、面積、最長長さと１測定視野
面積、例えば前述の０．０６ｍｍ2と対応画素数に基づ
き総合清浄度演算を行う。尚、本総合清浄度演算は、個
数については任意の格子線間隔に対して前述の１式を用
いて行い、面積については、非金属介在物総和面積を全
総和視野面積で割ることにより、シャドーマスク用熱延
材２０の清浄度を測定することができる。
【００２０】
【発明の効果】この発明にかかるシャドーマスク用熱延
材の清浄度測定方法は、以上説明した如き内容のものな
ので、被検面に付いた非金属介在物以外の外乱要因を確
実に選択排除できるため、簡単且つ正確に清浄度測定が
行えるという効果があり、また微細な非金属介在物も検
出測定できるため、清浄性要求の厳しいシャドーマスク
用熱延材の評価検定を可能にすることができる。
材の清浄度測定方法は、以上説明した如き内容のものな
ので、被検面に付いた非金属介在物以外の外乱要因を確
実に選択排除できるため、簡単且つ正確に清浄度測定が
行えるという効果があり、また微細な非金属介在物も検
出測定できるため、清浄性要求の厳しいシャドーマスク
用熱延材の評価検定を可能にすることができる。
【図１】本発明の一実施例である清浄度測定方法を説明
する処理流れ図である。
する処理流れ図である。
【図２】本発明を説明するための機器構成図である。
【図３】金属顕微鏡の１視野を摸式的に表わした画面説
明図である。
明図である。
【図４】本発明で測定する試料の熱延材中採取位置を示
す図である。
す図である。
【図５】図４の採取試料内で顕微鏡測定する６３視野の
測定位置を示す図である。
測定位置を示す図である。
１ 非金属介在物 ２ 水滴 ３ ゴミ ４ 疵（研磨疵） ５ しみ ６ 金属顕微鏡 ７ カメラ ８ モニタ ９ 画像処理装置 １０ マウス １１ キーボード １２ Ａ／Ｄ変換器 ２０ 熱延材 ２１ 測定面 ２２ 測定視野
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 21/17 Ｇ０１Ｎ 21/17 Ａ 21/94 21/94 Ｇ０６Ｍ 11/00 Ｇ０６Ｍ 11/00 Ｄ Ｆターム(参考） 2F065 AA26 AA49 AA58 BB01 BB25 CC06 DD13 FF04 JJ03 JJ19 JJ26 PP12 PP24 QQ03 QQ04 QQ23 QQ26 QQ42 QQ51 SS02 SS13 2G051 AA37 AA90 AB01 AB02 AC12 CA03 CA04 CA11 EA11 EA12 EC01 EC03 ED07 FA10 2G055 AA03 BA20 DA08 EA06 EA08 FA02 FA10 2G059 AA05 BB08 CC20 FF01 KK04 MM01 MM03 MM09 PP04
Claims (1)
- 【請求項１】熱延材（２０）の所定箇所より清浄度測定
用試料を採取し、前記試料を鏡面研磨し、該研磨面を倍
率を上げた金属顕微鏡（６）を通してカメラ（７）で撮
影してテレビモニタ（８）に表示すると共に、該モニタ
（８）に表示した画像から画像処理により前記試料の非
金属介在物（１）の数量、粒径または／及び占有面積を
演算するシャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法にお
いて、非金属介在物（１）のみを選択指定して演算対象
とするか、または逆に水滴（２）、ゴミ（３）、研磨疵
（４）、及びしみ（５）等を選択指定して演算対象から
除外することにより、前記試料の非金属介在物（１）の
数量、粒径または占有面積のうち少なくとも１つ以上を
演算測定することを特徴とするシャドーマスク用熱延材
の清浄度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000050585A JP2001242163A (ja) | 2000-02-28 | 2000-02-28 | シャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000050585A JP2001242163A (ja) | 2000-02-28 | 2000-02-28 | シャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001242163A true JP2001242163A (ja) | 2001-09-07 |
Family
ID=18572351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000050585A Withdrawn JP2001242163A (ja) | 2000-02-28 | 2000-02-28 | シャドーマスク用熱延材の清浄度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001242163A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007215738A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Konami Digital Entertainment:Kk | ゲームシステム、検出プログラム及び検出方法 |
| JP2010502947A (ja) * | 2006-08-30 | 2010-01-28 | ユーエスエヌアール・コッカムス・キャンカー・カンパニー | チャージャ用スキャナシステム |
| CN102928266A (zh) * | 2011-08-08 | 2013-02-13 | 上海万泰韬略检测技术有限公司 | 一种无砂纸、无绒布的新型现场金相快速制样方法 |
| CN103433813A (zh) * | 2013-07-30 | 2013-12-11 | 国家电网公司 | 一种适用于塔材的现场金相检验打磨方法 |
| CN105651217A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-06-08 | 中国石油天然气集团公司 | 一种大体积钢中非金属夹杂物尺寸的统计计算方法 |
| CN111680696A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-09-18 | 广东韶钢松山股份有限公司 | 识别素材晶粒度的方法以及钢材晶粒度检测方法 |
-
2000
- 2000-02-28 JP JP2000050585A patent/JP2001242163A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007215738A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Konami Digital Entertainment:Kk | ゲームシステム、検出プログラム及び検出方法 |
| JP2010502947A (ja) * | 2006-08-30 | 2010-01-28 | ユーエスエヌアール・コッカムス・キャンカー・カンパニー | チャージャ用スキャナシステム |
| CN102928266A (zh) * | 2011-08-08 | 2013-02-13 | 上海万泰韬略检测技术有限公司 | 一种无砂纸、无绒布的新型现场金相快速制样方法 |
| CN103433813A (zh) * | 2013-07-30 | 2013-12-11 | 国家电网公司 | 一种适用于塔材的现场金相检验打磨方法 |
| CN105651217A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-06-08 | 中国石油天然气集团公司 | 一种大体积钢中非金属夹杂物尺寸的统计计算方法 |
| CN111680696A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-09-18 | 广东韶钢松山股份有限公司 | 识别素材晶粒度的方法以及钢材晶粒度检测方法 |
| CN111680696B (zh) * | 2020-06-19 | 2023-06-30 | 广东韶钢松山股份有限公司 | 识别素材晶粒度的方法以及钢材晶粒度检测方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070501 |